JP2547910B2 - 振動ジャイロ - Google Patents
振動ジャイロInfo
- Publication number
- JP2547910B2 JP2547910B2 JP3272629A JP27262991A JP2547910B2 JP 2547910 B2 JP2547910 B2 JP 2547910B2 JP 3272629 A JP3272629 A JP 3272629A JP 27262991 A JP27262991 A JP 27262991A JP 2547910 B2 JP2547910 B2 JP 2547910B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- outputs
- vibrator
- vibrating
- calculation means
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロ、特に自
励振動し、例えば自動車等に搭載される姿勢制御システ
ム、ナビゲーションシステムに用いるに好適な振動ジャ
イロに関するものである。
励振動し、例えば自動車等に搭載される姿勢制御システ
ム、ナビゲーションシステムに用いるに好適な振動ジャ
イロに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の振動ジャイロとして、図８に示す
ようなものがある。この振動ジャイロは、横断面形状が
四角形の振動体１の一側面１ａに第１の圧電素子２ａ
を、その側面１ａと隣接する他の側面１ｂに第２の圧電
素子２ｂをそれぞれ貼着して成る振動子３を具える。圧
電素子２ａ，２ｂは、それぞれのインピーダンス素子Ｚ
1,Ｚ2 を介して駆動装置４内の掛け算器５の出力側に接
続し、またこの掛け算器５の出力側には他のインピーダ
ンス素子Ｚ3,Ｚ4 を介してそれぞれ容量素子Ｃ1,Ｃ 2 を
接続して、これら圧電素子２ａ，２ｂおよび容量素子Ｃ
1,Ｃ2 に掛け算器５から同時に交流電圧を印加するよう
にしている。
ようなものがある。この振動ジャイロは、横断面形状が
四角形の振動体１の一側面１ａに第１の圧電素子２ａ
を、その側面１ａと隣接する他の側面１ｂに第２の圧電
素子２ｂをそれぞれ貼着して成る振動子３を具える。圧
電素子２ａ，２ｂは、それぞれのインピーダンス素子Ｚ
1,Ｚ2 を介して駆動装置４内の掛け算器５の出力側に接
続し、またこの掛け算器５の出力側には他のインピーダ
ンス素子Ｚ3,Ｚ4 を介してそれぞれ容量素子Ｃ1,Ｃ 2 を
接続して、これら圧電素子２ａ，２ｂおよび容量素子Ｃ
1,Ｃ2 に掛け算器５から同時に交流電圧を印加するよう
にしている。
【０００３】また、インピーダンス素子Ｚ1,Ｚ2 と圧電
素子２ａ，２ｂとのそれぞれの接続点６ａ，６ｂは、差
動増幅器７ａ，７ｂのそれぞれの一方の入力端子に接続
し、これら差動増幅器７ａ，７ｂのそれぞれの他方の入
力端子を、インピーダンス素子Ｚ3,Ｚ4 と容量素子Ｃ1,
Ｃ2 とのそれぞれの接続点６ｃ，６ｄに接続して、差動
増幅器７ａで接続点６ａ，６ｃからの出力を差動増幅
し、差動増幅器７ｂで接続点６ｂ，６ｄからの出力を差
動増幅するようにしている。
素子２ａ，２ｂとのそれぞれの接続点６ａ，６ｂは、差
動増幅器７ａ，７ｂのそれぞれの一方の入力端子に接続
し、これら差動増幅器７ａ，７ｂのそれぞれの他方の入
力端子を、インピーダンス素子Ｚ3,Ｚ4 と容量素子Ｃ1,
Ｃ2 とのそれぞれの接続点６ｃ，６ｄに接続して、差動
増幅器７ａで接続点６ａ，６ｃからの出力を差動増幅
し、差動増幅器７ｂで接続点６ｂ，６ｄからの出力を差
動増幅するようにしている。
【０００４】差動増幅器７ａ，７ｂの出力は、加算器８
で加算して駆動装置４に帰還し、該駆動回路４内の平滑
回路９および掛け算器５にそれぞれ供給している。駆動
回路４において、平滑回路９で平滑した加算器８の出力
は比較器１０の一方の入力端子に供給し、この比較器１
０の他方の入力端子には基準電圧源１１からの基準電圧
を印加して、該比較器１０から両入力の関係を一定に維
持する信号を出力させ、この比較器１０の出力と加算器
８の出力とを掛け算器５で掛け算して圧電素子２ａ，２
ｂおよび容量素子Ｃ1,Ｃ2 に交流電圧を印加するように
している。また、差動増幅器７ａ，７ｂの出力は、差動
増幅器１２に供給して差動増幅し、この差動増幅器１２
の出力を同期検波器１３で検波した後、平滑回路１４で
平滑して角速度検出信号として取り出すようにしてい
る。
で加算して駆動装置４に帰還し、該駆動回路４内の平滑
回路９および掛け算器５にそれぞれ供給している。駆動
回路４において、平滑回路９で平滑した加算器８の出力
は比較器１０の一方の入力端子に供給し、この比較器１
０の他方の入力端子には基準電圧源１１からの基準電圧
を印加して、該比較器１０から両入力の関係を一定に維
持する信号を出力させ、この比較器１０の出力と加算器
８の出力とを掛け算器５で掛け算して圧電素子２ａ，２
ｂおよび容量素子Ｃ1,Ｃ2 に交流電圧を印加するように
している。また、差動増幅器７ａ，７ｂの出力は、差動
増幅器１２に供給して差動増幅し、この差動増幅器１２
の出力を同期検波器１３で検波した後、平滑回路１４で
平滑して角速度検出信号として取り出すようにしてい
る。
【０００５】かかる振動ジャイロにおいては、駆動装置
４から圧電素子２ａ，２ｂに交流電圧を印加することに
よって、加算器８の出力が一定に維持されるように振動
子３をＸ軸方向に自励振動させることができる。この振
