JPH0718705B2 - 角速度センサ - Google Patents
角速度センサInfo
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- JPH0718705B2 JPH0718705B2 JP4618985A JP4618985A JPH0718705B2 JP H0718705 B2 JPH0718705 B2 JP H0718705B2 JP 4618985 A JP4618985 A JP 4618985A JP 4618985 A JP4618985 A JP 4618985A JP H0718705 B2 JPH0718705 B2 JP H0718705B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は圧電振動型の角速度センサに関する。
従来、この種の装置として、第10図の模式図に示す圧電
振動型の角速度センサがあり、振動用圧電体1a、1a′を
有する駆動部１、１′と、検知用圧電体2a、2a′を有す
る検知部２、２′とを直交するように結合配置するとと
もに、交流駆動電圧を駆動用圧電体1a、1a′に印加して
駆動部１、１′を振動駆動させた時にその振動方向と直
交する方向の検知部２、２′の振動により、検知用圧電
体２、２′から発生する交流電圧にて角速度を得るよう
にしている。
振動型の角速度センサがあり、振動用圧電体1a、1a′を
有する駆動部１、１′と、検知用圧電体2a、2a′を有す
る検知部２、２′とを直交するように結合配置するとと
もに、交流駆動電圧を駆動用圧電体1a、1a′に印加して
駆動部１、１′を振動駆動させた時にその振動方向と直
交する方向の検知部２、２′の振動により、検知用圧電
体２、２′から発生する交流電圧にて角速度を得るよう
にしている。
第11図はその検知回路部分の電気回路図である。駆動用
圧電体1a、1a′は交流電源３により交流駆動電圧が印加
されて駆動部１、１′を振動させる。検知部２、２′は
角速度の影響を受けて駆動部１、１′の振動方向と直交
する方向に振動し、その振動状態に応じて検知用圧電体
2a、2a′より交流電圧を発生する。この検知用圧電体2
a、2a′からの交流電圧はアンプ４で増幅され、バンド
パスフィルタ５を介して同期検波回路６に入る。同期検
波回路６は、バンドパスフィルタ５を介した交流電圧の
中から駆動部１、１′の振動による影響の信号を除去す
るように同期検波を行う。この同期検波回路６にて同期
検波した信号を平滑回路７にて平滑増幅し、角速度を示
す直流の電気信号を出力する。また、８は位相調整回路
で、マニュアル調整にて交流電源３からの交流駆動電圧
の位相を調整し、位相調整した交流電圧を出力する。９
は波形整形回路で、位相調整回路８からの交流電圧を波
形整形して矩形波信号にする。
圧電体1a、1a′は交流電源３により交流駆動電圧が印加
されて駆動部１、１′を振動させる。検知部２、２′は
角速度の影響を受けて駆動部１、１′の振動方向と直交
する方向に振動し、その振動状態に応じて検知用圧電体
2a、2a′より交流電圧を発生する。この検知用圧電体2
a、2a′からの交流電圧はアンプ４で増幅され、バンド
パスフィルタ５を介して同期検波回路６に入る。同期検
波回路６は、バンドパスフィルタ５を介した交流電圧の
中から駆動部１、１′の振動による影響の信号を除去す
るように同期検波を行う。この同期検波回路６にて同期
検波した信号を平滑回路７にて平滑増幅し、角速度を示
す直流の電気信号を出力する。また、８は位相調整回路
で、マニュアル調整にて交流電源３からの交流駆動電圧
の位相を調整し、位相調整した交流電圧を出力する。９
は波形整形回路で、位相調整回路８からの交流電圧を波
形整形して矩形波信号にする。
上記構成において、駆動部１、１′と検知部２、１′と
が完全に直交していれば、駆動部１、１′の振動方向と
検知部２、２′の検知方向とが直交しているため、駆動
部１、１′の振動により検知部２、２′がその検知方向
に振れることはないが、駆動部１、１′と検知部２、
２′とが完全に直交していないと、駆動部１、１′の振
動が検知部１、１′の振動方向に作用し、角速度がない
のに検知用圧電体2a、2a′より出力電圧が生じてしま
う、すなわちオフセット電圧が生じてしまうことにな
る。実際には、駆動部１、１′と検知部２、２′とを完
全に直交させることが製造上難しいので、どうしてもオ
フセット電圧が発生してしまうことになる。
が完全に直交していれば、駆動部１、１′の振動方向と
検知部２、２′の検知方向とが直交しているため、駆動
