JPH0989575A - 角速度センサおよびそれを用いた角速度センサのヌル電圧補正方法 - Google Patents
角速度センサおよびそれを用いた角速度センサのヌル電圧補正方法Info
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- JPH0989575A JPH0989575A JP7266488A JP26648895A JPH0989575A JP H0989575 A JPH0989575 A JP H0989575A JP 7266488 A JP7266488 A JP 7266488A JP 26648895 A JP26648895 A JP 26648895A JP H0989575 A JPH0989575 A JP H0989575A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 個々のヌル電圧の温度特性を把握することが
できる角速度センサと、得られた温度特性を用いてヌル
電圧を補正することができる角速度センサのヌル電圧補
正方法とを得る。 【解決手段】 角速度センサ１０は、たとえば振動ジャ
イロ１２などの角速度検出素子を含む。振動ジャイロ１
２の検出用の圧電素子１６ａ，１６ｂを差動回路２８に
接続し、さらに同期検波回路３０，ＤＣアンプ３２，オ
フセット電圧調整器３４に接続する。温度を変化させて
角速度センサ１０のヌル電圧を測定し、その傾きに対応
して、オフセット調整器３４でオフセット電圧を設定す
る。使用時には、オフセット電圧から温度特性の傾きを
解析し、ヌル電圧を調整する。温度特性の傾きに対応し
て、角速度信号とは別の補正信号を出力させてもよい。
できる角速度センサと、得られた温度特性を用いてヌル
電圧を補正することができる角速度センサのヌル電圧補
正方法とを得る。 【解決手段】 角速度センサ１０は、たとえば振動ジャ
イロ１２などの角速度検出素子を含む。振動ジャイロ１
２の検出用の圧電素子１６ａ，１６ｂを差動回路２８に
接続し、さらに同期検波回路３０，ＤＣアンプ３２，オ
フセット電圧調整器３４に接続する。温度を変化させて
角速度センサ１０のヌル電圧を測定し、その傾きに対応
して、オフセット調整器３４でオフセット電圧を設定す
る。使用時には、オフセット電圧から温度特性の傾きを
解析し、ヌル電圧を調整する。温度特性の傾きに対応し
て、角速度信号とは別の補正信号を出力させてもよい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は角速度センサおよ
びそれを用いた角速度センサのヌル電圧補正方法に関
し、特にたとえば、ナビゲーションシステムやビデオレ
コーダの手振れ補正システムなどに用いられる角速度セ
ンサおよびそれを用いた角速度センサのヌル電圧補正方
法に関する。
びそれを用いた角速度センサのヌル電圧補正方法に関
し、特にたとえば、ナビゲーションシステムやビデオレ
コーダの手振れ補正システムなどに用いられる角速度セ
ンサおよびそれを用いた角速度センサのヌル電圧補正方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば振動体の振動を利用した角速度
センサなどでは、一定のオフセット電圧が設定される。
そして、オフセット電圧を基準として、角速度センサの
出力電圧を測定し、それによって加わった回転角速度の
大きさおよび方向が検出される。しかしながら、角速度
センサには温度特性があり、温度変化によって、回転角
速度が加わっていないときのヌル電圧が、設定されたオ
フセット電圧からずれる場合がある。従来では、図９に
示すように、ヌル電圧の上限および下限を決めておき、
その範囲内にある角速度センサを良品とし、範囲外の角
速度センサを不良品としていた。
センサなどでは、一定のオフセット電圧が設定される。
そして、オフセット電圧を基準として、角速度センサの
出力電圧を測定し、それによって加わった回転角速度の
大きさおよび方向が検出される。しかしながら、角速度
センサには温度特性があり、温度変化によって、回転角
速度が加わっていないときのヌル電圧が、設定されたオ
フセット電圧からずれる場合がある。従来では、図９に
示すように、ヌル電圧の上限および下限を決めておき、
その範囲内にある角速度センサを良品とし、範囲外の角
速度センサを不良品としていた。
【０００３】また、角速度センサのヌル電圧補正方法と
