RU2554624C1 - Способ измерения физической неэлектрической величины - Google Patents

Способ измерения физической неэлектрической величины Download PDF

Info

Publication number
RU2554624C1
RU2554624C1 RU2014105152/28A RU2014105152A RU2554624C1 RU 2554624 C1 RU2554624 C1 RU 2554624C1 RU 2014105152/28 A RU2014105152/28 A RU 2014105152/28A RU 2014105152 A RU2014105152 A RU 2014105152A RU 2554624 C1 RU2554624 C1 RU 2554624C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
signal
physical quantity
diodes
microassembly
measurement
Prior art date
Application number
RU2014105152/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Виктор Владимирович Сумароков
Владимир Иванович Завгородний
Анатолий Николаевич Демидов
Original Assignee
Акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" filed Critical Акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор"
Priority to RU2014105152/28A priority Critical patent/RU2554624C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2554624C1 publication Critical patent/RU2554624C1/ru

Links

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при разработке и производстве измерительных преобразователей неэлектрических величин типа датчиков угловых скоростей, датчиков линейных, угловых ускорений и т.д. Согласно заявленному изобретению преобразуют измеряемую физическую величину в переменный электрический сигнал, амплитуда которого пропорциональна физической величине. Осуществляют выпрямление сигнала с помощью детектора, выполненного на двух диодах, расположенных в корпусе микросборки из «n» диодов. Полученный постоянный сигнал усиливают и преобразуют в физическую величину, компенсирующую измеряемую физическую величину. При этом величина постоянного сигнала является мерой измеряемой физической величины. Третий диод микросборки используют в качестве датчика температуры, сигналом которого управляют током, протекающим через остальные последовательно соединенные «n-3» диода микросборки, обеспечивая при этом термостабилизацию внутри корпуса микросборки. Технический результат - повышение точности измерения физической неэлектрической величины за счет исключения из результатов измерения составляющей, обусловленной изменением температуры окружающей среды. 2 ил.

