JPH08304446A - 圧電型変位センサ - Google Patents
圧電型変位センサInfo
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- JPH08304446A JPH08304446A JP13582595A JP13582595A JPH08304446A JP H08304446 A JPH08304446 A JP H08304446A JP 13582595 A JP13582595 A JP 13582595A JP 13582595 A JP13582595 A JP 13582595A JP H08304446 A JPH08304446 A JP H08304446A
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- Japan
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- piezoelectric
- vibrating body
- circuit
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 検出回路をシンプルにすることができる圧電
型変位センサを提供する。 【構成】 圧電型変位センサ１０は、差動増幅回路２６
を含む。差動増幅回路２６は、圧電素子１４ａおよび１
４ｂからの信号の差をとり、増幅するためのものであ
る。差動増幅回路２６の非反転入力端子は、圧電素子１
４ａの電極２０ａに電気的に接続される。差動増幅回路
２６の反転入力端子は、圧電素子１４ｂの電極２０ｂに
電気的に接続される。そして、差動増幅回路２６の出力
端子は、同期検波回路２８の入力端子に接続される。同
期検波回路２８は、差動増幅回路２６からの出力信号を
同期検波するためのものである。この圧電変位センサ１
０では、同期検波回路２８の同期信号と振動体１２の駆
動信号との位相差を９０°にする。
型変位センサを提供する。 【構成】 圧電型変位センサ１０は、差動増幅回路２６
を含む。差動増幅回路２６は、圧電素子１４ａおよび１
４ｂからの信号の差をとり、増幅するためのものであ
る。差動増幅回路２６の非反転入力端子は、圧電素子１
４ａの電極２０ａに電気的に接続される。差動増幅回路
２６の反転入力端子は、圧電素子１４ｂの電極２０ｂに
電気的に接続される。そして、差動増幅回路２６の出力
端子は、同期検波回路２８の入力端子に接続される。同
期検波回路２８は、差動増幅回路２６からの出力信号を
同期検波するためのものである。この圧電変位センサ１
０では、同期検波回路２８の同期信号と振動体１２の駆
動信号との位相差を９０°にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は圧電型変位センサに関
し、特にたとえば、慣性、応力および荷重などを検出す
るための圧電型変位センサに関する。
し、特にたとえば、慣性、応力および荷重などを検出す
るための圧電型変位センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】図４（Ａ）は、この発明の背景となる従
来の圧電型変位センサ１の一例を示す図解図である。こ
の圧電型変位センサ１は、板体２を含む。板体２の長手
方向の一端は固定され、他端には、重り３が取り付けら
れる。また、板体２の両面には、圧電素子４が形成され
る。
来の圧電型変位センサ１の一例を示す図解図である。こ
の圧電型変位センサ１は、板体２を含む。板体２の長手
方向の一端は固定され、他端には、重り３が取り付けら
れる。また、板体２の両面には、圧電素子４が形成され
る。
【０００３】この圧電型変位センサ１は、たとえば加速
度を検出するために用いられる。圧電型変位センサ１
は、板体２の面に直交する向きに加速度が加わると、図
４（Ｂ）に示すように、板体２が撓み変位する。この板
体２の変位により、圧電素子４の容量や共振周波数が変
化する。従来の圧電型変位センサ１としては、この圧電
素子の容量変化や共振周波数を測定することにより、慣
性、応力および荷重などによる振動体の変位を検出する
ものがあった。
度を検出するために用いられる。圧電型変位センサ１
は、板体２の面に直交する向きに加速度が加わると、図
４（Ｂ）に示すように、板体２が撓み変位する。この板
体２の変位により、圧電素子４の容量や共振周波数が変
化する。従来の圧電型変位センサ１としては、この圧電
素子の容量変化や共振周波数を測定することにより、慣
性、応力および荷重などによる振動体の変位を検出する
ものがあった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の圧電型変位センサ１は、圧電素子４の容量変
