JP4193006B2 - 超音波センサ - Google Patents
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Description
また、ケース体1における圧電素子が接着される面は、ある程度振動の自由度が保たれる構造であることが望ましく、特に、ケース体1の底面と側壁の境(角・エッジ)部分については、ある程度振動することが望ましい。しかしながら、従来の超音波センサにおけるケース体1は、厚肉部と薄肉部が設けられているため、特に、厚肉部近傍では振動が阻害されてしまい、結果、顕著な異方性を奏し得ることが困難であるという問題があった。
さらに、従来の超音波センサにおけるケース体1は、該ケース体1の中空部における断面形状を楕円形状にすることで、指向特性の異方性を確保できるようにしていたが、楕円形状に作製されたケース体1では、ケース体1の側壁の厚みが薄い箇所があることから、該部分での側面振動が大きくなり、結果、たとえば自動車等に実装した際には、ゴムクッション、ハウジングの保持状態において超音波センサの特性が変化しやすくなるため、所定の特性を確保することが困難となるという問題があった。
また、切り欠きは、内部ケース体において、外部ケース体の側壁の内面側における底部との接触部分に、対向して設けられていることを特徴とする、超音波センサである。
このように、切り欠きを、ケース体の側壁の内面側における底部との接触部分に対向して設けることにより、振動面を楕円状にすることができ、さらに、振動面の振幅を大きくすることができる。
また、このように、内部ケース体に外部ケース体よりも高密度の金属材料を用いることで、外部ケース体における側面振動の変動量の小さい超音波センサを供給することが可能となる。
また、超音波センサの内部ケース体が、外部ケース体よりも高密度の金属材料により形成されることで、超音波センサの側面振動を小さくすることができる。そのため、超音波センサを取り付けた際に、超音波センサにおける特性の変化の小さい超音波センサを提供することができる。
さらに、この発明による超音波センサにおけるケース体は、単純な構造により形成されることから、製造・加工が容易なケース体を提供することができる。
12 開口部
14 空洞部
16 底面部
18 側壁
20 振動面
22 振動の範囲
30 内部ケース体
32 側壁
34 空洞部
36 切り欠き部
40 超音波センサ
42 圧電素子
44 吸音材
46 基板
48 ケーブル
本発明の一実施形態にかかる超音波センサを図1、図2および図3に示す。図1および図2は、本実施形態の超音波センサに用いられている外部ケース体10および内部ケース体30を示したものである。図1(a)は、外部ケース体10の平面図、図1(b)は、断面図である。また、図2(a)は、内部ケース体30の上平面図、図2(b)は、断面図、図2(c)は、下平面図を示したものである。また、図3(a)および図3(b)は、本発明にかかる超音波センサの外部ケース体10および内部ケース体30の斜視図である。超音波センサは、たとえば有底円筒状の外部ケース体10と円筒形の内部ケース体30を含む。
外部ケース体10は、たとえばアルミニウムなどの金属材料で形成される。
外部ケース体10は、たとえば全体の高さが9mm、外径が14mm、内径が13mmで形成されている。外部ケース体10の底面部16は、0.5mmの均一な板厚で形成されており、外部ケース体10の側壁18は0.5mmの均一な板厚で形成されている。
外部ケース体10は、たとえば表面処理、塗装された板材をプレスして加工したものが使用される。
内部ケース体30は、たとえば亜鉛などの金属材料で形成される。この内部ケース体30に用いられる金属材料の密度の大きさは、外部ケース体10よりも大きな密度の金属材料を用いるのが望ましい。
内部ケース体30は、たとえば全体の高さが7mm、外径が13mm、内径が9mmで形成されている。内部ケース体30の側壁32の厚みは2mmである。また、切り欠き部36の大きさは、たとえば切り欠け幅8mm、切り欠け深さ2mmで形成される。
外部ケース体10の空洞部14に内部ケース体30を配置させることで、振動面20に内部ケース体30が接触していない部分が生ずることから、振動面20が楕円形状に振幅を形成して振動し、結果、超音波センサにおける指向特性の異方性が得られる。
外部ケース体10の底面部16の内面には、圧電素子42が取り付けられる。内部ケース体30の空洞部34において、吸音材44が配置され、該吸音材44の上面に基板46が配置される。基板46には、ケーブル48が接続される。
また、基板46と内部ケース体30とがワイヤ50aを介して接続され、内部ケース体30および外部ケース体10を介して圧電素子42の一方面側の電極に電気的に接続される。一方、基板46と圧電素子42の他方面側の電極とが、ワイヤ50bを介して電気的に接続される。
外部ケース体10および内部ケース体30により構成された超音波センサにおける固有振動数の駆動電圧を圧電素子42に印加することで、圧電素子42が励振され、振動面20が振動して超音波が送信される。また、振動面20が音波を受けると振動面20が固有振動し電気信号が得られる。
また、内部ケース体30に外部ケース体10よりも高密度の金属材料を用いることによって、外部ケース体10の側壁18における側面振動の変位量を小さくすることができる。そのため、当該超音波センサを自動車等に取り付けた際における超音波センサの特性の変化を小さくすることができる。
さらに、この超音波センサによる各ケース体は、従来のような複雑な構造により形成する必要はなく、単純な構造により形成できることから、製造・加工も容易である。
