JPH09222326A - 振動ジャイロ - Google Patents

振動ジャイロ

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JPH09222326A
JPH09222326A JP8029356A JP2935696A JPH09222326A JP H09222326 A JPH09222326 A JP H09222326A JP 8029356 A JP8029356 A JP 8029356A JP 2935696 A JP2935696 A JP 2935696A JP H09222326 A JPH09222326 A JP H09222326A
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    • G01C19/5642Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
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    • GPHYSICS
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Abstract

(57)【要約】 【課題】温度変化に対して感度が安定である振動ジャイ
ロを提供する。 【解決手段】圧電振動子から得られる検出信号あるいは
その検出信号に関連する信号を増幅するための増幅回路
30を有する振動ジャイロにおいて、増幅回路30は、
入力端子31と、非反転入力端が入力端子に接続され、
反転入力端が接地されるオペアンプ33と、オペアンプ
の出力端が接続される出力端子39と、オペアンプの反
転入力端およびグランド間に直列に接続される第1の感
温素子35と、オペアンプの反転入力端および出力端間
に直列に接続される第2の感温素子37とを含むことを
特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電振動子を有す
る振動ジャイロに関し、さらに詳しく述べると、回転角
速度を検知することにより移動体の位置を検出し、適切
な誘導を行うナビゲーションシステム、または外的振動
を検知し、適切な制振を行う手振れ防止装置などの除振
システムなどに応用できる振動ジャイロに関する。
【0002】
【従来の技術】この種の振動ジャイロでは、圧電振動子
から得られる検出信号が温度変化によって変化するた
め、その検出信号と同様にその感度も、たとえば図7の
破線Aに示すように、25℃付近においてはほぼ一定で
あるが、低温領域または高温領域においては温度の低下
または上昇にともなって小さくなってしまう。
【0003】そのため、従来、圧電振動子から得られる
検出信号あるいはその検出信号に関連する信号を増幅す
るための増幅回路にサーミスタ等の感温素子を取り付け
て、温度変化による感度の変化を抑えている。
【0004】図8は図7の破線Aに示す特性を有する振
動ジャイロにおける、温度変化による感度の変化を抑え
るための増幅回路の一例を示す回路図である。この増幅
回路1は、入力端子3を含み、入力端子3はオペアンプ
5の非反転入力端に接続される。このオペアンプ5の反
転入力端は、抵抗R1を介して接地される。また、オペ
アンプ5の反転入力端および出力端間には、抵抗R2お
よび感温素子としての負特性サーミスタ7の直列回路が
接続され、負特性サーミスタ7には抵抗R3が並列に接
続される。さらに、オペアンプ5の出力端には、出力端
子9が接続される。したがって、この増幅回路1では、
温度の上昇にともなって増幅度が減少する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】この増幅回路1を、図
7の破線Aに示す特性を有する振動ジャイロに設けれ
ば、増幅回路1の増幅度が、温度の上昇にともなって減
少するので、感度は、図7の実線Bに示すように、25
℃付近の領域および低温領域においてはほぼ一定の感度
に補正できるが、高温領域においては補正できない。そ
のため、感度の安定しない高温領域では、回転角速度を
正確に検知することができない。
【0006】それゆえ、本発明の目的は、上述の問題点
を解決することであり、温度変化に対して感度が安定で
ある振動ジャイロを提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、圧電振動子から得られる検出信号ある
いはその検出信号に関連する信号を増幅するための増幅
回路を有する振動ジャイロにおいて、増幅回路は、オペ
アンプと、少くとも2つの感温素子とを含むことを特徴
とする。
【0008】さらに詳しく述べるならば、増幅回路は、
入力端子と、非反転入力端が入力端子に接続され、反転