部１、１′の振動により検知部２、２′がその検知方向
に振れることはないが、駆動部１、１′と検知部２、
２′とが完全に直交していないと、駆動部１、１′の振
動が検知部１、１′の振動方向に作用し、角速度がない
のに検知用圧電体2a、2a′より出力電圧が生じてしま
う、すなわちオフセット電圧が生じてしまうことにな
る。実際には、駆動部１、１′と検知部２、２′とを完
全に直交させることが製造上難しいので、どうしてもオ
フセット電圧が発生してしまうことになる。
このオフセット電圧は駆動部１、１′の振動と関係して
いるため、上記従来装置では、交流電源３からの交流駆
動電圧を位相調整回路８、波形整形回路９を介して同期
検波回路６に加え、この同期検波回路６にて上記オフセ
ット電圧を除去するようにしている。
いるため、上記従来装置では、交流電源３からの交流駆
動電圧を位相調整回路８、波形整形回路９を介して同期
検波回路６に加え、この同期検波回路６にて上記オフセ
ット電圧を除去するようにしている。
この同期検波回路６の詳細構成を第12図に示す。同期検
波回路６は、FET6a、オプアンプ6bなどより構成されて
おり、FET6aのオン、オフを波形整形回路９からの矩形
波信号（第13図（１））にて制御して同期検波を行う。
ここで、検知用圧電体2a、2bよりアンプ４、バンドパス
フィルタ５を介した交流電圧は、真の角速度を示す交流
電圧以外に上記したオフセット電圧を含んでいる。オフ
セット電圧と真の角速度を示す交流電圧は、それぞれ第
13図（２）、（３）の点線に示す信号波形のものであ
り、両者間の位相には90°のずれが生じている。なお、
オフセット電圧のピーク値は約20〜50mV程度であり、角
速度を示す交流電圧のピーク値は１°/secにつき50μＶ
である。そして、その両者間に位相のずれがあることを
利用し、波形整形回路９からの信号（第13図（１））の
タイミングにて第12図（２）、（３）の点線を示す信号
を実線に示す信号に変換すれば、それぞれの電圧を平滑
した時、オフセット電圧は相殺されて０になり、角速度
を示す交流電圧は角速度に応じた直流電圧になる。従っ
て、平滑後の直流電圧にはオフセット電圧が含まれない
ことになる。同期検波回路６は上記の作動を行うもの
で、波形整形回路９からの信号がハイレベルの時、FET6
aがオンし、オフアンプ6bはバンドパスフィルタ５から
の電圧を反転した電圧を出力し、波形整形回路９からの
信号がローレベルの時はFET6aがオフとなり、オペアン
プ6bはバンドパスフィルタ５からの電圧をそのまま出力
する。
波回路６は、FET6a、オプアンプ6bなどより構成されて
おり、FET6aのオン、オフを波形整形回路９からの矩形
波信号（第13図（１））にて制御して同期検波を行う。
ここで、検知用圧電体2a、2bよりアンプ４、バンドパス
フィルタ５を介した交流電圧は、真の角速度を示す交流
電圧以外に上記したオフセット電圧を含んでいる。オフ
セット電圧と真の角速度を示す交流電圧は、それぞれ第
13図（２）、（３）の点線に示す信号波形のものであ
り、両者間の位相には90°のずれが生じている。なお、
オフセット電圧のピーク値は約20〜50mV程度であり、角
速度を示す交流電圧のピーク値は１°/secにつき50μＶ
である。そして、その両者間に位相のずれがあることを
利用し、波形整形回路９からの信号（第13図（１））の
タイミングにて第12図（２）、（３）の点線を示す信号
を実線に示す信号に変換すれば、それぞれの電圧を平滑
した時、オフセット電圧は相殺されて０になり、角速度
を示す交流電圧は角速度に応じた直流電圧になる。従っ
て、平滑後の直流電圧にはオフセット電圧が含まれない
ことになる。同期検波回路６は上記の作動を行うもの
で、波形整形回路９からの信号がハイレベルの時、FET6
aがオンし、オフアンプ6bはバンドパスフィルタ５から
の電圧を反転した電圧を出力し、波形整形回路９からの
信号がローレベルの時はFET6aがオフとなり、オペアン
プ6bはバンドパスフィルタ５からの電圧をそのまま出力
する。
しかしながら、上記構成のものでは、交流電源３の周波
数が一定である場合、位相調整回路８にてその位相を調
整することにより同期検波回路６、平滑増幅回路７にて
オフセット電圧を除去することができるが、温度変化等
により交流電源３の周波数が変化した場合、交流電源３
の周波数と駆動部１、１′の振動との間にリニアな特性
関係がないため、第13図（１）、（２）、（３）に示す
ような位相関係が生じなくなり、その結果、位相調整回
路８にて位相調整をしてもオフセット電圧の除去を行う
ことができないという問題が発生する。
