JP4542739B2 - 超音波センサ - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、例えばガスセンサとして使用され得る圧電素子を利用した超音波センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来この種の超音波センサとしては、外部からの電磁波によるノイズの問題を解決するために金属製のケースを使用して内部の圧電素子を磁気シールドする形式のものが種々提案されている。
【0003】
このような金属製のケースを用いた超音波センサの一例を添付図面の図4に示す。図4に示す超音波センサにおいては、SUS製の金属ケース1の内底面に、上下両面にそれぞれ電極2、3を備えた圧電素子4が接着剤層5により固着されている。金属ケース1の開口周縁部1aには金属ベース板6が密封溶着されている。金属ベース板6には入出力端子7、8が絶縁体9を介して立植されている。
入出力端子7、8はそれぞれ圧電素子4の上下面に形成された電極2、3にリード線10、11を介して接続されている。
【0004】
また、圧電素子4の取付けられている金属ケース1の内底面の外側には、金属ケース1と空気とのインピーダンスの整合を図るためエポキシ樹脂のようなプラスチック材料製のインピーダンス整合層12が接着剤により固着されている。このインピーダンス整合層12により金属ケース1と空気とのインピーダンスの整合が図られ、電気音響変換効率が改善され、大きな出力電圧が得られるようにしている。
【0005】
図5には、金属ケースを用いた従来型の超音波センサの別の例を示す。この例では金属ケース1はSUSの薄板材料でキャップ状に構成されている。その他の部分は図4に示すものと実質的に同様に構成されており、各部分は図4と同じ符号で示す。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような金属ケースを用いた超音波センサでは、上述のように金属ケースと空気とのインピーダンスの整合を図るためエポキシ樹脂のようなプラスチック材料製のインピーダンス整合層を設ける必要があり、かかるインピーダンス整合層は通常接着層を介して金属ケースの外側に固着されている。しかし金属ケースとインピーダンス整合層との間の接着層がセンサ感度にバラツキを生じさせたり、感度低下を引き起こすという問題がある。
【0007】
また、かかる超音波センサはどちらかと言えば過酷な環境下で用いられるためインピーダンス整合層を構成しているプラスチック材料の耐候性や耐湿性の点でも問題がある。
【0008】
さらに、この種の超音波センサの製造においては、金属ケースとインピーダンス整合層とを別個に用意し、それらを接着剤を用いて接合する工程が必要となり、製造に手間がかかる。さらには、上述のような金属ケースの自重によりセンサが重くなる傾向にある。
【0009】
そこで、本発明は、このような従来構造の問題点を解決して、製造工程を簡略化でき、耐湿性に優れ、寸法設計が容易であり、バラツキのない高感度の超音波センサを提供することを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明によれば、ケースの内底面に、一対の電極を備えた圧電素子を取付け、圧電素子の電極をケースの開口周縁部に密封固着したベース部材に取付けた接続端子に接続してなる超音波センサにおいて、前記ケースを独立気泡性の発泡アルミニウムで構成すると共に独立気泡性の発泡アルミニウム製ケースにインピーダンス整合層を一体に形成し、前記ベース部材の外周縁部を、前記ケースの下方の開放端部に溶着して密封したことを特徴としている。
【0011】
また本発明の一実施形態による超音波センサにおいては、ベース部材にはアース端子が装着される。
【0012】
このように構成した本発明による超音波センサにおいては、ケースを発泡アルミニウムで構成したことにより、内部の圧電素子を磁気シールドしてセンサの感度に影響を及ぼす外部からの電磁波によるノイズを除去することができると共に、
耐湿性に優れたセンサが提供できる。
【0013】
また、ケースとインピーダンス整合層を一体に形成したことにより、センサの製造の点においては、指向性、不要振動の除去のための寸法設計が容易となり、しかもケースとインピーダンス整合層との接合工程がないため組付けが簡単化され、耐湿性をより向上させることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下添付図面の図1〜図3を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1には本発明の一実施の形態による超音波センサを示し、図示センサは、
発泡アルミニウムから成り、外形が切頭円錐台形のケース20、金属材料から成る円形のベース部材21及び円板状の圧電素子22を有している。ケース20を構成している発泡アルミニウム材は、好ましくは、独立した気泡の薄い膜のセル構造から成るアルミニウムの発泡体であり、比重が非常に軽く、熱的、機械的、電磁的特性(耐高温性、耐食性及び電磁波シールド性)に優れている。発泡アルミニウム材は、通常、アルミニウム材料を熔融し、熔融したアルミニウム材料にカルシウムなどの増粘剤を加えて攪拌し、そして増粘したアルミニウム材料に発泡剤として水素化物を加えて攪拌することにより形成される。
【0015】
