JPH07159182A - 振動ジャイロ - Google Patents
振動ジャイロInfo
- Publication number
- JPH07159182A JPH07159182A JP5339366A JP33936693A JPH07159182A JP H07159182 A JPH07159182 A JP H07159182A JP 5339366 A JP5339366 A JP 5339366A JP 33936693 A JP33936693 A JP 33936693A JP H07159182 A JPH07159182 A JP H07159182A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- output signal
- piezoelectric element
- piezoelectric elements
- vibrating body
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
- G01C19/5649—Signal processing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 雰囲気温度の変化や振動子の振動特性の変動
があっても、常に一定の検出感度を得ることができる振
動ジャイロを得る。 【構成】 振動ジャイロ１０は、たとえば３角柱状の振
動体１４の側面に圧電素子１６ａ，１６ｂ，１６ｃが形
成された振動子１２を含む。圧電素子１６ａ，１６ｂ，
１６ｃとして、ほぼ同一の温度特性を有するものを使用
する。圧電素子１６ａ，１６ｂと圧電素子１６ｃとの間
に、発振回路２６を接続する。圧電素子１６ａ，１６ｂ
を差動増幅回路２８に接続し、さらに差動増幅回路２８
を検出回路３０に接続する。帰還用の圧電素子１６ｃの
出力信号をを半波整流回路３２で整流し、さらに平滑回
路３４で平滑する。平滑回路３４の出力信号をＡＧＣ回
路３６に入力し、その信号によって検出回路３０の利得
を制御する。
があっても、常に一定の検出感度を得ることができる振
動ジャイロを得る。 【構成】 振動ジャイロ１０は、たとえば３角柱状の振
動体１４の側面に圧電素子１６ａ，１６ｂ，１６ｃが形
成された振動子１２を含む。圧電素子１６ａ，１６ｂ，
１６ｃとして、ほぼ同一の温度特性を有するものを使用
する。圧電素子１６ａ，１６ｂと圧電素子１６ｃとの間
に、発振回路２６を接続する。圧電素子１６ａ，１６ｂ
を差動増幅回路２８に接続し、さらに差動増幅回路２８
を検出回路３０に接続する。帰還用の圧電素子１６ｃの
出力信号をを半波整流回路３２で整流し、さらに平滑回
路３４で平滑する。平滑回路３４の出力信号をＡＧＣ回
路３６に入力し、その信号によって検出回路３０の利得
を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロに関し、
特にたとえば、柱状の振動体の屈曲振動を利用して回転
角速度を検出するための振動ジャイロに関する。
特にたとえば、柱状の振動体の屈曲振動を利用して回転
角速度を検出するための振動ジャイロに関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の振動ジャイロの一例を示す
図解図である。振動ジャイロ１は、振動子２を含む。振
動子２は、たとえば正３角柱状の振動体３を含む。振動
体３の側面には、圧電素子４ａ，４ｂ，４ｃが形成され
る。圧電素子４ａ，４ｂと圧電素子４ｃとの間には、発
振回路５が接続される。圧電素子４ａ，４ｂは、振動体
３を屈曲振動させるための駆動用として用いられるとと
もに、回転角速度に対応した信号を検出するための検出
用として用いられる。また、圧電素子４ｃは、振動体３
を屈曲振動させるときに、発振回路５への帰還用として
用いられる。さらに、圧電素子４ａ，４ｂは、差動増幅
回路６に接続される。差動増幅回路６の出力信号は、検
出回路７で検出される。
図解図である。振動ジャイロ１は、振動子２を含む。振