入力端が接地されるオペアンプと、オペアンプの出力端
が接続される出力端子と、オペアンプの反転入力端およ
びグランド間に直列に接続される第1の感温素子と、オ
ペアンプの反転入力端および出力端間に直列に接続され
る第2の感温素子とを含む。
【0009】または、増幅回路は、入力端子と、反転入
力端が入力端子に接続され、非反転入力端が接地される
オペアンプと、オペアンプの出力端が接続される出力端
子と、オペアンプの反転入力端および出力端間に直列に
接続される第1の感温素子と、オペアンプの出力端およ
びグランド間に直列に接続される第2の感温素子とを含
む。
【0010】さらにまたは、増幅回路は、入力端子と、
反転入力端が入力端子に接続され、非反転入力端が接地
されるオペアンプと、オペアンプの出力端が接続される
出力端子と、入力端子およびオペアンプの反転入力端間
に直列に接続される第1の感温素子と、オペアンプの反
転入力端および出力端間に直列に接続される第2の感温
素子とを含む。
【0011】すなわち、この増幅回路は、2つの感温素
子によって増幅度を温度変化に対する圧電振動子の検出
信号あるいはそれに関連する信号の変化とほぼ逆の特性
を有するように調整できる。そのため、温度変化に対す
る圧電振動子の検出信号あるいはそれに関連する信号
を、低温領域から高温領域にわたってほぼ一定になるよ
うに補正でき、振動ジャイロの感度は温度変化に対して
安定になる。
【0012】
【発明の効果】よって、本発明によれば、温度変化に対
して感度が安定した振動ジャイロを得られる。そのた
め、本発明による振動ジャイロを用いれば、低温領域か
ら高温領域にわたって回転角速度を正確に検知すること
ができる。
【0013】
【発明の実施の形態】図1は、本発明による振動ジャイ
ロの第1の実施例を示す回路図である。この振動ジャイ
ロ10は、圧電振動子11を含む。
【0014】圧電振動子11は、たとえば金属からなる
正3角柱状の振動体13を含み、振動体13の側面に
は、3つの圧電素子15a,15b,15cがそれぞれ
形成される。これら圧電素子15a,15b,15c
は、それぞれ、圧電体からなる圧電体層を含み、圧電体
層の両主面に電極がそれぞれ形成され、一方の電極が振
動体13の側面に接着され、他方の電極が信号の入出力
に用いられる。この圧電振動子11では、無回転時に2
つの圧電素子15a,15bに同様な駆動信号を印加す
れば、振動体13が圧電素子15cの主面に直交する方
向に屈曲振動する。この状態では、圧電素子15a,1
5bから同様な検出信号が得られる。そして、圧電振動
子11に振動体13の中心軸を中心とする回転角速度が
加われば、コリオリ力によって振動体13の屈曲振動の
方向が変わり、2つの圧電素子15a,15bからその
回転角速度に応じた検出信号が得られ、その検出信号の
差を検出すれば、振動体13に加わった回転角速度を検
知できる。なお、この実施例では、温度変化に対して、
2つの圧電素子15a,15bから得られる検出信号が
変化する特性を有する。
【0015】この圧電振動子11の圧電素子15cは、
たとえば増幅器からなる発振回路17の入力端に接続さ
れる。この発振回路17は、圧電素子15cから得られ
る帰還信号を増幅して、圧電振動子11を駆動するため
の駆動信号を発生するためのものである。
【0016】発振回路17の出力端は、位相補正回路1
9の入力端に接続される。この位相補正回路19は、発
振回路17から発生する駆動信号の位相を圧電振動子1
1を駆動するための最適な位相に補正するためのもので
ある。
【0017】位相補正回路19の出力端は、圧電振動子
11の圧電素子15a,15bに接続される。したがっ
て、圧電素子15a,15bには、最適な位相を有する
同様な駆動信号がそれぞれ印加される。
【0018】さらに、圧電振動子11の圧電素子15
a,15bは、差動増幅回路21の非反転入力端および
反転入力端にそれぞれ接続される。この差動増幅回路2
1は、圧電素子15a,15bから得られる検出信号の
差を検出するためのものである。 差動増幅回路21の
出力端は、同期検波回路23の入力端に接続される。こ
の同期検波回路23の別の入力端には、位相補正回路1
9の別の出力端が接続される。この同期検波回路23
は、差動増幅回路21の出力信号すなわち圧電素子15
a,15bから得られる検出信号の差を、圧電振動子1
1の駆動信号に同期して検波するとともに直流に整流す
るためのものである。
【0019】同期検波回路23の出力端は、増幅回路3
0の入力端子31に接続される。この増幅回路30は、
同期検波回路23から出力される直流信号を増幅すると
ともに、圧電素子15a,15bから得られる検出信号
に関連するこの直流信号の温度補償をするためのもので
ある。
【0020】図2に示すように、増幅回路30の入力端
子31は、オペアンプ33の非反転入力端に接続され
