JPH09170927A - 振動型角速度検出装置 - Google Patents
振動型角速度検出装置Info
- Publication number
- JPH09170927A JPH09170927A JP7333559A JP33355995A JPH09170927A JP H09170927 A JPH09170927 A JP H09170927A JP 7333559 A JP7333559 A JP 7333559A JP 33355995 A JP33355995 A JP 33355995A JP H09170927 A JPH09170927 A JP H09170927A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- angular velocity
- circuit
- correction
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
- G01C19/5614—Signal processing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/028—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure
- G01D3/036—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves
- G01D3/0365—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves the undesired influence being measured using a separate sensor, which produces an influence related signal
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 温度センサを用いることなく角速度信号の温
度補正を精度よく行う。 【解決手段】 振動体に、駆動用圧電素子３０ａ、３０
ｂ、検出用圧電素子４０ａ、４０ｂ、振動参照用圧電素
子５０ａ、５０ｂを設け、振動参照用圧電素子５０ａ、
５０ｂの出力信号により、増幅回路７０、位相回路８
０、整流回路９０、基準電圧発生回路１００、差動増幅
回路１１０、掛算回路１２０を用いて、駆動用圧電素子
３０ａ、３０ｂに駆動電圧を印加する帰還制御ループを
構成し、振動体を一定振幅で振動させる。また、振動体
の振動時の検出用圧電素子４０ａ、４０ｂの出力信号に
より、角速度信号が出力される。ここで、差動増幅回路
１１０の出力電圧は振動体の温度に対応した信号とな
り、この信号を用いて補正信号作成回路１６０にて補正
信号を作成し、加算回路１７０にて角速度信号とその補
正信号を加算することにより、角速度信号の温度補正を
行う。
度補正を精度よく行う。 【解決手段】 振動体に、駆動用圧電素子３０ａ、３０
ｂ、検出用圧電素子４０ａ、４０ｂ、振動参照用圧電素
子５０ａ、５０ｂを設け、振動参照用圧電素子５０ａ、
５０ｂの出力信号により、増幅回路７０、位相回路８
０、整流回路９０、基準電圧発生回路１００、差動増幅
回路１１０、掛算回路１２０を用いて、駆動用圧電素子
３０ａ、３０ｂに駆動電圧を印加する帰還制御ループを
構成し、振動体を一定振幅で振動させる。また、振動体
の振動時の検出用圧電素子４０ａ、４０ｂの出力信号に
より、角速度信号が出力される。ここで、差動増幅回路
１１０の出力電圧は振動体の温度に対応した信号とな
り、この信号を用いて補正信号作成回路１６０にて補正
信号を作成し、加算回路１７０にて角速度信号とその補
正信号を加算することにより、角速度信号の温度補正を
行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動型角速度検出
装置に関する。
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の装置として、特公平６ー
５６３００号公報に示す「振動型角速度検出装置」があ
る。このものの構成を図５、図６に示す。図５は振動型
角速度検出装置の振動子の外観図、図６はその電気回路
図である。振動型角速度検出装置は、図５に示すよう
に、直方体形状の金属基体１０と、金属からなる振動体
２０と、圧電素子３０ａ、３０ｂ、４０ａ、４０ｂ、５
０ａ、５０ｂとを備えている。
５６３００号公報に示す「振動型角速度検出装置」があ
る。このものの構成を図５、図６に示す。図５は振動型
角速度検出装置の振動子の外観図、図６はその電気回路
図である。振動型角速度検出装置は、図５に示すよう
に、直方体形状の金属基体１０と、金属からなる振動体
２０と、圧電素子３０ａ、３０ｂ、４０ａ、４０ｂ、５
０ａ、５０ｂとを備えている。
【０００３】振動体２０は、音叉構造となっており、短
冊状の平板からなる一対の振動板２１、２２と、これら
とそれぞれ直交するように形成された短冊状の平板から
なる一対の振動板２３、２４により構成されている。ま
た、振動板２１、２２は、基部２５により支えられてお
り、基部２５を基準として振動する。振動板２１、２２
には駆動用圧電素子３０ａ、３０ｂが固着されており、
振動板２３、２４には検出用圧電素子４０ａ、４０ｂが
固着されている。駆動用圧電素子３０ａ、３０ｂに交流
電圧が印加されると、基部２５を基準として振動板２
１、２２が図の左右方向に対称振動する。この時、角速
度ωが生じると、コリオリの力を受けて振動板２３、２
４が紙面に垂直方向に振動する。
冊状の平板からなる一対の振動板２１、２２と、これら
とそれぞれ直交するように形成された短冊状の平板から
なる一対の振動板２３、２４により構成されている。ま
た、振動板２１、２２は、基部２５により支えられてお
り、基部２５を基準として振動する。振動板２１、２２
には駆動用圧電素子３０ａ、３０ｂが固着されており、
振動板２３、２４には検出用圧電素子４０ａ、４０ｂが
固着されている。駆動用圧電素子３０ａ、３０ｂに交流
電圧が印加されると、基部２５を基準として振動板２
１、２２が図の左右方向に対称振動する。この時、角速
度ωが生じると、コリオリの力を受けて振動板２３、２
４が紙面に垂直方向に振動する。
【０００４】なお、振動板２１、２２には、振動参照用
圧電素子５０ａ、５０ｂが固着されており、振動板２
１、２２の振動に応じた信号を出力する。図６におい
て、振動参照用圧電素子５０ａ、５０ｂの出力信号は増
幅回路７０にて増幅され、その増幅電圧は移相回路８０
にて９０°移相される。この移相された電圧は掛算回路
１２０を介して駆動用圧電素子３０ａ、３０ｂに印加さ
れる。駆動用圧電素子３０ａ、３０ｂはその電圧を受け
て振動板２１、２２を振動させ、振動参照用圧電素子５
０ａ、５０ｂはその振動に応じた信号を出力する。従っ
て、上記した帰還ループにより振動体２０の機械的共振
点で自励発振し、駆動用圧電素子３０ａ、３０ｂに交流
信号が印加され、振動板２１、２２が対称振動する。つ
まり、振動体２０が音叉振動する。
圧電素子５０ａ、５０ｂが固着されており、振動板２
１、２２の振動に応じた信号を出力する。図６におい