図5は、ケース体として図1の外部ケース体10と図2に示される内部ケース体30とを用い、内部ケース体30の材料を変化させた場合における、各内部ケース体のX側面およびY側面の側面振動の変位量の大きさの数値計算結果を示している。横軸は、振動側面の座標を示し、縦軸は、側面振動の変位量を示している。数値計算は、有限要素法(Finite Element Method)を使用した。有限要素法は、物体の形状にあまり左右されず、複雑な形状における物体に対しても数値計算の対象として扱えるといった利点がある。ここで、図6に示すとおり、X側面とは、振動面20に形成された楕円形状である振動の範囲22の短軸方向の延長上における側面をいい、Y側面とは、振動面20に形成された楕円形状である振動の範囲22の長軸方向の延長上における側面をいう。また、振動の範囲22の中で、色が濃い程、振幅の大きさが大きいことを示している。
また、比較のために、現行品による超音波センサのケース体1aにおける側面振動の変位量の大きさの数値計算結果も示す。現行品における超音波センサのケース体1aは、図7に示した形状に作製されたものである。
今回の数値計算には、図7に示された現行品は、アルミニウムを金属材料として使用し、本願発明による内部ケース体30は、金属材料として、アルミニウム、亜鉛およびタングステンをそれぞれ使用した。また、外部ケース体10は、金属材料としてアルミニウムを使用した。
現行品の側面振動の変位量の大きさは、X側面では、40.0nm付近であったが、Y側面では、60.0nm以上であった。
また、内部ケース体30の材料に外部ケース体10の材料と同じであるアルミニウムを使用した場合の側面振動の変位量の大きさは、X側面では、80.0nm付近であり、Y側面では、40.0から60.0nmであった。
対して、内部ケース体30の材料に外部ケース体10より高密度の亜鉛を使用した場合の側面振動の変位量の大きさは、X側面では、20.0から40.0nmであり、Y側面では、40.0から60.0nmであった。
また、内部ケース体30の材料に外部ケース体10より高密度のタングステンを使用した場合の側面振動の変位量の大きさは、X側面では、20.0から40.0nmであり、Y側面では、10.0から40.0nmであった。
以上の結果から、現行品および内部ケース体30の材料にアルミニウムを使用した場合と内部ケース体30の材料に亜鉛およびタングステンを使用した場合とを比較したとき、亜鉛およびタングステンを使用した方が、各ケース体のX側面およびY側面における側面振動の変位量が抑制されていることがわかる。すなわち、内部ケース体30の金属材料として、外部ケース体10に用いられる金属材料よりも高密度の金属材料を用いることで、側面振動の変位量の大きさが抑制されることが確認された。
また、外部ケース体10の密度と内部ケース体の密度との差が大きいほど、側面振動の変位量の大きさが抑制されることが確認された。
内部ケース体30における内径および切り欠き部36における切り欠け幅および切り欠け深さの大きさをそれぞれ変化させた場合の数値計算結果を行った。数値計算には、実験例1と同様に有限要素法(FEM)を使用した。切り欠け幅および切り欠け深さの条件およびその条件における結果を表1に示す。
また、モデル3およびモデル5では、振動面の形状が楕円に近い形状になっていることが確認され(図示せず)、他のモデルでは、振動面の形状が菱形に近い形状になっていることが確認された(図示せず)。菱形形状では、安定して振動面が振動せず、顕著な指向特性の異方性が得られないが、通常励振で安定して楕円形状の振動を行うモデル3およびモデル5によると、超音波センサとして顕著な指向特性の異方性を得ることができる。
Claims (2)
- 有底筒状のケース体、
前記ケース体の底部における内面側に設けられる圧電素子、
を含む超音波センサにおいて、
前記ケース体は、外部ケース体と前記外部ケース体の内部に設けられている内部ケース体とを含み、
前記内部ケース体において、前記外部ケース体の側壁の内面側における底部との接触部分に、切り欠きが設けられ、
前記内部ケース体は、前記外部ケース体よりも密度の高い金属材料で形成されていることを特徴とする、超音波センサ。 - 前記切り欠きは、前記内部ケース体において、前記外部ケース体の側壁の内側面における底部との接触部分に、対向して設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の超音波センサ。
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Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004037257A1 (de) * | 2004-07-31 | 2006-02-16 | Robert Bosch Gmbh | Einbauvorrichtung für einen Sensor |
CN101297591B (zh) | 2005-12-14 | 2011-09-07 | 株式会社村田制作所 | 超声波换能器 |
JP5267128B2 (ja) * | 2006-10-20 | 2013-08-21 | 株式会社村田製作所 | 超音波センサ |
CN101543095B (zh) | 2006-11-27 | 2012-06-13 | 株式会社村田制作所 | 超声波转换器 |
DE102008055126A1 (de) | 2008-12-23 | 2010-07-01 | Robert Bosch Gmbh | Ultraschallwandler zum Einsatz in einem fluiden Medium |
JP4947115B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2012-06-06 | 株式会社村田製作所 | 超音波トランスデューサ |
CN102726064B (zh) * | 2010-01-25 | 2015-07-15 | 株式会社村田制作所 | 超声波振动装置 |
JP2012008054A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Toshiba Corp | 超音波ラインセンサ、及び超音波ラインセンサを備える紙葉類処理装置 |
