JP2009058268A - センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1端3が外部に固定され、第1端3と対向する第2端4が開放端となり、第1端3と第2端4とを結ぶ方向に振動する第1振動体1と、第3端5が第1端3に固定され、第3端5と対向する第4端6が第2端4と異なる方向に向かって配置された開放端となり、第3端5と第4端6とを結ぶ方向に振動する第2振動体2と、第1振動体1に配置され、第1振動体1の変位を検出する第1検出電極7と、第2振動体2と、を有する。
【選択図】 図1
Description
2:第2振動体
3:第1振動体の第1端
4:第1振動体の第2端
5:第2振動体の第3端
6:第2振動体の第4端
7:第1検出電極
7a,b:第1検出電極対
7c,d:第3検出電極対
8:第2検出電極
8a,b:第2検出電極対
8c,d:第4検出電極対
9:第1振動体の振動方向
10:第2振動体の振動方向
13:第1圧電素子
14a,b:第1駆動電極対
15:第2圧電素子
16a,b:第2駆動電極対
Claims (11)
- 第1端が外部に固定され、前記第1端と対向する第2端が開放端となり、前記第1端と前記第2端とを結ぶ方向に伸縮振動する第1振動体と、
第3端が前記第1端に固定され、前記第3端と対向する第4端が前記第2端と異なる方向に向かって配置された開放端となり、前記第3端と前記第4端とを結ぶ方向に伸縮振動する第2振動体と、
前記第1振動体に配置され、前記第1振動体の変位を検出する第1検出電極と、
前記第2振動体に配置され、前記第2振動体の変位を検出する第2検出電極と、を有するセンサ。 - 前記第1振動体と前記第2振動体とは、その伸縮振動する方向が互いに90°の角度を成すように配置された、請求項1に記載のセンサ。
- 前記第1振動体と前記第2振動体とは、一体形成されている、請求項1または請求項2に記載のセンサ。
- 前記第1振動体に配置され、外部からの駆動信号を与えてこの第1振動体を伸縮振動させる第1圧電素子と、
前記第2振動体に配置され、外部からの駆動信号を与えてこの第2振動体を伸縮振動させる第2圧電素子と、
をさらに含む請求項1乃至3のいずれかに記載のセンサ。 - 前記第1振動体と前記第2振動体とは、圧電材料からなり、前記第1振動体が前記第1圧電素子として機能し、前記第2振動体が前記第2圧電素子として機能する、請求項4に記載のセンサ。
- 前記第1検出電極は、前記第1振動体の振動方向に直交する第1方向に離間して配置された第1検出電極対を含み、
前記第2検出電極は、前記第2振動体の振動方向に直交する第2方向に離間して配置された第2検出電極対を含む、請求項5に記載のセンサ。 - 前記第1検出電極は、前記第1振動体の振動方向及び前記第1方向に直交する第3方向に離間して配置された第3検出電極対をさらに含み、
前記第2検出電極は、前記第2振動体の振動方向及び前記第2方向に直交する第4方向に離間して配置された第4検出電極対をさらに含む、請求項6に記載のセンサ。 - 前記第1振動体に配置され、前記第1振動体に伸縮振動を与えるための駆動信号が印加される第1駆動電極対と、
前記第2振動体に配置され、前記第2振動体に伸縮振動を与えるための駆動信号が印加される第2駆動電極対と、をさらに含み、
前記第1検出電極対は、前記第1駆動電極対として機能し、前記第2検出電極対は、前記第2駆動電極対として機能する、請求項7に記載のセンサ。 - 前記第1検出電極対の一方の電極と前記第3検出電極対を構成する2つの電極とが、前記第1振動体の同一面に配置されており、前記第2検出電極対の一方の電極と前記第4検出電極対を構成する2つの電極とが、前記第2振動体の同一面に配置されている、請求項7または請求項8に記載のセンサ。
- 前記第1検出電極対の一方の電極が、前記第3検出電極対の一方の電極として機能するように一体的に形成され、前記第2検出電極対の一方の電極が、前記第4検出電極対の一方の電極として機能するように一体的に形成された、請求項9に記載のセンサ。
- 前記第1振動体及び前記第2振動体は、その振動方向に垂直な面における断面形状が矩形状であって、前記第1振動体の断面形状において短辺を構成する面に直交する方向と、前記第2振動体の断面形状において短辺を構成する面に直交する方向と、が同一となるように配置されており、
前記第1検出電極対及び前記第2検出電極対は、それぞれの振動体において、前記短辺を構成する面に直交する方向に離間して配置されている、請求項6乃至10のいずれかに記載のセンサ。
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