数が一定である場合、位相調整回路８にてその位相を調
整することにより同期検波回路６、平滑増幅回路７にて
オフセット電圧を除去することができるが、温度変化等
により交流電源３の周波数が変化した場合、交流電源３
の周波数と駆動部１、１′の振動との間にリニアな特性
関係がないため、第13図（１）、（２）、（３）に示す
ような位相関係が生じなくなり、その結果、位相調整回
路８にて位相調整をしてもオフセット電圧の除去を行う
ことができないという問題が発生する。
本発明は上記問題に鑑みたもので、交流電源の周波数変
化に係わりなく上記オフセット電圧を除去することがで
きる角速度センサを提供することを目的とする。
化に係わりなく上記オフセット電圧を除去することがで
きる角速度センサを提供することを目的とする。
本発明は上記目的を達成するため、 第１の圧電体を有する駆動部と、第２の圧電体を有する
検知部とを直交するように結合配置するとともに、交流
駆動電圧を前記第１の圧電体に印加して前記駆動部およ
び前記検知部を振動駆動させた時にその振動方向と直交
する方向の前記検知部の振動作用にて前記第２の圧電体
より発生する交流電圧を受けて角速度を検出する検出手
段を設けた角速度センサにおいて、 前記駆動部に前記第１の圧電体とは別に設けられ駆動部
の振動により交流電圧を発生する第３の圧電体と、 この第３の圧電体から発生する交流電圧の振幅値を調整
する電圧調整回路と、 この電圧調整回路にて調整された交流電圧により、前記
駆動部の振動に基づいて前記角速度検知用圧電体より発
生するオフセット電圧を相殺する相殺手段と、 を設けたことを特徴としている。
検知部とを直交するように結合配置するとともに、交流
駆動電圧を前記第１の圧電体に印加して前記駆動部およ
び前記検知部を振動駆動させた時にその振動方向と直交
する方向の前記検知部の振動作用にて前記第２の圧電体
より発生する交流電圧を受けて角速度を検出する検出手
段を設けた角速度センサにおいて、 前記駆動部に前記第１の圧電体とは別に設けられ駆動部
の振動により交流電圧を発生する第３の圧電体と、 この第３の圧電体から発生する交流電圧の振幅値を調整
する電圧調整回路と、 この電圧調整回路にて調整された交流電圧により、前記
駆動部の振動に基づいて前記角速度検知用圧電体より発
生するオフセット電圧を相殺する相殺手段と、 を設けたことを特徴としている。
すなわち、駆動部の振動により発生するオフセット電圧
を、駆動部の振動を直接検出して除去しようとするもの
である。
を、駆動部の振動を直接検出して除去しようとするもの
である。
上記構成において、第１の圧電体は交流電源からの交流
駆動電圧の供給を受けて駆動部を振動させる。検知部は
この振動状態において角速度の影響を受けた時その振動
方向と直交する方向に振動する。第２の圧電体はその振
動により角速度に応じた交流電圧を発生する。
駆動電圧の供給を受けて駆動部を振動させる。検知部は
この振動状態において角速度の影響を受けた時その振動
方向と直交する方向に振動する。第２の圧電体はその振
動により角速度に応じた交流電圧を発生する。
第３の圧電体は駆動部の振動に応じた交流電圧を発生す
る。この交流電圧は、駆動部の振動により第２の圧電体
から発生する交流電圧の中に含まれるオフセット電圧と
位相が対応関係（同位相もしくは180°ずれたもの）に
ある。そして、第３の圧電体からの交流電圧の振幅を電
圧調整回路にて調整し、この調整後の電圧により相殺手
段にて前記オフセット電圧を相殺する。
る。この交流電圧は、駆動部の振動により第２の圧電体
から発生する交流電圧の中に含まれるオフセット電圧と
位相が対応関係（同位相もしくは180°ずれたもの）に
ある。そして、第３の圧電体からの交流電圧の振幅を電
圧調整回路にて調整し、この調整後の電圧により相殺手
段にて前記オフセット電圧を相殺する。
本発明は上記したように、駆動部の振動を直接検出して
オフセット電圧を相殺するものであるため、交流電源の
周波数が変化しても駆動部の振動とオフセット電圧との
位相関係には何ら影響を及ぼさず、従ってオフセット電
圧を正確に除去することができるという優れた効果があ
る。
オフセット電圧を相殺するものであるため、交流電源の
周波数が変化しても駆動部の振動とオフセット電圧との
位相関係には何ら影響を及ぼさず、従ってオフセット電
圧を正確に除去することができるという優れた効果があ
る。
以下本発明を図に示す実施例について説明する。
第１図はその一実施例を示す角速度センサの構成図であ
る。この第１図において、10、10′は上下が互いに直角
になる様に一体化して構成された金属板（厚さ0.5mmのF