る。このオペアンプ33の反転入力端は、抵抗R11お
よび感温素子としての負特性サーミスタ35の直列回路
を介して接地され、負特性サーミスタ35には抵抗R1
2が並列に接続される。また、オペアンプ33の反転入
力端および出力端間には、抵抗R13および負特性サー
ミスタ37の直列回路が接続され、負特性サーミスタ3
7には抵抗R14が並列に接続される。さらに、オペア
ンプ33の出力端は、出力端子39に接続される。
【0021】この振動ジャイロ10では、発振回路17
および位相補正回路19によって、圧電振動子11の圧
電素子15a,15bに適切な位相を有する同様な駆動
信号が印加される。そのため、圧電振動子11に加わっ
た回転角速度に応じた検出信号が、圧電振動子11の2
つの圧電素子15a,15bからそれぞれ得られる。そ
して、圧電素子15a,15bの検出信号の差の信号
が、差動増幅回路21で検出され、次に同期検波回路2
3で駆動信号に同期して検波され、かつ直流に整流され
る。さらに、同期検波回路23から出力される直流信号
は、増幅回路30で増幅される。したがって、この振動
ジャイロ10では、増幅回路30から出力される直流信
号によって、圧電振動子11に加わった回転角速度を検
知することができる。
【0022】さらに、この振動ジャイロ10では、増幅
回路30によって同期検波回路23から出力される直流
信号の温度補償が行われるため、その感度が低温領域か
ら高温領域にわたってほぼ一定になり安定する。
【0023】たとえば、表1に示すように、圧電振動子
11の圧電素子15a,15bから得られる検出信号
が、25℃付近においてはほぼ一定であるが、低温領域
または高温領域においては温度の低下または上昇にとも
なって小さくなる特性を有する場合、増幅回路30の各
部を表2のように設定すれば、増幅回路30の増幅度
を、表1に示すように、温度変化に対する圧電振動子1
1の検出信号の変化とほぼ逆の特性を有するように調整
できる。したがって、温度の変化によって、圧電振動子
11の検出信号に関連する、同期検波回路23から出力
される直流信号が変化しても、増幅回路30によって補
正されるため、振動ジャイロ10の感度が、図3に示す
ように、低温領域から高温領域にわたってほぼ一定にな
り安定する。そのため、この振動ジャイロ10では、低
温領域から高温領域にわたって回転角速度を正確に検知
することができる。
【0024】
【表1】
【0025】
【表2】
【0026】次に、本発明による振動ジャイロの第2の
実施例を説明する。なお、第1の実施例の振動ジャイロ
10と同様の部分については、同一番号を付してその説
明を省略する。
【0027】第2の実施例の振動ジャイロは、増幅回路
の構成が第1の実施例の振動ジャイロ10と異なる。図
4に示すように、増幅回路40の入力端子41は、抵抗
Rinを介してオペアンプ43の反転入力端に接続さ
れ、オペアンプ43の非反転入力端は、抵抗Rfを介し
て接地される。そして、オペアンプ43の反転入力端お
よび出力端間には、抵抗R21および負特性サーミスタ
45および抵抗R23の直列回路が接続され、負特性サ
ーミスタ45には抵抗R22が並列に接続される。ま
た、負特性サーミスタ45および抵抗R23の接続点
は、抵抗R24および負特性サーミスタ47の直列回路
を介して接地され、負特性サーミスタ47には抵抗R2
5が並列に接続される。さらに、オペアンプ43の出力
端は、出力端子49に接続される。
【0028】この振動ジャイロでも、増幅回路40によ
って同期検波回路23から出力される直流信号の温度補
償が行われるため、その感度が低温領域から高温領域に
わたってほぼ一定になり安定する。
【0029】たとえば、表3に示すように、圧電振動子
11の検出信号が、25℃付近においてはほぼ一定であ
るが、低温領域または高温領域においては温度の低下ま
たは上昇にともなって小さくなる特性を有する場合、増
幅回路40の各部を表4のように設定すれば、増幅回路
40の増幅度が、表3に示すように、温度変化に対する
圧電振動子11の検出信号の変化とほぼ逆の特性を有す
るように調整できる。したがって、温度の変化によっ
て、圧電振動子11の検出信号に関連する、同期検波回
路23から出力される直流信号が変化しても、増幅回路
40によって補正されるため、振動ジャイロの感度が、
図5に示すように、低温領域から高温領域にわたってほ
ぼ一定になり安定する。そのため、この振動ジャイロで
も、低温領域から高温領域にわたって回転角速度を正確
に検知することができる。
【0030】
【表3】
【0031】
【表4】
【0032】次に、本発明による振動ジャイロの第3の
実施例を説明する。なお、第1、2の実施例の振動ジャ
イロと同様の部分については、同一番号を付してその説
明を省略する。
【0033】第3の実施例の振動ジャイロは、増幅回路
