JP3944052B2 - 超音波送受波器及びこれを用いた超音波クリアランスソナー - Google Patents

超音波送受波器及びこれを用いた超音波クリアランスソナー Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車などの車両に搭載され、例えば、駐車時や旋回時に障害物に接触するおそれがあることを検出する超音波送受波器及びこれを用いた超音波クリアランスソナーに関する。
【0002】
【従来の技術】
車両と障害物との距離に基づいて警報を発令して運転者に注意を促すものとして超音波クリアランスソナーがある。この超音波クリアランスソナーはマイクロホンとも称される超音波送受波器を用いて空間に超音波を放射し、その反射波が超音波送受波器に戻ってくるまでの時間に基づいて対象物との距離を測定し、その距離があらかじめ設定した値になると警報を発生するように構成されている。
この超音波送受波器における断線などの異常を検出する1つの方法として、残響波形、すなわち、音波の放射後に得られる波形の減衰時間を用いる方法がある(例えば特許文献1)。
【0003】
【特許文献1】
特開平6−3437号公報(段落0033、0034、図7)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このように、残響波形を用いて超音波送受波器の異常を検出する方法は、波形が変動するために正しい異常判定ができない場合があった。つまり、残響は超音波送受波器の慣性振動によって形成されるが、この慣性振動は超音波放射面の振動と、筐体を形成する筒状側壁の振動とを成分としてこれらを合成した振動であり、このうち、筒状側壁の波形変動が異常判定の要因になっていた。この点について以下に説明する。
【0005】
従来の一般的な超音波送受波器は、板状の底部及び筒状側壁によって空洞が形成され、この空洞の底面部に圧電振動素子が装着された筐体と、この筐体の筒状側壁の外周部に嵌挿された振動吸収体としてのゴムとを備えている。
したがって、車両のバンパーなどに取り付けられた超音波送受波器においては、その筒状側壁にワックスなどが付着しやすく、これらの付着物が筒状側壁の振動に影響するとともに、残響波形を不安定にさせるために正しい異常判定ができないことがあった。
【0006】
本発明は上記の問題点を解決するためになされたもので、振動吸収体にワックスなどの異物が付着することを未然に防止し、これによって側壁面の振動の変動を抑制するとともに、残響波形による正しい異常判定を可能にする超音波送受波器及びこれを用いた超音波クリアランスソナーを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る超音波送受波器は、板状の底部及び第1の筒状側壁によって空洞部を形成してその底面部に圧電振動素子を装着し、さらに、第1の筒状側壁の外周部にフランジ部を形成してなる内側筐体と、この内側筐体の第1の筒状側壁の外側に所定の間隔を空けて同軸状に配置された第2の筒状側壁を有し、内側筐体のフランジ部の端面に第2の筒状側壁の端部を周方向全体にわたって当接させて構成され外側筐体と、内側筐体の第1の筒状側壁と外側筐体の第2の筒状側壁との間に介挿された振動吸収体とを備え、内側筐体の底部を超音波放射壁としたものである。
【0008】
本発明の他の態様に係る超音波送受波器は、内側筐体のフランジ部を第1のフランジ部とし、さらに、外側筐体の筒状側壁端に第2のフランジ部を形成するとともに、振動吸収体を外部から覆い隠すように、第1のフランジ部と第2のフランジ部とを互いに密接させたものである。
【0009】
本発明に係る超音波クリアランスソナーは、上記いずれかの超音波送受波器と、この超音波送受波器を送信側と受信側とに切り替える送受信切替手段と、この送受信切替手段を切替操作するとともに、送信側に切り替えたとき超音波を送信し、受信側に切り替えたとき反射波を受信するように超音波送受波器を制御するとともに、超音波の送信から受信までの時間に基づいて、検出対象物までの距離を測定し、この距離が所定値以下であるときに警報信号を発生する制御手段とを備えたものである。
【0010】
さらに、本発明の他の態様に係る超音波送受波器は、内側筐体の円筒状側壁に隣接するフランジ部の内側端面に環状の溝部を設けたものである。
【0011】