e−Co−Ni合金を用いたもの）で、それぞれの両面に圧
電体1a、1a′、1b、1b′、2a、2a′、2b、2b′（それぞ
れ厚さ0.2mmのPZTセラミックスを用いたもの）が接着さ
れている。圧電体1a、1a′は駆動用、1b、1b′は検知用
である。なお、駆動用圧電体1a、1a′は交流駆動電圧が
印加された時に駆動部１、１′が対称振動する様に、そ
れぞれの分極方向が定められている。圧電体1b、1b′は
駆動部の振動により交流電圧を発生する。この圧電体1
b、1b′より発生する交流電圧は駆動部１の振動と同位
相あるいは逆相である。（圧電体1b、1b′の分極方向を
適当に選ぶことにより同相にも逆相にもすることができ
る。）圧電体2b、2b′はオフセット電圧相殺用の交流電
圧を受けて、駆動部１、１′の振動により発生するオフ
セット電圧を相殺するように検知部２、２′を振動させ
る。11は金属端子で、金属板10、10′と半田付等で固定
されており、金属板10、10′を接地する。なお、この第
１図において、矢印はそれぞれの圧電体の分極方向を示
している。
る。この第１図において、10、10′は上下が互いに直角
になる様に一体化して構成された金属板（厚さ0.5mmのF
e−Co−Ni合金を用いたもの）で、それぞれの両面に圧
電体1a、1a′、1b、1b′、2a、2a′、2b、2b′（それぞ
れ厚さ0.2mmのPZTセラミックスを用いたもの）が接着さ
れている。圧電体1a、1a′は駆動用、1b、1b′は検知用
である。なお、駆動用圧電体1a、1a′は交流駆動電圧が
印加された時に駆動部１、１′が対称振動する様に、そ
れぞれの分極方向が定められている。圧電体1b、1b′は
駆動部の振動により交流電圧を発生する。この圧電体1
b、1b′より発生する交流電圧は駆動部１の振動と同位
相あるいは逆相である。（圧電体1b、1b′の分極方向を
適当に選ぶことにより同相にも逆相にもすることができ
る。）圧電体2b、2b′はオフセット電圧相殺用の交流電
圧を受けて、駆動部１、１′の振動により発生するオフ
セット電圧を相殺するように検知部２、２′を振動させ
る。11は金属端子で、金属板10、10′と半田付等で固定
されており、金属板10、10′を接地する。なお、この第
１図において、矢印はそれぞれの圧電体の分極方向を示
している。
第２図は第１図に示すものの電気結線図である。この第
２図において、12、12′は電圧調整回路で、それぞれ同
一構成のものであり、駆動部１、１′の振動により発生
する圧電体1b、1b′よりの交流電圧の振幅を調整し、そ
の調整した交流電圧を検知部２、２′の圧電体2b、2b′
に印加する。なお、100は検出回路で、第11図に示すも
のと同一構成のものである。
２図において、12、12′は電圧調整回路で、それぞれ同
一構成のものであり、駆動部１、１′の振動により発生
する圧電体1b、1b′よりの交流電圧の振幅を調整し、そ
の調整した交流電圧を検知部２、２′の圧電体2b、2b′
に印加する。なお、100は検出回路で、第11図に示すも
のと同一構成のものである。
この電圧調整回路12、12′の詳細構成を第３図に示す。
この第３図において、121はオペアンプ121aを用いたイ
ンピーダンス変換回路、122はインピーダンス変換回路1
21を介した交流電圧の振幅を調整する振幅調整回路であ
る。この振幅調整回路122は、オペアンプ122aを有して
おり、このオペアンプ122aの出力は入力であるインピー
ダンス変換回路121から交流電圧を反転した交流電圧を
出力する。122bは可変抵抗器で、インピーダンス変換回
路121の出力とオペアンプ122aの出力との差の電圧に対
して必要な振幅値の交流電圧を取り出し、それを圧電素
子2b、2b′に印加する。この振幅調整は＋側から−側ま
で行うことができるため、圧電体1b、1b′より発生する
交流電圧とオフセット電圧とが同相であっても逆相であ
っても、オフセット電圧を相殺するように調整すること
ができる。
この第３図において、121はオペアンプ121aを用いたイ
ンピーダンス変換回路、122はインピーダンス変換回路1
21を介した交流電圧の振幅を調整する振幅調整回路であ
る。この振幅調整回路122は、オペアンプ122aを有して
おり、このオペアンプ122aの出力は入力であるインピー
ダンス変換回路121から交流電圧を反転した交流電圧を
出力する。122bは可変抵抗器で、インピーダンス変換回
路121の出力とオペアンプ122aの出力との差の電圧に対
して必要な振幅値の交流電圧を取り出し、それを圧電素
子2b、2b′に印加する。この振幅調整は＋側から−側ま
で行うことができるため、圧電体1b、1b′より発生する