して、たとえばサーミスタを用いる方法や、温度特性を
ＲＯＭに記憶させて補正する方法などがある。これらの
方法を用いれば、温度変化に対しても、ほぼ一定のヌル
電圧を出力させることができる。
して、たとえばサーミスタを用いる方法や、温度特性を
ＲＯＭに記憶させて補正する方法などがある。これらの
方法を用いれば、温度変化に対しても、ほぼ一定のヌル
電圧を出力させることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
方法では、サーミスタやＲＯＭなどの別の部品が必要で
あり、角速度センサに必要な部品数が増える。また、サ
ーミスタを用いる方法では、ヌル電圧の温度特性に応じ
て、特性の異なるサーミスタを用いる必要がある。その
ため、角速度センサの製造時に、個々の角速度センサに
適するサーミスタを選ばなければならず、工数が増え
る。また、ＲＯＭを用いる方法では、補正のための温度
設定のステップが荒いと、設定温度の境界付近で一気に
補正がかかり、温度変化によってヌル電圧がジクザグ状
に変化する。
方法では、サーミスタやＲＯＭなどの別の部品が必要で
あり、角速度センサに必要な部品数が増える。また、サ
ーミスタを用いる方法では、ヌル電圧の温度特性に応じ
て、特性の異なるサーミスタを用いる必要がある。その
ため、角速度センサの製造時に、個々の角速度センサに
適するサーミスタを選ばなければならず、工数が増え
る。また、ＲＯＭを用いる方法では、補正のための温度
設定のステップが荒いと、設定温度の境界付近で一気に
補正がかかり、温度変化によってヌル電圧がジクザグ状
に変化する。
【０００５】それゆえに、この発明の主たる目的は、個
々のヌル電圧の温度特性を把握することができる角速度
センサと、得られた温度特性を用いてヌル電圧を補正す
ることができる角速度センサのヌル電圧補正方法を提供
することである。
々のヌル電圧の温度特性を把握することができる角速度
センサと、得られた温度特性を用いてヌル電圧を補正す
ることができる角速度センサのヌル電圧補正方法を提供
することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、回転角速度
が加わっていないときのヌル電圧の温度特性に対応して
オフセット電圧を設定した、角速度センサである。ま
た、この発明は、回転角速度が加わっていないときのヌ
ル電圧の温度特性に対応した補正信号が出力される、角
速度センサである。さらに、この発明の方法は、上述の
角速度センサのオフセット電圧または補正信号を測定す
るステップと、オフセット電圧または補正信号から角速
度センサのヌル電圧の温度特性を解析するステップと、
温度を測定するステップと、角速度センサのヌル電圧の
温度特性と測定された温度からヌル電圧の補正値を求め
るステップと、ヌル電圧の補正値によって角速度センサ
のヌル電圧を補正するステップとを含む、角速度センサ
のヌル電圧補正方法である。
が加わっていないときのヌル電圧の温度特性に対応して
オフセット電圧を設定した、角速度センサである。ま
た、この発明は、回転角速度が加わっていないときのヌ
ル電圧の温度特性に対応した補正信号が出力される、角
速度センサである。さらに、この発明の方法は、上述の
角速度センサのオフセット電圧または補正信号を測定す
るステップと、オフセット電圧または補正信号から角速
度センサのヌル電圧の温度特性を解析するステップと、
温度を測定するステップと、角速度センサのヌル電圧の
温度特性と測定された温度からヌル電圧の補正値を求め
るステップと、ヌル電圧の補正値によって角速度センサ
のヌル電圧を補正するステップとを含む、角速度センサ
のヌル電圧補正方法である。
【０００７】角速度センサのヌル電圧の温度特性に対応
してオフセット電圧を設定したり、補正信号が出力され
たりするため、個々の角速度センサの温度特性を解析す
ることができる。角速度センサのヌル電圧の温度特性が
わかれば、温度を測定することにより、その温度におけ
る補正値を得ることができる。得られた補正値によっ
て、角速度センサのヌル電圧が補正される。
してオフセット電圧を設定したり、補正信号が出力され
たりするため、個々の角速度センサの温度特性を解析す
ることができる。角速度センサのヌル電圧の温度特性が
わかれば、温度を測定することにより、その温度におけ
る補正値を得ることができる。得られた補正値によっ
