JP5246470B2 - 角速度センサ素子 - Google Patents
角速度センサ素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5246470B2 JP5246470B2 JP2007338572A JP2007338572A JP5246470B2 JP 5246470 B2 JP5246470 B2 JP 5246470B2 JP 2007338572 A JP2007338572 A JP 2007338572A JP 2007338572 A JP2007338572 A JP 2007338572A JP 5246470 B2 JP5246470 B2 JP 5246470B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- vibrating arm
- stopper member
- angular velocity
- sensor element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Description
図1は第1実施形態に係る角速度センサ装置1の内部構成を分解して表す斜視図であり、図2は角速度センサ装置1のII―II線断面図である。
この角速度センサ素子2は、2つの固定部21と、2つの固定部21の間に配置された伝達腕22、駆動腕23および検出腕24からなる振動腕と、固定部21に一体的に形成され振動腕の全周を取り囲む第1のストッパ部材25とを備えている。
図5に示すように、圧電素子30a,30bは、駆動腕23および検出腕24上に、絶縁層31と、下部電極32と、圧電体33と、上部電極34とをこの順に積層して形成されたものである。図4に示すように、各圧電素子30aと各圧電素子30bとは、互いに別体に形成されている。
第2実施形態に係る角速度センサ素子2は、振動腕との接触部における第1のストッパ部材25の形状以外は、第1実施形態と同様である。図11(A)は第1のストッパ部材25の要部を示す平面図であり、図11(B)は駆動腕23および検出腕24が第1のストッパ部材25に接触した様子を示す平面図である。
第3実施形態では、振動腕の形成面と直交する方向においても、振動腕の振動範囲を制限することとした角速度センサ素子2について説明する。
図12に示すように、本実施形態では、伝達腕22、駆動腕23および検出腕24からなる振動腕が形成された面と直交する方向において2つの第2のストッパ部材26,26が配置されている。第2のストッパ部材26,26は、板状からなり、例えば接着層27を介して固定部21および第1のストッパ部材25の外縁に固定されている。第1のストッパ部材25と異なり、第2のストッパ部材26は振動腕と同一材料で形成されている必要はなく、その材料として例えばガラスが用いられる。
第4実施形態では、音叉型の角速度センサ素子について説明する。
図13は、音叉型の角速度センサ素子2aの平面的な構成を示す図である。図14は、図13のXIV−XIV線断面図である。なお、図13では振動腕の形状を図解するために、上下の第2のストッパ部材26aを省略している。
第5実施形態では、H型の角速度センサ素子について説明する。
図15は、H型の角速度センサ素子2bの平面的な構成を示す図である。図16は、図15のXVI−XVI線断面図である。なお、図15では振動腕の形状を図解するために、上下の第2のストッパ部材26bを省略している。
Claims (4)
- 半導体材料から形成される振動腕と、
振動腕上に形成された圧電素子と、
前記振動腕の振動範囲を制限するように設けられたストッパ部材と、
を有し、
前記振動腕は、駆動腕、検出腕、及び伝達腕を含み、
前記ストッパ部材は、前記振動腕の全周又は全体を取り囲むように、前記振動腕に対して所定の間隔で離間配置されたものである、
角速度センサ素子。 - 前記ストッパ部材は、前記振動腕が形成された面に沿って配置され、前記面内における前記振動腕の振動範囲を制限する第1のストッパ部材を有する、
請求項1記載の角速度センサ素子。 - 前記ストッパ部材は、前記振動腕が形成された面とは異なる面に沿って配置され、前記振動腕が形成された面と交差する方向における前記振動腕の振動範囲を制限する第2のストッパ部材を有する、
請求項2記載の角速度センサ素子。 - 前記ストッパ部材は、前記振動腕の少なくとも一部が接触する部位が、該接触の際の前記振動腕の姿態に沿う形状を有するものである、
請求項1〜3のいずれか1項記載の角速度センサ素子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007338572A JP5246470B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 角速度センサ素子 |
US12/318,329 US8127609B2 (en) | 2007-12-28 | 2008-12-24 | Angular velocity sensing element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007338572A JP5246470B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 角速度センサ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009156832A JP2009156832A (ja) | 2009-07-16 |
JP5246470B2 true JP5246470B2 (ja) | 2013-07-24 |
Family
ID=40796501
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007338572A Active JP5246470B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 角速度センサ素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8127609B2 (ja) |
JP (1) | JP5246470B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103256926B (zh) * | 2012-02-21 | 2016-08-24 | 北京自动化控制设备研究所 | 一种石英音叉止挡结构 |
JP6064342B2 (ja) * | 2012-03-12 | 2017-01-25 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片および電子機器 |
JP5982896B2 (ja) * | 2012-03-13 | 2016-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | センサー素子、センサーデバイスおよび電子機器 |
