JPH1078326A - 角速度検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡潔な構成で正確な角速度検出を行うことが
できる角速度検出装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 本角速度検出装置は、Ｘ軸及びＺ軸に沿
った振動成分を有する振動を行うことができる第１部分
４と、第１部分４に機械的に結合した第２部分６と、第
１部分４をＸ軸方向に沿って振動させる励振信号Ｖ_Bを
第１部分４に与える励振手段１ｘ〜５ｘと、第２部分６
のＺ軸方向の振動成分に対応した検出信号Ｖ_Dを取り出
す信号取出手段Ｗ３，Ｗ４と、励振信号Ｖ_Bの振幅を調
整して検出信号Ｖ_Dに重畳する重畳手段１１ｘ，１２ｘ
とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コリオリの力を検
出することにより、運動中の被検出体の角速度を検出す
る角速度検出装置に関する。本発明の角速度検出装置
は、車両、航空機若しくは船舶等の移動体のナビゲーシ
ョンシステム若しくは姿勢制御又は撮像機器の手ブレ補
正等に適用され得る。

【０００２】

【従来の技術】圧電振動子を備えた角速度センサは角速
度検出装置の一種である。このような圧電振動子に電圧
を印加すると、圧電振動子は逆圧電効果に基づいて変形
し、印加電圧が所定の発振条件を満たす場合には、圧電
振動子は振動する。

【０００３】圧電振動子を移動体に固定し、この圧電振
動子を振動させながら移動体を回転させると、圧電振動
子の振動速度及び移動体の回転角速度に基づくコリオリ
の力が圧電振動子に働く。圧電振動子はコリオリの力に
よって歪むので、この歪量を圧電振動子の圧電効果に基
づいて検出すれば、コリオリの力を検知することができ
る。圧電振動子の振動が一定の場合、コリオリの力は移
動体の回転角速度に比例する。したがって、移動体の回
転角速度は検知されたコリオリの力から検出することが
できる。

【０００４】このような角速度センサは、特開平７−１
２８０６９号公報に記載されている。同公報には、一対
の振動部を備えた角速度センサが開示されている。この
角速度センサは、第１方向に沿って振動部を振動させる
励振回路と、コリオリの力の加わらない状態の振動部の
第２方向の振動を予め記憶する記憶回路と、検出された
振動部の第２方向の振動状態から記憶手段により記憶さ
れた振動状態を減じる信号処理回路とを備えている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の装置においては、正確な角速度検出ができるもの
の、記憶回路を必要とし、構成が複雑となるという課題
があった。

【０００６】本発明は、このような課題を解決するため
になされたものであり、簡潔な構成で正確な角速度検出
を行うことができる角速度検出装置を提供することを目
的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、被検出体に設
けられ、その運動の角速度を検出する角速度検出装置を
対象とする。この装置は、第１及び第２方向に沿った振
動成分を有する振動を行うことができる第１部分と、第
１部分に機械的に結合した第２部分と、第１部分を第１
方向に沿って振動させる励振信号を第１部分に与える励
振手段と、第２部分の第２方向の振動成分に対応した検
出信号を取り出す信号取出手段と、励振信号の振幅を調
整して検出信号に重畳する重畳手段とを備える。

【０００８】励振手段は、励振信号を第１部分に与え
る。なお、励振信号は、例えば方形波信号等の信号に波
形成形されて第１部分に与えられてもよい。第１部分
は、励振信号が印加されることにより、第１方向に沿っ
て振動する。

【０００９】第１部分を振動させた状態で、被検出体が
所定の角速度で運動すると、第１部分には、その振動速
度及び被検出体の角速度に依存してコリオリの力が働
く。第１部分は、このコリオリの力によって第２方向に
沿った振動を行う。なお、第１部分は、その形状の非対
称性等によっても第２方向に沿った振動を行うが、これ
ら、コリオリの力による第２方向に沿った振動成分の位
相と、形状の非対象性等による第２方向に沿った振動成
分の位相とは、例えば、９０度ずれている。

【００１０】第２部分は第１部分に機械的に結合してい
るので、第１部分の第２方向の振動は、第２部分に伝達
される。第２部分の第２方向の振動成分に対応した検出
信号は、信号取出手段によって取り出される。