交流電圧とオフセット電圧とが同相であっても逆相であ
っても、オフセット電圧を相殺するように調整すること
ができる。
上記構成においてその作動を説明する。
駆動用圧電体1a、1a′は交流電源３からの交流駆動電圧
を受けて駆動部１、１′および検知部２、２′を対称振
動させる。この時、測定軸Ａの周りに角速度ωが生じる
と、コリオリの力によって検知部２、２′が駆動部１、
１′による振動方向とは直交する方向に振動する。この
検知部２、２′の振動により検知用圧電体2a、2a′が交
流電圧を発生する。この交流電圧により検出回路100に
て角速度を示す直流信号を得る。
を受けて駆動部１、１′および検知部２、２′を対称振
動させる。この時、測定軸Ａの周りに角速度ωが生じる
と、コリオリの力によって検知部２、２′が駆動部１、
１′による振動方向とは直交する方向に振動する。この
検知部２、２′の振動により検知用圧電体2a、2a′が交
流電圧を発生する。この交流電圧により検出回路100に
て角速度を示す直流信号を得る。
また、駆動部１、１′の駆動により圧電体1b、1b′はそ
の振動に応じた交流電圧を発生する。この交流電圧は電
圧調整回路12、12′にてその振幅が調整され、検知部
２、２′に設けた圧電体2b、2b′に印加される。そし
て、電圧調整回路12、12′の振幅調整を適当に行うこと
により、駆動部１、１′の振動により検知部２、２′が
その検知方向に振動しようとする力と、圧電体2b、2b′
の作動により振動しようとする力とが相殺され、その結
果、検知用圧電体2a、2a′からオフセット電圧が発生し
なくなる。
の振動に応じた交流電圧を発生する。この交流電圧は電
圧調整回路12、12′にてその振幅が調整され、検知部
２、２′に設けた圧電体2b、2b′に印加される。そし
て、電圧調整回路12、12′の振幅調整を適当に行うこと
により、駆動部１、１′の振動により検知部２、２′が
その検知方向に振動しようとする力と、圧電体2b、2b′
の作動により振動しようとする力とが相殺され、その結
果、検知用圧電体2a、2a′からオフセット電圧が発生し
なくなる。
なお、上記実施例では、電圧調整回路12、12′を２つ設
けて、オフセット電圧の相殺を行うようにしたが、第４
図に示すように電圧調整回路12を１つとし、これにより
圧電体2b、2b′を共通駆動するようにしてもよい。この
実施例では電圧調整を１ケ所で行うことができるという
利点を有する。
けて、オフセット電圧の相殺を行うようにしたが、第４
図に示すように電圧調整回路12を１つとし、これにより
圧電体2b、2b′を共通駆動するようにしてもよい。この
実施例では電圧調整を１ケ所で行うことができるという
利点を有する。
また、第５図に示すように、電圧調整回路12を介した交
流電圧により検出回路100′にて検知用圧電体2a、2a′
より発生するオフセット電圧を相殺するようにすること
もできる。第６図は検出回路100′の詳細構成を示す電
気回路図である。この検出回路100′において、第11図
に示す検出回路100と異なる点は、圧電体1b、1b′より
電圧調整回路12を介した交流電圧を、オペアンプ13aを
用いたインピーダンス変換回路13を介してアンプ４′に
加え、このアンプ４′によりオフセット電圧の相殺を行
うようにした点である。すなわち、電圧調整回路12から
インピーダンス変換回路13を介した交流電圧をｖ、検知
用圧電体2a、2a′よりアンプ４′に入力する交流電圧を
ΔＶ＋Ｖとする（ただし、ΔＶは角速度に応じて発生す
る電圧、Ｖはオフセット電圧である）と、オペアンプ4
a、抵抗4b,4c（抵抗4b,4cは統一抵抗値）の作用によ
り、このアンプ４′の出力は２｛ΔＶ＋Ｖ＋（−v/
2）｝となるため、検知用圧電体2a、2a′から発生する
オフセット電圧Ｖ（第７図の実線で示す）に対して前記
交流電圧ｖの−1/2が第７図の点線で示すものになるよ
うに電圧調整回路12の調整を行うことにより、アンプ
４′の出力に含まれるオフセット電圧を低減することが
できる。
流電圧により検出回路100′にて検知用圧電体2a、2a′
より発生するオフセット電圧を相殺するようにすること
もできる。第６図は検出回路100′の詳細構成を示す電
気回路図である。この検出回路100′において、第11図
に示す検出回路100と異なる点は、圧電体1b、1b′より
電圧調整回路12を介した交流電圧を、オペアンプ13aを
用いたインピーダンス変換回路13を介してアンプ４′に
加え、このアンプ４′によりオフセット電圧の相殺を行
うようにした点である。すなわち、電圧調整回路12から
インピーダンス変換回路13を介した交流電圧をｖ、検知
