JP2004239907A - マイクロメカニカルヨーレートセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検出ユニット10、前処理ユニット20、マイクロコントローラ60からなり、SPIインターフェイス62で接続し、マスタのマイクロコントローラからスレーブの検出ユニットを動作させる構成とする。低サンプリングレートで全信号処理をデジタル処理できる。
【選択図】図2
Description
図2には本発明のマイクロメカニカルヨーレートセンサが図示されている。参照符号10によってこのマイクロメカニカルヨーレートセンサの検出ユニットが示されている。参照符号20によって本発明のマイクロメカニカルヨーレートセンサの前処理ユニットが示されている。検出ユニット10及び前処理ユニット20は以下においては共に本発明のマイクロメカニカルヨーレートセンサ35として示される。検出ユニット10は前処理ユニット20に接続されており、前処理ユニット20に生の信号12を供給し、この生の信号12は技術的にはとりわけ容量信号に相応し、本発明のヨーレートセンサのセンサ構造に基づいてこのセンサのヨーレートに(少なくとも広範囲で)比例している。このヨーレートセンサ35の前処理ユニット20において生の信号12はまず最初に電圧に、すなわち電圧信号23に変換される。生の信号12が容量信号である場合には、これは前処理ユニット20においてまず最初に容量/電圧変換器(C/U変換器)22によって電圧信号23に変換される。電圧信号23はアナログ/デジタル変換器(A/D変換器)24においてデジタル化され、これによってデジタル化された電圧信号25が発生され、次いで復調器26において復調される。このために復調器26には高周波ユニット40によってA/D変換器からのデジタル化された電圧信号25に加えてさらに相応の復調信号41が供給される。復調器26はこの場合復調された信号27を発生し、この復調された信号27はローパスフィルタ28に供給され、このローパスフィルタ28はフィルタリングされた信号29を出力する。
10 検出ユニット
12 生の信号
13 基板
14 サイズモ質量体
16 第2の検出素子
17 第1の容量値
18 第2の容量値
20 前処理ユニット
23 電圧信号
22 容量/電圧変換器
24 アナログ/デジタル変換器
25 デジタル化された電圧信号
26 復調器
27 復調された信号
28 ローパスフィルタ(デジタルフィルタ)
29 フィルタリングされた信号
30 回転角度(回転角度情報)
32 積分素子(オンボード積分素子)
34 レジスタ
35 本発明のマイクロメカニカルヨーレートセンサ
40 高周波ユニット
41 復調信号
50 デジタル/アナログ変換器
60 マイクロコントローラ(制御ユニット)
62 SPIインターフェース
120 前処理ユニット
122 容量/電圧変換器
123 電圧信号
124 アナログ/デジタル変換器
125 デジタル化された電圧信号
126 復調器
127 復調された信号
128 ローパスフィルタ
130 ヨーレート情報
131 出力信号
132 出力側
133 別の出力信号
232 出力側
231 出力信号
233 別の出力信号
234 別の出力側
235 SPI命令
Claims (8)
- 出力側(232)を有するマイクロメカニカルヨーレートセンサ(35)であって、前記出力側(232)において前記ヨーレートセンサ(35)の運動に依存して出力信号(231)が印加される、出力側(232)を有するマイクロメカニカルヨーレートセンサ(35)において、
前記出力信号(231)は角度情報(30)に相応することを特徴とする、出力側(232)を有するマイクロメカニカルヨーレートセンサ(35)。 - 出力信号(231)はデジタル形式で存在していることを特徴とする、請求項1記載のマイクロメカニカルヨーレートセンサ(35)。
- ヨーレートセンサは制御ユニット(60)に接続されていることを特徴とする、請求項1又は2記載のマイクロメカニカルヨーレートセンサ(35)。
- ヨーレートセンサと制御ユニット(60)との間ではSPIプロトコル(62)の枠内で情報が伝送されることを特徴とする、請求項3記載のマイクロメカニカルヨーレートセンサ(35)。
- 制御ユニット(60)は適用事例に適合したサンプリングレートを有することを特徴とする、請求項3又は4記載のマイクロメカニカルヨーレートセンサ(35)。
- ヨーレートセンサ(35)は積分素子(32)を有することを特徴とする、請求項1〜5のうちの1項記載のマイクロメカニカルヨーレートセンサ(35)。
- ヨーレートセンサ(35)は角度情報(30)の供給のためにSPI命令を受け取ることを特徴とする、請求項1〜6のうちの1項記載のマイクロメカニカルヨーレートセンサ(35)。
- 角度情報(30)の分解能は最大回転角度、とりわけ360°及びデジタルに存在する角度情報(30)のビット数から得られることを特徴とする、請求項1〜7のうちの1項記載のマイクロメカニカルヨーレートセンサ(35)。
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---|---|
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009210553A (ja) * | 2008-02-07 | 2009-09-17 | Denso Corp | 周期信号処理装置 |
WO2009122637A1 (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-08 | パナソニック株式会社 | 物理量検出回路、物理量センサ装置、物理量検出方法 |
WO2009128188A1 (ja) * | 2008-04-18 | 2009-10-22 | パナソニック株式会社 | 物理量検出回路、物理量センサ装置 |
KR101189864B1 (ko) | 2009-12-21 | 2012-10-11 | 정영진 | 센서의 감지 오류를 활용한 센서 샘플링 주기 조정 방법 |
JP2014524573A (ja) * | 2011-08-16 | 2014-09-22 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ヨーレートセンサユニットの出力信号の評価方法、及び、ヨーレートセンサユニット |
US10175044B2 (en) | 2015-02-20 | 2019-01-08 | Seiko Epson Corporation | Circuit device, physical quantity detection device, electronic apparatus, and moving object |
CN109270914A (zh) * | 2017-07-18 | 2019-01-25 | 横河电机株式会社 | 仪器信息提供装置、仪器信息提供方法及记录介质 |