JP6833049B2 (ja) * | 2017-08-29 | 2021-02-24 | 京セラ株式会社 | 角速度センサおよびセンサ素子 |
JP6906618B2 (ja) * | 2017-08-29 | 2021-07-21 | 京セラ株式会社 | センサ素子および角速度センサ |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0518755A (ja) * | 1991-07-08 | 1993-01-26 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジヤイロ |
JPH07243857A (ja) * | 1994-03-04 | 1995-09-19 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
DE19526903B4 (de) * | 1995-07-22 | 2005-03-10 | Bosch Gmbh Robert | Drehratensensor |
JPH09196680A (ja) * | 1996-01-16 | 1997-07-31 | Tokimec Inc | ジャイロ装置及びその製造方法 |
JPH09257490A (ja) * | 1996-03-27 | 1997-10-03 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
JP2000009476A (ja) * | 1998-06-26 | 2000-01-14 | Fujitsu Ltd | 音叉型振動ジャイロ |
DE10051973A1 (de) * | 2000-10-20 | 2002-05-02 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanisches Bauelement |
JP4636220B2 (ja) * | 2001-09-03 | 2011-02-23 | トヨタ自動車株式会社 | 物理量検出装置 |
JP3972790B2 (ja) | 2001-11-27 | 2007-09-05 | 松下電器産業株式会社 | 薄膜微小機械式共振子および薄膜微小機械式共振子ジャイロ |
JP4415383B2 (ja) * | 2005-01-24 | 2010-02-17 | セイコーエプソン株式会社 | 振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサ |
-
2007
- 2007-12-28 JP JP2007338572A patent/JP5246470B2/ja active Active
-
2008
- 2008-12-24 US US12/318,329 patent/US8127609B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009156832A (ja) | 2009-07-16 |
US20090165556A1 (en) | 2009-07-02 |
US8127609B2 (en) | 2012-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7975545B2 (en) | Angular velocity sensor and angular velocity sensor device | |
JP4929918B2 (ja) | 複合センサ | |
JP2008180511A (ja) | 角速度センサ | |
JP5655501B2 (ja) | 振動素子、振動子、および電子機器 | |
JP5246470B2 (ja) | 角速度センサ素子 | |
EP1655575A2 (en) | Angular velocity sensor | |
JP2008249489A (ja) | 角速度センサ素子および角速度センサ装置 | |
JP5294143B2 (ja) | 角速度センサ素子 | |
US7975546B2 (en) | Angular velocity sensor and angular velocity sensing device | |
US8681407B2 (en) | Optical reflection element | |
US7934422B2 (en) | Angular velocity sensor and angular velocity sensing device | |
JP2011075415A (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP2008249490A (ja) | 角速度センサ素子および角速度センサ装置 | |
JP2008224627A (ja) | 角速度センサ、角速度センサの製造方法及び電子機器 | |
JP4626858B2 (ja) | 角速度センサ素子 | |
JP2006112856A (ja) | センサ素子基板、センサ素子基板の製造方法、センサ | |
JP5327579B2 (ja) | 角速度センサ素子 | |
JP2017122679A (ja) | ジャイロ素子及びそれを用いた角速度センサ | |
WO2016067543A1 (ja) | 振動型角速度センサ | |
JP6179074B2 (ja) | モジュールおよび電子機器 | |
JP2006162315A (ja) | 複合センサ | |
JP5353686B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP2010276345A (ja) | 振動型memsセンサ | |
JP2010175376A (ja) | 半導体装置 | |
JP2009058268A (ja) | センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100906 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120509 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120515 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120625 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130314 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130327 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5246470 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160419 Year of fee payment: 3 |