動子２は、たとえば正３角柱状の振動体３を含む。振動
体３の側面には、圧電素子４ａ，４ｂ，４ｃが形成され
る。圧電素子４ａ，４ｂと圧電素子４ｃとの間には、発
振回路５が接続される。圧電素子４ａ，４ｂは、振動体
３を屈曲振動させるための駆動用として用いられるとと
もに、回転角速度に対応した信号を検出するための検出
用として用いられる。また、圧電素子４ｃは、振動体３
を屈曲振動させるときに、発振回路５への帰還用として
用いられる。さらに、圧電素子４ａ，４ｂは、差動増幅
回路６に接続される。差動増幅回路６の出力信号は、検
出回路７で検出される。
【０００３】この振動ジャイロ１では、発振回路５の信
号によって、振動体３が圧電素子４ｃ形成面に直交する
方向に屈曲振動する。このとき、差動増幅回路６に入力
される信号は同じであり、差動増幅回路６から信号が出
力されない。この状態で、振動体３の軸を中心として振
動体３が回転すると、コリオリ力によって振動体３の振
動方向が変わる。そのため、圧電素子４ａと圧電素子４
ｂとの間に出力信号の差が生じ、差動増幅回路６からそ
の信号の差が出力される。そして、差動増幅回路６の出
力信号が、検出回路７で検出される。検出回路７から出
力される信号は回転角速度に対応した信号であるため、
それを測定することによって振動ジャイロ１に加わった
回転角速度を検出することができる。
号によって、振動体３が圧電素子４ｃ形成面に直交する
方向に屈曲振動する。このとき、差動増幅回路６に入力
される信号は同じであり、差動増幅回路６から信号が出
力されない。この状態で、振動体３の軸を中心として振
動体３が回転すると、コリオリ力によって振動体３の振
動方向が変わる。そのため、圧電素子４ａと圧電素子４
ｂとの間に出力信号の差が生じ、差動増幅回路６からそ
の信号の差が出力される。そして、差動増幅回路６の出
力信号が、検出回路７で検出される。検出回路７から出
力される信号は回転角速度に対応した信号であるため、
それを測定することによって振動ジャイロ１に加わった
回転角速度を検出することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の振動ジャイロでは、雰囲気温度の変化などに
よって、圧電素子の出力信号が変動する場合がある。こ
のような出力信号の変動があると、正確に回転角速度を
検出することができない。このような出力信号の変動を
補正するために、たとえばサーミスタや感温抵抗素子な
どの温度特性を利用して振動ジャイロの感度を調整して
いた。ところが、このような方法では、補正に使用する
ためのサーミスタを選択するために、何度も測定を行う
必要がある。また、経時変化などによる振動子の振動特
性の変化によって出力信号が変動した場合には、サーミ
スタなどで補正することができない。
うな従来の振動ジャイロでは、雰囲気温度の変化などに
よって、圧電素子の出力信号が変動する場合がある。こ
のような出力信号の変動があると、正確に回転角速度を
検出することができない。このような出力信号の変動を
補正するために、たとえばサーミスタや感温抵抗素子な
どの温度特性を利用して振動ジャイロの感度を調整して
いた。ところが、このような方法では、補正に使用する
ためのサーミスタを選択するために、何度も測定を行う
必要がある。また、経時変化などによる振動子の振動特
性の変化によって出力信号が変動した場合には、サーミ
スタなどで補正することができない。
【０００５】それゆえに、この発明の主たる目的は、雰
囲気温度の変化や振動子の振動特性の変動があっても、
常に一定の検出感度を得ることができる振動ジャイロを
提供することである。
囲気温度の変化や振動子の振動特性の変動があっても、
常に一定の検出感度を得ることができる振動ジャイロを
提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、柱状の振動
体と、振動体の側面に形成される温度特性がほぼ同一の
複数の圧電素子と、振動体を振動させるために圧電素子
間に接続される発振回路と、発振回路からの信号が入力
される圧電素子の出力信号を検出するための検出回路