て、振動参照用圧電素子５０ａ、５０ｂの出力信号は増
幅回路７０にて増幅され、その増幅電圧は移相回路８０
にて９０°移相される。この移相された電圧は掛算回路
１２０を介して駆動用圧電素子３０ａ、３０ｂに印加さ
れる。駆動用圧電素子３０ａ、３０ｂはその電圧を受け
て振動板２１、２２を振動させ、振動参照用圧電素子５
０ａ、５０ｂはその振動に応じた信号を出力する。従っ
て、上記した帰還ループにより振動体２０の機械的共振
点で自励発振し、駆動用圧電素子３０ａ、３０ｂに交流
信号が印加され、振動板２１、２２が対称振動する。つ
まり、振動体２０が音叉振動する。
【０００５】また、増幅回路７０の出力電圧は、整流回
路９０にて整流され、差動増幅回路１１０の反転入力端
子に入力される。一方、基準電圧発生回路１００から、
振動体２１、２２を一定振幅で対称振動させるために設
定された基準電圧が差動増幅回路１１０の非反転入力端
子に入力される。差動増幅回路１１０は、両入力電圧の
差電圧を出力し、掛算回路１２０に出力する。そして、
掛算回路１２０にて上記９０°移相された電圧と差動増
幅回路１１０から出力された差電圧を掛算し、その結果
の電圧を駆動用圧電素子３０ａ、３０ｂに出力する。
路９０にて整流され、差動増幅回路１１０の反転入力端
子に入力される。一方、基準電圧発生回路１００から、
振動体２１、２２を一定振幅で対称振動させるために設
定された基準電圧が差動増幅回路１１０の非反転入力端
子に入力される。差動増幅回路１１０は、両入力電圧の
差電圧を出力し、掛算回路１２０に出力する。そして、
掛算回路１２０にて上記９０°移相された電圧と差動増
幅回路１１０から出力された差電圧を掛算し、その結果
の電圧を駆動用圧電素子３０ａ、３０ｂに出力する。
【０００６】上記構成において、振動板２１、２２の振
動が大きくなると、増幅回路７０の出力電圧が大きくな
り、整流回路９０の出力電圧も大きくなる。その結果、
差動増幅回路１１０の出力電圧および掛算回路１２０の
出力電圧が小さくなり、振動板２１、２２の振動を小さ
くするようにする。同様に、振動板２１、２２の振動が
小さくなった時には、振動板２１、２２の振動を大きく
するようにする。従って、増幅回路７０の出力電圧の振
幅を一定の大きさにするように帰還制御が行われ、振動
板２１、２２の振動振幅を一定の大きさにする。
動が大きくなると、増幅回路７０の出力電圧が大きくな
り、整流回路９０の出力電圧も大きくなる。その結果、
差動増幅回路１１０の出力電圧および掛算回路１２０の
出力電圧が小さくなり、振動板２１、２２の振動を小さ
くするようにする。同様に、振動板２１、２２の振動が
小さくなった時には、振動板２１、２２の振動を大きく
するようにする。従って、増幅回路７０の出力電圧の振
幅を一定の大きさにするように帰還制御が行われ、振動
板２１、２２の振動振幅を一定の大きさにする。
【０００７】また、検出用圧電素子４０ａ、４０ｂから
は角速度ωに応じた信号が出力される。この出力信号
は、同期検波回路１３０にて同期検波され、ローパスフ
ィルタ回路１４０を介し増幅回路１５０にて増幅され、
角速度信号として出力される。なお、振動参照用圧電素
子５０ａ、５０ｂおよび検出用圧電素子４０ａ、４０ｂ
は、同一の温度特性を有しており、また各増幅回路６
０、７０も同一の温度特性を有している。このことによ
り、振動体２０の温度が変化しても、増幅回路７０の出
力信号の振幅が一定になるように制御されるため、増幅
回路６０の出力信号も温度変化に対し安定化されること
になる。従って、温度変化によるオフセット量（角速度
ωが０の時の角速度信号）の変動を抑制することができ
る。
は角速度ωに応じた信号が出力される。この出力信号
は、同期検波回路１３０にて同期検波され、ローパスフ
ィルタ回路１４０を介し増幅回路１５０にて増幅され、
角速度信号として出力される。なお、振動参照用圧電素
子５０ａ、５０ｂおよび検出用圧電素子４０ａ、４０ｂ
は、同一の温度特性を有しており、また各増幅回路６
０、７０も同一の温度特性を有している。このことによ
り、振動体２０の温度が変化しても、増幅回路７０の出
力信号の振幅が一定になるように制御されるため、増幅
回路６０の出力信号も温度変化に対し安定化されること
になる。従って、温度変化によるオフセット量（角速度
ωが０の時の角速度信号）の変動を抑制することができ
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記した構成によれ
ば、振動体２０の温度変化によるオフセット量の変動を
かなり抑制することができるが、製造工程上、各圧電素
子および各増幅回路の温度特性を全く同一にするのは不
可能であり、その抑制ではまだ不十分であることが判明
した。
ば、振動体２０の温度変化によるオフセット量の変動を
かなり抑制することができるが、製造工程上、各圧電素
子および各増幅回路の温度特性を全く同一にするのは不
可能であり、その抑制ではまだ不十分であることが判明
した。
【０００９】一方、振動体の温度変化に対して角速度信
号の温度補正を行うものが、特開平５ー２６４２８０号
公報あるいは特開平５ー２９６７７１号公報に開示され
ている。このものでは、振動体の近傍に温度センサを設
け、温度に応じた直流電圧を角速度信号に加算すること
により、温度補正を行っている。しかしながら、振動体
の近傍に温度センサを設置しても、振動体の温度と温度
センサの検出温度に差が生じてしまい、正確なる温度補
正を行うことができないという問題がある。
号の温度補正を行うものが、特開平５ー２６４２８０号
公報あるいは特開平５ー２９６７７１号公報に開示され
ている。このものでは、振動体の近傍に温度センサを設
け、温度に応じた直流電圧を角速度信号に加算すること
により、温度補正を行っている。しかしながら、振動体
の近傍に温度センサを設置しても、振動体の温度と温度
センサの検出温度に差が生じてしまい、正確なる温度補
正を行うことができないという問題がある。
【００１０】本発明は上記問題に鑑みたもので、温度セ
ンサを用いることなく角速度信号の温度補正を精度よく
行うことを目的とする。
ンサを用いることなく角速度信号の温度補正を精度よく
行うことを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明者等は、図５、図６に示す構成において、差
動増幅回路１１０の出力電圧が、振動体２０の温度に対
応した信号であることに着目し、その信号を用いて角速
度信号の温度補正を行うことを検討した。上記した駆動
用圧電素子３０ａ、３０ｂおよび振動参照用圧電素子５
０ａ、５０ｂは、その電気ー機械変換係数（その逆の機
械ー電気変換係数も含む）に温度特性を有する。従っ
て、温度変化により振動体２０の振動振幅が増大した場
合、振動参照用圧電素子５０ａ、５０ｂの出力を増幅回
路７０で増幅した交流電圧が増大する。このことによ
り、増幅回路７０の出力電圧を整流した電圧も増大し、
その電圧を基準電圧から引いた差動増幅回路１１０の出
力電圧は減少する。また、温度変化により振動体２０の
振動振幅が減少した場合には、全く逆の電圧変化が発生
し、差動増幅回路１１０の出力電圧は増大する。
め、本発明者等は、図５、図６に示す構成において、差