JP5339093B2 (ja) | 2010-09-08 | 2013-11-13 | 株式会社村田製作所 | 超音波トランスジューサ |
JP5548560B2 (ja) * | 2010-09-08 | 2014-07-16 | 日本セラミック株式会社 | 空中用超音波送受波器 |
CN102075837B (zh) * | 2010-12-22 | 2012-07-04 | 汉得利(常州)电子有限公司 | 一种高频率高灵敏度超声波传感器 |
TWI440831B (zh) * | 2011-04-27 | 2014-06-11 | Tung Thih Electronic Co Ltd | Ultrasonic sensor |
CN103858445B (zh) * | 2011-10-05 | 2016-09-28 | 株式会社村田制作所 | 超声波传感器 |
KR101538043B1 (ko) * | 2011-10-31 | 2015-07-20 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 초음파 센서 |
JP6183739B2 (ja) * | 2012-11-13 | 2017-08-23 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 超音波センサ |
CN108733041B (zh) * | 2017-04-21 | 2021-02-09 | 苏州宝时得电动工具有限公司 | 自动移动设备及其超声避障方法 |
JP7384075B2 (ja) * | 2020-03-06 | 2023-11-21 | Tdk株式会社 | 圧電デバイス |
JP7415847B2 (ja) * | 2020-08-17 | 2024-01-17 | Tdk株式会社 | 超音波デバイス |
USD1024818S1 (en) * | 2021-04-16 | 2024-04-30 | Chengdu Huitong West Electronic Co., Ltd. | Housing of ultrasonic sensor |
USD1024814S1 (en) * | 2022-07-05 | 2024-04-30 | Chengdu Huitong West Electronic Co., Ltd. | Housing of ultrasonic sensor |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5025790A (en) * | 1989-05-16 | 1991-06-25 | Hewlett-Packard Company | Graded frequency sensors |
DE4120681A1 (de) * | 1990-08-04 | 1992-02-06 | Bosch Gmbh Robert | Ultraschallwandler |
US5612930A (en) * | 1995-07-13 | 1997-03-18 | J. W. Harley Inc. | Ultrasonic transducer |
DE19816456C1 (de) * | 1998-04-14 | 1999-06-17 | Trw Automotive Electron & Comp | Ultraschallsensor |
JP3399403B2 (ja) * | 1998-04-24 | 2003-04-21 | 株式会社村田製作所 | 超音波送受波器 |
US6250162B1 (en) * | 1998-04-24 | 2001-06-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ultrasonic sensor |
US6522032B1 (en) * | 1999-05-07 | 2003-02-18 | Easter-Owen Electric Company | Electrical switch and method of generating an electrical switch output signal |
JP3552605B2 (ja) | 1999-08-31 | 2004-08-11 | 松下電工株式会社 | 超音波振動子 |
JP3501100B2 (ja) * | 2000-05-15 | 2004-02-23 | 株式会社村田製作所 | 超音波送受波器 |
JP3944052B2 (ja) * | 2001-12-27 | 2007-07-11 | 株式会社デンソー | 超音波送受波器及びこれを用いた超音波クリアランスソナー |
JP4542739B2 (ja) | 2002-03-22 | 2010-09-15 | 日本特殊陶業株式会社 | 超音波センサ |
KR100550907B1 (ko) * | 2004-09-02 | 2006-02-13 | 삼성전기주식회사 | 카메라모듈의 렌즈 이송장치 |
JP4438667B2 (ja) * | 2005-03-29 | 2010-03-24 | 株式会社デンソー | 超音波センサ及び超音波振動子 |
JP2006345312A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Denso Corp | 超音波センサ及び超音波振動子 |
WO2007029506A1 (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 超音波センサ |
CN101297591B (zh) * | 2005-12-14 | 2011-09-07 | 株式会社村田制作所 | 超声波换能器 |
WO2007102460A1 (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 超音波センサおよびその製造方法 |
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