用圧電体2a、2a′よりアンプ４′に入力する交流電圧を
ΔＶ＋Ｖとする（ただし、ΔＶは角速度に応じて発生す
る電圧、Ｖはオフセット電圧である）と、オペアンプ4
a、抵抗4b,4c（抵抗4b,4cは統一抵抗値）の作用によ
り、このアンプ４′の出力は２｛ΔＶ＋Ｖ＋（−v/
2）｝となるため、検知用圧電体2a、2a′から発生する
オフセット電圧Ｖ（第７図の実線で示す）に対して前記
交流電圧ｖの−1/2が第７図の点線で示すものになるよ
うに電圧調整回路12の調整を行うことにより、アンプ
４′の出力に含まれるオフセット電圧を低減することが
できる。
さらに、同期検波回路６でもオフセット電圧の低減を行
うようにしているため、平滑増幅回路７の出力はオフセ
ット電圧がかなり低減した信号となる。なお、この実施
例においては、圧電体2b、2b′は不要である。
うようにしているため、平滑増幅回路７の出力はオフセ
ット電圧がかなり低減した信号となる。なお、この実施
例においては、圧電体2b、2b′は不要である。
さらに、上記実施例に対して、第８図に示すように、電
圧調整回路12の出力を波形整形回路９を介して同期検波
回路６に加え、これによりオフセット電圧の低減を行う
ようにしてもよい。
圧調整回路12の出力を波形整形回路９を介して同期検波
回路６に加え、これによりオフセット電圧の低減を行う
ようにしてもよい。
さらに、電圧調整回路12の出力を第８図に示すように波
形整形回路９を介して同期検波回路６に加えるものと、
第６図に示すようにインピーダンス変換回路13を介して
アンプ４′に加えるものとを同時に行うようにしてもよ
い。
形整形回路９を介して同期検波回路６に加えるものと、
第６図に示すようにインピーダンス変換回路13を介して
アンプ４′に加えるものとを同時に行うようにしてもよ
い。
さらに、圧電体1b、1b′を金属板10、10′に対して駆動
用圧電体1a、1a′の反対側に設けるものを示したが、第
９図に示すように、圧電体1v、1b′を駆動用圧電体1a、
1a′と同じ側に設けるようにしてもよい。
用圧電体1a、1a′の反対側に設けるものを示したが、第
９図に示すように、圧電体1v、1b′を駆動用圧電体1a、
1a′と同じ側に設けるようにしてもよい。
第１図は本発明の一実施例を示す角速度センサの構成
図、第２図は第１図に示すものの電気結線図、第３図は
電圧調整回路の電気回路図、第４図、第５図、第９図は
それぞれ他の実施例を示す電気結線図、第６図は第５図
に示す実施例における検出回路部分の電気回路図、第７
図は第５図に示す実施例の作動説明に供する波形図、第
８図はさらに他の実施例を示す検出回路部分の電気回路
図、第10図は従来の角速度センサの模式図、第11図は第
10図に示すものにおける検出回路部分の電気回路図、第
12図は同期検波回路部分の電気回路図、第13図は同期検
波回路の作動説明に供する波形図である。 1,1′…駆動部,2,2′…検知部,1a,1a′,1b,1b′,2a,2
a′,2b,2b′…圧電体,3…交流電源,12,12′…電圧調整
回路。
図、第２図は第１図に示すものの電気結線図、第３図は
電圧調整回路の電気回路図、第４図、第５図、第９図は
それぞれ他の実施例を示す電気結線図、第６図は第５図
に示す実施例における検出回路部分の電気回路図、第７
図は第５図に示す実施例の作動説明に供する波形図、第
８図はさらに他の実施例を示す検出回路部分の電気回路
図、第10図は従来の角速度センサの模式図、第11図は第
10図に示すものにおける検出回路部分の電気回路図、第
12図は同期検波回路部分の電気回路図、第13図は同期検
波回路の作動説明に供する波形図である。 1,1′…駆動部,2,2′…検知部,1a,1a′,1b,1b′,2a,2
a′,2b,2b′…圧電体,3…交流電源,12,12′…電圧調整
回路。
Claims (3)
- 【請求項１】第１の圧電体を有する駆動部と、第２の圧
電体を有する検知部とを直交するように結合配置すると
ともに、交流駆動電圧を前記第１の圧電体に印加して前
記駆動部および前記検知部を振動駆動させた時にその振
動方向と直交する方向の前記検知部の振動作用にて前記
第２の圧電体より発生する交流電圧を受けて角速度を検
出する検出手段を設けた角速度センサにおいて、 前記駆動部に前記第１の圧電体とは別に設けられ駆動部
の振動により交流電圧を発生する第３の圧電体と、 この第３の圧電体から発生する交流電圧の振幅値を調整
する電圧調整回路と、 この電圧調整回路にて調整された交流電圧により、前記
駆動部の振動に基づいて前記角速度検知用圧電体より発