動増幅回路１１０の出力電圧が、振動体２０の温度に対
応した信号であることに着目し、その信号を用いて角速
度信号の温度補正を行うことを検討した。上記した駆動
用圧電素子３０ａ、３０ｂおよび振動参照用圧電素子５
０ａ、５０ｂは、その電気ー機械変換係数（その逆の機
械ー電気変換係数も含む）に温度特性を有する。従っ
て、温度変化により振動体２０の振動振幅が増大した場
合、振動参照用圧電素子５０ａ、５０ｂの出力を増幅回
路７０で増幅した交流電圧が増大する。このことによ
り、増幅回路７０の出力電圧を整流した電圧も増大し、
その電圧を基準電圧から引いた差動増幅回路１１０の出
力電圧は減少する。また、温度変化により振動体２０の
振動振幅が減少した場合には、全く逆の電圧変化が発生
し、差動増幅回路１１０の出力電圧は増大する。
【００１２】従って、差動増幅回路１１０の出力電圧を
監視すれば、振動体２０の温度変化を知ることができ
る。図７に、振動体２０の温度を−３０〜６５℃まで変
化させた時の差動増幅回路１１０の出力電圧を測定した
結果を示す。この図から、差動増幅回路１１０の出力電
圧は、振動体２０の温度とほぼ比例関係にあることが分
かる。
監視すれば、振動体２０の温度変化を知ることができ
る。図７に、振動体２０の温度を−３０〜６５℃まで変
化させた時の差動増幅回路１１０の出力電圧を測定した
結果を示す。この図から、差動増幅回路１１０の出力電
圧は、振動体２０の温度とほぼ比例関係にあることが分
かる。
【００１３】本発明は上記検討を基になされたもので、
請求項１に記載の発明においては、振動参照用圧電素子
の出力信号に基づき、振動体を一定の振幅で振動させる
ように駆動用圧電素子に駆動電圧を出力する場合の、振
動参照用圧電素子の出力信号を用いて、角速度信号を温
度補正するようにしたことを特徴としている。従って、
温度センサを用いることなく、角速度信号の温度補正を
精度よく行うことができる。
請求項１に記載の発明においては、振動参照用圧電素子
の出力信号に基づき、振動体を一定の振幅で振動させる
ように駆動用圧電素子に駆動電圧を出力する場合の、振
動参照用圧電素子の出力信号を用いて、角速度信号を温
度補正するようにしたことを特徴としている。従って、
温度センサを用いることなく、角速度信号の温度補正を
精度よく行うことができる。
【００１４】請求項２に記載の発明においては、帰還制
御手段を、振動参照用圧電素子の出力信号を増幅する増
幅回路、その出力を整流する整流回路、整流電圧と基準
電圧との差電圧を出力する差動増幅回路を有して構成
し、この場合の差動増幅手段の出力を用いて角速度信号
を温度補正するようにしたことを特徴としている。この
ように差動増幅回路の出力電圧を用いた場合、振動体の
温度に関する信号を大きく取ることができるため、温度
補正を行いやすくすることができる。
御手段を、振動参照用圧電素子の出力信号を増幅する増
幅回路、その出力を整流する整流回路、整流電圧と基準
電圧との差電圧を出力する差動増幅回路を有して構成
し、この場合の差動増幅手段の出力を用いて角速度信号
を温度補正するようにしたことを特徴としている。この
ように差動増幅回路の出力電圧を用いた場合、振動体の
温度に関する信号を大きく取ることができるため、温度
補正を行いやすくすることができる。
【００１５】上記した温度補正を行う補正手段として
は、請求項３に記載の発明のように、振動体の温度変化
による角速度信号の変動を相殺する補正信号を作成する
補正信号作成回路と、補正信号を角速度信号に加算する
加算回路を有して構成することができる。この場合、補
正信号作成回路は、請求項４に記載の発明のように、振
動体の温度変化に対して角速度信号が変動する方向と逆
方向に変動する補正方向信号を出力する補正方向信号出
力回路と、この出力された補正方向信号の利得を設定す
る利得可変増幅回路とを有して構成するようにすれば、
装置毎に、角速度信号の変動方向および大きさを個別に
調整することができる。
は、請求項３に記載の発明のように、振動体の温度変化
による角速度信号の変動を相殺する補正信号を作成する
補正信号作成回路と、補正信号を角速度信号に加算する
加算回路を有して構成することができる。この場合、補
正信号作成回路は、請求項４に記載の発明のように、振
動体の温度変化に対して角速度信号が変動する方向と逆
方向に変動する補正方向信号を出力する補正方向信号出
力回路と、この出力された補正方向信号の利得を設定す
る利得可変増幅回路とを有して構成するようにすれば、
装置毎に、角速度信号の変動方向および大きさを個別に
調整することができる。
【００１６】また、補正方向信号は、請求項５に記載の
発明のように、振動参照用圧電素子の出力信号に基づい
て作成された複数の補正方向信号のいずれかを選択する
ことにより設定することができる。
発明のように、振動参照用圧電素子の出力信号に基づい
て作成された複数の補正方向信号のいずれかを選択する
ことにより設定することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】図１に、本発明の一実施形態を示
す振動型角速度検出装置の電気回路構成を示す。補正信
号作成回路１６０と加算回路１７０を付加した点を除
き、他の構成は図６に示すものと同じである。また、振
動子の外観構成は図５に示すものと同じである。
す振動型角速度検出装置の電気回路構成を示す。補正信
号作成回路１６０と加算回路１７０を付加した点を除
き、他の構成は図６に示すものと同じである。また、振
動子の外観構成は図５に示すものと同じである。
【００１８】差動増幅回路１１０の出力電圧は、図７に
示すように振動体２０の温度とほぼ比例関係にあるた
め、補正信号作成回路１６０は、差動増幅回路１１０の
出力電圧を用いて、温度補正するための補正信号を作成
する。加算回路１７０は、増幅回路１５０からの角速度
信号と補正信号作成回路１６０からの補正信号を加算
し、温度補正した角速度信号を出力する。
示すように振動体２０の温度とほぼ比例関係にあるた
め、補正信号作成回路１６０は、差動増幅回路１１０の
出力電圧を用いて、温度補正するための補正信号を作成
する。加算回路１７０は、増幅回路１５０からの角速度
信号と補正信号作成回路１６０からの補正信号を加算
し、温度補正した角速度信号を出力する。
【００１９】ここで、角速度ωが０の時（無回転時）に
増幅回路１５０から出力される角速度信号は、温度変化
に対し一義的に変化せず、図２（ａ）〜（ｄ）に示すよ
うなパターンで変化する。（ａ）は温度の上昇に対し角
速度信号が単調増加するパターン、（ｂ）は温度の上昇
に対し角速度信号が単調減少するパターン、（ｃ）、
（ｄ）は温度の上昇に対し角速度信号が増減変化するパ
ターンである。
増幅回路１５０から出力される角速度信号は、温度変化
に対し一義的に変化せず、図２（ａ）〜（ｄ）に示すよ
うなパターンで変化する。（ａ）は温度の上昇に対し角
速度信号が単調増加するパターン、（ｂ）は温度の上昇
に対し角速度信号が単調減少するパターン、（ｃ）、
（ｄ）は温度の上昇に対し角速度信号が増減変化するパ
ターンである。
【００２０】そこで、それぞれのパターンに応じて補正
信号が作成できるように補正信号作成回路１６０が構成