【００１１】励振信号の位相と前記形状の非対称性等に
よる振動成分の位相とは略等しい。したがって、重畳手
段によって、励振信号の振幅を適当に調整して検出信号
に重畳すると、この前記形状の非対称性等による振動成
分に起因した信号成分を除去することができ、コリオリ
の力による振動のみに基づく信号を選択的に取り出すこ
とができる。このコリオリの力は被検出体の角速度に基
づいて発生しているので、このコリオリの力による振動
のみに基づく信号を検出すれば、被検出体の角速度を検
出することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る角速度検出装
置の一形態について、添付の図面を参照して説明する。
なお、以下の説明において、同一要素には同一符号を用
いるものとし、重複する説明は省略する。

【００１３】図１は、実施の態様に係る角速度検出装置
の平面図である。本角速度検出装置は、固定台１００
と、固定台１００上に一端で固定された圧電振動子２０
０とを備える。固定台１００は、主表面１００ａ及び設
置表面１００ｂを有し、主表面１００ａと設置表面１０
０ｂとはその境界で段差Ｓを形成する。

【００１４】振動子２００は、水晶等の圧電性結晶部材
及びこの圧電性結晶部材に設けられた複数の電極から構
成され、この水晶のＺ軸は紙面に垂直である。なお、水
晶のＺ軸は、紙面に垂直な面から１５°以下の角度だけ
ずれていてもよい。なお、図１においては、簡単のた
め、これらの電極を表示していない。

【００１５】振動子２００は、固定部１と、固定部１の
一端から水晶のＹ軸に沿って延びた支持棒２と、支持棒
２の他端に連続し、水晶のＸ軸に沿って延びた基部３
と、基部３の両端から、固定部１から離れる方向に延び
た励振用振動片対４，５と、基部３の両端から固定部１
に近付く方向に延びた検出用振動片対６，７とを備え
る。

【００１６】振動子２００の固定部１は、固定台１００
の設置表面１００ｂに固定されており、振動子２００の
支持棒２、基部３及び振動片４〜７は、固定台１００の
主表面１００ａに空間を介して対向している。

【００１７】図２は、図１に示した励振用振動片４及び
５をＡ−Ａ線矢印に沿って切った励振用振動片４及び５
の断面ＸＡ、検出用振動片６及び７をＢ−Ｂ線矢印に沿
って切った検出用振動片６及び７の断面ＸＢ及びこれら
の振動片４〜７に接続された処理回路３００を示す。

【００１８】励振用振動片４は、圧電性結晶からなる圧
電性結晶部４ｐ、圧電性結晶部４ｐの各側面に固定され
た上面電極４ａ、右面電極４ｂ、下面電極４ｃ及び左面
電極４ｄから構成される。上面電極４ａ、右面電極４
ｂ、下面電極４ｃ及び左面電極４ｄは、それぞれ、圧電
性結晶部４ｐの上面、右面、下面及び左面のみに形成さ
れ、互いに物理的に分離しており、基部３と振動片４と
の境界近傍から振動片４の先端方向へと延びている。

【００１９】励振用振動片５は、圧電性結晶からなる圧
電性結晶部５ｐ及び電極５ａ〜５ｄから構成される。な
お、振動片５の構造は、振動片４の構造と同一であるの
で説明を省略する。

【００２０】検出用振動片６は、圧電性結晶からなる圧
電性結晶部６ｐ及び圧電性結晶部６ｐの各側面に固定さ
れた上面電極６ａ，６ｂ、下面電極６ｃ，６ｄから構成
される。上面電極６ａ，６ｂ及び下面電極６ｃ，６ｄ
は、それぞれ、圧電性結晶部６ｐの上面及び下面のみに
形成され、互いに物理的に分離しており、基部３と振動
片６との境界近傍から振動片６の先端方向へと延びてい
る。

【００２１】検出用振動片７は、圧電性結晶からなる圧
電性結晶部７ｐ及び電極７ａ〜７ｄから構成される。な
お、振動片７の構造は、振動片６の構造と同一であるの
で説明を省略する。

【００２２】励振用振動片４，５の電極群４ｂ，４ｄ，
５ａ，５ｃは、配線Ｗ１を介して端子Ｔ１に接続されて
おり、電極群４ａ，４ｃ，５ｂ，５ｄは、配線Ｗ２を介
して端子Ｔ２に接続されている。