化や共振周波数を測定するため、複雑な検出回路を必要
とし、回路規模が大きくなってしまうという問題があっ
た。
うな従来の圧電型変位センサ１は、圧電素子４の容量変
化や共振周波数を測定するため、複雑な検出回路を必要
とし、回路規模が大きくなってしまうという問題があっ
た。
【０００５】それゆえに、この発明の主たる目的は、検
出回路をシンプルにすることができる圧電型変位センサ
を提供することである。
出回路をシンプルにすることができる圧電型変位センサ
を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる圧電型
変位センサは、板状の振動体と、振動体の両面に形成さ
れ、振動体を振動させるための駆動用および振動体の変
位に対応した出力を得るための検出用を兼ねる２つの圧
電素子と、圧電素子に接続され、振動体を励振するため
の駆動回路と、圧電素子に接続され、振動体の変位に対
応した信号を検出するための検出回路とを含む圧電型変
位センサであって、２つの圧電素子の共振周波数の変化
により生じる位相差から振動体の変位を検出する、圧電
型変位センサである。
変位センサは、板状の振動体と、振動体の両面に形成さ
れ、振動体を振動させるための駆動用および振動体の変
位に対応した出力を得るための検出用を兼ねる２つの圧
電素子と、圧電素子に接続され、振動体を励振するため
の駆動回路と、圧電素子に接続され、振動体の変位に対
応した信号を検出するための検出回路とを含む圧電型変
位センサであって、２つの圧電素子の共振周波数の変化
により生じる位相差から振動体の変位を検出する、圧電
型変位センサである。
【０００７】また、検出回路は、２つの圧電素子から得
られる信号の差を求めるための差動回路と、差動回路の
出力信号を同期検波するための同期検波回路とを含んで
もよい。この場合には、同期検波回路の同期信号と振動
体の駆動信号との位相差を９０°にすることが好まし
い。
られる信号の差を求めるための差動回路と、差動回路の
出力信号を同期検波するための同期検波回路とを含んで
もよい。この場合には、同期検波回路の同期信号と振動
体の駆動信号との位相差を９０°にすることが好まし
い。
【０００８】また、検出回路は、２つの圧電素子から得
られる信号の和を求めるための和動回路と、和動回路の
出力信号を同期検波するための同期検波回路とを含んで
もよい。この場合には、同期検波回路の同期信号と振動
体の駆動信号との位相差を９０°にすることが好まし
い。
られる信号の和を求めるための和動回路と、和動回路の
出力信号を同期検波するための同期検波回路とを含んで
もよい。この場合には、同期検波回路の同期信号と振動
体の駆動信号との位相差を９０°にすることが好まし
い。
【０００９】
【作用】駆動回路によって、振動体の両面の２つの圧電
素子に駆動信号が印加され、振動体の振動が励振され
る。このとき、２つの圧電素子からは同一振幅の信号が
得られる。したがって、２つの圧電素子からの信号が同
相の場合には、それらの信号の差は０となる。また、２
つの圧電素子からの信号が逆相の場合には、それらの信
号の和は０となる。
素子に駆動信号が印加され、振動体の振動が励振され
る。このとき、２つの圧電素子からは同一振幅の信号が
得られる。したがって、２つの圧電素子からの信号が同
相の場合には、それらの信号の差は０となる。また、２
つの圧電素子からの信号が逆相の場合には、それらの信
号の和は０となる。
【００１０】慣性、応力および荷重などにより振動体が
変位した場合には、振動体の両面の圧電素子の共振周波
数が変化する。共振周波数が変化すると、２つの圧電素
子からの信号に位相差が生じる。検出回路によって、こ
の位相差から振動体の変位を検出する。
変位した場合には、振動体の両面の圧電素子の共振周波
数が変化する。共振周波数が変化すると、２つの圧電素
子からの信号に位相差が生じる。検出回路によって、こ
の位相差から振動体の変位を検出する。
【００１１】２つの圧電素子から得られる信号が同相の
場合には、差動回路によって、振動体の両面の２つの圧
電素子からの信号の差をとる。振動体が変位したとき
に、振動体の駆動信号の共振周波数は、振動体の一方面
の圧電素子の共振周波数と他方面の圧電素子の共振周波
数との和の１／２とほぼ等しい値となる。そして、この
駆動信号と、差動回路から得られる差動信号とには、９
０°の位相差が生じる。そのため、振動体の駆動信号と
の位相差が９０°の同期信号によって、差動回路からの
差動信号を同期検波することにより、振動体の変位に応
じた直流信号が得られる。
場合には、差動回路によって、振動体の両面の２つの圧
電素子からの信号の差をとる。振動体が変位したとき
に、振動体の駆動信号の共振周波数は、振動体の一方面
の圧電素子の共振周波数と他方面の圧電素子の共振周波