て、角速度センサのヌル電圧が補正される。
【０００８】
【発明の効果】この発明によれば、個々の角速度センサ
のヌル電圧の温度特性を容易に知ることができる。した
がって、温度を測定することにより、その温度における
補正値が得られ、角速度センサのヌル電圧が補正され
る。それにより、角速度センサの使用時に、温度変化に
対して、ヌル電圧の変動を抑えることができる。したが
って、正確に回転角速度を検出することができる。
のヌル電圧の温度特性を容易に知ることができる。した
がって、温度を測定することにより、その温度における
補正値が得られ、角速度センサのヌル電圧が補正され
る。それにより、角速度センサの使用時に、温度変化に
対して、ヌル電圧の変動を抑えることができる。したが
って、正確に回転角速度を検出することができる。
【０００９】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【００１０】
【発明の実施の形態】ここでは、振動体の振動を利用し
た角速度センサについて説明する。図１は、この発明の
角速度センサの一例を示す図解図である。角速度センサ
１０は、振動ジャイロ１２を含む。振動ジャイロ１２
は、図２および図３に示すように、たとえば正３角柱状
の振動体１４を含む。振動体１４の材料としては、たと
えばエリンバ，鉄−ニッケル合金，石英，ガラス，水
晶，セラミックなど、一般的に機械的な振動を生じる材
料で形成される。
た角速度センサについて説明する。図１は、この発明の
角速度センサの一例を示す図解図である。角速度センサ
１０は、振動ジャイロ１２を含む。振動ジャイロ１２
は、図２および図３に示すように、たとえば正３角柱状
の振動体１４を含む。振動体１４の材料としては、たと
えばエリンバ，鉄−ニッケル合金，石英，ガラス，水
晶，セラミックなど、一般的に機械的な振動を生じる材
料で形成される。
【００１１】振動体１４の３つの側面には、圧電素子１
６ａ，１６ｂ，１６ｃが形成される。圧電素子１６ａ
は、たとえば圧電セラミックなどで形成される圧電層１
８ａを含む。圧電層１８ａの両面には、それぞれ電極２
０ａ，２２ａが形成される。そして、一方の電極２２ａ
が、振動体１４に接着される。同様に、圧電素子１６
ｂ，１６ｃは圧電層１８ｂ，１８ｃを含み、圧電層１８
ｂ，１８ｃの両面に、電極２０ｂ，２２ｂおよび電極２
０ｃ，２２ｃが形成される。そして、圧電素子１６ｂ，
１６ｃの一方の電極２２ｂ，２２ｃが、振動体１４に接
着される。
６ａ，１６ｂ，１６ｃが形成される。圧電素子１６ａ
は、たとえば圧電セラミックなどで形成される圧電層１
８ａを含む。圧電層１８ａの両面には、それぞれ電極２
０ａ，２２ａが形成される。そして、一方の電極２２ａ
が、振動体１４に接着される。同様に、圧電素子１６
ｂ，１６ｃは圧電層１８ｂ，１８ｃを含み、圧電層１８
ｂ，１８ｃの両面に、電極２０ｂ，２２ｂおよび電極２
０ｃ，２２ｃが形成される。そして、圧電素子１６ｂ，
１６ｃの一方の電極２２ｂ，２２ｃが、振動体１４に接
着される。
【００１２】圧電素子１６ａ，１６ｂには、それぞれ抵
抗２４ａ，２４ｂが接続される。これらの抵抗２４ａ，
２４ｂと圧電素子１６ｃとの間に、発振回路２６が接続
される。さらに、圧電素子１６ａ，１６ｂは、差動回路
２８に接続される。差動回路２８は同期検波回路３０に
接続され、さらに同期検波回路３０はＤＣアンプ３２に
接続される。このＤＣアンプ３２は、オフセット電圧調
整器３４に接続される。なお、オフセット電圧調整器３
４は、ＤＣアンプ３２の前に接続されてもよい。このオ
フセット電圧調整器３４としては、最終的な直流出力を
調整できる機能を有するものであれば、どのようなもの
であってもよい。
抗２４ａ，２４ｂが接続される。これらの抵抗２４ａ，
２４ｂと圧電素子１６ｃとの間に、発振回路２６が接続
される。さらに、圧電素子１６ａ，１６ｂは、差動回路
２８に接続される。差動回路２８は同期検波回路３０に
接続され、さらに同期検波回路３０はＤＣアンプ３２に
接続される。このＤＣアンプ３２は、オフセット電圧調
整器３４に接続される。なお、オフセット電圧調整器３
４は、ＤＣアンプ３２の前に接続されてもよい。このオ
フセット電圧調整器３４としては、最終的な直流出力を
調整できる機能を有するものであれば、どのようなもの
であってもよい。
【００１３】振動ジャイロ１２では、圧電素子１６ａ，
１６ｂが振動体１４を屈曲振動させるための駆動用とし