【００２３】検出用振動片６，７の電極群６ａ，６ｄ，
７ｃ，７ｂは、配線Ｗ３を介して端子Ｔ３に接続されて
おり、電極群６ｃ，６ｂ，７ａ，７ｄは、配線Ｗ４を介
して端子Ｔ４に接続されている。

【００２４】それぞれの端子Ｔ１〜Ｔ４には、処理回路
３００が接続されている。なお、処理回路３００は、図
１に示した固定台１００の裏面に設けられる。処理回路
３００は、比較器１ｘ、電流電圧変換回路２ｘ、電圧フ
ォロワ３ｘ、反転増幅回路４ｘ，５ｘ、電流電圧変換回
路６ｘ，７ｘ、電圧フォロワ８ｘ，９ｘ、差動増幅回路
１０ｘ、利得調整回路１１ｘ、差動増幅回路１２ｘ、反
転増幅回路１３ｘ，１４ｘ、ローパスフィルタ付増幅回
路１５ｘ，１６ｘ及び９０°位相回路１７ｘを備える。
抵抗Ｒ１〜Ｒ３７、コンデンサＣ１〜Ｃ１５、オペアン
プＡ１〜Ａ１６、インバータＩ１及びトランジスタＱ１
は、図２に示す如く接続されている。なお、電源には５
Ｖ単一電源を用い、図中のダイヤ印は、２．５Ｖの電位
を示す。

【００２５】図３の（ａ）〜（ｈ）は、それぞれ、図２
の節点Ａ〜Ｈにおける電圧波形を示すタイミングチャー
トである。以下、これらのタイミングチャートを適宜参
照しつつ、処理回路１０３の構造及び動作について説明
する。

【００２６】比較器１ｘは、その反転入力端子に入力さ
れる信号が、２．５Ｖよりも低いときは、ハイレベルの
信号を出力し、２．５Ｖよりも高いときは、ローレベル
の信号を出力する。比較器１ｘの入力側には、図３
（ｃ）に示ように、２．５Ｖを振幅中心とする正弦波交
流電圧Ｖ_Cが入力される。したがって、比較器１ｘから
は、その繰り返し周波数が正弦波交流電圧Ｖ_Cの周波数
に一致した方形波電圧Ｖ_Aが出力される。方形波電圧Ｖ_A
の波形を図３（ａ）に示す。

【００２７】方形波電圧Ｖ_Aが、励振用振動片４及び５
の電極群４ｂ，４ｄ，５ａ，５ｃと電極群４ａ，４ｃ，
５ｂ，５ｄとの間に印加されると、励振用振動片４及び
５は、逆圧電効果に基づき、水晶のＸ軸方向に沿って互
いに逆位相で屈曲振動する。なお、励振用振動片４及び
５のＸ軸方向の固有振動数は、方形波電圧Ｖ_Aの繰り返
し周波数に略一致する。

【００２８】励振用振動片４及び５がＸ軸方向に沿って
屈曲すると、圧電効果によって励振用振動片４及び５の
表面に電荷が発生し、この電荷は電極４ａ，４ｃ，５
ｂ，５ｄを介して電流電圧変換回路２ｘに流入し、この
電流電圧変換回路２ｘによって電圧信号Ｖ_Bに変換され
る。振動片４及び５は、共に連成して単振動を行ってい
るため、電流電圧変換回路２ｘから出力される電圧波形
Ｖ_Bは正弦波となる。電圧波形Ｖ_Bを図３（ｂ）に示す。

【００２９】出力電圧Ｖ_Bは、バッファである電圧フォ
ロア３ｘを介して反転増幅回路４ｘ，５ｘに順次入力さ
れる。反転増幅回路４ｘ，５ｘは、それぞれ、入力信号
の位相を反転させて出力する。したがって、反転増幅回
路５ｘからは図３の（ｃ）に示す正弦波電圧信号Ｖ_Cが
出力され、上述のように、この正弦波電圧信号Ｖ_Cが比
較器１ｘに入力されるので、励振用振動片４及び５は持
続振動を行う。