の構成が第1、2の実施例の振動ジャイロと異なる。図
6に示すように、増幅回路50の入力端子51は、オペ
アンプ53の反転入力端に接続され、オペアンプ53の
非反転入力端は、抵抗Rfを介して接地される。そし
て、入力端子51およびオペアンプ53の反転入力端間
には、抵抗R31および負特性サーミスタ55の直列回
路が接続され、負特性サーミスタ55には抵抗R32が
並列に接続される。また、オペアンプ53の反転入力端
および出力端間には、抵抗R33および負特性サーミス
タ57の直列回路が接続され、負特性サーミスタ57に
は抵抗R34が並列に接続される。さらに、オペアンプ
53の出力端は、出力端子59に接続される。
【0034】この振動ジャイロでも、増幅回路50の増
幅度が、温度変化に対する圧電振動子11から得られる
検出信号の変化とほぼ逆の特性を有するようにすれば、
増幅回路50によって同期検波回路23から出力される
直流信号の温度補償が行われるため、その感度が低温領
域から高温領域にわたってほぼ一定になり安定する。そ
のため、この振動ジャイロでも、低温領域から高温領域
にわたって回転角速度を正確に検知することができる。
【0035】なお、上述した実施例では、感温素子とし
て負特性サーミスタを用いたが、正特性サーミスタ、ま
たは白金やニッケルなどの金属膜を用いてもよい。
【0036】また、上述の実施例では、圧電振動子11
が正3角柱状の金属からなる振動体13と3つの圧電素
子15a,15b,15cとで構成されているが、この
発明では、圧電振動子は、圧電体からなる振動体とその
振動体の側面に形成される複数の電極とで構成されても
よい。さらに、圧電振動子の振動体は、正3角柱状に限
らず、正4角柱状などの他の多角柱状や円柱状に形成さ
れてもよい。また、圧電振動子の圧電素子や電極の数
は、任意に変更されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の振動ジャイロを示すブ
ロック図である。
【図2】図1の振動ジャイロの増幅回路を示す回路図で
ある。
【図3】図1の振動ジャイロの温度−感度変化率を示す
グラフである。
【図4】第2の実施例の振動ジャイロの増幅回路を示す
回路図である。
【図5】第2の実施例の振動ジャイロの温度−感度変化
率を示すグラフである。
【図6】第3の実施例の振動ジャイロの増幅回路を示す
回路図である。
【図7】従来の振動ジャイロの温度−感度変化率を示す
グラフである。
【図8】従来の振動ジャイロの増幅回路を示す回路図で
ある。
【符号の説明】
30 増幅回路 31 入力端子 33 オペアンプ 35 負特性サーミスタ(第1の感温素子) 37 負特性サーミスタ(第2の感温素子) 39 出力端子 R11−14 抵抗

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】圧電振動子から得られる検出信号あるいは
    その検出信号に関連する信号を増幅するための増幅回路
    を有する振動ジャイロにおいて、 前記増幅回路は、オペアンプと、少くとも2つの感温素
    子とを含むことを特徴とする振動ジャイロ。
  2. 【請求項2】前記増幅回路は、入力端子と、非反転入力
    端が前記入力端子に接続され、反転入力端が接地される
    オペアンプと、前記オペアンプの出力端が接続される出
    力端子と、前記オペアンプの反転入力端およびグランド
    間に直列に接続される第1の感温素子と、前記オペアン
    プの反転入力端および出力端間に直列に接続される第2
    の感温素子とを含むことを特徴とする請求項1に記載の
    振動ジャイロ。
  3. 【請求項3】前記増幅回路は、入力端子と、反転入力端
    が前記入力端子に接続され、非反転入力端が接地される
    オペアンプと、前記オペアンプの出力端が接続される出
    力端子と、前記オペアンプの反転入力端および出力端間
    に直列に接続される第1の感温素子と、前記オペアンプ
    の出力端およびグランド間に直列に接続される第2の感
    温素子とを含むことを特徴とする請求項1に記載の振動
    ジャイロ。
  4. 【請求項4】前記増幅回路は、入力端子と、反転入力端
    が前記入力端子に接続され、非反転入力端が接地される
    オペアンプと、前記オペアンプの出力端が接続される出
    力端子と、前記入力端子および前記オペアンプの反転入
    力端間に直列に接続される第1の感温素子と、前記オペ
    アンプの反転入力端および出力端間に直列に接続される
    第2の感温素子とを含むことを特徴とする請求項1に記
    載の振動ジャイロ。
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