JP2005265724A - 振動型角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動型角速度センサ1は、各々振動型の第一の角速度センサユニット100及び第二の角速度センサユニット200を有する。第一の角速度センサユニット100及び第二の角速度センサユニット200の各振動子41a,41bの、基準方向への駆動振幅をそれぞれ検出して振幅モニタ波形を出力する第一及び第二の振幅モニタ部47a,47bを設ける。そして、第一の振幅モニタ部47aが検出する第一の振幅モニタ波形と、第二の振幅モニタ部47bが検出する第二の振幅モニタ波形とを、互いに逆相となる位相関係にて合成する逆相波形合成部16を設け、その逆相合成波形に基づいて駆動異常監視信号を出力する。
【選択図】 図1
Description
予め定められた基準方向に振動する振動子と、該振動子を一定の振幅で駆動する振動駆動部と、振動子に角速度が加わるに伴い、基準方向と交差するように定められた角速度検出方向への被検出振動成分を検出し、該被検出振動成分に基づいて角速度検出波形を生成する検出波形生成部とをそれぞれ有する第一の角速度センサユニット及び第二の角速度センサユニットと、
第一の角速度センサユニット及び第二の角速度センサユニットの各振動子の、基準方向への駆動振幅をそれぞれ検出して振幅モニタ波形を出力する第一及び第二の振幅モニタ部と、
第一の振幅モニタ部が検出する第一の振幅モニタ波形と、第二の振幅モニタ部が検出する第二の振幅モニタ波形とを、互いに逆相となる位相関係にて合成する逆相波形合成部を有し、その逆相合成波形に基づく駆動異常監視信号を出力する駆動異常監視信号生成出力部と、を備えたことを特徴とする。
図1は、本発明の一実施形態である振動型角速度センサ1の回路図である。該回路は、振動ユニット4、振動駆動部6及び角速度検出部7とを有する。図2に示すように、振動ユニット4は第一のセンサユニット100及び第二のセンサユニット200を備える。各センサユニットは、予め定められたX方向(基準方向)に振動する振動子41a,41bを備え、それら振動子41a,41bに角速度が加わるに伴い、X方向と直交するように定められたY方向(角速度検出方向)への被検出振動成分を検出するものである。具体的には、図1に示すように、検出波形生成部75,76が該被検出振動成分に基づいて角速度検出波形を生成する。なお、被検出振動波形は、並進的な加速度が加わっている場合は角速度波形成分に加速度波形成分が重畳したものとなる。第一のセンサユニット100と第二のセンサユニット200とは、振動子41a,41bの逆相振動駆動により、それらの被検出振動波形が、角速度波形成分とこれに重畳する加速度波形成分との一方において互いに同相となり、他方において互いに逆相となるように(すなわち、加算又は差分により、加速度波形成分又は角速度波形成分の一方をキャンセルできるように)、上記の基準方向と角速度検出方向とが定められている。本実施形態においては、第一のセンサユニット100と第二のセンサユニット200とはX方向に互いに隣接して配置され、該X方向において振動子41a,41bとが鏡映的な対称関係にて振動駆動されるようになっているが、これに限られるものではない。
41a,41b 振動子
7 角速度検出部(検出波形生成部)
7a 演算増幅器(アナログ演算増幅回路)
10 差動増幅器(同相波形合成部)
16 加算器(加算演算部:逆相波形合成部)
21 差動増幅器(差分波形演算手段)
47a,47b 振幅モニタ用コンデンサ(第一及び第二の振幅モニタ部)
100 第一のセンサユニット
200 第二のセンサユニット
Claims (5)
- 予め定められた基準方向に振動する振動子と、該振動子を一定の振幅で駆動する振動駆動部と、前記振動子に角速度が加わるに伴い、前記基準方向と交差するように定められた角速度検出方向への被検出振動成分を検出し、該被検出振動成分に基づいて角速度検出波形を生成する検出波形生成部とをそれぞれ有する第一の角速度センサユニット及び第二の角速度センサユニットと、
前記第一の角速度センサユニット及び第二の角速度センサユニットの各前記振動子の、前記基準方向への駆動振幅をそれぞれ検出して振幅モニタ波形を出力する第一及び第二の振幅モニタ部と、
前記第一の振幅モニタ部が検出する第一の振幅モニタ波形と、前記第二の振幅モニタ部が検出する第二の振幅モニタ波形とを、互いに逆相となる位相関係にて合成する逆相波形合成部を有し、その逆相合成波形に基づく駆動異常監視信号を出力する駆動異常監視信号生成出力部と、
を備えたことを特徴とする振動型角速度センサ。 - 前記逆相波形合成部または該逆相波形合成部の出力下流側に、前記逆相合成波形の増幅処理を行なうアナログ演算増幅回路が設けられている請求項1記載の振動型角速度センサ。
- 前記駆動異常監視信号生成出力部には前記逆相合成波形を直流化する整流部が設けられ、該整流部が前記アナログ演算増幅回路を含む請求項2記載の振動型角速度センサ。
- 前記第一の角速度センサユニット及び第二の角速度センサユニットの前記振動子は同期駆動されるものであり、
前記第一の振幅モニタ波形と前記第二の振幅モニタ波形を、互いに同相となる位相関係にて合成する同相波形合成部を有し、その合成波形の振幅に基づいて前記振動駆動部による前記第一の角速度センサユニット及び第二の角速度センサユニットの駆動振幅を制御する振動駆動制御部が設けられ、
前記駆動異常監視信号生成出力部の前記逆相波形合成部は、前記振動駆動制御部の前記同相波形合成部の前段側に設けられている請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の振動型角速度センサ。 - 前記第一の角速度センサユニット及び前記第二の角速度センサユニットの各前記振動駆動部が、各前記振動子を前記基準方向において互いに逆位相にて同期振動させることにより、前記角速度検出波形が、互いに位相反転した第一及び第二の角速度検出波形として生成され、
前記第一の角速度検出波形と前記第二の角速度波形との差分波形を演算することにより、それら角速度検出波形に重畳する同相加速度波形成分が相殺された波形を角速度信号として出力する差分波形演算手段が設けられ、
前記第一の振幅モニタ波形と前記第二の振幅モニタ波形とは互いに逆相同期する形で出力されるものであり、前記駆動異常監視信号生成出力部の前記逆相波形合成部は、それら前記第一の振幅モニタ波形と前記第二の振幅モニタ波形との加算演算部を含む請求項4記載の振動型角速度センサ。
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2004
- 2004-03-19 JP JP2004081322A patent/JP2005265724A/ja active Pending
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