Description

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ФИЗИЧЕСКОЙ НЕЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ВЕЛИЧИНЫ
Изобретение относится к области прецизионного приборостроения и может быть использовано при разработке и производстве измерительных преобразователей неэлектрических величин типа датчиков угловых скоростей, датчиков линейных, угловых ускорений, феррозондов, электромагнитных, электростатических подвесов и т.д.
Известен способ измерения физических неэлектрических величин [Г.П. Нуберт, // Измерительные преобразователи неэлектрических величин //, Л.: Энергия, 1970, с. 6] согласно которому производят преобразование физической неэлектрической величины в электрический сигнал, пропорциональный измеряемой физической величине, измеряют преобразованный сигнал. Затем рассчитывают по известным соотношениям между входной физической неэлектрической величиной и выходным сигналом значение входной физической неэлектрической величины.
В качестве примера может быть приведен способ измерения угла разворота объекта (физическая неэлектрическая величина) по значению выходного сигнала датчика угла.
Недостатком способа является малая точность. Указанный недостаток обусловлен тем, что соотношение в датчике между входным и выходным параметрами, зависит от методики калибровки, от условий окружающей среды, качества материалов датчика.
Известен также способ измерения физических неэлектрических величин [Г.П. Нуберт // Измерительные преобразователи неэлектрических величин // Л.: Энергия, 1970, с. 7], который принимается за прототип. Согласно способу, измеряемую физическую величину преобразуют в переменный электрический сигнал, амплитуда которого пропорциональна физической величине, после чего осуществляют выпрямление переменного сигнала с помощью детектора, состоящего, например, из двух диодов. Для уменьшения размеров детектора диоды устанавливают в корпусе микросборки из «n» диодов. Полученный постоянный сигнал усиливают и преобразуют в физическую величину, компенсирующую (уравновешивающую) измеряемую физическую величину, при этом величина постоянного сигнала является мерой измеряемой физической величины.
Способ может быть пояснен на примере способа измерения углового ускорения [Г.П. Нуберт // Измерительные преобразователи неэлектрических величин // Л.: Энергия, 1970, с. 346-348]. При развороте основания с датчиком на чувствительный элемент датчика (крыльчатку) действует момент, который разворачивает крыльчатку вокруг оси подвеса, угол разворота с помощью датчика угла преобразуется в переменный сигнал, амплитуда которого пропорциональна действующему ускорению. Затем осуществляют выпрямление сигнала с помощью детектора выполненного на диодах. Выпрямленный сигнал усиливают и подают на датчик момента. Датчик момента преобразует электрический сигнал в момент, который прикладывается к крыльчатке и уравновешивает (компенсирует) момент от действующего ускорения. При равенстве моментов осуществляют измерение постоянного сигнала в цепи датчика момента, пропорционального действующему ускорению.
Недостатком способа является малая точность. Указанный недостаток обусловлен наличием в выходном сигнале составляющей, обусловленной изменением температуры окружающей среды. Наиболее чувствительным к изменениям температуры элементом в схеме измерения является детектор. При изменении температуры происходит изменение параметров его диодов [М.И. Ингберман и др. // Термостатирование в технике связи // М.: Связь, с. 101-103]. Решение проблемы возможно за счет за счет размещения всего устройства в термостабилизированном объеме, однако это решение неприемлемо по причине ограниченного объема, в котором оно должно размещаться.
Задачей настоящего изобретения является совершенствование способа измерения физической неэлектрической величины.
Достигаемый технический результат - повышение точности измерения физической неэлектрической величины.
Поставленная задача решается тем, что в известном способе измерения физической неэлектрической величины, согласно которому преобразуют измеряемую физическую величину в переменный электрический сигнал, амплитуда которого пропорциональна физической величине, после чего осуществляют выпрямление сигнала с помощью детектора, выполненного на двух диодах, расположенных в корпусе микросборки из «n» диодов, полученный постоянный сигнал усиливают и преобразуют в физическую величину, компенсирующую измеряемую физическую величину, при этом величина постоянного сигнала является мерой измеряемой физической величины, третий диод микросборки используют в качестве датчика температуры, сигналом которого управляют током, протекающим через остальные последовательно соединенные «n-3» диода микросборки, обеспечивая при этом термостабилизацию внутри корпуса микросборки.
Способ может быть пояснен на примере приведенного выше способа измерения углового ускорения объекта.
При действии углового ускорения (измеряемая физическая неэлектрическая величина) на чувствительный элемент датчика (крыльчатку) создается вращающий момент. Под действием момента крыльчатка разворачивается вокруг оси. Угол разворота с помощью датчика угла преобразуют в переменный электрический сигнал. Затем осуществляют выпрямление сигнала с помощью детектора, выполненного на 2 диодах, размещенных в корпусе микросборки из «n» диодов. Два диода позволяют организовать двухполупериодное выпрямление сигнала, более точное, чем на одном диоде (однополупериодное). Размещение диодов в едином корпусе микросборки, например диодной матрице 2ДС 627А, содержащей 8 диодов [// Справочник Полупроводниковые приборы. Диоды выпрямительные, стабилитроны, тиристоры // под редакцией А.В. Голомедова, М.: Радио и связь, 1988] экономит отведенное для устройства пространство.
При этом с целью исключения влияния изменений температуры окружающей среды осуществляют термостабилизацию диодов детектора. Для этого корпус микросборки, в котором размещены диоды детектора, используют как корпус термостабилизированного объема (корпус термостата), третий диод микросборки используют, как датчик температуры. Сигналом которого управляют током, протекающим через цепочку остальных последовательно соединенных «n-3» диодов микросборки, выполняющих роль нагревателя.
Выпрямленный детектором сигнал усиливают и подают на датчик момента. Датчик момента преобразует электрический сигнал в момент, который прикладывают к крыльчатке и уравновешивают момент от действующего ускорения. При равенствемоментов осуществляют измерение сигнала в цепи датчика момента, пропорционального действующему ускорению.
При этом точность измерения ускорения (физической неэлектрической величины) повышается за счет исключения из результатов измерения составляющей обусловленной изменением температуры окружающей среды. На фиг. 1, в качестве примера, приведены полученные авторами экспериментальные зависимости выходного сигнала U детектора от изменения температуры Т окружающей среды: 1 - при реализации способа взятого за прототип, 2 - при реализации предлагаемого способа.
Авторы приводят пример практически реализованной ими схемы температурной стабилизации диодной микросборки феррозондового магнитометра. Схема приведена на фиг. 2.
На фиг. 2 приняты следующие обозначения:
DA1, R1, R2, Я3 - диод и резисторы мостовой схемы;
DA2-DA6 - диоды, образующие цепь нагревателя;
МК - микросхема;
Т - транзистор;
+Uп,-Uп - клеммы для подключения питания схемы;
R4, Cl, С2, С3 - корректирующие элементы микросхемы;
R5 - ограничительное сопротивление в цепи нагревателя.
Работа схемы происходит следующим образом. При изменении (например, увеличении) температуры корпуса микросборки изменяется (увеличивается) температура диода DA1, соответственно изменяется его сопротивление, происходит разбалансировка мостовой схемы DA1, R1, R2, R3, настроенной на заданную (рабочую) температуру. На основе сигнала разбалансировки моста с помощью микросхемы МК формируется сигнал управления транзистором Т, регулирующим (в данном случае, уменьшающим) ток, протекающий через диоды DA2-DA6. Использование данного решения позволило по сравнению с другими известными решениями уменьшить габариты и повысить точность феррозондового магнитометра. В настоящее время на предприятии разрабатывается документация для внедрения данного устройства в производство.
На предприятии предлагаемый способ используется также при разработках измерительных преобразователей неэлектрических величин типа датчиков угловых скоростей, датчиков перемещений в электростатических подвесах гироскопов.