また、本発明の他の態様に係る超音波送受波器は、内側筐体の溝部に外側筐体のフランジ部を嵌挿したものである。
【0012】
さらに、本発明の他の態様に係る超音波送受波器は、内側筐体の溝部と外側筐体のフランジ部との間の少なくとも一部に振動吸収体を介挿したものである。
【0013】
また、本発明の他の態様に係る超音波送受波器は、内側筐体及び外側筐体のフランジ部の内側端面と、この内側端面を固定面とする取り付け部材との間に振動吸収体を介挿したものである。
【0014】
また、本発明の他の態様に係る超音波送受波器は、超音波放射壁としての底部から第1の筒状側壁の外周部に延出する第1のフランジ部が形成された内側筐体と、第1の筒状側壁の外側に所定の間隙を空けて同軸状に配置された第2の筒状側壁の軸方向の一端部が周方向全体にわたって第1のフランジ部に接合され、内側筐体の外底面から軸方向の他端部側に所定の距離だけ隔たった部位に、第1のフランジ部よりも外径の大きな第2のフランジ部が形成された外側筐体とを備え、第2のフランジ部を取付対象への被固定部としたものである。
【0015】
さらに、本発明の他の態様に係る超音波送受波器は、内側筐体の空洞部の底面部に複数の前記圧電振動素子を装着したものである。
【0016】
さらに本発明の他の態様に係る超音波送受波器は、内側筐体の第1のフランジ部と外側筐体の第2のフランジ部及び第2の筒状側壁との間に周方向溝部が形成され、ここに第1のフランジと略同一の外形々状を有する振動吸収体が巻装されたものである。
【0017】
さらに本発明の他の態様に係る超音波送受波器は、内側筐体と外側筐体とが一体成形されたものである。
【0018】
【発明の実施の形態】
<第1の実施の形態>
以下、本発明を図面に示す好適な実施の形態に基づいて詳細に説明する。
【0019】
図1(a)、(b)、(c)は本発明に係る超音波送受波器の第1の実施の形態の構成を示す縦断面図及び横断面図である。これら各図において、超音波送受波器10aは圧電セラミックスで構成された圧電振動素子11を備えている。この圧電振動素子11は、アルミニウムで構成された内側筐体12の内底部、すなわち、超音波放射壁12aとしての板状の底部と円筒状側壁12bとによって形成される空洞部の底面部に接着されている。超音波放射壁12aには、円筒状側壁12bよりも外側に突出して、これらと一体的に形成されたフランジ部12fを備えている。
【0020】
この内側筐体12の円筒状側壁12bの外周面に、厚みが略一定のゴム製の振動吸収体13の円筒状側壁13bが嵌挿されている。この振動吸収体13は、円筒状側壁12bを外側から覆うように形成され、超音波放射壁12aと対向する端部を覆うとともに、軸心部に底部開口13hを有する底部壁13aを有している。
【0021】
また、振動吸収体13の外側には、円筒状側壁13bと同軸配置された円筒状側壁14bと、底部壁13aに重ねられた底部壁14aと、円筒状側壁14bよりも径方向外側に突出し、フランジ部12fと端面が密接するように形成されたフランジ部14fとを備えて構成された外側筐体14が設けられている。この外側筐体14の底部壁14aにもその軸心部に底部開口14hが設けられている。
【0022】
そして、振動吸収体13の底部開口13h及び外側筐体14の底部開口14hに2芯のケーブルが通されて、一方のリード線15が圧電振動素子11の非装着側の端面に電気的に接続され、他方のリード線16が内側筐体12に電気的に接続されている。さらに、圧電振動素子11が接着された内側筐体12の底部に、超音波を吸収するためのスポンジ17が挿入され、その上にシリコンで構成される封止樹脂層18が装填されている。
【0023】
この超音波送受波器10aは、リード線15及び16を介して圧電振動素子11に共振振動を起こす高周波電圧を印加して超音波放射壁12aから超音波を放射し、さらに、その反射波を超音波放射壁12aでとらえて圧電振動素子11を振動させ、この振動に起因して発生する電圧を検出するものである。この第1の実施の形態の最大の特徴は内側筐体12のフランジ部12fの内側端面12sと、外側筐体14のフランジ部14fの外側端面14sとを密接させて、振動吸収体13を外部空間から覆い隠した点にある。なお、フランジ部12fとフランジ部14fとの密接に接着剤を用いても、あるいは、両者をネジ止めしてもよい。
【0024】