動状態では、接続点６ａ，６ｂからの出力は、駆動装置
４からの供給電圧と、それぞれの圧電素子２ａ，２ｂの
歪みに伴って各圧電素子２ａ，２ｂから出力される電圧
との合成出力となる。したがって、それらの両合成出力
と、接続点６ｃ，６ｄからの供給電圧に対応する出力と
を差動増幅器７ａ，７ｂにおいてそれぞれ差動増幅して
加算器８で加算すれば、Ｘ軸方向の振動に基づいて圧電
素子２ａ，２ｂから発生された電圧だけを抽出すること
ができるので、この加算器８の出力を駆動装置４に帰還
させることにより振動子３を自励振動させることができ
る。
４から圧電素子２ａ，２ｂに交流電圧を印加することに
よって、加算器８の出力が一定に維持されるように振動
子３をＸ軸方向に自励振動させることができる。この振
動状態では、接続点６ａ，６ｂからの出力は、駆動装置
４からの供給電圧と、それぞれの圧電素子２ａ，２ｂの
歪みに伴って各圧電素子２ａ，２ｂから出力される電圧
との合成出力となる。したがって、それらの両合成出力
と、接続点６ｃ，６ｄからの供給電圧に対応する出力と
を差動増幅器７ａ，７ｂにおいてそれぞれ差動増幅して
加算器８で加算すれば、Ｘ軸方向の振動に基づいて圧電
素子２ａ，２ｂから発生された電圧だけを抽出すること
ができるので、この加算器８の出力を駆動装置４に帰還
させることにより振動子３を自励振動させることができ
る。
【０００６】また、振動子３が自励振動している状態
で、振動子３がＺ軸廻りの回転を受けると、振動子３は
その角速度に比例するコリオリの力によりＹ軸方向に振
動して自励振動に異常をきたし、接続点６ａ，６ｂから
の出力電圧に差が生じる。したがって、差動増幅器７
ａ，７ｂの出力を差動増幅器１２において差動増幅すれ
ば、コリオリの力の発生に伴う電圧を分離して検出する
ことができるので、この差動増幅器１２の出力を同期検
波器１３で検波して平滑回路１４で平滑することにより
角速度検出信号を得ることができる。
で、振動子３がＺ軸廻りの回転を受けると、振動子３は
その角速度に比例するコリオリの力によりＹ軸方向に振
動して自励振動に異常をきたし、接続点６ａ，６ｂから
の出力電圧に差が生じる。したがって、差動増幅器７
ａ，７ｂの出力を差動増幅器１２において差動増幅すれ
ば、コリオリの力の発生に伴う電圧を分離して検出する
ことができるので、この差動増幅器１２の出力を同期検
波器１３で検波して平滑回路１４で平滑することにより
角速度検出信号を得ることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の振動ジ
ャイロにおいて、振動子３を安定して自励振動させるた
めには、各圧電素子２ａ，２ｂおよび各容量素子Ｃ1,Ｃ
2 における静電容量値およびその温度依存性をそれぞれ
同程度に揃える必要があるが、特に静電容量値の温度依
存性については、それを同程度とするのが非常に困難で
ある。これがため、周囲の温度変化によって差動増幅器
７ａ，７ｂの各出力に駆動電圧の漏れ込みが生じて振動
子３を十分安定して自励振動させることができなくな
り、検出精度が低下するという問題がある。
ャイロにおいて、振動子３を安定して自励振動させるた
めには、各圧電素子２ａ，２ｂおよび各容量素子Ｃ1,Ｃ
2 における静電容量値およびその温度依存性をそれぞれ
同程度に揃える必要があるが、特に静電容量値の温度依
存性については、それを同程度とするのが非常に困難で
ある。これがため、周囲の温度変化によって差動増幅器
７ａ，７ｂの各出力に駆動電圧の漏れ込みが生じて振動
子３を十分安定して自励振動させることができなくな
り、検出精度が低下するという問題がある。
【０００８】この発明は、このような従来の問題点に着
目してなされたもので、周囲温度の変化に影響されるこ
となく、振動子を十分安定して自励振動させることがで
き、角速度を常に高精度で検出できるよう適切に構成し
た振動ジャイロを提供することを目的とする。
目してなされたもので、周囲温度の変化に影響されるこ
となく、振動子を十分安定して自励振動させることがで
き、角速度を常に高精度で検出できるよう適切に構成し
た振動ジャイロを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明では、横断面形状が多角形の振動体の第１
の側面に貼着した少なくとも該振動体の幅方向に二分割
した電極を有する第１の圧電素子および、前記第１の側
面と非平行な第２の側面に貼着した少なくとも該振動体
の幅方向に二分割した電極を有する第２の圧電素子を有
し、互いに直交する方向に振動可能に支持された振動子
と、前記第１および第２の圧電素子の各電極に接続した
インピーダンス素子と、これらインピーダンス素子を介
して前記第１および第２の圧電素子の各電極に駆動電圧
を印加して前記振動子を所定の振動方向に振動させる駆
動手段と、前記振動子の所定の振動方向において屈曲状
態が等しくなる前記第１および第２の圧電素子のそれぞ
れの一方の電極と対応する前記インピーダンス素子との
それぞれの接続点における出力をＶａおよびＶｃ、前記
第１および第２の圧電素子のそれぞれの他方の電極と対
応する前記インピーダンス素子とのそれぞれの接続点に
おける出力をＶｂおよびＶｄとするとき、（Ｖａ−Ｖｂ
＋Ｖｃ−Ｖｄ）を演算する第１の演算手段と、（Ｖａ−
Ｖｂ−Ｖｃ＋Ｖｄ）を演算する第２の演算手段とを具
え、前記第１の演算手段の出力を前記駆動手段に帰還し
て前記振動子を前記所定の振動方向に自励振動させ、前
記第２の演算手段の出力に基づいて前記振動子を前記所
