JP2547911B2 - 振動制御装置 - Google Patents

振動制御装置

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JP2547911B2 JP3285017A JP28501791A JP2547911B2 JP 2547911 B2 JP2547911 B2 JP 2547911B2 JP 3285017 A JP3285017 A JP 3285017A JP 28501791 A JP28501791 A JP 28501791A JP 2547911 B2 JP2547911 B2 JP 2547911B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば振動ジャイロ
において、振動子を効率良く自励振動させるための振動
制御装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】圧電形振動ジャイロに用いられる従来の
振動制御装置としては、図4に示すようなものが知られ
ている。この振動制御装置は、振動体1の側面に駆動用
圧電素子2および帰還用圧電素子3をそれぞれ貼着して
成る振動子4を自励振動させるもので、駆動装置5の出
力を駆動用圧電素子2に供給し、帰還用圧電素子3の出
力を駆動装置5に帰還するようにしている。
【0003】駆動装置5は、帰還用圧電素子3の出力を
直流化する平滑回路6と、その出力を基準電圧源7の基
準レベルと比較する比較器8と、この比較器8の出力と
帰還用圧電素子3の出力とを掛け算する掛け算器9と、
この掛け算器9の出力を微分する微分器10とをもって
構成され、微分器10により駆動装置5の出力が帰還用
圧電素子3の出力に対して微分値的な位相角関係となる
ようにすることによって、振動子4を効率良く自励振動
させるようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の振動制御装置にあっては、一枚の駆動用圧電素
子2に対して一枚の帰還用圧電素子3を別個に設けるよ
うにしているため、例えば駆動効率を高めるために複数
枚の駆動用圧電素子を貼着する場合には、それに応じて
複数枚の帰還用圧電素子を貼着する必要があり、振動子
4の組み立て作業が面倒になるという問題がある。ま
た、駆動用圧電素子2によって発生される振動は、その
圧電素子用の接着層11を経て振動体1に伝達され、同
様に振動体1の振動は、帰還用圧電素子3にその接着層
12を経て伝達されるため、両圧電素子2,3間の特性
差や、接着層11,12の温度依存性等の影響を受け易
く、これがため振動子4の振動が不安定になるという問
題がある。
【0005】このような問題を解決するものとして、本
出願人は、一対の圧電素子に駆動、帰還および検出の三
つの機能を持たせながら、個々の圧電素子の特性差や接
着層の温度依存性等の影響を排除した振動ジャイロを開
発している。図5は、かかる振動ジャイロの一例の構成
を示すもので、振動子13は、横断面形状が四角形の振
動体14の一側面14aにその幅方向に二分割した分割
電極15a,15bを有する第1の圧電素子15を貼着
すると共に、側面14aと隣接する他の側面14bに同
様に幅方向に二分割した分割電極16a,16bを有す
る第2の圧電素子16を貼着して構成する。これら分割
電極15a,15b,16a,16bは、それぞれのイ
ンピーダンス素子Z1,Z2,Z3,Z4 を介して駆動装置1
7に接続し、これにより各分割電極に駆動電圧を同時に
印加する。
【0006】インピーダンス素子Z1,Z2 と分割電極1
5a,15bとのそれぞれの接続点19a,19bにお
ける出力は、差動増幅器20aに供給して差動増幅し、
同様にインピーダンス素子Z3,Z4と分割電極16a,
16bとのそれぞれの接続点19c,19dにおける出
力は、差動増幅器20bに供給して差動増幅する。これ
ら差動増幅器20a,20bの出力は、加算器21に供
給して加算し、この加算器21の出力を駆動装置17に
帰還する。
【0007】駆動装置17は、加算器21の出力を直流
化する平滑回路22と、その出力を基準電圧源23の基
準レベルと比較する比較器24と、この比較器24の出
力と加算器21の出力とを掛け算する掛け算器25とを
もって構成し、この掛け算器25の出力を上述したよう
に、第1,第2の圧電素子15,16の各分割電極に同
時に印加する。また、差動増幅器20a,20bの出力
は、差動増幅器26に供給して差動増幅し、この差動増
幅器26の出力を同期検波器27で検波した後、平滑回
路28で平滑して角速度検出信号を得る。
【0008】かかる構成において、各分割電極15a,
15b,16a,16bに駆動電圧が印加されると、振