Claims (1)

  1. Способ измерения физической неэлектрической величины, согласно которому преобразуют измеряемую физическую величину в переменный электрический сигнал, амплитуда которого пропорциональна физической величине, после чего осуществляют выпрямление сигнала с помощью детектора, выполненного на двух диодах, расположенных в корпусе микросборки из «n» диодов, полученный постоянный сигнал усиливают и преобразуют в физическую величину, компенсирующую измеряемую физическую величину, при этом величина постоянного сигнала является мерой измеряемой физической величины, отличающийся тем, что третий диод микросборки используют в качестве датчика температуры, сигнал датчика температуры управляется током, протекающим через остальные «n-3» последовательно соединенные диоды микросборки, обеспечивая при этом термостабилизацию внутри ее корпуса.
RU2014105152/28A 2014-02-12 2014-02-12 Способ измерения физической неэлектрической величины RU2554624C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014105152/28A RU2554624C1 (ru) 2014-02-12 2014-02-12 Способ измерения физической неэлектрической величины

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014105152/28A RU2554624C1 (ru) 2014-02-12 2014-02-12 Способ измерения физической неэлектрической величины

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2554624C1 true RU2554624C1 (ru) 2015-06-27

Family

ID=53498575

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014105152/28A RU2554624C1 (ru) 2014-02-12 2014-02-12 Способ измерения физической неэлектрической величины

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2554624C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2670712C1 (ru) * 2017-11-24 2018-10-24 Акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" Устройство для измерения выходного сигнала пьезоэлектрического датчика

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5361637A (en) * 1992-11-06 1994-11-08 Mks Instruments, Inc. Temperature compensation circuitry employing a single temperature compensation element
US5806364A (en) * 1995-12-21 1998-09-15 Denso Corporation Vibration-type angular velocity detector having sensorless temperature compensation
US6959583B2 (en) * 2002-04-30 2005-11-01 Honeywell International Inc. Passive temperature compensation technique for MEMS devices

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5361637A (en) * 1992-11-06 1994-11-08 Mks Instruments, Inc. Temperature compensation circuitry employing a single temperature compensation element
US5806364A (en) * 1995-12-21 1998-09-15 Denso Corporation Vibration-type angular velocity detector having sensorless temperature compensation
US6959583B2 (en) * 2002-04-30 2005-11-01 Honeywell International Inc. Passive temperature compensation technique for MEMS devices

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Нуберт Г.П., "Измерительные преобразователи неэлектрических величин", Л.:Энергия, 1970, стр.7. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2670712C1 (ru) * 2017-11-24 2018-10-24 Акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" Устройство для измерения выходного сигнала пьезоэлектрического датчика
RU2670712C9 (ru) * 2017-11-24 2018-11-29 Акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" Устройство для измерения выходного сигнала пьезоэлектрического датчика

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3092998A (en) Thermometers
RU2554624C1 (ru) Способ измерения физической неэлектрической величины
US8628240B2 (en) Temperature measurement using a diode with saturation current cancellation
CN106595913A (zh) 一种带温度控制的硅压阻压力传感器
RU2605787C1 (ru) Высокочувствительный микрорасходомер газа
Makinwa et al. Industrial design of a solid-state wind sensor
Liu et al. Research on temperature dependent characteristics and compensation methods for digital gyroscope
RU2440556C1 (ru) Датчик угла наклона
SE427502B (sv) Vermegenomgangsmetare
RU2559154C2 (ru) Компенсационный маятниковый акселерометр
Zhao et al. In-situ measurement of fluid density rapidly using a vibrating piezoresistive microcantilever sensor without resonance occurring
CN102313609A (zh) 具有二极管和模/数转换器的温度检测装置
CN105867329B (zh) 热电偶通道在测量称重信号中的应用
CN107014453B (zh) 用于运行科里奥利质量流量测量仪器的方法及对此的科里奥利质量流量测量仪器
Roozeboom et al. Integrated sensor cross-sensitivity analysis
CN109580028A (zh) 显示屏内部升温测量方法
SU842651A1 (ru) Датчик градиента магнитного пол
CN109991444A (zh) 一种应变式加速度传感器
Gorbachuk Measuring transducers and sensors
Yan et al. Calibration of the torsion force measurement system for the Lorentz force velocimetry application
SU447579A1 (ru) Устройство дл измерени температуры
Ćerimović et al. Smart flow sensor with combined frequency, duty-cycle, and amplitude output
RU2690708C2 (ru) Компенсационный акселерометр
RU158892U1 (ru) Многокристальная микросборка для контроля силы тока
Patel et al. Sensor