図2は図1に示した超音波送受波器10aの取り付け状態を示す断面図である。これは自動車バンパー21に設けた孔に、超音波送受波器10aの外側筐体14を貫通させ、表面にフランジ部12f及び14fを露呈させるとともに、外側筐体14の底部を固定具22を用いて固定した状態を示している。この場合、固定具22は弾性部材で構成され、さらに、円筒状側壁14bには電気部品を装着する部品装着部23が一体的に組み込まれており、図示省略の報知手段に接続する接続端子24が導出されている。
【0025】
このように、図1にその構成を示した超音波送受波器10aを、図2に示したように、フランジ部12f及び14fのみを露呈させて自動車バンパー21に取り付けることにより、振動吸収体にワックスなどの異物が付着することを未然に防止することができ、これによって側壁面の振動の変動を抑制することができる。
【0026】
ここで、残響を安定させる点についてさらに説明する。一般に、振動吸収体に対する付着物の影響により側壁面の振動が超音波放射面よりも長く続くような場合がある。このような場合には超音波放射面の振動と側壁面の振動の重ね合わせの状態が変化し、残響時間が短くなってしまう。したがって、残響時間が短いがために、実際には断線していないにもかかわらず、断線と誤判断する場合がある。第1の実施の形態では超音波放射壁に対応する部位の外周部にフランジ部を形成するとともに、振動吸収体の外側に外側筐体を設け、この外側筐体の端面をフランジ部の端面に密接させて、ワックスなどの異物が振動吸収体の側面部に進入すること防止したので、異物の進入に起因する誤判断を確実に防止することができる。
【0027】
図3は図1に示した超音波送受波器10aを用いた超音波クリアランスソナーの電気系統の構成を示すブロック図である。ここで、超音波送受波器10aには超音波の送信と受信を切り替える送受信切替手段31が接続されている。この送受信切替手段31には、超音波送受波器10aを駆動するドライバ32を介して、発振回路33が接続され、さらに、受信電力を増幅する増幅回路34が接続されている。また、発振回路33の入力端と増幅回路34の出力端とがマイクロコンピュータ(マイコン)100に接続されている。マイクロコンピュータ100は送受信切替手段31を切替制御し、発振回路33に発振の指令を与える機能の他に、増幅回路34を介して入力される信号に基づいて、超音波送受波器10aから対象物までの距離を判定する距離判定手段35と、増幅回路34の出力信号に基づいて超音波送受波器10a自体の故障及び異常を判定する故障・異常判定手段36とを含んで構成される。そして、距離判定手段35及び故障・異常判定手段36に報知手段37が接続されている。
【0028】
次に、図3に示した超音波クリアランスソナーの動作を説明する。まず、マイクロコンピュータ100は送受信切替手段31を送信側に切り替える信号を発生し、続いて、発振回路33に動作指令を与える。これによって、発振回路33は、例えば、40kHzの電気信号を発生する。ドライバ32はこの電気信号に対応して超音波送受波器10aを駆動して超音波を発信させる。次に、マイクロコンピュータ100は送受信切替手段31を受信側に切り替える信号を与える。このとき、反射波が超音波送受波器10aによって捉えられ、電気信号が増幅回路34で増幅されて距離判定手段35及び故障・異常判定手段36に入力される。
【0029】
距離判定手段35は超音波が放射されてからその反射波が届くまでの時間Δtに基づいて対象物との距離を測定し、その距離があらかじめ設定した値になると警報を発生する指令を報知手段37に与える。また、故障・異常判定手段36は増幅回路34の出力信号に基づいて超音波送受波器10a自体の故障や異常を判別して警報を発生する指令を報知手段37に与える。
【0030】
図4は上述した超音波クリアランスソナーを構成するマイクロコンピュータ100の具体的な処理手順を示すフローチャートである。以下、このフローチャートに従って動作を説明する。まず、ステップ101にて超音波送受波器10aを使用して空気中に超音波を送信する。続いて、ステップ102で送受信切替手段31に指令を与えて超音波を受信する状態に切り替える。そこで、ステップ103で故障・異常判定手段36により残響波形に基づいて故障や異常の有無を判定し、異常及び故障の少なくとも一方が発生したときステップ108で異常を示す信号を報知手段37に送信して異常表示し、その時点で処理を終了する。