生するオフセット電圧を相殺する相殺手段と、 を設けたことを特徴とする角速度センサ。 - 【請求項２】前記相殺手段は、前記検知部に設けられ、
前記電圧調整回路にて調整された交流電圧を受けて前記
検知部を前記駆動部の振動方向と直交する方向に振動さ
せる第４の圧電体であることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の角速度センサ。 - 【請求項３】前記相殺手段は、前記第２の圧電体より発
生する交流電圧から前記電圧調整回路にて調整された交
流電圧を差し引く回路手段であることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の角速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4618985A JPH0718705B2 (ja) | 1985-03-07 | 1985-03-07 | 角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4618985A JPH0718705B2 (ja) | 1985-03-07 | 1985-03-07 | 角速度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61204516A JPS61204516A (ja) | 1986-09-10 |
| JPH0718705B2 true JPH0718705B2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=12740098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4618985A Expired - Fee Related JPH0718705B2 (ja) | 1985-03-07 | 1985-03-07 | 角速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0718705B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH067298Y2 (ja) * | 1987-07-13 | 1994-02-23 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 振動ジャイロ |
| US5461916A (en) | 1992-08-21 | 1995-10-31 | Nippondenso Co., Ltd. | Mechanical force sensing semiconductor device |
| JP2015099072A (ja) * | 2013-11-19 | 2015-05-28 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電センサ及びその製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4479098A (en) | 1981-07-06 | 1984-10-23 | Watson Industries, Inc. | Circuit for tracking and maintaining drive of actuator/mass at resonance |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0752105B2 (ja) * | 1984-04-26 | 1995-06-05 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ− |
-
1985
- 1985-03-07 JP JP4618985A patent/JPH0718705B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4479098A (en) | 1981-07-06 | 1984-10-23 | Watson Industries, Inc. | Circuit for tracking and maintaining drive of actuator/mass at resonance |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61204516A (ja) | 1986-09-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |