JPH04295716A - 角速度センサ装置 - Google Patents
角速度センサ装置Info
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- JPH04295716A JPH04295716A JP3060034A JP6003491A JPH04295716A JP H04295716 A JPH04295716 A JP H04295716A JP 3060034 A JP3060034 A JP 3060034A JP 6003491 A JP6003491 A JP 6003491A JP H04295716 A JPH04295716 A JP H04295716A
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- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【産業上の利用分野】本発明はセラミック圧電素子を使
用した音叉構造振動型角速度センサを駆動し、角速度に
比例した電圧を出力するための角速度センサ駆動回路に
関するものである。
用した音叉構造振動型角速度センサを駆動し、角速度に
比例した電圧を出力するための角速度センサ駆動回路に
関するものである。
【従来の技術】従来の角速度センサ駆動回路を図面に基
づき説明する。図６は従来の角速度センサ駆動回路の構
成を示すブロック図であり、１は第１の増幅器、２は整
流器、３は平滑回路、４は第２の増幅器、５は第３の増
幅器、６は位相検波器、７は平滑回路、８は直流増幅器
、９は音叉構造振動型角速度センサをそれぞれ示すもの
である。音叉構造振動型角速度センサ９は、モニタ用圧
電素子１０２の表面電荷を増幅する第１の増幅器１と、
この出力電圧を整流する整流器２と、この整流器２の出
力電圧を平滑する平滑回路３と、この平滑回路３の出力
電圧値が高くなると増幅度が低下し、低くなると増幅度
が高くなるように構成された第２の増幅器４とによって
駆動用圧電素子１０１に印加される電圧振幅が制御され
、音叉は一定振幅で音叉振動するように構成されている
。また、第１，第２の検知用圧電素子１０３，１０４の
表面電極には印加される角速度に応じて電荷が生じる。 この電荷は第３の増幅器５で増幅され、位相検波器６で
音叉振動の周期で位相検波されて角速度に比例した電圧
が得られる。この電圧は直流増幅器８によって直流増幅
されて出力されるように構成されたものであった。
づき説明する。図６は従来の角速度センサ駆動回路の構
成を示すブロック図であり、１は第１の増幅器、２は整
流器、３は平滑回路、４は第２の増幅器、５は第３の増
幅器、６は位相検波器、７は平滑回路、８は直流増幅器
、９は音叉構造振動型角速度センサをそれぞれ示すもの
である。音叉構造振動型角速度センサ９は、モニタ用圧
電素子１０２の表面電荷を増幅する第１の増幅器１と、
この出力電圧を整流する整流器２と、この整流器２の出
力電圧を平滑する平滑回路３と、この平滑回路３の出力
電圧値が高くなると増幅度が低下し、低くなると増幅度
が高くなるように構成された第２の増幅器４とによって
駆動用圧電素子１０１に印加される電圧振幅が制御され
、音叉は一定振幅で音叉振動するように構成されている
。また、第１，第２の検知用圧電素子１０３，１０４の
表面電極には印加される角速度に応じて電荷が生じる。 この電荷は第３の増幅器５で増幅され、位相検波器６で
音叉振動の周期で位相検波されて角速度に比例した電圧
が得られる。この電圧は直流増幅器８によって直流増幅
されて出力されるように構成されたものであった。
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の角速度センサ駆動回路では、駆動用圧電素子１０１
と第１の検知用圧電素子１０３との直交精度及びモニタ
用圧電素子１０２と第２の検知用圧電素子１０４との直
交精度バラツキにより、角速度信号がゼロの時でも第３
の増幅器５の入力端に音叉振動による電荷が生じる。こ
の電荷は位相検波器６を通過する時に完全に除去するこ
とができるが、この電荷は角速度によって生ずる電荷に
対し非常に大きな値であるために位相検波を行う前の第
３の増幅器５で増幅度を上げることができず、したがっ
て位相検波を行った後の直流増幅器８の増幅度を上げる
必要があり、これによって位相検波器６のスイッチング
スピードの変動により出力電圧が不安定になったり、直
流増幅器８のオフセット変動による出力電圧の温度変化
によるドリフトの発生などによる性能バラツキが大きく
、出力信号にリップルやノイズなどの悪影響を与えると
いう課題を有したものであった。本発明は上記課題を解
決し、性能の安定を図った角速度センサ駆動回路の提供
を目的とするものである。
来の角速度センサ駆動回路では、駆動用圧電素子１０１
と第１の検知用圧電素子１０３との直交精度及びモニタ
用圧電素子１０２と第２の検知用圧電素子１０４との直
交精度バラツキにより、角速度信号がゼロの時でも第３
の増幅器５の入力端に音叉振動による電荷が生じる。こ
の電荷は位相検波器６を通過する時に完全に除去するこ
とができるが、この電荷は角速度によって生ずる電荷に
対し非常に大きな値であるために位相検波を行う前の第
３の増幅器５で増幅度を上げることができず、したがっ
て位相検波を行った後の直流増幅器８の増幅度を上げる
必要があり、これによって位相検波器６のスイッチング
スピードの変動により出力電圧が不安定になったり、直
流増幅器８のオフセット変動による出力電圧の温度変化
によるドリフトの発生などによる性能バラツキが大きく
、出力信号にリップルやノイズなどの悪影響を与えると
いう課題を有したものであった。本発明は上記課題を解
決し、性能の安定を図った角速度センサ駆動回路の提供
を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明による角速度センサ駆動回路は、モニタ用圧電
素子の表面電極に生ずる電荷を入力とする第１の増幅器
と、この第１の増幅器の出力電圧を入力とする反転増幅
器と、この反転増幅器の出力電圧を入力とし前記駆動用
圧電素子の駆動電圧を出力すると共に音叉振動を一定に
保つように増幅度を変化させることの可能な第２の増幅
器と、この角速度センサの第１と第２の検知用圧電素子
の表面電極に生ずる電荷を入力としこの電荷量に比例し
た電圧を出力する第３の増幅器と、この第３の増幅器の
出力電圧を音叉振動のタイミングによって位相検波する
位相検波器と、この位相検波器の出力信号を平滑する平
滑回路と、この平滑回路の出力電圧を直流増幅する直流
増幅器と、前記第１の増幅器の出力端子もしくは前記反
転増幅器の出力端子のいずれかと前記第３の増幅器の入
力端子との間に抵抗素子もしくは容量素子を接続した構
成としたものである。
に本発明による角速度センサ駆動回路は、モニタ用圧電
素子の表面電極に生ずる電荷を入力とする第１の増幅器
と、この第１の増幅器の出力電圧を入力とする反転増幅
器と、この反転増幅器の出力電圧を入力とし前記駆動用
圧電素子の駆動電圧を出力すると共に音叉振動を一定に
保つように増幅度を変化させることの可能な第２の増幅
器と、この角速度センサの第１と第２の検知用圧電素子
の表面電極に生ずる電荷を入力としこの電荷量に比例し
た電圧を出力する第３の増幅器と、この第３の増幅器の
出力電圧を音叉振動のタイミングによって位相検波する
位相検波器と、この位相検波器の出力信号を平滑する平
滑回路と、この平滑回路の出力電圧を直流増幅する直流
増幅器と、前記第１の増幅器の出力端子もしくは前記反
転増幅器の出力端子のいずれかと前記第３の増幅器の入
力端子との間に抵抗素子もしくは容量素子を接続した構
成としたものである。
【作用】この構成によって第３の増幅器の入力信号に含
まれる音叉振動によるモレ信号成分を打ち消すことが可
能となり、これにより第３の増幅器の増幅度を上げるこ
とが可能となる。すなわち、音叉振動によるモレ信号成
分は音叉振動電圧を増幅している第１の増幅器の出力電
圧と同位相もしくは１８０°位相のズレた信号成分であ
る。このため、同位相の場合には、この信号を反転増幅
した信号をモレ信号の大小に応じて一定量加えてやれば
モレ信号を打ち消すことが可能であり、第１の増幅器の
出力電圧と１８０°位相のズレた信号成分であれば第１
の増幅器の出力電圧をモレ信号の大小に応じて一定量加
えてやればモレ信号を打ち消すことが可能となるもので
ある。
まれる音叉振動によるモレ信号成分を打ち消すことが可
能となり、これにより第３の増幅器の増幅度を上げるこ
とが可能となる。すなわち、音叉振動によるモレ信号成
分は音叉振動電圧を増幅している第１の増幅器の出力電
圧と同位相もしくは１８０°位相のズレた信号成分であ
る。このため、同位相の場合には、この信号を反転増幅
した信号をモレ信号の大小に応じて一定量加えてやれば
モレ信号を打ち消すことが可能であり、第１の増幅器の
出力電圧と１８０°位相のズレた信号成分であれば第１
の増幅器の出力電圧をモレ信号の大小に応じて一定量加
えてやればモレ信号を打ち消すことが可能となるもので
ある。
【実施例】以下、本発明による角速度センサ駆動回路の
一実施例を図面に基づいて説明する。まず音叉構造振動
型角速度センサについて図３〜図５を用いて説明する。 図３は本発明による角速度センサの構成を示す斜視図で
あり、主に４つの圧電素子からなる駆動素子１０１，モ
ニタ素子１０２，第１及び第２の検知素子１０３，１０
４で構成され、駆動素子１０１と第１の検知素子１０３
とを接合部１０５で直交接合した第１の振動ユニット１
０９と、モニタ素子１０２と第２の検知素子１０４とを
接合部１０６で直交接合した第２の振動ユニット１１０
とを連結板１０７で連結し、この連結板１０７を支持棒
１０８で一点支持した音叉構造に構成されている。なお
、上記４つの圧電素子１０１〜１０４はそれぞれ金属振
動体により構成された音叉に圧電体を接合して構成され
たものである。このように構成された角速度センサの駆
動素子１０１に正弦波電圧信号を与えると、逆圧電効果
により第１の振動ユニット１０９が振動を始め、音叉振
動により第２の振動ユニット１１０も振動を開始する。 従ってモニタ素子１０２の圧電効果によってモニタ素子
１０２表面に発生する電荷は駆動素子１０１へ印加して
いる正弦波電圧信号に比例する。このモニタ素子１０２
に発生する電荷を検出し、これが一定振幅になるように
駆動素子１０１へ印加する正弦波電圧信号をコントロー
ルすることにより安定した音叉振動を得ることができる
。この角速度センサ９が角速度に比例した出力を発生さ
せるメカニズムを図４及び図５を用いて説明する。 図４は上記図３に示した角速度センサ９を上からみた状
態を示すもので、速度υで振動している第１の検知素子
１０３に角速度ωの回転が加わると、第１の検知素子１
０３には『コリオリの力』が生じる。この『コリオリの
力』は速度υに垂直で大きさは２ｍυωである。第１の
検知素子１０３は音叉振動をしているので、ある時点で
速度υで振動しているとすれば、第２の検知素子１０４
は速度−υで振動しており『コリオリの力』は−２ｍυ
ωである。よって第１，第２の検知素子１０３，１０４
は図５のように互いに『コリオリの力』が働く方向に変
形し、第１，第２の検知素子表面には圧電効果によって
電荷が生じる。ここでυは音叉振動によって生じる運動
であり、音叉振動が υ＝ａ・ｓｉｎωｏｔ ａ：音叉振動の
振幅ωｏ：音叉振動の周期 であるとすれば、『コリオリの力』は Ｆｃ＝ａ・ω・ｓｉｎωｏｔ となり、角速度ω及び音叉振幅ａに比例しており、第１
，第２の検知素子１０３，１０４を面方向に変形させる
力となる。従って第１，第２の検知素子１０３，１０４
の表面電荷量Ｑは Ｑ∝ａ・ω・ｓｉｎωｏｔ となり音叉振幅ａが一定にコントロールされているとす
れば、 Ｑ∝ω・ｓｉｎωｏｔ となり第１，第２の検知素子１０３，１０４に発生する
表面電荷量Ｑは角速度ωに比例した出力として得られ、
この信号をωｏｔで同期検波すれば角速度ωに比例した
直流信号が得られる。なお、このセンサに角速度以外の
並進運動を与えても第１の検知素子１０３と第２の検知
素子１０４の２つの素子表面には同極性の電荷が生ずる
ため、直流信号に変換時、互いに打ち消しあって出力は
出ないようになっている。図１は本発明による角速度セ
ンサ駆動回路の一実施例を示すものであり、図１は本発
明の角速度センサ駆動回路の構成を示すブロック図であ
り、１は第１の増幅器、２は整流器、３は平滑回路、４
は第２の増幅器、５は第３の増幅器、６は位相検波器、
７は平滑回路、８は直流増幅器、９は音叉構造振動型角
速度センサ、１０は反転増幅器、１１は容量素子をそれ
ぞれ示すものである。また、図２（ａ），（ｂ），（ｃ
）は前記図１に示すブロック図における各部分の出力電
圧を示す出力波形図であり、（ａ）は第１の増幅器１の
出力電圧、（ｂ）は反転増幅器１０の出力電圧、（ｃ）
の破線は第３の増幅器５に入力される角速度信号に比例
した振幅で音叉振動周期と同周期の電荷、実線は音叉振
動のモレ信号成分の電荷である。この音叉振動のモレ信
号成分は前記した通り角速度センサの組立上の角度ズレ
によって生じ、その振幅量はズレの大きさに比例し、位
相は角度ズレが９０°に対し（＋）側か（−）側かによ
って１８０°異なった位相となるものである。従って、
あらかじめ角速度センサ単品ごとにモレ信号成分の位相
と大きさを測定し、このモレ信号成分を打ち消すために
最適な容量素子もしくは抵抗素子１１を選択し、モレ信
号成分の位相の極性により第１の増幅器１の出力端子も
しくは反転増幅器１０の出力端子のいずれかを選択して
上記端子と第３の増幅器５の入力端子との間に容量素子
もしくは抵抗素子１１を接続することにより前記図２（
ｃ）に実線で示すモレ信号成分を減少させることができ
る。このように構成された角速度センサ駆動回路におい
て、仮に図２（ｃ）に実線で示すモレ信号成分が破線で
示す第３の増幅器５に入力される角速度信号に比例した
振幅で音叉振動周期と同周期の電荷の信号に対し１０倍
の大きさであったとすると、実線のモレ信号成分を打ち
消すことにより第３の増幅器５の増幅度を１０倍に上げ
ることができ、従来と同感度の出力電圧を得るためには
直流増幅器８の増幅度は１／１０でよいことになる。こ
の結果、位相検波器６のスイッチングスピードによる誤
差や直流増幅器８のオフセット変動による誤差が１／１