と、発振回路への帰還用として用いられる圧電素子の出
力信号に応じて検出回路の利得を調整するための自動利
得制御回路とを含む、振動ジャイロである。
体と、振動体の側面に形成される温度特性がほぼ同一の
複数の圧電素子と、振動体を振動させるために圧電素子
間に接続される発振回路と、発振回路からの信号が入力
される圧電素子の出力信号を検出するための検出回路
と、発振回路への帰還用として用いられる圧電素子の出
力信号に応じて検出回路の利得を調整するための自動利
得制御回路とを含む、振動ジャイロである。
【０００７】
【作用】複数の圧電素子がほぼ同一の温度特性を有して
いるため、雰囲気温度の変化による各圧電素子の出力信
号の変動はほぼ同じになる。帰還用の圧電素子の出力信
号に応じて検出回路の利得を調整することにより、帰還
用の圧電素子の温度特性とほぼ同一の温度特性を有する
圧電素子の出力信号を補正することができる。
いるため、雰囲気温度の変化による各圧電素子の出力信
号の変動はほぼ同じになる。帰還用の圧電素子の出力信
号に応じて検出回路の利得を調整することにより、帰還
用の圧電素子の温度特性とほぼ同一の温度特性を有する
圧電素子の出力信号を補正することができる。
【０００８】また、経時変化などにより振動子の振動特
性が変化すると、同一の振動体の側面に形成された圧電
素子の出力信号は、ほぼ同一の変動傾向を示す。したが
って、帰還用の圧電素子の出力信号に応じて検出回路の
利得を調整することにより、他の圧電素子の出力信号を
補正することができる。
性が変化すると、同一の振動体の側面に形成された圧電
素子の出力信号は、ほぼ同一の変動傾向を示す。したが
って、帰還用の圧電素子の出力信号に応じて検出回路の
利得を調整することにより、他の圧電素子の出力信号を
補正することができる。
【０００９】
【発明の効果】この発明によれば、ほぼ同一の温度特性
を有する圧電素子を用いることにより、雰囲気温度の変
化による出力信号の変動を補正することができる。ま
た、経時変化などによって振動子の振動特性が変化して
も、それによる圧電素子の出力信号の変動を補正するこ
とができる。したがって、検出感度の変化がほとんどな
い振動ジャイロを得ることができ、正確に回転角速度を
検出することができる。
を有する圧電素子を用いることにより、雰囲気温度の変
化による出力信号の変動を補正することができる。ま
た、経時変化などによって振動子の振動特性が変化して
も、それによる圧電素子の出力信号の変動を補正するこ
とができる。したがって、検出感度の変化がほとんどな
い振動ジャイロを得ることができ、正確に回転角速度を
検出することができる。
【００１０】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【００１１】
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す図解図であ
る。振動ジャイロ１０は、振動子１２を含む。振動子１
２は、図２に示すように、たとえば正３角柱状の振動体
１４を含む。振動体１４は、たとえばエリンバ，鉄−ニ
ッケル合金，石英，ガラス，水晶，セラミックなど、一
般的に機械的な振動を生じる材料で形成される。
る。振動ジャイロ１０は、振動子１２を含む。振動子１
２は、図２に示すように、たとえば正３角柱状の振動体
１４を含む。振動体１４は、たとえばエリンバ，鉄−ニ
ッケル合金，石英，ガラス，水晶，セラミックなど、一
般的に機械的な振動を生じる材料で形成される。
【００１２】振動体１４の側面には、図３に示すよう
に、圧電素子１６ａ，１６ｂ，１６ｃが形成される。圧
電素子１６ａは、たとえば圧電セラミックなどで形成さ
れた圧電板１８ａを含む。この圧電板１８ａの両面に
は、電極２０ａ，２２ａが形成されている。そして、一
方の電極２２ａが、振動体１４に貼着されている。同様
に、圧電素子１６ｂ，１６ｃは圧電板１８ｂ，１８ｃを
含み、その両面に電極２０ｂ，２２ｂおよび電極２０
ｃ，２２ｃが形成されている。そして、これらの圧電素
子１６ｂ，１６ｃの一方の電極２２ｂおよび電極２２ｃ