【0031】
一方、ステップ103で故障や異常がないと判定された場合には、ステップ104にて反射による超音波信号を受信し、続いて、ステップ105で受信信号の増幅処理を実行させ、ステップ106で距離判定手段35により障害物までの距離を算出する。最後に、ステップ107にて距離に応じた警報を発生して処理を終了する。
【0032】
以上のような処理を実行することにより、駐車時や旋回時に障害物に接触するおそれがあることを検出することができる。この場合、第1の実施の形態に係る超音波送受波器を用いたので、側壁面の振動の変動を抑制するとともに、残響波形による正しい異常判定を可能にする超音波クリアランスソナーを提供することができる。
【0033】
なお、第1の実施の形態では、内側筐体12にフランジ部12fを設け、外側筐体14にもフランジ部14fを設けて両者の端面を密接させたが、外側筐体14のフランジ部14fを除去して、円筒状側壁14bの端面を内側筐体12のフランジ部12fに密接させるようにしても、異物が侵入する割合を大幅に低くすることができるため、第1の実施の形態に準じた効果が得られる。
【0034】
また、第1の実施の形態では内側筐体12のフランジ部12fに外側筐体14を密接させたが、異物の侵入を抑制する程度に内側筐体12のフランジ部12fに外側筐体14を当接させる構成とすることも可能である。
さらに、第1の実施の形態では、側壁が円筒状である場合について説明したが、本発明はこれに適用を限定されず、角筒を含む異形の筒状側壁を備えたものにも適用することができる。
【0035】
<第2の実施の形態>
図5は本発明に係る超音波送受波器の第2の実施の形態の構成を示す縦断面図であり、図中、第1の実施の形態を示す図1と同一の要素には同一の符号を付してその説明を省略する。第2の実施の形態に係る超音波送受波器10bは、内側筐体12の円筒状側壁12bに隣接する内側の端面に環状の溝部12cを設け、この溝部12cに外側筐体14のフランジ部14fを嵌合させて、フランジ部12fがフランジ部14fを覆い、その軸方向端面がフランジ部14fの内側の端面と略同一の平面上に位置するように構成した点、溝部12cの径方向内側を深くして、ここに形成される空間に振動吸収体13と一体化された振動吸収体層を挿入した点、並びに、略同一平面をなすフランジ部12fの内側端面及びフランジ部14fの外周端の内側端面を、厚みの薄い環状の振動吸収体19を介して、自動車バンパー21に装着した点が図1に示した第1の実施の形態と構成を異にしている。
【0036】
上記のように構成された第2の実施の形態の作用、効果について、特に図1と構成上異なる部分について説明する。
内側筐体12の円筒状側壁12bの径方向外側にフランジ部12fを一体的に形成すると、超音波放射壁12aの剛性が大きくなり、送信音圧を低下させると同時に不要振動による残響時間の変動が生じる。そこで、円筒状側壁12bの隣接部位に環状の溝部12cを形成し、超音波放射壁12aの剛性を小さくすることによって、送信音圧の低下及び残響時間の変動を抑制することができる。
【0037】
また、内側筐体12の溝部12cに外側筐体14のフランジ部14fを嵌合させてフランジ部14fを覆うことによって、外部の露呈面が内側筐体12のアルミニウムのみとなるため、色合わせが容易となり、意匠性を向上させることができる。この場合、内側筐体12のフランジ部12fの外周端と外側筐体14のフランジ14fとの嵌合は両者を圧入しても、接着しても、あるいは、ネジ止めしてもよい。
さらに、フランジ部12f及び14fと自動車バンパー21との間に環状の振動吸収体19を介挿させたり、あるいは、溝部12cにも振動吸収体を介挿させたりすることにより不要振動の抑制効果をさらに高めることができる。
【0038】
<第3の実施の形態>
図6は本発明に係る超音波送受波器の第3の実施の形態の構成を示す縦断面図であり、図中、第1の実施の形態を示す図1又は第2の実施の形態を示す図5と同一の要素には同一の符号を付してその説明を省略する。ここに示した超音波送受波器10Cは孔加工した自動車バンパー21に固定したとき、内側筐体12のみが露呈し、かつ、内側筐体12の外底面、すなわち、超音波放射壁12aの表面を自動車バンパー21の表面に一致させるように構成したものである。
【0039】