定の振動方向と直交する方向に振動させる角速度を検出
するよう構成する。
め、この発明では、横断面形状が多角形の振動体の第１
の側面に貼着した少なくとも該振動体の幅方向に二分割
した電極を有する第１の圧電素子および、前記第１の側
面と非平行な第２の側面に貼着した少なくとも該振動体
の幅方向に二分割した電極を有する第２の圧電素子を有
し、互いに直交する方向に振動可能に支持された振動子
と、前記第１および第２の圧電素子の各電極に接続した
インピーダンス素子と、これらインピーダンス素子を介
して前記第１および第２の圧電素子の各電極に駆動電圧
を印加して前記振動子を所定の振動方向に振動させる駆
動手段と、前記振動子の所定の振動方向において屈曲状
態が等しくなる前記第１および第２の圧電素子のそれぞ
れの一方の電極と対応する前記インピーダンス素子との
それぞれの接続点における出力をＶａおよびＶｃ、前記
第１および第２の圧電素子のそれぞれの他方の電極と対
応する前記インピーダンス素子とのそれぞれの接続点に
おける出力をＶｂおよびＶｄとするとき、（Ｖａ−Ｖｂ
＋Ｖｃ−Ｖｄ）を演算する第１の演算手段と、（Ｖａ−
Ｖｂ−Ｖｃ＋Ｖｄ）を演算する第２の演算手段とを具
え、前記第１の演算手段の出力を前記駆動手段に帰還し
て前記振動子を前記所定の振動方向に自励振動させ、前
記第２の演算手段の出力に基づいて前記振動子を前記所
定の振動方向と直交する方向に振動させる角速度を検出
するよう構成する。
【００１０】また、この発明では、横断面形状が多角形
の振動体の第１の側面に貼着した少なくとも該振動体の
幅方向に二分割した電極を有する第１の圧電素子およ
び、前記第１の側面と非平行な第２の側面に貼着した少
なくとも該振動体の幅方向に二分割した電極を有する第
２の圧電素子を有し、互いに直交する方向に振動可能に
支持された振動子と、前記第１および第２の圧電素子の
各電極に接続したインピーダンス素子と、これらインピ
ーダンス素子を介して前記第１および第２の圧電素子の
各電極に駆動電圧を印加して前記振動子を所定の振動方
向に振動させる駆動手段と、前記振動子の所定の振動方
向において屈曲状態が等しくなる前記第１および第２の
圧電素子のそれぞれの一方の電極と対応する前記インピ
ーダンス素子とのそれぞれの接続点における出力をＶａ
およびＶｃ、前記第１および第２の圧電素子のそれぞれ
の他方の電極と対応する前記インピーダンス素子とのそ
れぞれの接続点における出力をＶｂおよびＶｄとすると
き、（Ｖａ−Ｖｂ＋Ｖｃ−Ｖｄ）を演算する第１の演算
手段と、（Ｖａ＋Ｖｂ−Ｖｃ−Ｖｄ）を演算する第２の
演算手段とを具え、前記第１の演算手段の出力を前記駆
動手段に帰還して前記振動子を前記所定の振動方向に自
励振動させ、前記第２の演算手段の出力に基づいて前記
振動子を前記所定の振動方向と直交する方向に振動させ
る角速度を検出するよう構成する。
の振動体の第１の側面に貼着した少なくとも該振動体の
幅方向に二分割した電極を有する第１の圧電素子およ
び、前記第１の側面と非平行な第２の側面に貼着した少
なくとも該振動体の幅方向に二分割した電極を有する第
２の圧電素子を有し、互いに直交する方向に振動可能に
支持された振動子と、前記第１および第２の圧電素子の
各電極に接続したインピーダンス素子と、これらインピ
ーダンス素子を介して前記第１および第２の圧電素子の
各電極に駆動電圧を印加して前記振動子を所定の振動方
向に振動させる駆動手段と、前記振動子の所定の振動方
向において屈曲状態が等しくなる前記第１および第２の
圧電素子のそれぞれの一方の電極と対応する前記インピ
ーダンス素子とのそれぞれの接続点における出力をＶａ
およびＶｃ、前記第１および第２の圧電素子のそれぞれ
の他方の電極と対応する前記インピーダンス素子とのそ
れぞれの接続点における出力をＶｂおよびＶｄとすると
き、（Ｖａ−Ｖｂ＋Ｖｃ−Ｖｄ）を演算する第１の演算
手段と、（Ｖａ＋Ｖｂ−Ｖｃ−Ｖｄ）を演算する第２の
演算手段とを具え、前記第１の演算手段の出力を前記駆
動手段に帰還して前記振動子を前記所定の振動方向に自
励振動させ、前記第２の演算手段の出力に基づいて前記
振動子を前記所定の振動方向と直交する方向に振動させ
る角速度を検出するよう構成する。
【００１１】
【作用】上記構成において、振動子が屈曲振動すると、
振動体の曲率半径はその側面の幅方向において異なる。
ここで、第１および第２の圧電素子は少なくとも振動体
の幅方向に二分割した電極をもって構成されているの
で、振動子が屈曲振動すると各圧電素子の分割電極間に
おいて歪みの大きさに差が生じることになる。したがっ
て、（Ｖａ−Ｖｂ＋Ｖｃ−Ｖｄ）を演算すれば、屈曲振
動に対応した駆動手段への帰還出力を得ることができる
と共に、Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ，Ｖｄは圧電素子から得てお
り、静電容量値およびその温度依存性を一致させること
ができるので、周囲の温度変化に影響されることなく、
帰還出力中の駆動電圧を常にほぼ完全に消去できる。し
たがって、振動子を常に安定して自励振動させることが
可能となり、また（Ｖａ−Ｖｂ−Ｖｃ＋Ｖｄ）あるいは
（Ｖａ＋Ｖｂ−Ｖｃ−Ｖｄ）を演算すれば、それに基づ
いて振動子に作用する角速度を常に高精度で検出するこ
とが可能となる。
振動体の曲率半径はその側面の幅方向において異なる。
ここで、第１および第２の圧電素子は少なくとも振動体
の幅方向に二分割した電極をもって構成されているの
で、振動子が屈曲振動すると各圧電素子の分割電極間に