【００３０】このように励振用振動片４，５がＸ軸方向
に沿って振動している状態で、この装置の取付けられた
被検出体が回転運動を行うと、この回転の角速度及び振
動片４，５の振動速度に応じて、振動片４及び５にコリ
オリの力がＺ軸方向に沿って働き、振動片４，５は互い
に逆位相でＺ軸方向に沿って振動する。コリオリの力
は、振動片４，５の振動速度が最大のとき、すなわち、
Ｘ軸方向の振動の位相が０°のとき最大となる。すなわ
ち、振動片４及び５のＸ軸方向の振動の位相と、コリオ
リの力によるＺ軸方向の振動の位相とは９０°ずれてい
る。一方、励振用振動片４，５の振動は、その形状の非
対称性等に基づいて、コリオリの力によらないＺ軸方向
の振動成分（以下、ノイズ振動成分とする）を有する。
励振用振動片４，５のＺ軸方向のノイズ振動成分の位相
は、Ｘ軸方向の振動の位相と略一致する。

【００３１】検出用振動片６，７は、それぞれ、励振用
振動片４，５のＺ軸方向の振動のみが選択的に伝達され
るように励振用振動片４，５に機械的に結合している。
したがって、コリオリの力が励振用振動片４，５に働く
ことにより、検出用振動片６，７は、Ｚ軸方向に沿って
互いに逆位相で振動する。検出用振動片６，７が、Ｚ軸
方向に沿って振動すると、その圧電性結晶部６ｐ，７ｐ
は、Ｚ軸方向に沿って歪み、圧電効果に基づいて圧電性
結晶部６ｐ，７ｐの表面に、その歪み量に対応した電荷
が発生する。この電荷は、電流電圧変換回路６ｘ，７ｘ
によって電圧信号に変換されるが、それぞれの電圧信号
は互いに逆位相である。

【００３２】電流電圧変換回路６ｘ，７ｘから出力され
た電圧信号は、それぞれ、電圧フォロア８ｘ，９ｘを介
して差動増幅回路１０ｘに入力される。これらの電圧信
号は互いに逆位相であるので、差動増幅回路１０ｘから
は、片方の電圧信号の振幅の２倍の振幅を有する電圧信
号Ｖ_Dが出力される。

【００３３】検出用振動片６，７の振動は、励振用振動
片４，５のＺ軸方向の振動が検出用振動片６，７に伝達
されることによって生じたものである。前述のように、
励振用振動片４，５のＺ軸方向のコリオリの力による振
動成分の位相とノイズ振動成分の位相は、９０°ずれて
いる。したがって、これらの振動成分が検出用振動片
６，７に伝達されることによって発生した電圧信号Ｖ_D
は、位相が互いに９０°ずれた電圧信号成分Ｖ_D1及びＶ
_D2を有する。図３（ｄ）において、コリオリの力の振動
成分による電圧信号成分Ｖ_D1を実線で示し、ノイズ振動
成分による電圧信号成分Ｖ_D2を破線で示す。

【００３４】励振側の電圧フォロア３ｘから出力された
電圧信号Ｖ_Bは、利得調整回路１１ｘを介して、差動増
幅回路１２ｘに入力される。利得調整回路１１ｘは、オ
ペアンプＡ１１の反転入力端子と出力端子との間に接続
された可変抵抗Ｒ１０を有しており、この可変抵抗Ｒ１
０の抵抗値を調整することにより、出力電圧の利得を調
整することができる。なお、この利得調整は、可変抵抗
Ｒ１０の抵抗値を調整する代わりに、電圧フォロア３ｘ
側の抵抗Ｒ９の抵抗値を調整することによって行っても
よい。

【００３５】差動増幅回路１２ｘには、励振側の利得調
整回路１１ｘから出力された電圧信号Ｖ_Eと同時に、検
出側の差動増幅回路１０ｘから出力された電圧信号Ｖ_D
も入力される。電圧信号Ｖ_Dに含まれるノイズ振動成分
による電圧信号成分Ｖ_D2の位相は、励振振動の位相、す
なわち、利得調整回路１１ｘから出力された電圧信号Ｖ
_Eの位相と一致する。したがって、これらの信号Ｖ_D2及
びＶ_Eの振幅が等しくなるように利得調整回路１１ｘに
おける利得を調整すれば、差動増幅回路１２ｘによっ
て、検出信号Ｖ_Dからノイズ振動成分による信号成分Ｖ
_D2が除去され、差動増幅回路１２ｘからは、図３（ｆ）
に示すように、コリオリの力による信号成分Ｖ_D1のみが
出力される。

