JP2001356018A - 角速度センサ - Google Patents

角速度センサ

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 コリオリ信号の増減を同期検波や直流化を行
なうことなく簡単な回路構成で検出できる角速度センサ
を提供する。 【解決手段】 振動子1からのコリオリ成分を含む差動
信号を差動増幅回路3から出力し、A/Dコンバータ1
0でデジタル信号に変換し、差動信号をヒルベルトトラ
ンスフォーマ21でπ/2位相ずらせ、元の差動信号と
2π位相ずれた差動信号をそれぞれ乗算器22,23で
2乗し、加算器24で両者の総和を求め、平方根回路2
5で平方根を求めてコリオリ力に比例する強度信号を出
力する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は角速度センサに関
し、たとえばカメラの手ぶれ補正やナビゲーションシス
テムなどに利用されるバイモルフ振動子を用いた振動ジ
ャイロの発振出力から角速度を検出する角速度センサに
関する。
【0002】
【従来の技術】図4は角速度センサに用いられるバイモ
ルフ振動子の一例を示す外観斜視図であり、図5は図4
に示したバイモルフ振動子から出力される振動波形図で
ある。
【0003】図4において、バイモルフ振動子1は圧電
素子を分極方向を逆向きにして2枚貼付け、断面が四角
形となるようにしたものである。この振動子1を面垂直
振動(X軸方向)に縦振動モードで振動させておき、軸
方向(Z軸方向)にある角度(ω)で回転させると、コ
リオリ力によって駆動面と垂直方向(Y軸方向)に横振
動モードで振動が生ずる。
【0004】この振動の振幅は角速度に比例するので、
これを利用して角速度の値が検出される。振動子1には
図示しないが左右の電極と全面電極が設けられていて、
図5に示すように左右の電極からL(左)信号(a)と
R(右)信号(b)が出力される。このL信号とR信号
はわずかながら振幅と位相に差を有している。L信号と
R信号の差をとるとL−R(c)となり、和をとるとL
+R(d)となる。
【0005】L−R信号はL信号とR信号との位相のず
れが大きければ大きいほどゼロクロス点が移動する。こ
のL−R信号はヌル差電圧とも称する。L−R信号には
コリオリ力が重なって出力されており、差動+コリオリ
として出力される。コリオリ力は分離したくとも分離す
ることができない性質を持っている。その理由は、コリ
オリ力は図5(e)に示すように、実際の信号として出
力されるものではなく、あくまでも仮想的なものだから
である。以下の説明では、L−R信号は差動+コリオリ
力を意味しているものとする。コリオリ力(e)はL+
R(d)と同相になり、L+Rの極大点と極小点近傍で
コリオリ力も極大,極小となる。振動子1を左右に振る
と、コリオリ力(e)の位相が図5で左右に変化し、L
信号(a),R信号(b)は位相が変化しない。
【0006】このような振動子1では、バランスやヌル
電圧(オフセット電圧,中性点電圧とも称する)や感度
をそれぞれ個別に調整する必要がある。
【0007】図6は図4に示した振動子1の出力を得る
ための角速度検出回路のブロック図である。図6におい
て、振動子1の差動出力が差動増幅回路201で増幅さ
れ、同期検波回路202によって振幅波形が検波され、
平滑回路203で平滑されて直流電圧となり、DCアン
プ204で直流増幅される。DCアンプ204で信号増
幅すると、ヌル電圧も増幅されてしまうため、たとえば
フィルタで構成されたDCカット回路205によってD
C成分がカットされ、増幅回路206でさらに増幅され
てアナログ信号として出力される。ここでアナログ信号
はA/Dコンバータ207でデジタル信号に変換され、
角速度検出信号がマイクロプロセッサ208に与えられ
てカメラの振動ぶれを抑制したり、ナビゲーションのた
めの制御が行なわれる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】図6に示した角速度検
出回路において、振動子1の源感度が低いためDCアン
プ204として20dBのゲインで信号を増幅する必要
がある。また、ヌル電圧の温度特性などによって、基準
レベルがシフトすると直流増幅した場合に、ヌル電圧が
電源電圧を超えてしまうような場合があるため、DC増
幅度に制限を加える必要がある。それを防ぐためにDC