０に縮小され、またノイズ及びリップルも小さくなる。 なお、第３の増幅器５の増幅度を１０倍にすることによ
り第３の増幅器５のオフセット変動も１０倍の影響が生
じるが、位相検波器６を介した構成とすることによりこ
の影響は除去され、性能の安定化を図ることが可能にな
る。
一実施例を図面に基づいて説明する。まず音叉構造振動
型角速度センサについて図３〜図５を用いて説明する。 図３は本発明による角速度センサの構成を示す斜視図で
あり、主に４つの圧電素子からなる駆動素子１０１，モ
ニタ素子１０２，第１及び第２の検知素子１０３，１０
４で構成され、駆動素子１０１と第１の検知素子１０３
とを接合部１０５で直交接合した第１の振動ユニット１
０９と、モニタ素子１０２と第２の検知素子１０４とを
接合部１０６で直交接合した第２の振動ユニット１１０
とを連結板１０７で連結し、この連結板１０７を支持棒
１０８で一点支持した音叉構造に構成されている。なお
、上記４つの圧電素子１０１〜１０４はそれぞれ金属振
動体により構成された音叉に圧電体を接合して構成され
たものである。このように構成された角速度センサの駆
動素子１０１に正弦波電圧信号を与えると、逆圧電効果
により第１の振動ユニット１０９が振動を始め、音叉振
動により第２の振動ユニット１１０も振動を開始する。 従ってモニタ素子１０２の圧電効果によってモニタ素子
１０２表面に発生する電荷は駆動素子１０１へ印加して
いる正弦波電圧信号に比例する。このモニタ素子１０２
に発生する電荷を検出し、これが一定振幅になるように
駆動素子１０１へ印加する正弦波電圧信号をコントロー
ルすることにより安定した音叉振動を得ることができる
。この角速度センサ９が角速度に比例した出力を発生さ
せるメカニズムを図４及び図５を用いて説明する。 図４は上記図３に示した角速度センサ９を上からみた状
態を示すもので、速度υで振動している第１の検知素子
１０３に角速度ωの回転が加わると、第１の検知素子１
０３には『コリオリの力』が生じる。この『コリオリの
力』は速度υに垂直で大きさは２ｍυωである。第１の
検知素子１０３は音叉振動をしているので、ある時点で
速度υで振動しているとすれば、第２の検知素子１０４
は速度−υで振動しており『コリオリの力』は−２ｍυ
ωである。よって第１，第２の検知素子１０３，１０４
は図５のように互いに『コリオリの力』が働く方向に変
形し、第１，第２の検知素子表面には圧電効果によって
電荷が生じる。ここでυは音叉振動によって生じる運動
であり、音叉振動が υ＝ａ・ｓｉｎωｏｔ ａ：音叉振動の
振幅ωｏ：音叉振動の周期 であるとすれば、『コリオリの力』は Ｆｃ＝ａ・ω・ｓｉｎωｏｔ となり、角速度ω及び音叉振幅ａに比例しており、第１
，第２の検知素子１０３，１０４を面方向に変形させる
力となる。従って第１，第２の検知素子１０３，１０４
の表面電荷量Ｑは Ｑ∝ａ・ω・ｓｉｎωｏｔ となり音叉振幅ａが一定にコントロールされているとす
れば、 Ｑ∝ω・ｓｉｎωｏｔ となり第１，第２の検知素子１０３，１０４に発生する
表面電荷量Ｑは角速度ωに比例した出力として得られ、
この信号をωｏｔで同期検波すれば角速度ωに比例した
直流信号が得られる。なお、このセンサに角速度以外の
並進運動を与えても第１の検知素子１０３と第２の検知
素子１０４の２つの素子表面には同極性の電荷が生ずる
ため、直流信号に変換時、互いに打ち消しあって出力は
出ないようになっている。図１は本発明による角速度セ
ンサ駆動回路の一実施例を示すものであり、図１は本発
明の角速度センサ駆動回路の構成を示すブロック図であ
り、１は第１の増幅器、２は整流器、３は平滑回路、４
は第２の増幅器、５は第３の増幅器、６は位相検波器、
７は平滑回路、８は直流増幅器、９は音叉構造振動型角
速度センサ、１０は反転増幅器、１１は容量素子をそれ
ぞれ示すものである。また、図２（ａ），（ｂ），（ｃ
）は前記図１に示すブロック図における各部分の出力電
圧を示す出力波形図であり、（ａ）は第１の増幅器１の
出力電圧、（ｂ）は反転増幅器１０の出力電圧、（ｃ）
の破線は第３の増幅器５に入力される角速度信号に比例
した振幅で音叉振動周期と同周期の電荷、実線は音叉振
動のモレ信号成分の電荷である。この音叉振動のモレ信
号成分は前記した通り角速度センサの組立上の角度ズレ
によって生じ、その振幅量はズレの大きさに比例し、位
相は角度ズレが９０°に対し（＋）側か（−）側かによ
って１８０°異なった位相となるものである。従って、
あらかじめ角速度センサ単品ごとにモレ信号成分の位相
と大きさを測定し、このモレ信号成分を打ち消すために
最適な容量素子もしくは抵抗素子１１を選択し、モレ信
号成分の位相の極性により第１の増幅器１の出力端子も
しくは反転増幅器１０の出力端子のいずれかを選択して
上記端子と第３の増幅器５の入力端子との間に容量素子