動子13はX軸方向に屈曲振動する。このように、振動
子13がX軸方向に屈曲振動すると、振動体14の側面
14a上に貼付された圧電素子15の分割電極15a,
15bは、側面14a上の幅方向で振動体14の曲率半
径が異なるためにその歪みに差が生じる。同様に、圧電
素子16の分割電極16a,16bにおいてもその歪み
に差が生じる。
【0009】したがって、接続点19a,19bおよび
19c,19dにおける出力差をそれぞれ差動増幅器2
0aおよび20bで検出すれば、これら差動増幅器20
a,20bからは振動子13のX軸方向の屈曲振動にの
み対応した電圧が得られる。しかも、分割電極15a,
15bおよび16a,16bを、それぞれ同一の圧電素
子15および16に設けているので、静電容量値および
その温度依存性を一致させることができる。したがっ
て、周囲の温度変化に影響されることなく、駆動電圧を
常にほぼ完全に消去することができるので、振動子13
を安定して振動させることができる。
【0010】また、図5において、振動子13がZ軸廻
りの回転を受けると、振動子13はその角速度に比例す
るコリオリの力によりY軸方向の屈曲振動成分を有する
ようになり、差動増幅器20a,20bの出力に差が生
じる。したがって、これら差動増幅器20a,20bの
出力を差動増幅器26に供給して差動増幅すれば、コリ
オリの力の発生に伴う電圧を分離して検出することがで
きるので、この差動増幅器26の出力を同期検波器27
で検波して平滑回路28で平滑することにより角速度を
高精度で検出することができる。
【0011】図5に示した振動ジャイロは、本願人が開
発した新規なもので、図4に示した従来の振動制御装置
における問題点を有効に解決することができるが、かか
る振動ジャイロにおいて振動子を効率良く自励振動させ
るためには、その好適条件を検討し、設定する必要があ
る。
【0012】この発明は、図5に示したように、各圧電
素子に駆動、帰還および検出の三つの機能を持たせ、個
々の圧電素子の特性差や接着層の温度依存性等に影響さ
れずに振動子を駆動する新規な振動制御装置において、
振動子の駆動効率を有効に向上できるよう適切に構成し
た振動制御装置を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明では、横断面形状が多角形をなす共振点を
有する振動体の第1の側面および該第1の側面と非平行
な第2の側面に、少なくとも該振動体の幅方向に二分割
した電極をそれぞれ有する第1の圧電素子および第2の
圧電素子を貼着してなる振動子と、前記第1,第2の圧
電素子の各電極に接続したインピーダンス素子と、これ
らインピーダンス素子を介して前記第1,第2の圧電素
子の各電極に駆動電圧を印加して前記振動子を所定の振
動方向に振動させる駆動装置と、前記振動子の所定の振
動方向において屈曲状態が等しくなる前記第1,第2の
圧電素子のそれぞれの一方の電極と対応する前記インピ
ーダンス素子とのそれぞれの接続点における出力をV
a,Vc、前記第1,第2の圧電素子のそれぞれの他方
の電極と対応する前記インピーダンス素子とのそれぞれ
の接続点における出力をVb,Vdとするとき、(Va
−Vb+Vc−Vd)または(−Va+Vb−Vc+V
d)を演算する演算手段とを具え、この演算手段の出力
を前記駆動装置に帰還して前記振動子を前記所定の振動
方向に自励振動させる振動制御装置であって、前記駆動
装置の出力を前記演算手段の出力に対して微分値的位相
角関係に設定する位相調整手段を設ける。
【0014】
【作用】図5に示す構成において、振動子13の駆動効
率の良い条件を検討するために、圧電素子15および1
6に交流電圧を印加して振動子13を振動させたとこ
ろ、振動子13は、特定の周波数域において、振動に対
する抵抗を内在した物理的な振幅共振現象を生じ、圧電
素子15および16に印加した交流電圧に対して、振動
に対する抵抗を内在することに基づく位相の遅れを伴う
運動となって、加算器21からは、位相的にその運動に
対応した交流電圧が得られることが確認された。しか
も、振動子13の振幅と、加算器21の出力の振幅とに
比例的関係があり、振動子13の物理的な振幅共振現象
を生じる周波数域で、加算器21の出力の振幅は極大を
示すことが確認された。
【0015】このことは、図4に示した従来構成の振動
子4と同様の運動をしており、振動子4の振幅共振現象
に伴って、駆動用の交流電圧が帰還用圧電素子3の出力
に対して微分値的な位相角関係になるのと同様に、図5
に例示した振動子13の振幅共振現象においても、駆動
用の交流電圧が加算器21の出力に対して微分値的な位
相角関係になることを意味する。したがって、振動子1
3の形状、材質等によって決定づけられる振幅共振現象