おいて歪みの大きさに差が生じることになる。したがっ
て、（Ｖａ−Ｖｂ＋Ｖｃ−Ｖｄ）を演算すれば、屈曲振
動に対応した駆動手段への帰還出力を得ることができる
と共に、Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ，Ｖｄは圧電素子から得てお
り、静電容量値およびその温度依存性を一致させること
ができるので、周囲の温度変化に影響されることなく、
帰還出力中の駆動電圧を常にほぼ完全に消去できる。し
たがって、振動子を常に安定して自励振動させることが
可能となり、また（Ｖａ−Ｖｂ−Ｖｃ＋Ｖｄ）あるいは
（Ｖａ＋Ｖｂ−Ｖｃ−Ｖｄ）を演算すれば、それに基づ
いて振動子に作用する角速度を常に高精度で検出するこ
とが可能となる。
【００１２】
【実施例】図１はこの発明の第１実施例を示すもので、
図２に示す符号と同一符号は同一作用を成すものを示
す。この実施例では、横断面形状が四角形の振動体１の
一側面１ａにその幅方向に二分割した分割電極１５ａ，
１５ｂを有する第１の圧電素子１５を貼着すると共に、
側面１ａと隣接する他の側面１ｂに同様に幅方向に二分
割した分割電極１６ａ，１６ｂを有する第２の圧電素子
１６を貼着して振動子３を構成する。これら分割電極１
５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂは、それぞれのインピー
ダンス素子Ｚ1,Ｚ2,Ｚ3,Ｚ4 を介して駆動装置４内の掛
け算器５の出力端子に接続し、これにより各分割電極に
駆動電圧を同時に印加する。
図２に示す符号と同一符号は同一作用を成すものを示
す。この実施例では、横断面形状が四角形の振動体１の
一側面１ａにその幅方向に二分割した分割電極１５ａ，
１５ｂを有する第１の圧電素子１５を貼着すると共に、
側面１ａと隣接する他の側面１ｂに同様に幅方向に二分
割した分割電極１６ａ，１６ｂを有する第２の圧電素子
１６を貼着して振動子３を構成する。これら分割電極１
５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂは、それぞれのインピー
ダンス素子Ｚ1,Ｚ2,Ｚ3,Ｚ4 を介して駆動装置４内の掛
け算器５の出力端子に接続し、これにより各分割電極に
駆動電圧を同時に印加する。
【００１３】インピーダンス素子Ｚ1,Ｚ2 と分割電極１
５ａ，１５ｂとのそれぞれの接続点１７ａ，１７ｂにお
ける出力は、差動増幅器７ａに供給して差動増幅し、同
様にインピーダンス素子Ｚ3,Ｚ4 と分割電極１６ａ，１
６ｂとのそれぞれの接続点１７ｃ，１７ｄにおける出力
は、差動増幅器７ｂに供給して差動増幅する。すなわ
ち、接続点１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄにおける出
力をそれぞれＶａ，Ｖｂ，Ｖｃ，Ｖｄとするとき、差動
増幅器７ａにおいてＡ1(Ｖａ−Ｖｂ) を演算し、差動増
幅器７ｂにおいてＡ2(Ｖｃ−Ｖｄ) を演算する。なお、
Ａ1 およびＡ2 は、差動増幅器７ａおよび７ｂにおける
増幅率を示す。
５ａ，１５ｂとのそれぞれの接続点１７ａ，１７ｂにお
ける出力は、差動増幅器７ａに供給して差動増幅し、同
様にインピーダンス素子Ｚ3,Ｚ4 と分割電極１６ａ，１
６ｂとのそれぞれの接続点１７ｃ，１７ｄにおける出力
は、差動増幅器７ｂに供給して差動増幅する。すなわ
ち、接続点１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄにおける出
力をそれぞれＶａ，Ｖｂ，Ｖｃ，Ｖｄとするとき、差動
増幅器７ａにおいてＡ1(Ｖａ−Ｖｂ) を演算し、差動増
幅器７ｂにおいてＡ2(Ｖｃ−Ｖｄ) を演算する。なお、
Ａ1 およびＡ2 は、差動増幅器７ａおよび７ｂにおける
増幅率を示す。
【００１４】差動増幅器７ａ，７ｂの出力は、加算器８
に供給してＡ3(Ｖａ−Ｖｂ＋Ｖｃ−Ｖｄ) を演算し（Ａ
3 は増幅率）、この加算器８の出力を駆動装置４に帰還
して図８におけると同様に処理する。また、差動増幅器
７ａ，７ｂの出力は、差動増幅器１２に供給してＡ4(Ｖ
ａ−Ｖｂ−Ｖｃ＋Ｖｄ) を演算し（Ａ4 は増幅率）、こ
の差動増幅器１２の出力を同様に同期検波器１３で検波
した後、平滑回路１４で平滑して角速度検出信号を得
る。
に供給してＡ3(Ｖａ−Ｖｂ＋Ｖｃ−Ｖｄ) を演算し（Ａ
3 は増幅率）、この加算器８の出力を駆動装置４に帰還
して図８におけると同様に処理する。また、差動増幅器
７ａ，７ｂの出力は、差動増幅器１２に供給してＡ4(Ｖ
ａ−Ｖｂ−Ｖｃ＋Ｖｄ) を演算し（Ａ4 は増幅率）、こ
の差動増幅器１２の出力を同様に同期検波器１３で検波
した後、平滑回路１４で平滑して角速度検出信号を得
る。
【００１５】かかる構成において、各分割電極１５ａ，
１５ｂ，１６ａ，１６ｂに駆動電圧が印加されると、振
動子３はＸ軸方向に屈曲振動する。図２は振動子３がＸ
軸方向に屈曲している状態を側面図で示すものである。
このように、振動子３がＸ軸方向に屈曲振動すると、図
２から明らかなように、振動体１の側面１ａ上に貼付さ
れた圧電素子１５の分割電極１５ａ，１５ｂは、側面１
ａ上の幅方向で振動体１の曲率半径が異なるためにその
歪みに差が生じる。同様に、圧電素子１６の分割電極１
６ａ，１６ｂにおいてもその歪みに差が生じる。
１５ｂ，１６ａ，１６ｂに駆動電圧が印加されると、振
動子３はＸ軸方向に屈曲振動する。図２は振動子３がＸ
軸方向に屈曲している状態を側面図で示すものである。
このように、振動子３がＸ軸方向に屈曲振動すると、図