が、振動体１４に貼着される。圧電素子１６ａ，１６ｂ
は、振動体１４を屈曲振動させるための駆動用として用
いられるとともに、回転角速度に対応した信号を検出す
るための検出用としても用いられる。また、圧電素子１
６ｃは、振動体１４を振動させるときの帰還用として用
いられる。圧電素子１６ａ，１６ｂ，１６ｃとしては、
ほぼ同一の温度特性を有するものが用いられる。
に、圧電素子１６ａ，１６ｂ，１６ｃが形成される。圧
電素子１６ａは、たとえば圧電セラミックなどで形成さ
れた圧電板１８ａを含む。この圧電板１８ａの両面に
は、電極２０ａ，２２ａが形成されている。そして、一
方の電極２２ａが、振動体１４に貼着されている。同様
に、圧電素子１６ｂ，１６ｃは圧電板１８ｂ，１８ｃを
含み、その両面に電極２０ｂ，２２ｂおよび電極２０
ｃ，２２ｃが形成されている。そして、これらの圧電素
子１６ｂ，１６ｃの一方の電極２２ｂおよび電極２２ｃ
が、振動体１４に貼着される。圧電素子１６ａ，１６ｂ
は、振動体１４を屈曲振動させるための駆動用として用
いられるとともに、回転角速度に対応した信号を検出す
るための検出用としても用いられる。また、圧電素子１
６ｃは、振動体１４を振動させるときの帰還用として用
いられる。圧電素子１６ａ，１６ｂ，１６ｃとしては、
ほぼ同一の温度特性を有するものが用いられる。
【００１３】圧電素子１６ａと圧電素子１６ｂとの間に
は、可変抵抗器２４が接続される。この可変抵抗器２４
と圧電素子１６ｃとの間に、発振回路２６が接続され
る。この発振回路２６からの信号によって、振動体１４
は圧電素子１６ｃ形成面に直交する方向に屈曲振動す
る。さらに、圧電素子１６ａ，１６ｂは、差動増幅回路
２８に接続される。差動増幅回路２８の出力信号は、検
出回路３０で検出される。検出回路３０には、たとえば
検波回路や増幅回路が含まれ、さらに必要に応じて平滑
回路などが含まれる。
は、可変抵抗器２４が接続される。この可変抵抗器２４
と圧電素子１６ｃとの間に、発振回路２６が接続され
る。この発振回路２６からの信号によって、振動体１４
は圧電素子１６ｃ形成面に直交する方向に屈曲振動す
る。さらに、圧電素子１６ａ，１６ｂは、差動増幅回路
２８に接続される。差動増幅回路２８の出力信号は、検
出回路３０で検出される。検出回路３０には、たとえば
検波回路や増幅回路が含まれ、さらに必要に応じて平滑
回路などが含まれる。
【００１４】また、帰還用として用いられる圧電素子１
６ｃは、半波整流回路３２に接続される。半端整流回路
３２で整流された信号は、平滑回路３４で平滑される。
平滑回路３４の出力信号は自動利得制御回路（ＡＧＣ回
路）３６に接続され、このＡＧＣ回路３６によって検出
回路３０の利得が調整される。
６ｃは、半波整流回路３２に接続される。半端整流回路
３２で整流された信号は、平滑回路３４で平滑される。
平滑回路３４の出力信号は自動利得制御回路（ＡＧＣ回
路）３６に接続され、このＡＧＣ回路３６によって検出
回路３０の利得が調整される。
【００１５】この振動ジャイロ１０では、発振回路２６
の信号によって振動体１４が屈曲振動する。無回転時に
おいては、差動増幅回路２８に入力される信号は同じで
あり、差動増幅回路２８から信号は出力されない。この
状態で、振動体１４がその軸を中心として回転すると、
コリオリ力によって振動方向が変わる。それにより、圧
電素子１６ａ，１６ｂの出力信号に差が生じ、差動増幅
回路２８から信号が出力される。この信号が、検出回路
３０で検出される。検出回路３０の出力信号は回転角速
度に対応した信号であるため、検出回路３０の出力信号
を測定することにより、振動ジャイロ１０に加わった回
転角速度を検出することができる。
の信号によって振動体１４が屈曲振動する。無回転時に
おいては、差動増幅回路２８に入力される信号は同じで
あり、差動増幅回路２８から信号は出力されない。この
状態で、振動体１４がその軸を中心として回転すると、
コリオリ力によって振動方向が変わる。それにより、圧
電素子１６ａ，１６ｂの出力信号に差が生じ、差動増幅
回路２８から信号が出力される。この信号が、検出回路