発泡アルミニウムケース20は、その頂部に、ケース20と空気とのインピーダンスの整合を図るための円形のインピーダンス整合層20aが一体に形成されている。また発泡アルミニウムケース20の下方の開放端部20bには図示したように円形のベース部材21の外周縁部21aが密封して溶着されている。
【0016】
円板状の積層型圧電素子22は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛等の圧電体セラミック材料から成り、また圧電素子22の対向した側部表面には外部導体23a、23bがそれぞれ設けられ、電極を構成している。圧電素子22は、上面を発泡アルミニウムケース20の内底面の中央部に接着剤層24により貼り付けられる。
【0017】
円形のベース部材21には、接続端子25a、25bが絶縁体26を介して密封装着されている。またベース部材21には、図示していないがアース端子が直接装着されている。アース端子はベース部材21を介して発泡アルミニウムケース20に接続され、これにより圧電素子22に対する外部からの電磁波によるノイズの影響を防止するようにしている。接続端子25a、25bの内方端はそれぞれリード線27a、27bを介して圧電素子22における外部導体23a、23bに接続されている。
【0018】
図2には本発明の一実施の形態による超音波センサを示し、この場合、発泡アルミニウムから成るケース30は円筒形であり、図1の場合と同様な発泡アルミニウム材で構成されている。発泡アルミニウムケース30は、その頂部に、ケース30と空気とのインピーダンスの整合を図るための円形のインピーダンス整合層30aが一体に形成されている。また発泡アルミニウムケース30の下方の開放端部30bには図示したように円形のベース部材31の外周縁部31aが密封して溶着されている。
【0019】
例えばチタン酸ジルコン酸鉛等の圧電体セラミック材料から成る円形の圧電素子32は、対向した側部表面に、外部導体33a、33bを備え、これらの外部導体33a、33bは電極を構成している。また圧電素子32は、発泡アルミニウムケース30の内底面の中央部に接着剤層34により貼り付けられる。
【0020】
円形のベース部材31には、接続端子35a、35bが絶縁体36を介して密封装着されている。またベース部材31には、図1の実施の形態と同様に、アース端子が直接装着されている。接続端子35a、35bの内方端はそれぞれリード線37a、37bを介して圧電素子32の外部導体33a、33bに接続されている。
【0021】
図3には図2に示す超音波センサの変形例を示し、この場合、発泡アルミニウムから成るケース40は円筒形であり、ケース40の頂壁を厚く形成することによりインピーダンス整合層40aを画定している。他の構成は図2の場合と実質的に同様であり、すなわち、発泡アルミニウムケース40の下方の開放端部40bには図示したように円形のベース部材41の外周縁部41aが密封して溶着されている。圧電体セラミック材料から成る円形の圧電素子42は、対向した側部表面に、外部導体43a、43bを備え、これらの外部導体43a、43bは電極を構成している。また圧電素子42は、発泡アルミニウムケース40の内底面の中央部に接着剤層44により貼り付けられる。円形のベース部材41には、接続端子45a、45bが絶縁体46を介して密封装着されている。またベース部材41には、図2の実施の形態と同様に、アース端子が直接装着されている。接続端子45a、45bの内方端はそれぞれリード線47a、47bを介して圧電素子42の外部導体43a、43bに接続されている。
【0022】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明による超音波センサにおいては、ケースを発泡アルミニウムで構成すると共に発泡アルミニウム製ケースにインピーダンス整合層を一体に形成しているので、内部の圧電素子を磁気シールドしてセンサの感度に影響を及ぼす外部からの電磁波によるノイズを除去することができると共に、
耐湿性に優れ、過酷な環境下で長期間安定して使用でき、指向性、不要振動の除去のための寸法設計が容易となり、しかも組付けを簡単化できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施の形態による超音波センサを示す概略縦断面図。
【図2】 本発明の別の実施の形態による超音波センサを示す概略縦断面図。
【図3】 図2に示す超音波センサの変形例を示す概略縦断面図。
【図4】 従来の超音波センサの一例を示す概略縦断面図。
【図5】 従来の超音波センサの別の例を示す概略縦断面図。
【符号の説明】
20 :発泡アルミニウムケース
20a:インピーダンス整合層
20b:開放端部
21 :ベース部材
22 :圧電素子
23a:外部導体(電極)
23b:外部導体(電極)
24 :接着剤層
25a:接続端子
25b:接続端子
26 :絶縁体
27a:リード線
27b:リード線
Claims (2)
- ケースの内底面に、一対の電極を備えた圧電素子を取付け、圧電素子の電極をケースの開口周縁部に密封固着したベース部材に取付けた接続端子に接続してなる超音波センサにおいて、前記ケースを独立気泡性の発泡アルミニウムで構成すると共に独立気泡性の発泡アルミニウム製ケースにインピーダンス整合層を一体に形成し、前記ベース部材の外周縁部を、前記ケースの下方の開放端部に溶着して密封したことを特徴とする超音波センサ。
- 前記ベース部材にアース端子が装着されていることを特徴とする請求項1記載の超音波センサ。
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