て用いられるとともに、回転角速度に対応した信号を得
るための検出用として用いられる。また、別の圧電素子
１６ｃは、振動体１４を自励振駆動するための帰還用と
して用いられる。つまり、発振回路２６から圧電素子１
６ａ，１６ｂに駆動信号が与えられ、圧電素子１６ｃの
出力信号が発振回路２６に帰還される。この駆動信号に
よって、振動体１４は、圧電素子１６ｃ形成面に直交す
る方向に屈曲振動する。
１６ｂが振動体１４を屈曲振動させるための駆動用とし
て用いられるとともに、回転角速度に対応した信号を得
るための検出用として用いられる。また、別の圧電素子
１６ｃは、振動体１４を自励振駆動するための帰還用と
して用いられる。つまり、発振回路２６から圧電素子１
６ａ，１６ｂに駆動信号が与えられ、圧電素子１６ｃの
出力信号が発振回路２６に帰還される。この駆動信号に
よって、振動体１４は、圧電素子１６ｃ形成面に直交す
る方向に屈曲振動する。
【００１４】無回転時においては、圧電素子１６ａ，１
６ｂの出力信号は同じであり、差動回路２８から信号が
出力されない。振動体１４の軸を中心として回転する
と、コリオリ力によって振動体１４の振動方向が変わ
る。それによって、圧電素子１６ａ，１６ｂの出力信号
に差が生じ、差動回路２８から振動方向の変化に対応し
た信号、つまりコリオリ力に対応した信号が出力され
る。したがって、差動回路２８の出力信号は、加わった
回転角速度に対応した信号である。
６ｂの出力信号は同じであり、差動回路２８から信号が
出力されない。振動体１４の軸を中心として回転する
と、コリオリ力によって振動体１４の振動方向が変わ
る。それによって、圧電素子１６ａ，１６ｂの出力信号
に差が生じ、差動回路２８から振動方向の変化に対応し
た信号、つまりコリオリ力に対応した信号が出力され
る。したがって、差動回路２８の出力信号は、加わった
回転角速度に対応した信号である。
【００１５】差動回路２８の出力信号は、同期検波回路
３０によって検波される。検波された信号はＤＣアンプ
３２で増幅される。そして、オフセット電圧調整器３４
でオフセット電圧が設定される。通常、オフセット電圧
は、駆動電圧の１／２となるように設定される。たとえ
ば、駆動電圧が５Ｖの場合、オフセット電圧は２．５Ｖ
に設定される。つまり、常温（２５℃）における圧電素
子１０のヌル電圧が２．５Ｖとなるように、オフセット
電圧調整器３４で調整される。
３０によって検波される。検波された信号はＤＣアンプ
３２で増幅される。そして、オフセット電圧調整器３４
でオフセット電圧が設定される。通常、オフセット電圧
は、駆動電圧の１／２となるように設定される。たとえ
ば、駆動電圧が５Ｖの場合、オフセット電圧は２．５Ｖ
に設定される。つまり、常温（２５℃）における圧電素
子１０のヌル電圧が２．５Ｖとなるように、オフセット
電圧調整器３４で調整される。
【００１６】しかしながら、この発明の角速度センサ１
０では、まずヌル電圧の温度特性が測定される。つま
り、回転角速度が加わらない状態で、雰囲気温度を変化
させ、角速度センサ１０の出力電圧の変化が測定され
る。そして、図４に示すように、角速度センサ１０の出
力電圧から、たとえば最小二乗法などにより、ヌル電圧
の温度特性の傾きが解析される。得られた温度特性の傾
きに対応して、オフセット電圧調整器３４で、オフセッ
ト電圧が設定される。たとえば、ヌル電圧の温度特性の
傾きが２００ｍＶ／１００℃である場合、通常のオフセ
ット電圧より０．２Ｖ高くして、オフセット電圧が２．
７Ｖに設定される。また、ヌル電圧の温度特性の傾き
が、−１００ｍＶ／１００℃の場合、通常のオフセット
電圧より０．１Ｖ低くして、オフセット電圧が２．４Ｖ
に設定される。このようにして、それぞれの角速度セン
サ１０について、ヌル電圧の温度特性に対応したオフセ
ット電圧が設定される。
０では、まずヌル電圧の温度特性が測定される。つま
り、回転角速度が加わらない状態で、雰囲気温度を変化
させ、角速度センサ１０の出力電圧の変化が測定され
る。そして、図４に示すように、角速度センサ１０の出
力電圧から、たとえば最小二乗法などにより、ヌル電圧
の温度特性の傾きが解析される。得られた温度特性の傾
きに対応して、オフセット電圧調整器３４で、オフセッ
ト電圧が設定される。たとえば、ヌル電圧の温度特性の
傾きが２００ｍＶ／１００℃である場合、通常のオフセ
ット電圧より０．２Ｖ高くして、オフセット電圧が２．