されている。図３に、補正信号作成回路１６０の具体的
な構成を示す。補正信号作成回路１６０は、振動体２０
の温度変化に対して角速度信号が変動する方向と逆方向
に変動する補正方向信号を出力する補正方向信号出力回
路１６１と、この出力された補正方向信号の利得を設定
する利得可変増幅回路１６２とから構成されている。
信号が作成できるように補正信号作成回路１６０が構成
されている。図３に、補正信号作成回路１６０の具体的
な構成を示す。補正信号作成回路１６０は、振動体２０
の温度変化に対して角速度信号が変動する方向と逆方向
に変動する補正方向信号を出力する補正方向信号出力回
路１６１と、この出力された補正方向信号の利得を設定
する利得可変増幅回路１６２とから構成されている。
【００２１】補正方向信号出力回路１６１は、差動増幅
回路１１０の出力電圧により振動体の温度変化に対して
変動方向が異なる複数の補正方向信号を作成する回路１
６１ａと、この回路１６１ａの出力を選択するスイッチ
回路１６１ｂとから構成されている。具体的には、回路
１６１ａは、反転増幅器１６１１ａを有し、反転増幅器
１６１１ａにて反転増幅された信号Ａと、ＧＮＤに接続
された信号Ｂと、差動増幅回路１１０の出力信号Ｃを出
力し、スイッチ回路１６１ｂはそのいずれかを選択す
る。
回路１１０の出力電圧により振動体の温度変化に対して
変動方向が異なる複数の補正方向信号を作成する回路１
６１ａと、この回路１６１ａの出力を選択するスイッチ
回路１６１ｂとから構成されている。具体的には、回路
１６１ａは、反転増幅器１６１１ａを有し、反転増幅器
１６１１ａにて反転増幅された信号Ａと、ＧＮＤに接続
された信号Ｂと、差動増幅回路１１０の出力信号Ｃを出
力し、スイッチ回路１６１ｂはそのいずれかを選択す
る。
【００２２】スイッチ回路１６１ｂの出力は、利得可変
反転増幅回路１６２に入力される。利得可変反転増幅回
路１６２は、演算増幅器１６２ａ、固定抵抗器１６２
ｂ、可変抵抗器１６２ｃにより構成されており、入力信
号に対し利得が可変できるようになっている。上記した
スイッチ回路１６１ｂの選択および利得可変反転増幅回
路１６２の利得設定は次のようにして行われる。
反転増幅回路１６２に入力される。利得可変反転増幅回
路１６２は、演算増幅器１６２ａ、固定抵抗器１６２
ｂ、可変抵抗器１６２ｃにより構成されており、入力信
号に対し利得が可変できるようになっている。上記した
スイッチ回路１６１ｂの選択および利得可変反転増幅回
路１６２の利得設定は次のようにして行われる。
【００２３】まず、スイッチ回路１６１ｂにて信号Ｂを
選択した状態で、振動体２０の温度を変化させて角速度
信号を測定する。信号Ｂが選択されている時は、補正信
号作成回路１６０から出力される補正信号が０となるた
め、補正なしの状態で角速度信号を測定することができ
る。この測定により、角速度信号の変化パターンが図２
（ａ）に示す単調増加を示している場合には、スイッチ
回路１６１ｂにて信号Ｃを選択する。この選択された差
動増幅回路１１０の出力信号Ｃは、利得可変反転増幅回
路１６２にて反転増幅されるため、補正信号は、振動体
２０の温度変化に対し単調減少する信号となる。
選択した状態で、振動体２０の温度を変化させて角速度
信号を測定する。信号Ｂが選択されている時は、補正信
号作成回路１６０から出力される補正信号が０となるた
め、補正なしの状態で角速度信号を測定することができ
る。この測定により、角速度信号の変化パターンが図２
（ａ）に示す単調増加を示している場合には、スイッチ
回路１６１ｂにて信号Ｃを選択する。この選択された差
動増幅回路１１０の出力信号Ｃは、利得可変反転増幅回
路１６２にて反転増幅されるため、補正信号は、振動体
２０の温度変化に対し単調減少する信号となる。
【００２４】また、角速度信号の変化パターンが図２
（ｂ）に示す単調減少の場合は、スイッチ回路１６１ｂ
にて信号Ａを選択する。この場合、差動増幅回路１１０
の出力電圧を反転増幅した信号Ａは、利得可変反転増幅
回路１６２にて反転増幅されるため、補正信号は、振動
体２０の温度変化に対し単調増加する信号となる。さら
に、上記したスイッチ回路１６１ｂの選択とともに、測
定された角速度信号の変化幅に応じて可変抵抗器１６２
ｃの抵抗値を調整し、利得可変反転増幅回路１６２の利
得を設定する。
（ｂ）に示す単調減少の場合は、スイッチ回路１６１ｂ
にて信号Ａを選択する。この場合、差動増幅回路１１０
の出力電圧を反転増幅した信号Ａは、利得可変反転増幅
回路１６２にて反転増幅されるため、補正信号は、振動
体２０の温度変化に対し単調増加する信号となる。さら
に、上記したスイッチ回路１６１ｂの選択とともに、測
定された角速度信号の変化幅に応じて可変抵抗器１６２
ｃの抵抗値を調整し、利得可変反転増幅回路１６２の利
得を設定する。
【００２５】このような選択及び調整により、補正信号
作成回路１６０から出力される補正信号は、図２（ａ）
に示すパターンに対しては、同じような変化割合で単調
減少する信号となり、図２（ｂ）に示すパターンに対し
ては、同じような変化割合で単調増加する信号となる。
従って、角速度検出時において、上記した補正信号と増
幅回路１５０からの角速度信号とを加算回路１７０で加
算することにより、温度補正した角速度信号を出力する
ことができる。
作成回路１６０から出力される補正信号は、図２（ａ）
に示すパターンに対しては、同じような変化割合で単調
減少する信号となり、図２（ｂ）に示すパターンに対し
ては、同じような変化割合で単調増加する信号となる。
従って、角速度検出時において、上記した補正信号と増
幅回路１５０からの角速度信号とを加算回路１７０で加
算することにより、温度補正した角速度信号を出力する
ことができる。
【００２６】図４に、温度補正した角速度信号の変化パ
ターンの一例を示す。この図から分かるように、温度変
化に対し角速度信号の変動が非常に小さくなっている。
なお、角速度信号の変化パターンが図２（ｃ）（ｄ）に
示す増減変化の場合には、変化幅が小さい場合が多いの
で、信号Ｂを選択したままの補正なしの状態とする。な
お、変化幅が大きい場合には、図３の補正信号作成回路
１６０では補正できないので、不良品として取り扱う。
ターンの一例を示す。この図から分かるように、温度変
化に対し角速度信号の変動が非常に小さくなっている。
なお、角速度信号の変化パターンが図２（ｃ）（ｄ）に
示す増減変化の場合には、変化幅が小さい場合が多いの
で、信号Ｂを選択したままの補正なしの状態とする。な
お、変化幅が大きい場合には、図３の補正信号作成回路
１６０では補正できないので、不良品として取り扱う。
【００２７】上記した実施形態においては、差動増幅回
路１１０の出力電圧に基づき補正信号作成回路１６０に
て補正信号を作成するようにしたが、差動増幅回路１１
０の出力電圧をＡ／Ｄコンバータを介してマイクロコン
ピュータに入力し、その演算にて補正量を演算し、Ｄ／
Ａコンバータを介して補正信号を出力するようにしても
よい。
路１１０の出力電圧に基づき補正信号作成回路１６０に
て補正信号を作成するようにしたが、差動増幅回路１１
０の出力電圧をＡ／Ｄコンバータを介してマイクロコン
ピュータに入力し、その演算にて補正量を演算し、Ｄ／