この場合、内側筐体12の超音波放射壁12aの外周に当たる円筒状側壁14bの外周部に延出するフランジ部12fが形成され、さらに、このフランジ部12fの縁端部を厚くして円筒状側壁12bとの間に環状溝部12gを形成し、この環状溝部12gに外側筐体14の一端部が嵌着されている。また、外側筐体14の円筒状側壁14bには、その外周にフランジ部14fが一体的に形成されている。フランジ部14fは、超音波放射壁12aの表面から、自動車バンパー21の厚み分だけ内側に形成され、かつ、フランジ部12fよりもその外形が一様に大きく形成されている。
【0040】
さらに、フランジ部12f、円筒状側壁14b及びフランジ部14fとの間に周方向溝部14kが形成され、ここにフランジ部12fと外形状の等しい振動吸収体13cが巻装されている。また、フランジ部14fの裏側における円筒状側壁14bの外周に厚みが略一定の振動吸収体13bが巻装され、その表面にフィルム20が巻かれて振動吸収体13bを保護している。
【0041】
このように構成したことにより、フランジ部12fの外形よりもわずかに大きい貫通孔を自動車バンパー21に形成し、この貫通孔に振動吸収体13cが巻装されたフランジ部12fを挿通させ、自動車バンパー21の裏面にフランジ部14fの表面を当接させて、ばねなどを介して固定することにより、超音波放射壁12aの表面と自動車バンパー21の表面とが平坦面をなす。しかも、自動車バンパー21と超音波放射壁12aの表面を同一の色で塗装することにより美観を保った超音波送受信器の装着が可能となる。ここで、振動吸収体13b及び13cは超音波の不要な伝搬や残響を阻止する機能を有している。
【0042】
なお、図6に示した第3の実施形態においては、内側筐体12のフランジ部12fに環状溝部12gを形成し、ここに外側筐体14の一端部が嵌着されるものについて説明したが、上述したと同様な形状を有する外側筐体14を内側筐体12と一体的に形成し、外側筐体14のフランジ部14fを取付対象への被固定部とすれば、構成がより簡易化されるという効果も得られる。
【0043】
このように、本発明に係る超音波送受波器の第3の実施の形態によれば、振動吸収体にワックスなどの異物が付着することを未然に防止し、これによって側壁面の振動の変動を抑制するとともに、残響波形による正しい異常判定を可能にすることができる。また、バンパーなどの取付対象とその表面が平坦化されて取り付けられるため美観が保たれるという効果も得られる。
【0044】
図7(a)、(b)は図6に示した超音波送受波器の変形例を示す平面図及び縦断面図であり、図6と同一の要素には同一の符号を付してその説明を省略する。ここに示した超音波送受波器10dは、超音波放射壁12aを共通にして、その内側に2個の円筒状側壁12bを並べて形成し、これらの円筒状側壁12bの内底部にそれぞれ圧電振動素子11を装着するとともに、スポンジ17で覆い、このスポンジ17及び円筒状側壁12bを含めて円筒状側壁14bの内側全体に振動吸収体13aが充填されている。
【0045】
このように構成にすることによって、検出エリアが拡大され、検出精度の向上も可能になるという新たな効果も得られる。
【0046】
内側筐体と外側筐体を一体化する手段として圧入、接着、ネジ止めなどの他に内側筐体と外側筐体とを切削加工、絞り加工、鋳造などにより一体成形してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る超音波送受波器の第1の実施の形態の構成を示す縦断面図及び横断面図である。
【図2】図1に示す超音波送受波器の車両への取付状態を示す断面図である。
【図3】図1に示す超音波送受波器を用いた超音波クリアランスソナーの電気系統の構成を示すブロック図である。
【図4】図3に示す超音波クリアランスソナーを構成するマイクロコンピュータの具体的な処理手順を示すフローチャートである。
【図5】本発明に係る超音波送受波器の第2の実施の形態の構成を示す縦断面図である。
【図6】本発明に係る超音波送受波器の第3の実施の形態の構成を示す縦断面図である。
【図7】図6に示した超音波送受波器の変形例を示す平面図及び縦断面図である。
【符号の説明】
10a、10b、10c、10d 超音波送受波器
11 圧電振動素子
12 内側筐体
12a 超音波放射壁
12b、14b 円筒状側壁
12c 溝部
12f、14f フランジ部