カット回路205を設け、再度増幅回路206で増幅す
る必要があり、さらに回路要素が増加してしまう。
【0009】最近のマイクロプロセッサやデジタルプロ
セッサ(DSP)の性能向上は著しくまたコストも安価
になっているので、できる限り前処理の段階でデジタル
信号に変換する方がシステムトータルコストは低減でき
る。
【0010】特に、ポインティングデバイスのように低
コストで角速度を検出しかつ2軸を必要とするようなデ
バイスでは、同期検波回路202や平滑回路203およ
びDCアンプ204などの多くの周辺回路を2つ準備し
て対応することによるコストアップが問題となってい
た。
【0011】それゆえに、この発明の主たる目的は、冗
長な回路を必要とせず、比較的簡単な回路構成で角速度
信号が直接得られるような角速度センサを提供すること
である。
【0012】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
振動子をX軸方向に振動させ、Z軸回りに回転したとき
に、Y軸方向に発生したコリオリ力による振動から角速
度を検出する角速度センサであって、振動子から出力さ
れる左右信号または差動信号に基づいて基準信号を発生
し、振動子を励振させる駆動手段と、振動子から出力さ
れるコリオリ力を含む左右信号または差動信号を抽出す
る信号抽出手段と、出力されたコリオリ力を含む左右信
号または差動信号をデジタル信号に変換する変換手段
と、デジタル信号に変換された左右信号または差動信号
からπ/2位相のずれた左右信号または差動信号を生成
し、この左右信号または差動信号と元の左右信号または
差動信号との2乗総和を演算し、コリオリ力に比例する
強度信号を演算して出力する演算手段を備えて構成され
る。
【0013】請求項2に係る発明では、請求項1の演算
手段は、差動信号の位相をπ/2シフトする位相回路
と、元の差動信号を2乗する第1の乗算回路と、位相が
π/2シフトされた差動信号を2乗する第2の乗算回路
と、第1の乗算回路の出力と第2の乗算回路の出力とを
加算する加算回路と、加算回路の出力の平方根を求める
平方根回路とを含む。
【0014】請求項3に係る発明では、請求項1の演算
手段は、左右信号の位相をそれぞれπ/2シフトする位
相回路と、元の左右信号をそれぞれ個別的に2乗する第
1の乗算回路と、位相がπ/2シフトされた左右信号を
それぞれ個別的に2乗する第2の乗算回路と、第1の乗
算回路で2乗された左右信号と第2の乗算回路で2乗さ
れた位相がπ/2シフトされた左右信号とを個別的に加
算する第1の加算回路と、第1の乗算回路で2乗された
左右信号と第2の乗算回路で2乗された左右信号とを加
算する第2の加算回路と、第1の加算回路の出力の平方
根を求める第1の平方根回路と、第2の加算回路の出力
の平方根を求める第2の平方根回路と、第1および第2
の平方根回路の差を求めて1/2する減算回路とを備え
て構成される。
【0015】
【発明の実施の形態】図1はこの発明の一実施形態にお
ける角速度センサのブロック図である。図1において、
振動子1には左電極1Lと右電極1Rと全面電極1Cと
が設けられていて、左電極1Lと右電極1Rには抵抗R
1,R2を介して電圧Vが与えられている。左電極1
L,右電極1Rからは前述の図5に示したL信号とR信
号とがそれぞれコリオリ力を含んで出力されて加算回路
2と差動増幅回路3とに与えられる。加算回路2はL信
号とR信号とを加算してL+R信号を出力する。このよ
うに、加算回路2でL信号とR信号とを加算することに
より、コリオリ力が消されて安定な帰還信号となる。
【0016】上述の帰還信号は基準信号としてAGC回
路4に与えられてレベルが一定な駆動電圧となり、この
駆動電圧が発振回路5に与えられる。発振回路5は加算
回路2の出力の位相を調整するための信号を発振して全
面電極1Cに与える。発振回路5は加算回路2の出力と
全面電極1Cに与えられる駆動電圧の位相差が所望する
周波数で安定に発振するように調整する。この実施形態
では位相差はほぼ0である。
【0017】差動増幅回路3は前述の図5に示したL−
R信号を出力してDSP20に与える。なお、差動増幅
回路3からL−Rの差動信号をDSP20に与えること
なく、左信号L/右信号Rを個別的にDSP20に与え
るようにしてもよい。
【0018】図2は図1に示したDSPの具体的な構成
を示すブロック図である。この図2は図1に示した振動