数との和の１／２とほぼ等しい値となる。そして、この
駆動信号と、差動回路から得られる差動信号とには、９
０°の位相差が生じる。そのため、振動体の駆動信号と
の位相差が９０°の同期信号によって、差動回路からの
差動信号を同期検波することにより、振動体の変位に応
じた直流信号が得られる。
【００１２】２つの圧電素子から得られる信号が逆相の
場合には、和動回路によって、振動体の両面の２つの圧
電素子からの信号の和をとる。この場合にも、振動体の
駆動信号との位相差が９０°の同期信号によって、和動
信号を同期検波することにより、振動体の変位に応じた
直流信号が得られる。
場合には、和動回路によって、振動体の両面の２つの圧
電素子からの信号の和をとる。この場合にも、振動体の
駆動信号との位相差が９０°の同期信号によって、和動
信号を同期検波することにより、振動体の変位に応じた
直流信号が得られる。
【００１３】
【発明の効果】この発明によれば、振動体の変位に対応
した信号を検出するための検出回路をシンプルにでき
る。また、圧電素子は、周囲温度の変化などによっても
共振周波数が変化するが、この圧電型変位センサは、２
つの圧電素子の相対変化を求めるので、周囲温度の変化
などの影響をうけにくい。さらに、この圧電型変位セン
サは、２つの圧電素子の共振周波数の変化により生じる
位相差から、振動体の変位に応じた出力信号を得るので
感度が高い。
した信号を検出するための検出回路をシンプルにでき
る。また、圧電素子は、周囲温度の変化などによっても
共振周波数が変化するが、この圧電型変位センサは、２
つの圧電素子の相対変化を求めるので、周囲温度の変化
などの影響をうけにくい。さらに、この圧電型変位セン
サは、２つの圧電素子の共振周波数の変化により生じる
位相差から、振動体の変位に応じた出力信号を得るので
感度が高い。
【００１４】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【００１５】
【実施例】図１はこの発明の一実施例としての圧電型変
位センサの一例を示す図解図である。この圧電型変位セ
ンサ１０は、板状の振動体１２を含む。振動体１２は、
たとえばエリンバなどの恒弾性金属材料から形成され
る。振動体１２の両面には、厚み方向に対向するように
して圧電素子１４ａおよび１４ｂが形成される。
位センサの一例を示す図解図である。この圧電型変位セ
ンサ１０は、板状の振動体１２を含む。振動体１２は、
たとえばエリンバなどの恒弾性金属材料から形成され
る。振動体１２の両面には、厚み方向に対向するように
して圧電素子１４ａおよび１４ｂが形成される。
【００１６】圧電素子１４ａは、たとえば圧電セラミッ
クなどで形成される圧電板１６ａを含む。この圧電板１
６ａの両面には、電極１８ａおよび２０ａが形成され
る。圧電板１６ａは、電極２０ａから電極１８ａへ向か
って分極される。そして、一方の電極１８ａは、振動体
１２の一方面に接着される。同様に、圧電素子１４ｂ
は、たとえば圧電セラミックなどで形成される圧電板１
６ｂを含む。この圧電板１６ｂの両面には、電極１８ｂ
および２０ｂが形成される。圧電板１６ｂは、電極２０
ｂから電極１８ｂへ向かって分極される。そして、一方
の電極１８ｂは、振動体１２の他方面に接着される。振
動体１２と電極１８ａおよび１８ｂとは、電気的に接続
される。
クなどで形成される圧電板１６ａを含む。この圧電板１
６ａの両面には、電極１８ａおよび２０ａが形成され
る。圧電板１６ａは、電極２０ａから電極１８ａへ向か
って分極される。そして、一方の電極１８ａは、振動体
１２の一方面に接着される。同様に、圧電素子１４ｂ
は、たとえば圧電セラミックなどで形成される圧電板１
６ｂを含む。この圧電板１６ｂの両面には、電極１８ｂ
および２０ｂが形成される。圧電板１６ｂは、電極２０
ｂから電極１８ｂへ向かって分極される。そして、一方
の電極１８ｂは、振動体１２の他方面に接着される。振
動体１２と電極１８ａおよび１８ｂとは、電気的に接続
される。
【００１７】圧電型変位センサ１０は、駆動回路として
の発振回路２２を含む。この実施例の発振回路２２は、
圧電素子１４ａおよび１４ｂに同相の駆動信号を印加す
るためのものである。発振回路２２の一方端子は、振動
体１２に電気的に接続され、他方端子は、抵抗２４ａお
よび２４ｂを介して、電極２０ａおよび２０ｂに電気的
に接続される。
の発振回路２２を含む。この実施例の発振回路２２は、
圧電素子１４ａおよび１４ｂに同相の駆動信号を印加す
るためのものである。発振回路２２の一方端子は、振動
体１２に電気的に接続され、他方端子は、抵抗２４ａお
よび２４ｂを介して、電極２０ａおよび２０ｂに電気的
に接続される。
【００１８】また、圧電型変位センサ１０は、検出回路
としての差動増幅回路２６を含む。差動増幅回路２６