を生じる周波数域において、駆動装置17の出力を位相
調整手段により加算器21の出力に対して微分値的な位
相角関係に設定すれば、振動子13を振幅共振現象を生
じた状態で、継続的に自励振動させることができ、駆動
効率を向上させることが可能となる。
【0016】
【実施例】図1はこの発明の第1実施例を示すもので、
図5に示す符号と同一符号は同一作用をなすものを示
す。振動子13は、横断面形状が四角形の共振点を有す
る振動体14の一側面14aにその幅方向に二分割した
分割電極15a,15bを有する第1の圧電素子15を
貼着すると共に、側面14aと隣接する他の側面14b
に同様に幅方向に二分割した分割電極16a,16bを
有する第2の圧電素子16を貼着して構成する。これら
分割電極15a,15b,16a,16bには、それぞ
れのインピーダンス素子Z1,Z2,Z3,Z4 を介して駆動
装置30からの駆動電圧を同時に印加する。
【0017】インピーダンス素子Z1,Z2 と分割電極1
5a,15bとのそれぞれの接続点19aおよび19b
における出力は、差動増幅器20aの反転入力端子およ
び非反転入力端子に供給して差動増幅し、同様にインピ
ーダンス素子Z3,Z4 と分割電極16a,16bとのそ
れぞれの接続点19c,19dにおける出力は、差動増
幅器20bの反転入力端子および非反転入力端子に供給
して差動増幅する。すなわち、接続点19a,19b,
19c,19dにおける出力をそれぞれVa,Vb,V
c,Vdとするとき、差動増幅器20aにおいてA1(−
Va+Vb) を演算し、差動増幅器20bにおいてA
2(−Vc+Vd) を演算する。なお、A1およびA2
は、差動増幅器20aおよび20bにおける増幅率を示
す。これら、差動増幅器20a,20bの出力は、加算
器21に供給してA3(−Va+Vb−Vc+Vd) を演
算し(A3 は増幅率)、この加算器21の出力を駆動装
置30に帰還する。
【0018】駆動装置30は、加算器21の出力を直流
化する平滑回路22と、その出力を基準電圧源23の基
準レベルと比較する比較器24と、この比較器24の出
力と加算器21の出力とを掛け算する掛け算器25と、
この掛け算器25の出力を微分する微分器31とをもっ
て構成し、この微分器31の出力を上述したように、第
1,第2の圧電素子15,16の各分割電極に同時に印
加する。ここで、微分器31は位相調整手段を構成し、
その時定数は、振動子13の形状、材質等で決定づけら
れる振幅共振現象を生じる周波数域において、所定の位
相角となるように設定する。
【0019】このように、駆動装置30において、掛け
算器25の出力を、振動子13の形状、材質等で決定づ
けられる振幅共振現象を生じる周波数域において、所定
の位相角となるように時定数を設定した微分器31で微
分して振動子13を駆動すれば、振動子13は振幅共振
現象を生じた状態で、加算器21の出力の振幅が一定と
なるように継続的に自励振動させることができ、駆動効
率を向上させることができる。
【0020】図2はこの発明の第2実施例を示すもので
ある。この実施例では、図1において、接続点19aお
よび19bにおける出力を、差動増幅器20aの非反転
入力端子および反転入力端子に供給してA1(Va−V
b) を演算し、接続点19c,19dにおける出力を、
差動増幅器20bの非反転入力端子および反転入力端子
に供給してA2(Vc−Vd) を演算し、これら差動増幅
器20a,20bの出力を加算器21に供給してA3(V
a−Vb+Vc−Vd) を演算する。また、この場合、
加算器21の出力は、図1の場合と位相が180°ずれ
るため、駆動装置30の掛け算器25の出力を、位相調
整手段を構成する積分器32で積分し、この積分器32
の出力を上述したように、第1,第2の圧電素子15,
16の各分割電極に同時に印加する。その他の構成は、
第1実施例と同様である。
【0021】この実施例においても、積分器32によ
り、その出力を加算器21の出力に対して微分値的な位
相角関係となるように設定することができるので、第1
実施例と同様に、振動子13を振幅共振現象を生じた状
態で、加算器21の出力の振幅が一定となるように継続
的に自励振動させることができ、駆動効率を向上させる
ことができる。
【0022】図3はこの発明の第3実施例を示すもので
ある。この実施例は、図1において、接続点19b,1
9cにおける出力を、差動増幅器20aの非反転入力端
子および反転入力端子に供給してA1(Vb−Vc) を演
算し、接続点19a,19dにおける出力を、差動増幅
器20bの反転入力端子および非反転入力端子に供給し
てA2(Vd−Va) を演算し、これら差動増幅器20
a,20bの出力を加算器21に供給してA3(−Va+
Vb−Vc+Vd) を演算するようにしたもので、その