子1から直接L/R信号が個別的に与えられるものとす
る。振動子1からのL信号とR信号は個別的にA/Dコ
ンバータ101,102に与えられてデジタル信号に変
換される。ここで、L/R信号は角速度入力時にはそれ
ぞれ次式に示すように符号を反対にして出力される。
【0019】 L=A*sin(ω+t1)+B*sin(ω) … (1) R=A*sin(ω+t2)−B*sin(ω) … (2) A:基本波の振幅B:コリオリ力の信号振幅最初に、入
力L/Rから振幅Bを抽出することを考えてみる。今第
(1)式の信号に対してヒルベルトトランスフォーマ2
11でπ/2位相がずれた信号をL′とすると、 L′=A*cos(ω+t1)+B*cos(ω) … (3) 乗算器221と231とによってLおよびL′の2乗を
それぞれ求め、加算器241によってそれらの2乗総和
を計算すると、第(4)式で表わされる。
【0020】 X=L*L+L′*L′ =(A*A+2A*B*cos(t1)+B*B) … (4) 同様にして、R側はヒルベルトトランスフォーマ212
によってπ/2位相がずれた信号R′が出力され、乗算
器222と232とによってRおよびR′の2乗をそれ
ぞれ求め、加算器242によってそれらの2乗総和を求
めると、第(5)式となる。
【0021】 Y=R*R+R′*R′ =(A*A−2A*B*cos(t2)+B*B) … (5) 第(4)式および第(5)式において、t1およびt2
が0のときは、第(7)式となる。
【0022】 X=(A+B)*(A+B) Y=(A−B)*(A−B) … (6) 第(6)式より、平方根回路251,252でXYの平
方根をそれぞれ計算すると、 X′=√X=A+B Y′=√Y=A−B さらに、減算器26と1/2回路によりB=(X′−
Y′)/2を演算することにより、コリオリ振幅を判別
できる。
【0023】なお、位相ずれがあった場合は、X=(A
+B)*(A+B)−α,Y=(A−B)*(A−B)
−βとなり、Bに初期差動差のファクタが加算もしくは
減算される。しかし、ポインティングデバイスなどのア
プリケーションに必要なのは角速度入力の時間的変化で
あるので、A,t1、t2が一定であれば、結果的に
X′,Y′から計算されたBが真のB′よりずれていた
としても相変わらずBはB′に未定な比例定数との積に
比例している。その値を基準として経時変化を追えば特
にB′が既知のものである必要はない。
【0024】つまり、A/Dコンバータ101,102
で得られたL/Rの信号をπ/2位相をずらせるヒルベ
ルトトランスフォーマ211,212を数学的に構成す
ることおよびその解の2乗総和の平方根の和の1/2で
振幅を特定することができる。
【0025】図3はこの発明の他の実施形態のブロック
図である。図2に示した実施形態は、L,R信号を個別
にA/D変換してコリオリ成分を抽出するようにした
が、図3に示した実施形態は、L−Rの差動信号に基づ
いてコリオリ成分を抽出するものである。
【0026】図1に示した差動増幅回路3から出力され
たL−R信号は、A/Dコンバータ10でA/D変換さ
れ、ヒルベルトトランスフォーマ21によってπ/2ず
れた信号(L−R)′が出力され、元の(L−R)信号
が乗算器22で2乗され、π/2ずれた(L−R)′信
号が乗算器23で2乗され、それらが加算器24で加算
され、平方根回路25で平方根が求められてコリオリ成
分が抽出される。
【0027】これらの動作を式で示すと、差動信号(L
−R)は、第(7)式で表わされる。
【0028】 (L−R)=c*sin(ω) … (7) ヒルベルトトランスフォーマ21はL−R信号をπ/2
位相をずらせることにより、次の第(8)式に示す信号
を出力する。
【0029】 (L−R)′=c*cos(ω) … (8) 乗算器22,23はそれぞれ2乗し、加算器24が2乗
総和を求めると、次の第(9)式に示す信号が出力され
る。
【0030】 X=(L−R)*(L−R)+(L−R)′*(L−R)′=c*c…(9) 平方根回路25は第(9)式の平方根X′=√c(=2
B)を求め、コリオリ信号の大きさを参照する。
【0031】上述のごとく、図3で示した実施形態で
は、L−R信号に基づいてコリオリ成分を求めることに
より、図2に示した実施形態に比べて構成を簡単にでき
る。