は、圧電素子１４ａおよび１４ｂからの信号の差をと
り、増幅するためのものである。なお、この実施例の圧
電型変位センサ１０では、圧電素子１４ａおよび１４ｂ
が厚み方向に対向するように分極され、発振回路２２に
よって同相の駆動信号が印加されるため、圧電素子１４
ａおよび１４ｂからは同相の信号が得られる。
としての差動増幅回路２６を含む。差動増幅回路２６
は、圧電素子１４ａおよび１４ｂからの信号の差をと
り、増幅するためのものである。なお、この実施例の圧
電型変位センサ１０では、圧電素子１４ａおよび１４ｂ
が厚み方向に対向するように分極され、発振回路２２に
よって同相の駆動信号が印加されるため、圧電素子１４
ａおよび１４ｂからは同相の信号が得られる。
【００１９】差動増幅回路２６の非反転入力端子は、電
極２０ａに電気的に接続される。差動増幅回路２６の反
転入力端子は、電極２０ｂに電気的に接続される。そし
て、差動増幅回路２６の出力端子は、同期検波回路２８
の入力端子に接続される。同期検波回路２８は、差動増
幅回路２６からの出力信号を同期検波するためのもので
ある。同期検波回路２８の出力端子は、平滑回路３０の
入力端子に接続される。平滑回路３０は、同期検波回路
２８の出力信号を平滑するためのものである。さらに、
平滑回路３０の出力端子は、直流増幅回路３２の入力端
子に接続される。直流増幅回路３２は、平滑回路３０に
よって平滑された出力信号を増幅するためのものであ
る。
極２０ａに電気的に接続される。差動増幅回路２６の反
転入力端子は、電極２０ｂに電気的に接続される。そし
て、差動増幅回路２６の出力端子は、同期検波回路２８
の入力端子に接続される。同期検波回路２８は、差動増
幅回路２６からの出力信号を同期検波するためのもので
ある。同期検波回路２８の出力端子は、平滑回路３０の
入力端子に接続される。平滑回路３０は、同期検波回路
２８の出力信号を平滑するためのものである。さらに、
平滑回路３０の出力端子は、直流増幅回路３２の入力端
子に接続される。直流増幅回路３２は、平滑回路３０に
よって平滑された出力信号を増幅するためのものであ
る。
【００２０】次に、この圧電型変位センサ１０の使用状
態を説明する。圧電型変位センサ１０を使用する際に
は、振動体１２の一端は、支持部材（図示せず）により
固定される。そして、発振回路２２によって、同相の駆
動信号が圧電素子１４ａおよび１４ｂに印加される。す
ると、圧電素子１４ａおよび１４ｂは、互いに対向する
ように形成されているため、振動体１２は長さ方向に振
動する。
態を説明する。圧電型変位センサ１０を使用する際に
は、振動体１２の一端は、支持部材（図示せず）により
固定される。そして、発振回路２２によって、同相の駆
動信号が圧電素子１４ａおよび１４ｂに印加される。す
ると、圧電素子１４ａおよび１４ｂは、互いに対向する
ように形成されているため、振動体１２は長さ方向に振
動する。
【００２１】振動体１２が振動することによって、振動
体１２に慣性が与えられる。この状態において、圧電素
子１４ａの共振周波数をｆ1 とし、圧電素子１４ｂの共
振周波数をｆ2 とすると、振動体１２の駆動信号の共振
周波数は、（ｆ1 ＋ｆ2 ）／２となる。振動体１２が撓
み変位していないときには、圧電素子１４ａの共振周波
数ｆ1 と圧電素子１４ｂの共振周波数ｆ2 とが等しくな
り、位相差は生じない。そのため、圧電素子１４ａおよ
び１４ｂからの信号の差は０である。
体１２に慣性が与えられる。この状態において、圧電素
子１４ａの共振周波数をｆ1 とし、圧電素子１４ｂの共
振周波数をｆ2 とすると、振動体１２の駆動信号の共振
周波数は、（ｆ1 ＋ｆ2 ）／２となる。振動体１２が撓
み変位していないときには、圧電素子１４ａの共振周波
数ｆ1 と圧電素子１４ｂの共振周波数ｆ2 とが等しくな
り、位相差は生じない。そのため、圧電素子１４ａおよ
び１４ｂからの信号の差は０である。
【００２２】振動体１２に慣性が与えられた状態で、振
動体１２の面に直交する方向にたとえば加速度が加わる
と、図２に示すように、振動体１２が撓み変位する。こ
の変位により、圧電素子１４ａおよび１４ｂの共振周波
数が変化する。そして、図３において、圧電素子１４ａ
の共振周波数ｆ1 の信号を破線で示し、圧電素子１４ａ
の共振周波数ｆ2 の信号を一点鎖線で示すと、振動体１
２の駆動信号は実線で示すようになる。
動体１２の面に直交する方向にたとえば加速度が加わる
と、図２に示すように、振動体１２が撓み変位する。こ
の変位により、圧電素子１４ａおよび１４ｂの共振周波
数が変化する。そして、図３において、圧電素子１４ａ
の共振周波数ｆ1 の信号を破線で示し、圧電素子１４ａ
の共振周波数ｆ2 の信号を一点鎖線で示すと、振動体１
２の駆動信号は実線で示すようになる。