２から明らかなように、振動体１の側面１ａ上に貼付さ
れた圧電素子１５の分割電極１５ａ，１５ｂは、側面１
ａ上の幅方向で振動体１の曲率半径が異なるためにその
歪みに差が生じる。同様に、圧電素子１６の分割電極１
６ａ，１６ｂにおいてもその歪みに差が生じる。
【００１６】したがって、接続点１７ａ，１７ｂおよび
１７ｃ，１７ｄにおける出力差をそれぞれ差動増幅器７
ａおよび７ｂで検出すれば、これら差動増幅器７ａおよ
び７ｂからは振動子３のＸ軸方向の屈曲振動にのみ対応
した電圧が得られる。しかも、分割電極１５ａ，１５ｂ
および１６ａ，１６ｂを、それぞれ同一の圧電素子１５
および１６に設けているので、静電容量値およびその温
度依存性を一致させることができる。したがって、周囲
の温度変化に影響されることなく、駆動電圧を常にほぼ
完全に消去することができるので、振動子３を常に安定
して自励振動させることができる。
１７ｃ，１７ｄにおける出力差をそれぞれ差動増幅器７
ａおよび７ｂで検出すれば、これら差動増幅器７ａおよ
び７ｂからは振動子３のＸ軸方向の屈曲振動にのみ対応
した電圧が得られる。しかも、分割電極１５ａ，１５ｂ
および１６ａ，１６ｂを、それぞれ同一の圧電素子１５
および１６に設けているので、静電容量値およびその温
度依存性を一致させることができる。したがって、周囲
の温度変化に影響されることなく、駆動電圧を常にほぼ
完全に消去することができるので、振動子３を常に安定
して自励振動させることができる。
【００１７】また、図１において、振動子３がＺ軸廻り
の回転を受けると、振動子３はその角速度に比例するコ
リオリの力によりＹ軸方向の屈曲振動成分を有するよう
になり、差動増幅器７ａ，７ｂの出力に差が生じる。し
たがって、これら差動増幅器７ａ，７ｂの出力を差動増
幅器１２に供給して差動増幅すれば、コリオリの力の発
生に伴う電圧を分離して検出することができるので、こ
の差動増幅器１２の出力を同期検波器１３で検波して平
滑回路１４で平滑することにより角速度を常に高精度で
検出することができる。
の回転を受けると、振動子３はその角速度に比例するコ
リオリの力によりＹ軸方向の屈曲振動成分を有するよう
になり、差動増幅器７ａ，７ｂの出力に差が生じる。し
たがって、これら差動増幅器７ａ，７ｂの出力を差動増
幅器１２に供給して差動増幅すれば、コリオリの力の発
生に伴う電圧を分離して検出することができるので、こ
の差動増幅器１２の出力を同期検波器１３で検波して平
滑回路１４で平滑することにより角速度を常に高精度で
検出することができる。
【００１８】図３はこの発明の第２実施例を示すもので
ある。この実施例は、接続点１７ａ，１７ｂにおける出
力を加算器２５ａで加算し、接続点１７ｃ，１７ｄにお
ける出力を加算器２５ｂで加算して、これら加算器２５
ａ，２５ｂの出力を差動増幅器１２に供給してＡ4(Ｖａ
＋Ｖｂ−Ｖｃ−Ｖｄ) を演算するようにしたもので、そ
の他の構成は第１実施例と同様である。したがって、こ
の実施例においても、第１実施例と同様に、周囲の温度
変化に影響されることなく駆動装置４への帰還信号内の
駆動電圧を常に完全に消去できるので、振動子３を常に
安定して自励振動させることができると共に、角速度を
常に高精度で検出することができる。
ある。この実施例は、接続点１７ａ，１７ｂにおける出
力を加算器２５ａで加算し、接続点１７ｃ，１７ｄにお
ける出力を加算器２５ｂで加算して、これら加算器２５
ａ，２５ｂの出力を差動増幅器１２に供給してＡ4(Ｖａ
＋Ｖｂ−Ｖｃ−Ｖｄ) を演算するようにしたもので、そ
の他の構成は第１実施例と同様である。したがって、こ
の実施例においても、第１実施例と同様に、周囲の温度
変化に影響されることなく駆動装置４への帰還信号内の
駆動電圧を常に完全に消去できるので、振動子３を常に
安定して自励振動させることができると共に、角速度を
常に高精度で検出することができる。
【００１９】図４はこの発明の第３実施例を示すもので
ある。この実施例では、接続点１７ｂ，１７ｃにおける
出力を差動増幅器７ａに供給してＡ1(Ｖｃ−Ｖｂ) を演
算し、接続点１７ａ，１７ｄにおける出力を差動増幅器
７ｂに供給してＡ2(Ｖａ−Ｖｄ) を演算し、これら差動
増幅器７ａ，７ｂの出力を加算器８に供給してＡ3(Ｖａ
−Ｖｂ＋Ｖｃ−Ｖｄ) を演算して駆動装置４に帰還させ
る。また、接続点１７ｂ，１７ｃにおける出力を加算器
２５ｃで加算し、接続点１７ａ，１７ｄにおける出力を
加算器２５ｄで加算し、これら加算器２５ｃ，２５ｄの
出力を差動増幅器１２に供給してＡ4(Ｖａ−Ｖｂ−Ｖｃ
＋Ｖｄ) を演算する。その他の構成は第１実施例と同様
である。したがって、この実施例においても、第１実施
例と同様の効果を得ることができる。
ある。この実施例では、接続点１７ｂ，１７ｃにおける
出力を差動増幅器７ａに供給してＡ1(Ｖｃ−Ｖｂ) を演
算し、接続点１７ａ，１７ｄにおける出力を差動増幅器
７ｂに供給してＡ2(Ｖａ−Ｖｄ) を演算し、これら差動
増幅器７ａ，７ｂの出力を加算器８に供給してＡ3(Ｖａ
−Ｖｂ＋Ｖｃ−Ｖｄ) を演算して駆動装置４に帰還させ
る。また、接続点１７ｂ，１７ｃにおける出力を加算器
２５ｃで加算し、接続点１７ａ，１７ｄにおける出力を
加算器２５ｄで加算し、これら加算器２５ｃ，２５ｄの
出力を差動増幅器１２に供給してＡ4(Ｖａ−Ｖｂ−Ｖｃ
＋Ｖｄ) を演算する。その他の構成は第１実施例と同様
である。したがって、この実施例においても、第１実施
例と同様の効果を得ることができる。