【0032】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【0033】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、振動
ジャイロから出力されるL/R信号もしくは差動信号を
デジタル信号に変換し、そのπ/2位相ずれた信号と元
の信号との2乗総和からコリオリ力に比例する強度信号
を冗長な回路を用いることなく容易に抽出することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一実施形態の概略ブロック図であ
る。
【図2】 図1に示したDSPの具体的なブロック図で
ある。
【図3】 図1に示したDSPの他の具体例を示すブロ
ック図である。
【図4】 この発明の背景となりかつこの発明が適用さ
れるバイモルフ振動子の外観斜視図である。
【図5】 バイモルフ振動子から出力される振動波形を
示す図である。
【図6】 従来の角速度検出回路のブロック図である。
【符号の説明】
1 振動子、2 加算回路、3 差動増幅回路、4 A
GC回路、5 発振回路、10,101,102 A/D
コンバータ、20 DSP、21,211,212 ヒ
ルベルトトランスフォーマ、22,23,221,22
2,231,232 乗算器、24,241,242
加算器、25,251,252 平方根回路、26 減
算器、27 1/2回路。
フロントページの続き (72)発明者 岡野 恵一 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 室橋 浩一 東京都新宿区西新宿六丁目24番1号 日本 テキサス・インスツルメンツ株式会社内 Fターム(参考) 2F105 AA01 AA08 CC01 CC06 CD02 CD06 CD11

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 振動子をX軸方向に励振させ、Z軸回り
    に回転したときに、Y軸方向に発生したコリオリ力によ
    る振動から角速度を検出する角速度センサであって、 前記振動子から出力される左右信号または差動信号に基
    づいて基準信号を発生し、前記振動子を励振させる駆動
    手段、 前記振動子から出力されるコリオリ力を含む左右信号ま
    たは差動信号を抽出する信号抽出手段、 前記信号抽出手段から出力されたコリオリ力を含む左右
    信号または差動信号をデジタル信号に変換する変換手
    段、および前記変換手段によってデジタル信号に変換さ
    れた左右信号または差動信号からπ/2位相のずれた左
    右信号または差動信号を生成し、この左右信号または差
    動信号と元の左右信号または差動信号との2乗総和を演
    算し、前記コリオリ力に比例する強度信号を演算して出
    力する演算手段を備えた、角速度センサ。
  2. 【請求項2】 前記演算手段は、 前記差動信号の位相をπ/2シフトする位相回路と、 前記元の差動信号を2乗する第1の乗算回路と、 前記位相回路によって位相がπ/2シフトされた差動信
    号を2乗する第2の乗算回路と、 前記第1の乗算回路の出力と前記第2の乗算回路の出力
    とを加算する加算回路と、 前記加算回路の出力の平方根を求める平方根回路とを備
    えた、請求項1に記載の角速度センサ。
  3. 【請求項3】 前記演算手段は、 前記左右信号の位相をそれぞれπ/2シフトする位相回
    路と、 元の左右信号をそれぞれ個別的に2乗する第1の乗算回
    路と、 前記位相回路によって位相がπ/2シフトされた左右信
    号をそれぞれ個別的に2乗する第2の乗算回路と、 前記第1の乗算回路で2乗された左右信号と前記第2の
    乗算回路で2乗された位相がπ/2シフトされた左右信
    号とをそれぞれ個別的に加算する第1の加算回路と、 前記第1の乗算回路で2乗された左右信号と前記第2の
    乗算回路で2乗された位相がπ/2シフトされた左右信
    号とを個別的に加算する第2の加算回路と、 前記第1の加算回路の出力の平方根を求める第1の平方
    根回路と、 前記第2の加算回路の出力の平方根を求める第2の平方
    根回路と、 前記第1および第2の平方根回路の差を求めて1/2し
    て出力する減算回路とを備えた、角速度センサ。
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