もしくは抵抗素子１１を接続することにより前記図２（
ｃ）に実線で示すモレ信号成分を減少させることができ
る。このように構成された角速度センサ駆動回路におい
て、仮に図２（ｃ）に実線で示すモレ信号成分が破線で
示す第３の増幅器５に入力される角速度信号に比例した
振幅で音叉振動周期と同周期の電荷の信号に対し１０倍
の大きさであったとすると、実線のモレ信号成分を打ち
消すことにより第３の増幅器５の増幅度を１０倍に上げ
ることができ、従来と同感度の出力電圧を得るためには
直流増幅器８の増幅度は１／１０でよいことになる。こ
の結果、位相検波器６のスイッチングスピードによる誤
差や直流増幅器８のオフセット変動による誤差が１／１
０に縮小され、またノイズ及びリップルも小さくなる。 なお、第３の増幅器５の増幅度を１０倍にすることによ
り第３の増幅器５のオフセット変動も１０倍の影響が生
じるが、位相検波器６を介した構成とすることによりこ
の影響は除去され、性能の安定化を図ることが可能にな
る。
【発明の効果】本発明による角速度センサ駆動回路は、
角速度がゼロの時に検知用圧電素子に発生し第３の増幅
器に入力する電荷を打ち消すことが可能となり、これに
より位相検波前の増幅段における増幅度を上げることが
可能となり、これにより出力信号に含まれる音叉振動周
波数のリップルの減少、位相検波器のスイッチングスピ
ードの変動による出力電圧のフラツキや温度ドリフトの
低下、直流増幅器のオフセット変動による出力電圧の温
度ドリフトの低下、出力電圧に含まれるノイズの減少な
どの効果を得ることが可能になるものである。
角速度がゼロの時に検知用圧電素子に発生し第３の増幅
器に入力する電荷を打ち消すことが可能となり、これに
より位相検波前の増幅段における増幅度を上げることが
可能となり、これにより出力信号に含まれる音叉振動周
波数のリップルの減少、位相検波器のスイッチングスピ
ードの変動による出力電圧のフラツキや温度ドリフトの
低下、直流増幅器のオフセット変動による出力電圧の温
度ドリフトの低下、出力電圧に含まれるノイズの減少な
どの効果を得ることが可能になるものである。
【図１】本発明の一実施例における角速度センサ駆動回
路の構成を示すブロック図
路の構成を示すブロック図
【図２】（ａ）同実施例における第１の増幅器の出力電
圧を示す出力波形図 （ｂ）同実施例における反転増幅器の出力電圧を示す出
力波形図 （ｃ）音叉振動のモレ信号成分の電荷を示す出力波形図
圧を示す出力波形図 （ｂ）同実施例における反転増幅器の出力電圧を示す出
力波形図 （ｃ）音叉振動のモレ信号成分の電荷を示す出力波形図
【図３】同実施例における角速度センサの構成を示す斜
視図
視図
【図４】同実施例における角速度センサの動作を説明す
る主要部平面図
る主要部平面図
【図５】同実施例における角速度センサの動作を説明す
る主要部斜視図
る主要部斜視図
【図６】従来の角速度センサ駆動回路の一例を示すブロ
ック図
ック図
１ 第１の増幅器
２ 整流器
３，７ 平滑回路
４ 第２の増幅器
５ 第３の増幅器
６ 位相検波器
８ 直流増幅器
９ 角速度センサ
１０ 反転増幅器
１１ 容量素子
１０１ 駆動用圧電素子
１０２ モニタ用圧電素子
１０３ 第１の検知用圧電素子
１０４ 第２の検知用圧電素子
１０５，１０６ 接合部
１０７ 連結板
１０９ 第１の振動ユニット
１１０ 第２の振動ユニット
Claims (2)
- 【請求項１】駆動用圧電素子と第１の検知用圧電素子と
を互いに直交接合してなる第１の振動ユニット及びモニ
タ用圧電素子と第２の検知用圧電素子とを互いに直交接
合してなる第２の振動ユニットからなり、かつ前記第１
，第２の振動ユニットを検知軸に沿って互いに平行にな
るように前記駆動用圧電素子と前記モニタ用圧電素子の
自由端どうしを連結板で連結して音叉構造とした角速度
センサと、この角速度センサのモニタ用圧電素子の表面
電極に生ずる電荷を入力とする第１の増幅器と、この第
１の増幅器の出力電圧を整流する整流器と、この整流器
の出力電圧を平滑する平滑回路と、上記平滑回路の出力
電圧ならびに第１の増幅器の出力電圧を入力とする反転
増幅器と、この反転増幅器の出力電圧を入力とし前記駆
動用圧電素子の駆動用電圧を可変調整して出力する第２
の増幅器と、この角速度センサの第１と第２の検知用圧
電素子の表面電極に生ずる電荷を入力としこの電荷量に
比例した電圧を出力する第３の増幅器と、この第３の増
幅器の出力電圧を音叉振動のタイミングによって位相検
波する位相検波器と、この位相検波器の出力信号を平滑
する平滑回路と、この平滑回路の出力電圧を直流増幅す
る直流増幅器と、前記第１の増幅器の出力端子もしくは
反転増幅器の出力端子のいずれかと前記第３の増幅器の
入力端子との間に抵抗素子もしくは容量素子を接続して