【００２３】圧電素子１４ａおよび１４ｂの共振周波数
が変化することにより、圧電素子１４ａの信号と、圧電
素子１４ｂの信号との間には、図３に示すように、位相
差が生じる。そのため、差動増幅回路２６によって、圧
電素子１４ａの信号と圧電素子１４ｂの信号との差動信
号を得ることができる。図３に示すように、この差動信
号と振動体１２の駆動信号とには、９０°の位相差が生
じる。したがって、振動体１２の駆動信号と同期検波回
路２８の同期信号との位相差を９０°にすることによ
り、差動増幅回路２６からの出力信号を同期検波するこ
とができる。
が変化することにより、圧電素子１４ａの信号と、圧電
素子１４ｂの信号との間には、図３に示すように、位相
差が生じる。そのため、差動増幅回路２６によって、圧
電素子１４ａの信号と圧電素子１４ｂの信号との差動信
号を得ることができる。図３に示すように、この差動信
号と振動体１２の駆動信号とには、９０°の位相差が生
じる。したがって、振動体１２の駆動信号と同期検波回
路２８の同期信号との位相差を９０°にすることによ
り、差動増幅回路２６からの出力信号を同期検波するこ
とができる。
【００２４】そして、同期検波回路２８の出力信号を平
滑回路３０によって平滑し、直流増幅回路３２によって
増幅することにより、振動体１２の変位に応じた出力を
直流信号として得ることができる。
滑回路３０によって平滑し、直流増幅回路３２によって
増幅することにより、振動体１２の変位に応じた出力を
直流信号として得ることができる。
【００２５】このように、この実施例の圧電型変位セン
サ１０によれば、振動体１２の変位に対応した信号を検
出するための検出回路をシンプルにできる。また、この
圧電型変位センサ１０は、振動体１２の両面の圧電素子
１４ａおよび１４ｂからの２つの信号の差をとることに
より、圧電素子１４ａおよび１４ｂの共振周波数の相対
変化を求めるので、周囲温度の変化などの影響をうけに
くい。さらに、この圧電型変位センサ１０は、２つの圧
電素子１４ａおよび１４ｂの共振周波数の変化により生
じる位相差から、振動体１２の変位に応じた出力信号を
得るので感度が高い。
サ１０によれば、振動体１２の変位に対応した信号を検
出するための検出回路をシンプルにできる。また、この
圧電型変位センサ１０は、振動体１２の両面の圧電素子
１４ａおよび１４ｂからの２つの信号の差をとることに
より、圧電素子１４ａおよび１４ｂの共振周波数の相対
変化を求めるので、周囲温度の変化などの影響をうけに
くい。さらに、この圧電型変位センサ１０は、２つの圧
電素子１４ａおよび１４ｂの共振周波数の変化により生
じる位相差から、振動体１２の変位に応じた出力信号を
得るので感度が高い。
【００２６】なお、圧電素子１４ａおよび１４ｂから得
られる信号が逆相の場合には、差動増幅回路２６のかわ
りに和動増幅回路を用いることにより、同様の効果を得
ることができる。
られる信号が逆相の場合には、差動増幅回路２６のかわ
りに和動増幅回路を用いることにより、同様の効果を得
ることができる。
【００２７】また、圧電変位センサ１０は、長さ振動を
励振することに限らず、屈曲モード以外の振動（たとえ
ば拡がり振動、厚み振動、厚みすべり振動など）を励振
するようにしてもよい。この場合、圧電素子１４ａおよ
び１４ｂは、励振する振動モードに応じた方向に分極す
ればよい。
励振することに限らず、屈曲モード以外の振動（たとえ
ば拡がり振動、厚み振動、厚みすべり振動など）を励振
するようにしてもよい。この場合、圧電素子１４ａおよ
び１４ｂは、励振する振動モードに応じた方向に分極す
ればよい。
【００２８】さらに、振動体１２は、長手方向の一端部
で支持されることに限らず、励振される振動モードによ
り最適な位置で支持すればよい。
で支持されることに限らず、励振される振動モードによ
り最適な位置で支持すればよい。
【００２９】また、振動体１２の変位を大きくするため
に、重りを振動体１２の適宜の箇所に固着してもよい。
に、重りを振動体１２の適宜の箇所に固着してもよい。
【図１】この発明の一実施例としての圧電型変位センサ
の一例を示す図解図である。
の一例を示す図解図である。
【図２】図１に示す圧電型変位センサの振動体が変位し
た状態を示す図解図である。
た状態を示す図解図である。
【図３】図１に示す圧電型変位センサの駆動信号と差動
信号との関係を示す波形図である。
信号との関係を示す波形図である。
【図４】（Ａ）は、従来の圧電型変位センサの一例を示
す図解図であり、（Ｂ）はその圧電型変位センサの振動
体が変位した状態を示す図解図である。
す図解図であり、（Ｂ）はその圧電型変位センサの振動
体が変位した状態を示す図解図である。