Ａコンバータを介して補正信号を出力するようにしても
よい。
【００２８】また、温度補正用の入力信号として、差動
増幅回路１１０の出力電圧を用いたが、掛算回路１２０
の出力電圧を整流した電圧を用いてもよい。また、増幅
回路７０の出力信号の振幅を一定にする帰還制御回路に
おいて、振動体２０に固着した振動参照用圧電素子５０
ａ、５０ｂの温度特性を利用した信号であれば、上記し
た信号以外でも温度補正用の入力信号として用いること
ができる。但し、差動増幅回路１１０の出力電圧が、温
度変化に対し最も大きく出力を取り出すことができるた
め、差動増幅回路１１０の出力電圧を用いるのが実用上
最も好ましい。
増幅回路１１０の出力電圧を用いたが、掛算回路１２０
の出力電圧を整流した電圧を用いてもよい。また、増幅
回路７０の出力信号の振幅を一定にする帰還制御回路に
おいて、振動体２０に固着した振動参照用圧電素子５０
ａ、５０ｂの温度特性を利用した信号であれば、上記し
た信号以外でも温度補正用の入力信号として用いること
ができる。但し、差動増幅回路１１０の出力電圧が、温
度変化に対し最も大きく出力を取り出すことができるた
め、差動増幅回路１１０の出力電圧を用いるのが実用上
最も好ましい。
【００２９】また、増幅回路７０からの位相制御を行う
ものとしては、上記実施形態で示した移相回路８０に限
らず、特公平６ー５６３００号公報の第３図に示すＰＬ
Ｌ回路、すなわち増幅回路７０と駆動用圧素子３０ａ、
３０ｂの出力信号の位相差に応じ、増幅回路７０の出力
電圧と９０°の位相差を有する交流電圧を駆動用圧素子
３０ａ、３０ｂに印加するものであってもよい。
ものとしては、上記実施形態で示した移相回路８０に限
らず、特公平６ー５６３００号公報の第３図に示すＰＬ
Ｌ回路、すなわち増幅回路７０と駆動用圧素子３０ａ、
３０ｂの出力信号の位相差に応じ、増幅回路７０の出力
電圧と９０°の位相差を有する交流電圧を駆動用圧素子
３０ａ、３０ｂに印加するものであってもよい。
【００３０】さらに、振動体２０の構成は図５に示すも
の以外であってもよく、要は、駆動用圧電素子により振
動体を振動させた時に、その振動方向と直交する振動成
分を検出用圧電素子からの検出できるようなものであれ
ばよい。
の以外であってもよく、要は、駆動用圧電素子により振
動体を振動させた時に、その振動方向と直交する振動成
分を検出用圧電素子からの検出できるようなものであれ
ばよい。
【図１】本発明の一実施形態を示す電気回路図である。
【図２】温度補正する前の角速度信号の変化パターンを
示す図である。
示す図である。
【図３】補正信号作成回路１６０の詳細構成を示す図で
ある。
ある。
【図４】温度補正した角速度信号の変化パターンを示す
図である。
図である。
【図５】振動型角速度検出装置の振動子の外観図であ
る。
る。
【図６】従来の振動型角速度検出装置の電気回路図であ
る。
る。
【図７】振動体の温度と差動増幅回路の出力電圧との関
係を示す図である。
係を示す図である。
１０…金属基体、２０…振動体、２１〜２４…振動板、
２５…基部、３０ａ、３０ｂ…駆動用圧電素子、４０
ａ、４０ｂ…検出用圧電素子、５０ａ、５０ｂ…振動参
照用圧電素子、６０、７０…増幅回路、８０…移相回
路、９０…整流回路、１００…基準電圧発生回路、１１
０…差動増幅回路、１２０…掛算回路、１３０…同期検
波回路、１５０…増幅回路、１６０…補正信号作成回
路、１６１…パターン信号出力回路、１６２…利得可変
反転増幅回路、１７０…加算回路。
２５…基部、３０ａ、３０ｂ…駆動用圧電素子、４０
ａ、４０ｂ…検出用圧電素子、５０ａ、５０ｂ…振動参
照用圧電素子、６０、７０…増幅回路、８０…移相回
路、９０…整流回路、１００…基準電圧発生回路、１１
０…差動増幅回路、１２０…掛算回路、１３０…同期検
波回路、１５０…増幅回路、１６０…補正信号作成回
路、１６１…パターン信号出力回路、１６２…利得可変
反転増幅回路、１７０…加算回路。
Claims (5)
- 【請求項１】 振動体（２０）と、 この振動体を振動させる駆動用圧電素子（３０ａ、３０
ｂ）と、 この駆動用圧電素子により前記振動体を振動させた時
に、その振動方向と直交する振動成分の信号を出力する
検出用圧電素子（４０ａ、４０ｂ）と、 前記振動体の振動方向に応じた信号を出力する振動参照
用圧電素子（５０ａ、５０ｂ）と、 前記検出用圧電素子の出力信号に基づいて角速度信号を
出力する角速度信号出力手段（６０、１３０〜１５０）
と、 前記振動参照用圧電素子の出力信号に基づき、前記振動
体を一定の振幅で振動させるように前記駆動用圧電素子
に駆動電圧を出力する帰還制御手段（７０、８０〜１２
０）と、 前記振動参照用圧電素子の出力信号に基づき前記出力さ
れた角速度信号を温度補正する補正手段（１６０、１７
０）とを備えた振動型角速度検出装置。 - 【請求項２】 前記帰還制御手段は、前記振動参照用圧
電素子の出力信号を増幅する増幅回路（７０）と、この
増幅回路の出力電圧を整流する整流回路（９０）と、整
流された電圧と基準電圧との差電圧を出力する差動増幅
回路（１１０）とを備え、前記差電圧に基づいて前記駆
動電圧を出力するように構成されており、前記補正手段
は前記差電圧を用いて前記角速度信号を温度補正するこ
とを特徴とする請求項１に記載の振動型角速度検出装
置。 - 【請求項３】 前記補正手段は、前記振動体の温度変化
による前記角速度信号の変動を相殺する補正信号を作成
する補正信号作成回路（１６０）と、前記補正信号を前
記角速度信号に加算する加算回路（１７０）とを有する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型角速度
検出装置。 - 【請求項４】 前記補正信号作成回路は、前記振動体の
温度変化に対して前記角速度信号が変動する方向と逆方
向に変動する補正方向信号を出力する補正方向信号出力
回路（１６１）と、この出力された補正方向信号の利得
を設定する利得可変増幅回路（１６２）とを有すること
を特徴とする請求項３に記載の振動型角速度検出装置。 - 【請求項５】 前記補正方向信号出力回路は、前記振動
参照用圧電素子の出力信号に基づき前記振動体の温度変
化に対して変動方向が異なる複数の補正方向信号を作成
する回路（１６１ａ）と、そのいずれかを選択する回路
（１６１ｂ）とを有することを特徴とする請求項４に記
載の振動型角速度検出装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33355995A JP3536497B2 (ja) | 1995-12-21 | 1995-12-21 | 振動型角速度検出装置 |
| US08/769,396 US5806364A (en) | 1995-12-21 | 1996-12-19 | Vibration-type angular velocity detector having sensorless temperature compensation |