構成された角速度センサ駆動回路。 - 【請求項２】角速度センサが金属振動体により構成され
た音叉に圧電体を接合して構成されたものである請求項
１記載の角速度センサ駆動回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3060034A JP2998248B2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 角速度センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3060034A JP2998248B2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 角速度センサ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04295716A true JPH04295716A (ja) | 1992-10-20 |
| JP2998248B2 JP2998248B2 (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=13130387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3060034A Expired - Fee Related JP2998248B2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 角速度センサ装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2998248B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6732586B2 (en) | 1995-05-30 | 2004-05-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
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| WO2005078388A1 (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角速度センサ及びそれを用いた自動車 |
-
1991
- 1991-03-25 JP JP3060034A patent/JP2998248B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6705151B2 (en) | 1995-05-30 | 2004-03-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
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| US6912901B1 (en) | 1995-05-30 | 2005-07-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
| US6959584B2 (en) | 1995-05-30 | 2005-11-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
| JP2002267448A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
| WO2002073131A1 (fr) * | 2001-03-09 | 2002-09-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Capteur de vitesse angulaire |
| WO2005078388A1 (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角速度センサ及びそれを用いた自動車 |
| JP2005227214A (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ及びそれを用いた自動車 |
| US7347093B2 (en) | 2004-02-16 | 2008-03-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor and automobile using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2998248B2 (ja) | 2000-01-11 |
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