【００３６】差動増幅回路１２ｘを通過したコリオリの
力による信号成分Ｖ_D1は、反転増幅回路１３ｘによって
反転され、反転された信号は、９０°位相回路１７ｘに
よって励振信号Ｖ_Cの位相が調整された信号Ｖ_Gで同期検
波される。すなわち、この反転された信号は、信号Ｖ_G
と同期しており、２．５Ｖよりも低いレベルの半周期で
はスイッチＳ１を通過し、高いレベルの半周期では反転
増幅回路１４ｘによって反転された後、スイッチＳ２を
通過する。したがって、コリオリの力による信号成分Ｖ
_D1は全波整流され、図３（ｈ）に示すように、ローパス
フィルタ付増幅回路１５ｘ，１６ｘによって整流された
信号を平滑化することにより、その直流成分Ｖ_Iが取り
出される。

【００３７】ローパスフィルタ付増幅回路１６ｘから出
力される直流成分Ｖ_Iのレベルは、コリオリの力による
信号成分Ｖ_D1の振幅、すなわち、被検出体の角速度の大
きさに依存しているので、ローパスフィルタ付増幅回路
１６ｘの出力レベルを観察することにより、被検出体の
角速度の大きさを検出することができる。なお、ローパ
スフィルタ付増幅回路１６ｘによる直流信号の増幅率
は、反転増幅回路１３ｘによる交流信号の増幅率よりも
低く設定される。

【００３８】また、本装置では、検出用の電極６ａ〜６
ｄ，７ａ〜７ｄは、それぞれの振動片６及び７に４つ設
けたが、この電極の数は６つ或いは８つであってもよ
い。

【００３９】さらに、本装置の振動子２００は、４つの
振動片４〜７を用いたが、これは、２つの振動片のみを
用い、それぞれの振動片に励振用の電極及び検出用の電
極を配置してもよい。

【００４０】本装置の圧電性結晶の材料は、水晶を用い
たが、これはＬｉＴａＯ₃等の圧電性結晶を代りに用い
てもよい。

【００４１】以上、説明したように、本実施の形態に係
る角速度検出装置は、第１及び第２方向（Ｘ軸、Ｚ軸）
に沿った振動成分を有する振動を行うことができる第１
部分４と、第１部分４に機械的に結合した第２部分６
と、第１部分４を第１方向（Ｘ軸）に沿って振動させる
励振信号Ｖ_Bを第１部分４に与える励振手段１ｘ〜５ｘ
と、第２部分６の第２方向（Ｚ軸）の振動成分に対応し
た検出信号Ｖ_Dを取り出す信号取出手段Ｗ３，Ｗ４と、
励振信号Ｖ_Bの振幅を調整して検出信号Ｖ_Dに重畳する重
畳手段１１ｘ，１２ｘとを備える。

【００４２】換言すれば、本装置は、第１方向（Ｘ軸）
及び該第１方向に直交する第２方向（Ｚ軸）それぞれの
方向に沿った振動成分を有する振動を行うことができる
第１部分４と、前記第１部分４に機械的に結合し、前記
第１部分４の第２方向（Ｚ軸）に沿った振動に連成振動
できる第２部分６と、前記第１部分４を前記第１方向
（Ｘ軸）に沿って振動させる励振信号Ｖ_Bを前記第１部
分４に与える励振手段１ｘ〜５ｘと、前記第２部分６の
前記第２方向（Ｚ軸）に沿った振動成分に対応した検出
信号Ｖ_Dを取り出す信号取出手段Ｗ３，Ｗ４と、前記励
振信号Ｖ_Bの振幅を調整した信号を前記検出信号Ｖ_Dに重
畳する重畳手段１１ｘ，１２ｘと、を備える。

【００４３】本装置によれば、重畳手段１１ｘ，１２ｘ
によって、励振信号Ｖ_Bの振幅を適当に調整して検出信
号Ｖ_Dに重畳すると、ノイズとなる信号成分Ｖ_D2を除去
することができ、コリオリの力による信号Ｖ_D1のみを選
択的に取り出すことができる。本装置では、記憶回路等
を用いることなく、ノイズとなる信号成分Ｖ_D2を除去す
ることができ、したがって、簡単な構成で検出される角
速度の精度を向上させることができる。