12s 内側端面
12g 環状溝部
13、13c、19 振動吸収体
13a 振動吸収体の底部壁
13b 振動吸収体の円筒状側壁
13h、14h 底部開口
14 外側筐体
14k 周方向溝部
14s 外側端面
15、16 リード線
17 スポンジ
18 封止樹脂層
20 フィルム
21 自動車バンパー
22 固定具
23 部品装着部
24 接続端子
31 送受信切替手段
32 ドライバ
33 発振回路
34 増幅回路
35 距離判定手段
36 故障・異常判定手段
37 報知手段
100 マイクロコンピュータ(マイコン)

Claims (11)

  1. 圧電振動素子と、
    板状の底部及び第1の筒状側壁によって空洞部が形成され、かつ、前記第1の筒状側壁の外周部にフランジ部が形成され、前記空洞部の底面部に前記圧電振動素子が装着された内側筐体と、
    前記内側筐体の前記第1の筒状側壁の外側に所定の間隔を空けて同軸状に配置された第2の筒状側壁を有し、前記第1の内側筐体のフランジ部の端面に前記第2の筒状側壁の端部を周方向全体にわたって当接させて構成された外側筐体と、
    前記内側筐体の第1の筒状側壁と前記外側筐体の第2の筒状側壁との間に介挿された振動吸収体とを、
    備え、前記内側筐体の底部を超音波放射壁とした超音波送受波器。
  2. 前記内側筐体のフランジ部を第1のフランジ部とし、前記外側筐体の筒状側壁端に第2のフランジ部を形成するとともに、前記振動吸収体を外部から覆い隠すように、前記第1のフランジ部と前記第2のフランジ部とを互いに密接させた請求項1に記載の超音波送受波器。
  3. 請求項1又は2に記載の超音波送受波器と、
    前記超音波送受波器を送信側と受信側とに切り替える送受信切替手段と、
    前記送受信切替手段を切替操作するとともに、送信側に切り替えたとき超音波を送信し、受信側に切り替えたとき反射波を受信するように前記超音波送受波器を制御するとともに、超音波の送信から受信までの時間に基づいて、検出対象物までの距離を測定し、この距離が所定値以下であるときに警報信号を発生する制御手段とを、
    備えた超音波クリアランスソナー。
  4. 前記内側筐体の筒状側壁に隣接するフランジ部の内側端面に環状の溝部を設けた請求項1に記載の超音波送受波器。
  5. 前記内側筐体の溝部に外側筐体のフランジ部を嵌挿した請求項4に記載の超音波送受波器。
  6. 前記内側筐体の溝部と外側筐体のフランジ部との間の少なくとも一部に振動吸収体を介挿した請求項4に記載の超音波送受波器。
  7. 前記内側筐体及び外側筐体のフランジ部の内側端面と、この内側端面を固定面とする取り付け部材との間に振動吸収体を介挿した請求項1又は請求項4に記載の超音波送受波器。
  8. 圧電振動素子と、
    板状の底部及び第1の筒状側壁によって空洞部が形成され、かつ、前記底部から前記第1の筒状側壁の外周部に延出する第1のフランジ部が形成され、前記空洞部の底面部に前記圧電振動素子が装着された内側筐体と、
    前記内側筐体の前記第1の筒状側壁の外側に所定の間隙を空けて同軸状に配置され、軸方向の一端部が周方向全体にわたって前記内側筐体の第1のフランジ部に接合され、前記内側筐体の外底面から軸方向の他端部側に所定の距離だけ隔たった部位の前記第2の筒状側壁の外周部に前記第1のフランジ部よりも外径の大きな第2のフランジ部が形成された外側筐体と、
    前記内側筐体の第1の筒状側壁と前記外側筐体の第2の筒状側壁との間に介挿された振動吸収体とを、
    備え、前記内側筐体の底部を超音波放射壁とし、前記第2のフランジ部を取付対象への被固定部とした超音波送受波器。
  9. 前記内側筐体の空洞部の底面部に複数の前記圧電振動素子が装着された請求項1、4、8のいずれか1つに記載の超音波送受波器。
  10. 前記内側筐体の第1のフランジ部と前記外側筐体の第2のフランジ部及び第2の筒状側壁との間に周方向溝部が形成され、前記周方向溝部に前記第1のフランジと略同一の外形々状を有する振動吸収体が巻装された請求項8又は9に記載の超音波送受波器。
  11. 前記内側筐体と前記外側筐体とが一体成形された請求項1、2、4から10のいずれか1つに記載の超音波送受波器。
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