７Ｖに設定される。また、ヌル電圧の温度特性の傾き
が、−１００ｍＶ／１００℃の場合、通常のオフセット
電圧より０．１Ｖ低くして、オフセット電圧が２．４Ｖ
に設定される。このようにして、それぞれの角速度セン
サ１０について、ヌル電圧の温度特性に対応したオフセ
ット電圧が設定される。
【００１７】この角速度センサ１０を機器に組み込む場
合、Ａ／Ｄコンバータ３６を通して、角速度センサ１０
の出力信号が機器内の演算装置３８に入力される。演算
装置３８では、常温における無回転時の角速度センサ１
０の出力信号から、オフセット電圧が測定される。この
オフセット電圧が、ＲＯＭなどに記憶される。そして、
記憶されたオフセット電圧から、ヌル電圧の温度特性の
傾きが求められる。また、温度センサにより、雰囲気温
度が測定される。次に、測定された温度と温度特性の傾
きとから、そのときの温度における補正値が算出され
る。つまり、常温（２５℃）を基準温度Ｔ0 とし、温度
特性の傾きをαとしたとき、温度ＴX におけるヌル電圧
の補正値Ｖは、Ｖ＝α（ＴX −Ｔ0 ）で求められる。し
たがって、角速度センサ１０の出力電圧と補正値Ｖとの
差をとれば、雰囲気温度の変化にかかわらず、角速度セ
ンサ１０のヌル電圧をほぼ一定に保つことができる。こ
のように、この角速度センサ１０を用いてヌル電圧を補
正すれば、温度変化によるドリフトを抑えることがで
き、正確に回転角速度を検出することができる。
合、Ａ／Ｄコンバータ３６を通して、角速度センサ１０
の出力信号が機器内の演算装置３８に入力される。演算
装置３８では、常温における無回転時の角速度センサ１
０の出力信号から、オフセット電圧が測定される。この
オフセット電圧が、ＲＯＭなどに記憶される。そして、
記憶されたオフセット電圧から、ヌル電圧の温度特性の
傾きが求められる。また、温度センサにより、雰囲気温
度が測定される。次に、測定された温度と温度特性の傾
きとから、そのときの温度における補正値が算出され
る。つまり、常温（２５℃）を基準温度Ｔ0 とし、温度
特性の傾きをαとしたとき、温度ＴX におけるヌル電圧
の補正値Ｖは、Ｖ＝α（ＴX −Ｔ0 ）で求められる。し
たがって、角速度センサ１０の出力電圧と補正値Ｖとの
差をとれば、雰囲気温度の変化にかかわらず、角速度セ
ンサ１０のヌル電圧をほぼ一定に保つことができる。こ
のように、この角速度センサ１０を用いてヌル電圧を補
正すれば、温度変化によるドリフトを抑えることがで
き、正確に回転角速度を検出することができる。
【００１８】また、図７に示すように、ヌル電圧の温度
特性の傾きに対応して、振動ジャイロ１２から出力され
る角速度信号とは別の補正信号を出力させることもでき
る。たとえば、駆動電圧が５Ｖである場合、基準電圧は
２．５Ｖであるが、この基準電圧を温度特性に対応して
変化させればよい。この補正信号をつくるために基準電
圧を利用すれば、その電圧源として別の部品を使用する
必要がなく、部品数の増加を防ぐことができる。
特性の傾きに対応して、振動ジャイロ１２から出力され
る角速度信号とは別の補正信号を出力させることもでき
る。たとえば、駆動電圧が５Ｖである場合、基準電圧は
２．５Ｖであるが、この基準電圧を温度特性に対応して
変化させればよい。この補正信号をつくるために基準電
圧を利用すれば、その電圧源として別の部品を使用する
必要がなく、部品数の増加を防ぐことができる。
【００１９】補正信号はコリオリ力が働いても変化しな
いため、オフセット電圧を変化させる場合のように、そ
の値をＲＯＭなどに記憶させる必要がない。したがっ
て、図８に示すように、角速度センサ１０から出力され
る補正信号から、ヌル電圧の温度特性の傾きを求め、こ
の傾きと測定した温度によってヌル電圧の補正値を算出
すればよい。そして、角速度信号が補正値によって補正
され、温度変化に関係なく、ほぼ一定のヌル電圧が得ら
れる。
いため、オフセット電圧を変化させる場合のように、そ
の値をＲＯＭなどに記憶させる必要がない。したがっ
て、図８に示すように、角速度センサ１０から出力され
る補正信号から、ヌル電圧の温度特性の傾きを求め、こ
の傾きと測定した温度によってヌル電圧の補正値を算出
すればよい。そして、角速度信号が補正値によって補正
され、温度変化に関係なく、ほぼ一定のヌル電圧が得ら
れる。
【００２０】この発明の角速度センサ１０では、ヌル電
圧の温度特性の傾きに対応して、オフセット電圧を調整