US10254115B2 (en) | 2015-02-20 | 2019-04-09 | Seiko Epson Corporation | Circuit device, physical quantity detection device, electronic apparatus, and moving object |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07332982A (ja) * | 1994-06-03 | 1995-12-22 | Sony Corp | 回転角度検出機能を備えた電子機器 |
JPH1144539A (ja) * | 1997-07-24 | 1999-02-16 | Murata Mfg Co Ltd | 慣性センサの信号処理装置 |
JP2000234934A (ja) * | 1999-02-15 | 2000-08-29 | Alps Electric Co Ltd | ジャイロスコープ用の変換装置 |
JP2001188011A (ja) * | 1999-10-20 | 2001-07-10 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
JP2001356018A (ja) * | 2000-06-15 | 2001-12-26 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
-
2004
- 2004-02-03 JP JP2004026697A patent/JP2004239907A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07332982A (ja) * | 1994-06-03 | 1995-12-22 | Sony Corp | 回転角度検出機能を備えた電子機器 |
JPH1144539A (ja) * | 1997-07-24 | 1999-02-16 | Murata Mfg Co Ltd | 慣性センサの信号処理装置 |
JP2000234934A (ja) * | 1999-02-15 | 2000-08-29 | Alps Electric Co Ltd | ジャイロスコープ用の変換装置 |
JP2001188011A (ja) * | 1999-10-20 | 2001-07-10 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
JP2001356018A (ja) * | 2000-06-15 | 2001-12-26 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4591580B2 (ja) * | 2008-02-07 | 2010-12-01 | 株式会社デンソー | 周期信号処理装置 |
US8151098B2 (en) | 2008-02-07 | 2012-04-03 | Denso Corporation | Periodic signal processing apparatus |
JP2009210553A (ja) * | 2008-02-07 | 2009-09-17 | Denso Corp | 周期信号処理装置 |
US8069009B2 (en) | 2008-04-04 | 2011-11-29 | Panasonic Corporation | Physical quantity detection circuit and physical quantity sensor device |
JP2009250774A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-29 | Panasonic Corp | 物理量検出回路およびそれを備える物理量センサ装置、並びに物理量検出方法 |
WO2009122637A1 (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-08 | パナソニック株式会社 | 物理量検出回路、物理量センサ装置、物理量検出方法 |
JP2009258009A (ja) * | 2008-04-18 | 2009-11-05 | Panasonic Corp | 物理量検出回路およびそれを備える物理量センサ装置 |
WO2009128188A1 (ja) * | 2008-04-18 | 2009-10-22 | パナソニック株式会社 | 物理量検出回路、物理量センサ装置 |
US8093926B2 (en) | 2008-04-18 | 2012-01-10 | Panasonic Corporation | Physical quantity detection circuit and physical quantity sensor device |
KR101189864B1 (ko) | 2009-12-21 | 2012-10-11 | 정영진 | 센서의 감지 오류를 활용한 센서 샘플링 주기 조정 방법 |
JP2014524573A (ja) * | 2011-08-16 | 2014-09-22 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ヨーレートセンサユニットの出力信号の評価方法、及び、ヨーレートセンサユニット |
US9671227B2 (en) | 2011-08-16 | 2017-06-06 | Robert Bosch Gmbh | Method for evaluating output signals of a rotational rate sensor unit and rotational rate sensor unit |
US10175044B2 (en) | 2015-02-20 | 2019-01-08 | Seiko Epson Corporation | Circuit device, physical quantity detection device, electronic apparatus, and moving object |
US10254115B2 (en) | 2015-02-20 | 2019-04-09 | Seiko Epson Corporation | Circuit device, physical quantity detection device, electronic apparatus, and moving object |
CN109270914A (zh) * | 2017-07-18 | 2019-01-25 | 横河电机株式会社 | 仪器信息提供装置、仪器信息提供方法及记录介质 |
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