３０で検出される。検出回路３０の出力信号は回転角速
度に対応した信号であるため、検出回路３０の出力信号
を測定することにより、振動ジャイロ１０に加わった回
転角速度を検出することができる。
【００１６】また、半波整流回路３２では、帰還用の圧
電素子１６ｃの出力信号が半波整流される。さらに、半
波整流された信号が、平滑回路３４で平滑される。平滑
回路３４の出力信号がＡＧＣ回路３６に入力され、それ
に応じてＡＧＣ回路３６が検出回路３０の利得を調整す
る。たとえば、帰還用の圧電素子１６ｃの出力信号が大
きくなって平滑回路３４の出力信号が大きくなると、Ａ
ＧＣ回路３６によって検出回路３０の利得が小さくなる
ように調整される。また、帰還用の圧電素子１６ｃの出
力信号が小さくなって平滑回路３４の出力信号が小さく
なると、ＡＧＣ回路３６によって検出回路３０の利得が
大きくなるように調整される。
電素子１６ｃの出力信号が半波整流される。さらに、半
波整流された信号が、平滑回路３４で平滑される。平滑
回路３４の出力信号がＡＧＣ回路３６に入力され、それ
に応じてＡＧＣ回路３６が検出回路３０の利得を調整す
る。たとえば、帰還用の圧電素子１６ｃの出力信号が大
きくなって平滑回路３４の出力信号が大きくなると、Ａ
ＧＣ回路３６によって検出回路３０の利得が小さくなる
ように調整される。また、帰還用の圧電素子１６ｃの出
力信号が小さくなって平滑回路３４の出力信号が小さく
なると、ＡＧＣ回路３６によって検出回路３０の利得が
大きくなるように調整される。
【００１７】この振動ジャイロ１０では、圧電素子１６
ａ，１６ｂ，１６ｃとしてほぼ同一の温度特性を有する
ものが用いられているため、雰囲気温度が変化すると、
圧電素子１６ａ，１６ｂと圧電素子１６ｃとはほぼ同一
の特性変化を示す。そのため、これらの圧電素子１６
ａ，１６ｂ，１６ｃの出力信号の変化もほぼ同一とな
る。したがって、帰還用の圧電素子１６ｃの出力信号に
応じて検出回路３０の利得を調整することによって、圧
電素子１６ａ，１６ｂの特性変化による誤差を補正する
ことができる。
ａ，１６ｂ，１６ｃとしてほぼ同一の温度特性を有する
ものが用いられているため、雰囲気温度が変化すると、
圧電素子１６ａ，１６ｂと圧電素子１６ｃとはほぼ同一
の特性変化を示す。そのため、これらの圧電素子１６
ａ，１６ｂ，１６ｃの出力信号の変化もほぼ同一とな
る。したがって、帰還用の圧電素子１６ｃの出力信号に
応じて検出回路３０の利得を調整することによって、圧
電素子１６ａ，１６ｂの特性変化による誤差を補正する
ことができる。
【００１８】また、経時変化などによって振動子１２の
振動特性が変化した場合、圧電素子１６ａ，１６ｂ，１
６ｃは同一の振動体１４に貼着されているため、その出
力変化の傾向は同じものとなる。したがって、この場合
においても、帰還用の圧電素子１６ｃの出力信号に応じ
て検出回路３０の利得を調整することにより、圧電素子
１６ａ，１６ｂの出力信号の変化を補正することができ
る。同様に、振動子１２の磁化などによる振動子のＱの
変動に対しても、一定の感度を得ることができる。
振動特性が変化した場合、圧電素子１６ａ，１６ｂ，１
６ｃは同一の振動体１４に貼着されているため、その出
力変化の傾向は同じものとなる。したがって、この場合
においても、帰還用の圧電素子１６ｃの出力信号に応じ
て検出回路３０の利得を調整することにより、圧電素子
１６ａ，１６ｂの出力信号の変化を補正することができ
る。同様に、振動子１２の磁化などによる振動子のＱの
変動に対しても、一定の感度を得ることができる。
【００１９】このように、この振動ジャイロ１０では、
雰囲気温度の変化や振動子の振動特性の変化などによる
回転角速度の検出感度の変動を防ぐことができる。した
がって、この発明によれば、一定の検出感度を有する振
動ジャイロを得ることができる。なお、上述の実施例で
は正３角柱状の振動体を使用したが、４角柱状や円柱状
など他の柱状の振動体を用いた振動子を使用してもよ
い。つまり、帰還用の圧電素子の出力信号に応じて検出
回路の利得を制御することにより、一定の検出感度を有