したり補正信号を出力したりしているため、角速度セン
サ１０を使用するときに、ヌル電圧を補正することがで
きる。そのため、従来では不良品となっていた角速度セ
ンサも使用することができ、しかも極めて少ない誤差で
回転角速度を検出することができる。
圧の温度特性の傾きに対応して、オフセット電圧を調整
したり補正信号を出力したりしているため、角速度セン
サ１０を使用するときに、ヌル電圧を補正することがで
きる。そのため、従来では不良品となっていた角速度セ
ンサも使用することができ、しかも極めて少ない誤差で
回転角速度を検出することができる。
【００２１】なお、上述の角速度センサ１０には、振動
ジャイロ１２が用いられたが、振動型以外の角速度検出
素子を用いた場合でも、ヌル電圧の温度特性に対応し
て、オフセット電圧を調整したり、補正信号を出力させ
ることによって、全ての角速度センサを良品として使用
することができる。しかも、ヌル電圧の温度特性がある
角速度センサを使用するときにも、それを補正すること
によって、正確に回転角速度を検出することができる。
ジャイロ１２が用いられたが、振動型以外の角速度検出
素子を用いた場合でも、ヌル電圧の温度特性に対応し
て、オフセット電圧を調整したり、補正信号を出力させ
ることによって、全ての角速度センサを良品として使用
することができる。しかも、ヌル電圧の温度特性がある
角速度センサを使用するときにも、それを補正すること
によって、正確に回転角速度を検出することができる。
【図１】この発明の角速度センサの一例を示す図解図で
ある。
ある。
【図２】図１に示す角速度センサに用いられる振動ジャ
イロの斜視図である。
イロの斜視図である。
【図３】図２に示す振動ジャイロの断面図である。
【図４】温度変化に対する角速度センサのヌル電圧の変
化と、それらの関係から得られる温度特性の傾きを示す
グラフである。
化と、それらの関係から得られる温度特性の傾きを示す
グラフである。
【図５】図１に示す角速度センサを機器に組み込む場合
を示す図解図である。
を示す図解図である。
【図６】図１に示す角速度センサを用いてヌル電圧を補
正する場合を示すフロー図である。
正する場合を示すフロー図である。
【図７】この発明の角速度センサの他の例を示す図解図
である。
である。
【図８】図７に示す角速度センサを用いてヌル電圧を補
正する場合を示すフロー図である。
正する場合を示すフロー図である。
【図９】従来の角速度センサの温度特性の良品および不
良品の関係を示すグラフである。
良品の関係を示すグラフである。
１０ 角速度センサ １２ 振動ジャイロ ２６ 発振回路 ２８ 差動回路 ３０ 同期検波回路 ３２ ＤＣアンプ ３４ オフセット電圧調整器 ３６ Ａ／Ｄコンバータ ３８ 演算装置
Claims (3)
- 【請求項１】 回転角速度が加わっていないときのヌル
電圧の温度特性に対応してオフセット電圧を設定した、
角速度センサ。 - 【請求項２】 回転角速度が加わっていないときのヌル
電圧の温度特性に対応した補正信号が出力される、角速
度センサ。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２の角速度センサ
のオフセット電圧または補正信号を測定するステップ、 前記オフセット電圧または前記補正信号から前記角速度
センサのヌル電圧の温度特性を解析するステップ、 温度を測定するステップ、 前記角速度センサのヌル電圧の温度特性と測定された温
度からヌル電圧の補正値を求めるステップ、および前記
ヌル電圧の補正値によって前記角速度センサのヌル電圧
を補正するステップを含む、角速度センサのヌル電圧補
正方法。
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| JP26648895A JP3292002B2 (ja) | 1995-09-19 | 1995-09-19 | 角速度センサおよびそれを用いた角速度センサのヌル電圧補正方法 |
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-
1995
- 1995-09-19 JP JP26648895A patent/JP3292002B2/ja not_active Expired - Fee Related
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