| DE19653577A DE19653577B4 (de) | 1995-12-21 | 1996-12-20 | Vibrations-Winkelgeschwindigkeits-Erfassungsvorrichtung mit einer sensorlosen Temperaturkompensation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33355995A JP3536497B2 (ja) | 1995-12-21 | 1995-12-21 | 振動型角速度検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09170927A true JPH09170927A (ja) | 1997-06-30 |
| JP3536497B2 JP3536497B2 (ja) | 2004-06-07 |
Family
ID=18267405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33355995A Expired - Fee Related JP3536497B2 (ja) | 1995-12-21 | 1995-12-21 | 振動型角速度検出装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5806364A (ja) |
| JP (1) | JP3536497B2 (ja) |
| DE (1) | DE19653577B4 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7033071B2 (en) | 2003-03-18 | 2006-04-25 | Denso Corporation | Method and apparatus for correcting sensor signal in temperature |
| US7216538B2 (en) | 2004-08-05 | 2007-05-15 | Denso Corporation | Vibratory angular rate sensor |
| US7434466B2 (en) | 2004-12-10 | 2008-10-14 | Denso Corporation | Gyro sensor |
| JP2010054431A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Murata Mfg Co Ltd | 外力検出装置およびその出力信号の補正方法 |
| JP2012052961A (ja) * | 2010-09-02 | 2012-03-15 | Seiko Epson Corp | 駆動回路、物理量測定装置 |
| JP2012058010A (ja) * | 2010-09-07 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 角速度検出装置及び電子機器 |
| WO2015129464A1 (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-03 | 住友精密工業株式会社 | 振動型角速度センサ |
| WO2023037559A1 (ja) * | 2021-09-13 | 2023-03-16 | 住友精密工業株式会社 | 振動型角速度センサ |
Families Citing this family (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19710359B4 (de) * | 1997-03-13 | 2006-05-11 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Ermittlung einer Bewegungsgröße mit automatischer Schalenfaktornachführung |
| JPH10339637A (ja) * | 1997-06-06 | 1998-12-22 | Nippon Soken Inc | 振動型角速度検出装置 |
| JP3932661B2 (ja) * | 1998-03-31 | 2007-06-20 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ駆動回路 |
| JP3520821B2 (ja) * | 1999-10-29 | 2004-04-19 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ用自己診断回路 |
| JP2002228453A (ja) * | 2001-01-31 | 2002-08-14 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロおよびその温度ドリフト調整方法 |
| JP3944052B2 (ja) * | 2001-12-27 | 2007-07-11 | 株式会社デンソー | 超音波送受波器及びこれを用いた超音波クリアランスソナー |
| US6959583B2 (en) | 2002-04-30 | 2005-11-01 | Honeywell International Inc. | Passive temperature compensation technique for MEMS devices |
| US6718823B2 (en) | 2002-04-30 | 2004-04-13 | Honeywell International Inc. | Pulse width modulation drive signal for a MEMS gyroscope |
| JP3964875B2 (ja) * | 2004-02-16 | 2007-08-22 | 株式会社ジャイトロニクス | 角速度センサ |
| JP4412477B2 (ja) * | 2004-06-11 | 2010-02-10 | 株式会社デンソー | 振動型角速度センサ |
| DE102004041512A1 (de) | 2004-08-27 | 2006-03-02 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Kalibrierung eines Gyroskops in einem Ortungsmodul in einem beweglichen System |
| FR2882591B1 (fr) * | 2005-02-25 | 2007-05-18 | Sagem | Procede de mesure gyrometrique compensee en temperature et dispositif de mesure gyrometrique en faisant application |
| CN101160763B (zh) * | 2005-04-18 | 2011-07-27 | 松下电器产业株式会社 | 无线接收装置和无线接收方法 |
| DE102005043025B4 (de) * | 2005-09-09 | 2014-07-31 | Continental Automotive Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Ermitteln einer Drehrate |