【００２０】図５はこの発明の第４実施例を示すもので
ある。この実施例は、図４に示した第３実施例におい
て、加算器２５ｃ，２５ｄを用いることなく、差動増幅
器７ａの出力Ａ1(Ｖｃ−Ｖｂ) と差動増幅器７ｂの出力
Ａ2(Ｖａ−Ｖｄ) とを差動増幅器１２に供給してＡ4(Ｖ
ａ＋Ｖｂ−Ｖｃ−Ｖｄ) を演算するようにしたものであ
る。したがって、この実施例においても、上述した実施
例と同様の効果を得ることができる。
ある。この実施例は、図４に示した第３実施例におい
て、加算器２５ｃ，２５ｄを用いることなく、差動増幅
器７ａの出力Ａ1(Ｖｃ−Ｖｂ) と差動増幅器７ｂの出力
Ａ2(Ｖａ−Ｖｄ) とを差動増幅器１２に供給してＡ4(Ｖ
ａ＋Ｖｂ−Ｖｃ−Ｖｄ) を演算するようにしたものであ
る。したがって、この実施例においても、上述した実施
例と同様の効果を得ることができる。
【００２１】図６はこの発明に適用可能な振動子の他の
例を示すものである。この振動子３は、横断面形状が四
角形をなす振動体１の４側面１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄに
それぞれ圧電素子１５，１６，１７，１８を貼着すると
共に、各圧電素子１５，１６，１８，１９に振動体１の
幅方向に二分割して分割電極１５ａ，１５ｂ；１６ａ，
１６ｂ；１８ａ，１８ｂ；１９ａ，１９ｂを設けたもの
である。この振動子３は、分割電極１５ａと１８ａ，１
５ｂと１８ｂ，１６ａと１９ａ，１６ｂと１９ｂとをそ
れぞれ接続し、それらの接続点２０ａ，２０ｂ，２０
ｃ，２０ｄを上述した実施例における接続点１７ａ，１
７ｂ，１７ｃ，１７ｄと同様に接続することによって、
同様の効果を得ることができる。
例を示すものである。この振動子３は、横断面形状が四
角形をなす振動体１の４側面１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄに
それぞれ圧電素子１５，１６，１７，１８を貼着すると
共に、各圧電素子１５，１６，１８，１９に振動体１の
幅方向に二分割して分割電極１５ａ，１５ｂ；１６ａ，
１６ｂ；１８ａ，１８ｂ；１９ａ，１９ｂを設けたもの
である。この振動子３は、分割電極１５ａと１８ａ，１
５ｂと１８ｂ，１６ａと１９ａ，１６ｂと１９ｂとをそ
れぞれ接続し、それらの接続点２０ａ，２０ｂ，２０
ｃ，２０ｄを上述した実施例における接続点１７ａ，１
７ｂ，１７ｃ，１７ｄと同様に接続することによって、
同様の効果を得ることができる。
【００２２】図７は同じくこの発明に適用可能な振動子
の更に他の例を示すものである。この振動子３は、横断
面形状が三角形をなす振動体２１の二側面２１ａ，２１
ｂにそれぞれ圧電素子２２，２３を貼着すると共に、各
圧電素子２２，２３に振動体２１の幅方向に二分割して
分割電極２２ａ，２２ｂ；２３ａ，２３ｂを設けたもの
である。この振動子３は、各分割電極２２ａ，２２ｂ，
２３ａ，２３ｂを上述した実施例と同様に接続すること
によって、同様の効果を得ることができる。
の更に他の例を示すものである。この振動子３は、横断
面形状が三角形をなす振動体２１の二側面２１ａ，２１
ｂにそれぞれ圧電素子２２，２３を貼着すると共に、各
圧電素子２２，２３に振動体２１の幅方向に二分割して
分割電極２２ａ，２２ｂ；２３ａ，２３ｂを設けたもの
である。この振動子３は、各分割電極２２ａ，２２ｂ，
２３ａ，２３ｂを上述した実施例と同様に接続すること
によって、同様の効果を得ることができる。
【００２３】なお、上述した実施例では各圧電素子を二
分割した電極をもって構成したが、電極のみならず全体
にわたって二分割して構成することもできる。
分割した電極をもって構成したが、電極のみならず全体
にわたって二分割して構成することもできる。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、一対
の圧電素子に駆動、帰還および検出の三つの機能を発揮
させながら、周囲温度の変化に影響されることなく、常
に帰還信号内の駆動電圧をほぼ完全に消去した安定した
自励振動をもたらすことができ、高い検出精度を確保す
ることができる。
の圧電素子に駆動、帰還および検出の三つの機能を発揮
させながら、周囲温度の変化に影響されることなく、常
に帰還信号内の駆動電圧をほぼ完全に消去した安定した
自励振動をもたらすことができ、高い検出精度を確保す
ることができる。
【図１】この発明の第１実施例を示す図である。
【図２】図１に示す振動子の屈曲を説明するための図で
ある。
ある。
【図３】この発明の第２実施例を示す図である。
【図４】同じく第３実施例を示す図である。
【図５】同じく第４実施例を示す図である。
【図６】この発明に適用可能な振動子の他の例を示す図
である。
である。
【図７】同じくさらに他の例を示す図である。
【図８】従来の振動ジャイロを示す図である。
１ 振動体 ３ 振動子 ４ 駆動装置 ５ 掛け算器 Ｚ1,Ｚ2,Ｚ3,Ｚ4 インピーダンス素子 ７ａ，７ｂ，１２ 差動増幅器 ８ 加算器 ９，１４ 平滑回路 １０ 比較器 １１ 基準電圧源 １３ 同期検波器 １５，１６ 圧電素子 １５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ 分割電極 １７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ 接続点 １８，１９ 圧電素子 １８ａ，１８ｂ，１９ａ，１９ｂ 分割電極 ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ 接続点 ２１ 振動体 ２２，２３ 圧電素子 ２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂ 分割電極 ２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄ 加算器