１０ 圧電型変位センサ １２ 振動体 １４ａ，１４ｂ 圧電素子 １６ａ，１６ｂ 圧電板 １８ａ，１８ｂ 電極 ２０ａ，２０ｂ 電極 ２２ 発振回路 ２４ａ，２４ｂ 抵抗 ２６ 差動増幅回路 ２８ 同期検波回路 ３０ 平滑回路 ３２ 直流増幅回路
Claims (3)
- 【請求項１】 板状の振動体、 前記振動体の両面に形成され、前記振動体を振動させる
ための駆動用および前記振動体の変位に対応した出力を
得るための検出用を兼ねる２つの圧電素子、 前記圧電素子に接続され、前記振動体を励振するための
駆動回路、および前記圧電素子に接続され、前記振動体
の変位に対応した信号を検出するための検出回路を含む
圧電型変位センサであって、 ２つの前記圧電素子の共振周波数の変化により生じる位
相差から前記振動体の変位を検出する、圧電型変位セン
サ。 - 【請求項２】 前記検出回路は、前記２つの圧電素子か
ら得られる信号の差を求めるための差動回路、および前
記差動回路の出力信号を同期検波するための同期検波回
路を含み、 前記同期検波回路の同期信号と前記振動体の駆動信号と
の位相差を９０°にした、請求項１に記載の圧電型変位
センサ。 - 【請求項３】 前記検出回路は、前記２つの圧電素子か
ら得られる信号の和を求めるための和動回路、および前
記和動回路の出力信号を同期検波するための同期検波回
路を含み、 前記同期検波回路の同期信号と前記振動体の駆動信号と
の位相差を９０°にした、請求項１に記載の圧電型変位
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13582595A JPH08304446A (ja) | 1995-05-08 | 1995-05-08 | 圧電型変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13582595A JPH08304446A (ja) | 1995-05-08 | 1995-05-08 | 圧電型変位センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08304446A true JPH08304446A (ja) | 1996-11-22 |
Family
ID=15160679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13582595A Pending JPH08304446A (ja) | 1995-05-08 | 1995-05-08 | 圧電型変位センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08304446A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007171059A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Univ Nagoya | センサ装置 |
| JP2008076166A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Epson Toyocom Corp | 速度センサおよびその調整方法 |
| JP2009058268A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Kyocera Corp | センサ |
| JP2023500772A (ja) * | 2019-11-28 | 2023-01-11 | ティーディーケイ・エレクトロニクス・アクチェンゲゼルシャフト | ２チャンネル検出器 |
-
1995
- 1995-05-08 JP JP13582595A patent/JPH08304446A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007171059A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Univ Nagoya | センサ装置 |
| JP2008076166A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Epson Toyocom Corp | 速度センサおよびその調整方法 |
| JP2009058268A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Kyocera Corp | センサ |
| JP2023500772A (ja) * | 2019-11-28 | 2023-01-11 | ティーディーケイ・エレクトロニクス・アクチェンゲゼルシャフト | ２チャンネル検出器 |
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