他の構成は第1実施例と同様である。したがって、この
実施例においても、上述した実施例と同様の効果を得る
ことができる。
【0023】なお、この発明は、上述した実施例にのみ
限定されるものではなく、幾多の変形または変更が可能
である。例えば、上述した実施例では、掛け算器25の
出力側に微分器31や積分器32を接続して位相角を調
整するようにしたが、この微分器31や積分器32は駆
動装置30内の他の部分に接続して同様の作用を行わせ
るよう構成することもできる。また、駆動装置自体の構
成も、上述した位相角関係が実現できる構成であれば、
任意に変更することができる。さらに、圧電素子15,
16は、電極を二分割した構成に限らず、各圧電素子を
全体にわたって二分割して構成することもできる。さら
にまた、振動体14は、その横断面形状が四角形に限ら
ず、三角形等の他の多角形状のものを用いる場合にも、
この発明を有効に適用することができる。
【0024】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、位相
調整手段を設けて、振動子を駆動する駆動装置の出力
を、振動子からの帰還信号に対して微分値的位相角関係
となるように設定するようにしたので、振動子を振幅共
振現象を生じた状態で、継続的に自励振動させることが
でき、駆動効率を有効に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1実施例を示す図である。
【図2】同じく第2実施例を示す図である。
【図3】同じく第3実施例を示す図である。
【図4】従来の駆動制御装置を示す図である。
【図5】本出願人が先に開発した振動制御装置を有する
振動ジャイロの一例の構成を示す図である。
【符号の説明】
13 振動子 14 振動体 15,16 圧電素子 15a,15b,16a,16b 分割電極 Z1,Z2,Z3,Z4 インピーダンス素子 19a,19b,19c,19d 接続点 20a,20b 差動増幅器 21 加算器 22 平滑回路 23 基準電圧源 24 比較器 25 掛け算器 30 駆動装置 31 微分器 32 積分器
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−113335(JP,A) 特開 平2−82164(JP,A) 特開 平2−304311(JP,A) 特開 平3−10113(JP,A) 「正三角柱振動子を使う圧電振動ジャ イロ、小型、低価格で身近な応用ねら う」、中村武、NIKKEI ELEC TRONICS 1990.11.26(no. 514)P.183−P.190

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 横断面形状が多角形をなす共振点を有す
    る振動体の第1の側面および該第1の側面と非平行な第
    2の側面に、少なくとも該振動体の幅方向に二分割した
    電極をそれぞれ有する第1の圧電素子および第2の圧電
    素子を貼着してなる振動子と、前記第1,第2の圧電素
    子の各電極に接続したインピーダンス素子と、これらイ
    ンピーダンス素子を介して前記第1,第2の圧電素子の
    各電極に駆動電圧を印加して前記振動子を所定の振動方
    向に振動させる駆動装置と、前記振動子の所定の振動方
    向において屈曲状態が等しくなる前記第1,第2の圧電
    素子のそれぞれの一方の電極と対応する前記インピーダ
    ンス素子とのそれぞれの接続点における出力をVa,V
    c、前記第1,第2の圧電素子のそれぞれの他方の電極
    と対応する前記インピーダンス素子とのそれぞれの接続
    点における出力をVb,Vdとするとき、(Va−Vb
    +Vc−Vd)または(−Va+Vb−Vc+Vd)を
    演算する演算手段とを具え、この演算手段の出力を前記
    駆動装置に帰還して前記振動子を前記所定の振動方向に
    自励振動させる振動制御装置であって、前記駆動装置の
    出力を前記演算手段の出力に対して微分値的位相角関係
    に設定する位相調整手段を設けたことを特徴とする振動
    制御装置。
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Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
「正三角柱振動子を使う圧電振動ジャイロ、小型、低価格で身近な応用ねらう」、中村武、NIKKEIELECTRONICS1990.11.26(no.514)P.183−P.190

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