【００４４】また、本装置の第１部分４は、第１圧電性
結晶部４ｐと、励振信号Ｖ_Bが印加されることにより前
記第１圧電性結晶部４ｐが第１方向に沿って振動するよ
うに前記第１圧電性結晶部４ｐに設けられた電極４ａ〜
４ｄとを備え、前記第２部分６は、第１圧電性結晶部４
ｐに機械的に結合した第２圧電性結晶部６ｐと、前記第
２圧電性結晶部６ｐに設けられた別の電極６ａ〜６ｄと
を備え、前記信号取出手段Ｗ３，Ｗ４は、前記別の電極
６ａ〜６ｄに接続されていることが好ましい。

【００４５】この場合、第２圧電性結晶部６ｐの第２方
向の振動成分に対応した検出信号Ｖ_Dは、圧電効果に基
づいて、前記別の電極６ａ〜６ｄから取り出すことがで
きる。

【００４６】また、本装置は、第１方向（Ｘ軸）及び該
第１方向に直交する第２方向（Ｚ軸）それぞれの方向に
沿った振動成分を有する振動を行うことができる第１部
分４と、前記第１部分４に機械的に結合し、前記第１部
分４の第２方向（Ｚ軸）に沿った振動に連成振動できる
第２部分６と、前記第１部分４を前記第１方向（Ｘ軸）
に沿って振動させる励振信号Ｖ_Bを前記第１部分４に与
える励振手段１ｘ〜５ｘと、前記第２部分６の前記第２
方向（Ｚ軸）に沿った振動成分に対応した検出信号Ｖ_D
を取り出す信号取出手段Ｗ３，Ｗ４とを有し、前記第１
方向（Ｘ軸）及び前記第２方向（Ｚ軸）の双方に直交す
る第３方向（Ｙ軸）に沿った軸回りの角速度を検出する
角速度検出装置であって、前記角速度が略ゼロの状態に
おける前記検出信号Ｖ_Dの振幅を測定する振幅測定手段
と、前記励振信号Ｖ_Bの振幅を前記測定された振幅とな
るように調整した信号を前記検出信号Ｖ_Dに重畳する重
畳手段１１ｘ，１２ｘと、前記重畳信号Ｖ_Fに基づいて
前記角速度を算出する角速度算出手段と、を備える。こ
こで、振幅測定手段及び角速度算出手段は、マイクロプ
ロセッサから構成されることが好ましい。このような角
速度検出装置は、自動車等に搭載される。この場合、マ
イクロプロセッサの振幅測定手段は、車速が３ｋｍ／ｈ
以下であって、且つ、舵角が±１°以下のときに、自動
車の角速度をゼロと見做し、この時の節点Ｄの信号の振
幅を記憶することができる。

【００４７】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明に係る角
速度検出装置によれば、重畳手段によって、励振信号の
振幅を適当に調整して検出信号に重畳することにより、
コリオリの力によらない信号成分を除去することがで
き、したがって、記憶回路等を用いることなく、簡単な
構成で検出される角速度の精度を向上させることがで
き、装置の製造コストを低下させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、実施の形態に係る角速度検出装置の平
面図。

【図２】図２は、振動片の断面及び振動片に取付けられ
た処理回路を示す図。

【図３】図３は、処理回路上の電圧波形を示すタイミン
グチャート。

【符号の説明】

４…第１部分、６…第２部分、１ｘ〜５ｘ…励振手段、
Ｗ３，Ｗ４…信号取出手段、１１ｘ，１２ｘ…重畳手
段。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１及び第２方向に沿った振動成分を有
   する振動を行うことができる第１部分と、前記第１部分
   に機械的に結合した第２部分と、前記第１部分を前記第
   １方向に沿って振動させる励振信号を前記第１部分に与
   える励振手段と、前記第２部分の前記第２方向の振動成
   分に対応した検出信号を取り出す信号取出手段と、前記
   励振信号の振幅を調整して前記検出信号に重畳する重畳
   手段と、を備える角速度検出装置。