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−102013（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−361113（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−82164（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−304311（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−38513（ＪＰ，Ｕ) 「正三角柱振動子を使う圧電振動ジャ イロ、小型、低価格で身近な応用ねら う」、中村武、ＮＩＫＫＥＩ ＥＬＥＣ ＴＲＯＮＩＣＳ 1990．11．26（ｎｏ. 514），Ｐ．183−Ｐ．190
Claims (6)
- 【請求項１】 横断面形状が多角形の振動体の第１の側
面に貼着した少なくとも該振動体の幅方向に二分割した
電極を有する第１の圧電素子および、前記第１の側面と
非平行な第２の側面に貼着した少なくとも該振動体の幅
方向に二分割した電極を有する第２の圧電素子を有し、
互いに直交する方向に振動可能に支持された振動子と、
前記第１および第２の圧電素子の各電極に接続したイン
ピーダンス素子と、これらインピーダンス素子を介して
前記第１および第２の圧電素子の各電極に駆動電圧を印
加して前記振動子を所定の振動方向に振動させる駆動手
段と、前記振動子の所定の振動方向において屈曲状態が
等しくなる前記第１および第２の圧電素子のそれぞれの
一方の電極と対応する前記インピーダンス素子とのそれ
ぞれの接続点における出力をＶａおよびＶｃ、前記第１
および第２の圧電素子のそれぞれの他方の電極と対応す
る前記インピーダンス素子とのそれぞれの接続点におけ
る出力をＶｂおよびＶｄとするとき、（Ｖａ−Ｖｂ＋Ｖ
ｃ−Ｖｄ）を演算する第１の演算手段と、（Ｖａ−Ｖｂ
−Ｖｃ＋Ｖｄ）を演算する第２の演算手段とを具え、前
記第１の演算手段の出力を前記駆動手段に帰還して前記
振動子を前記所定の振動方向に自励振動させ、前記第２
の演算手段の出力に基づいて前記振動子を前記所定の振
動方向と直交する方向に振動させる角速度を検出するよ
う構成したことを特徴とする振動ジャイロ。 - 【請求項２】 前記第１の演算手段は、（Ｖａ−Ｖｂ）
を演算する第１の差動増幅器と、（Ｖｃ−Ｖｄ）を演算
する第２の差動増幅器と、これら第１および第２の差動
増幅器の出力を加算する加算器とをもって構成し、前記
第２の演算手段は前記第１および第２の差動増幅器の出
力の差を演算する第３の差動増幅器をもって構成したこ
とを特徴とする請求項１記載の振動ジャイロ。 - 【請求項３】 前記第１の演算手段は、（Ｖａ−Ｖｄ）
を演算する第１の差動増幅器と、（Ｖｃ−Ｖｂ）を演算
する第２の差動増幅器と、これら第１および第２の差動
増幅器の出力を加算する第１の加算器とをもって構成
し、前記第２の演算手段は、（Ｖａ＋Ｖｄ）を演算する
第２の加算器と、（Ｖｃ＋Ｖｂ）を演算する第３の加算
器と、これら第１および第２の加算器の出力の差を演算
する第３の差動増幅器とをもって構成したことを特徴と
する請求項１記載の振動ジャイロ。 - 【請求項４】 横断面形状が多角形の振動体の第１の側
面に貼着した少なくとも該振動体の幅方向に二分割した
電極を有する第１の圧電素子および、前記第１の側面と
非平行な第２の側面に貼着した少なくとも該振動体の幅
方向に二分割した電極を有する第２の圧電素子を有し、
互いに直交する方向に振動可能に支持された振動子と、
前記第１および第２の圧電素子の各電極に接続したイン
ピーダンス素子と、これらインピーダンス素子を介して
前記第１および第２の圧電素子の各電極に駆動電圧を印
加して前記振動子を所定の振動方向に振動させる駆動手
段と、前記振動子の所定の振動方向において屈曲状態が
等しくなる前記第１および第２の圧電素子のそれぞれの
一方の電極と対応する前記インピーダンス素子とのそれ
ぞれの接続点における出力をＶａおよびＶｃ、前記第１
および第２の圧電素子のそれぞれの他方の電極と対応す
る前記インピーダンス素子とのそれぞれの接続点におけ
る出力をＶｂおよびＶｄとするとき、（Ｖａ−Ｖｂ＋Ｖ
ｃ−Ｖｄ）を演算する第１の演算手段と、（Ｖａ＋Ｖｂ
−Ｖｃ−Ｖｄ）を演算する第２の演算手段とを具え、前
記第１の演算手段の出力を前記駆動手段に帰還して前記
振動子を前記所定の振動方向に自励振動させ、前記第２
の演算手段の出力に基づいて前記振動子を前記所定の振
動方向と直交する方向に振動させる角速度を検出するよ
う構成したことを特徴とする振動ジャイロ。 - 【請求項５】 前記第１の演算手段は、（Ｖａ−Ｖｂ）
を演算する第１の差動増幅器と、（Ｖｃ−Ｖｄ）を演算
する第２の差動増幅器と、これら第１および第２の差動
増幅器の出力を加算する第１の加算器とをもって構成
し、前記第２の演算手段は、（Ｖａ＋Ｖｂ）を演算する
第２の加算器と、（Ｖｃ＋Ｖｄ）を演算する第３の加算
器と、これら第１および第２の加算器の出力の差を演算