| DE102005043592A1 (de) | 2005-09-12 | 2007-03-15 | Siemens Ag | Verfahren zum Betrieb eines Vibrationskreisels und Sensoranordnung |
| DE102005043560A1 (de) * | 2005-09-12 | 2007-03-15 | Siemens Ag | Verfahren zum Betrieb eines Vibrationskreisels und Sensoranordnung |
| DE102005043559A1 (de) * | 2005-09-12 | 2007-03-15 | Siemens Ag | Verfahren und Anordnung zur Überwachung einer Sensoranordnung |
| JP5458462B2 (ja) * | 2005-10-11 | 2014-04-02 | パナソニック株式会社 | 振動型慣性力検知センサ |
| US7779688B2 (en) * | 2006-12-20 | 2010-08-24 | Epson Toyocom Corporation | Vibration gyro sensor |
| WO2009093769A2 (en) * | 2008-01-25 | 2009-07-30 | Konkuk University Industrial Cooperation Corp. | System for controlling the force rebalance using automatic gain controlling loop and method for the same |
| JP4572350B2 (ja) * | 2008-03-21 | 2010-11-04 | セイコーエプソン株式会社 | 同期検波回路、検出回路、物理量測定装置、ジャイロセンサおよび電子機器 |
| JP4645725B2 (ja) * | 2008-11-05 | 2011-03-09 | 株式会社デンソー | 振動型角速度センサの角速度検出方法 |
| KR101319712B1 (ko) * | 2011-12-26 | 2013-10-17 | 삼성전기주식회사 | 자이로센서 구동회로, 자이로센서 시스템 및 자이로센서 구동 방법 |
| RU2554624C1 (ru) * | 2014-02-12 | 2015-06-27 | Акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Способ измерения физической неэлектрической величины |
| RU2670712C9 (ru) * | 2017-11-24 | 2018-11-29 | Акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Устройство для измерения выходного сигнала пьезоэлектрического датчика |
| EP3882571B1 (en) * | 2020-03-16 | 2022-08-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Gyroscope with locked secondary oscillation frequency |
| CN114237045B (zh) * | 2021-11-29 | 2022-08-02 | 哈尔滨工业大学 | 一种无传感器式压电驱动闭环控制方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0406891B1 (en) * | 1989-07-07 | 1994-06-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
| DE69213976T2 (de) * | 1991-03-12 | 1997-04-03 | New Sd Inc | Stimmgabelinertialsensor mit einem Ende und Verfahren |
| JPH05264280A (ja) * | 1992-03-19 | 1993-10-12 | Tokimec Inc | ジャイロ装置 |
| JPH0694734A (ja) * | 1992-03-23 | 1994-04-08 | Taya Eng Kk | 角速度検出センサーにおけるドリフトキャンセル方式およびその装置 |
| JPH05296771A (ja) * | 1992-04-17 | 1993-11-09 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
| JPH0656300A (ja) * | 1992-08-03 | 1994-03-01 | Star Micronics Co Ltd | 電子写真装置の搬送装置 |
| JPH06147901A (ja) * | 1992-11-02 | 1994-05-27 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動ジャイロ |
| US5430342A (en) * | 1993-04-27 | 1995-07-04 | Watson Industries, Inc. | Single bar type vibrating element angular rate sensor system |
| JPH07218269A (ja) * | 1994-02-01 | 1995-08-18 | Murata Mfg Co Ltd | ドリフト検出補正回路 |
| US5554904A (en) * | 1994-07-05 | 1996-09-10 | Akai Electric Co., Ltd. | Vibration control apparatus having automatic gain control |
| JP3129120B2 (ja) * | 1994-10-04 | 2001-01-29 | 株式会社村田製作所 | 加速度センサ |
| JPH08210860A (ja) * | 1994-11-28 | 1996-08-20 | Nippondenso Co Ltd | 角速度センサ |
| FR2736153B1 (fr) * | 1995-06-29 | 1997-08-22 | Asulab Sa | Dispositif de mesure d'une vitesse angulaire |
-
1995