する振動ジャイロを得ることができる。
雰囲気温度の変化や振動子の振動特性の変化などによる
回転角速度の検出感度の変動を防ぐことができる。した
がって、この発明によれば、一定の検出感度を有する振
動ジャイロを得ることができる。なお、上述の実施例で
は正３角柱状の振動体を使用したが、４角柱状や円柱状
など他の柱状の振動体を用いた振動子を使用してもよ
い。つまり、帰還用の圧電素子の出力信号に応じて検出
回路の利得を制御することにより、一定の検出感度を有
する振動ジャイロを得ることができる。
【図１】この発明の一実施例を示す図解図である。
【図２】図１に示す振動ジャイロの振動子を示す斜視図
である。
である。
【図３】図２に示す振動子の断面図である。
【図４】従来の振動ジャイロの一例を示す図解図であ
る。
る。
１０ 振動ジャイロ １２ 振動子 １４ 振動体 １６ａ，１６ｂ，１６ｃ 圧電素子 ２６ 発振回路 ２８ 差動増幅回路 ３０ 検出回路 ３２ 半波整流回路 ３４ 平滑回路 ３６ ＡＧＣ回路
Claims (1)
- 【請求項１】 柱状の振動体、 前記振動体の側面に形成される温度特性がほぼ同一の複
数の圧電素子、 前記振動体を振動させるために前記圧電素子間に接続さ
れる発振回路、 前記発振回路からの信号が入力される前記圧電素子の出
力信号を検出するための検出回路、および前記発振回路
への帰還用として用いられる前記圧電素子の出力信号に
応じて前記検出回路の利得を調整するための自動利得制
御回路を含む、振動ジャイロ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5339366A JPH07159182A (ja) | 1993-12-03 | 1993-12-03 | 振動ジャイロ |
| DE69405847T DE69405847T2 (de) | 1993-12-03 | 1994-11-30 | Vibrationskreisel |
| EP94118883A EP0656525B1 (en) | 1993-12-03 | 1994-11-30 | Vibrating gyroscope |
| US08/753,903 US5760303A (en) | 1993-12-03 | 1996-12-03 | Vibrating gyroscope having a constant detecting sensitivity |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5339366A JPH07159182A (ja) | 1993-12-03 | 1993-12-03 | 振動ジャイロ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07159182A true JPH07159182A (ja) | 1995-06-23 |
Family
ID=18326792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5339366A Pending JPH07159182A (ja) | 1993-12-03 | 1993-12-03 | 振動ジャイロ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5760303A (ja) |
| EP (1) | EP0656525B1 (ja) |
| JP (1) | JPH07159182A (ja) |
| DE (1) | DE69405847T2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09105639A (ja) * | 1995-08-08 | 1997-04-22 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロおよびその製造方法 |
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