する第３の差動増幅器とをもって構成したことを特徴と
する請求項４記載の振動ジャイロ。 - 【請求項６】 前記第１の演算手段は、（Ｖａ−Ｖｄ）
を演算する第１の差動増幅器と、（Ｖｃ−Ｖｂ）を演算
する第２の差動増幅器と、これら第１および第２の差動
増幅器の出力を加算する加算器とをもって構成し、前記
第２の演算手段は前記第１および第２の差動増幅器の出
力の差を演算する第３の差動増幅器をもって構成したこ
とを特徴とする請求項４記載の振動ジャイロ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3272629A JP2547910B2 (ja) | 1991-10-21 | 1991-10-21 | 振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3272629A JP2547910B2 (ja) | 1991-10-21 | 1991-10-21 | 振動ジャイロ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05113335A JPH05113335A (ja) | 1993-05-07 |
| JP2547910B2 true JP2547910B2 (ja) | 1996-10-30 |
Family
ID=17516596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3272629A Expired - Lifetime JP2547910B2 (ja) | 1991-10-21 | 1991-10-21 | 振動ジャイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2547910B2 (ja) |
-
1991
- 1991-10-21 JP JP3272629A patent/JP2547910B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 「正三角柱振動子を使う圧電振動ジャイロ、小型、低価格で身近な応用ねらう」、中村武、ＮＩＫＫＥＩＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ１９９０．１１．２６（ｎｏ．５１４），Ｐ．１８３−Ｐ．１９０ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05113335A (ja) | 1993-05-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2005085758A1 (ja) | 角速度センサ用音叉型振動子、この振動子を用いた角速度センサ及びこの角速度センサを用いた自動車 | |
| JPH06300567A (ja) | ジャイロ出力検出方法 | |
| JP2001356018A (ja) | 角速度センサ | |
| JP3201135B2 (ja) | 振動ジャイロ検出方式 | |
| JP2547910B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP4877322B2 (ja) | 音叉型バイモルフ圧電振動子、それを用いた振動ジャイロモジュールおよび音叉型バイモルフ圧電振動子の製造方法 | |
| JP3494096B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JPH08327366A (ja) | 振動型ジャイロスコープ | |
| JPS6252410A (ja) | 振動型角速度検出装置 | |
| JP2006010408A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP2996157B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP3966719B2 (ja) | 角速度測定装置 | |
| JPH10206166A (ja) | 振動型ジャイロスコープ | |
| JP2529786B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP2547911B2 (ja) | 振動制御装置 | |
| JP3581992B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JPH09105637A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP3265840B2 (ja) | 圧電振動子の駆動検出回路 | |
| JP2583691B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP3149712B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JPH11142159A (ja) | 振動ジャイロ用回路 | |
| JP3035161B2 (ja) | 振動ジャイロスコープ | |
| JP2571893B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP3391098B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP2686209B2 (ja) | 振動ジャイロ |