- 1995-12-21 JP JP33355995A patent/JP3536497B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-12-19 US US08/769,396 patent/US5806364A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-12-20 DE DE19653577A patent/DE19653577B4/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7033071B2 (en) | 2003-03-18 | 2006-04-25 | Denso Corporation | Method and apparatus for correcting sensor signal in temperature |
| US7216538B2 (en) | 2004-08-05 | 2007-05-15 | Denso Corporation | Vibratory angular rate sensor |
| US7434466B2 (en) | 2004-12-10 | 2008-10-14 | Denso Corporation | Gyro sensor |
| JP2010054431A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Murata Mfg Co Ltd | 外力検出装置およびその出力信号の補正方法 |
| JP2012052961A (ja) * | 2010-09-02 | 2012-03-15 | Seiko Epson Corp | 駆動回路、物理量測定装置 |
| JP2012058010A (ja) * | 2010-09-07 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 角速度検出装置及び電子機器 |
| WO2015129464A1 (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-03 | 住友精密工業株式会社 | 振動型角速度センサ |
| JPWO2015129464A1 (ja) * | 2014-02-26 | 2017-03-30 | 住友精密工業株式会社 | 振動型角速度センサ |
| US10161751B2 (en) | 2014-02-26 | 2018-12-25 | Sumitomo Precision Products Co., Ltd. | Vibration-type angular rate sensor |
| WO2023037559A1 (ja) * | 2021-09-13 | 2023-03-16 | 住友精密工業株式会社 | 振動型角速度センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3536497B2 (ja) | 2004-06-07 |
| DE19653577A1 (de) | 1997-06-26 |
| US5806364A (en) | 1998-09-15 |
| DE19653577B4 (de) | 2005-12-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3536497B2 (ja) | 振動型角速度検出装置 | |
| US5585562A (en) | Vibration-sensing gyro | |
| WO2005103618A1 (ja) | ジャイロ装置 | |
| JPH06300567A (ja) | ジャイロ出力検出方法 | |
| JP2000171257A (ja) | 角速度検出装置 | |
| US20020100322A1 (en) | Vibrating gyroscope and temperature-drift adjusting method therefor | |
| KR100415076B1 (ko) | 각속도 검출 방법 및 진동 자이로스코프 | |
| EP0658743B1 (en) | Vibrating gyroscope | |
| JP2975262B2 (ja) | 振動ジャイロ検出回路 | |
| JP2998248B2 (ja) | 角速度センサ装置 | |
| JP2548679B2 (ja) | 振動ジャイロスコープ | |
| JPH10206166A (ja) | 振動型ジャイロスコープ | |
| JP2006250643A (ja) | 角速度センサの異常検出装置 | |
| JPS6338110A (ja) | ジヤイロ装置 | |
| JP2004361320A (ja) | 振動子の励振方法、物理量の測定方法および物理量測定装置 | |
| JP2006023268A (ja) | ジャイロセンサの感度調整方法 | |
| JPH10260043A (ja) | 角速度検出装置 | |
| JPH09105637A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JPH0989575A (ja) | 角速度センサおよびそれを用いた角速度センサのヌル電圧補正方法 | |
| EP0683381A2 (en) | Vibrating gyroscope | |
| JPH07159182A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JPH0718705B2 (ja) | 角速度センサ | |
| JP2547911B2 (ja) | 振動制御装置 | |
| JP3227975B2 (ja) | 振動検出回路 | |
| JP3149712B2 (ja) | 振動ジャイロ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20031126 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20031209 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040123 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040224 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040308 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100326 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110326 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120326 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120326 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130326 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140326 Year of fee payment: 10 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |