JP2003248015A

JP2003248015A - 加速度センサ

Info

Publication number: JP2003248015A
Application number: JP2002048677A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Tanaka; 浩田中; Masaki Yanai; 雅紀谷内; Takashi Kato; 隆志加藤; Hiroshi Ishikawa; 寛石川
Original assignee: Fujitsu Media Devices Ltd
Current assignee: Fujitsu Media Devices Ltd
Priority date: 2002-02-25
Filing date: 2002-02-25
Publication date: 2003-09-05
Also published as: TWI251674B; US20050066725A1; EP1480044A1; EP1480044A4; US7299695B2; TW200303988A; CN1639576A; KR100637301B1; WO2003071287A1; KR20040086435A

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な構成で角加速度や並進加速度などの異
なる加速度を容易に検知できるセンサを提供する。【解決手段】加速度センサは錘（１２）と、その重心
位置で該錘を支持するように設けられた振動子（１０）
とを有する。錘が加速度を受けると、加速度に対応した
応力が振動子に発生する。振動子は錘の重心位置を支持
するように設けられているので、角加速度や並進加速度
などの加速度と発生する電荷の大きさや極性には特有の
関係が成立する。この関係を利用して、異なる加速度を
容易に検知することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物体に加わる衝撃
および加速度を検出するために用いられる圧電型の加速
度センサに関する。特に、本発明は加速度により生ずる
慣性力により発生する特徴量を検出する加速度センサに
関する。

【０００２】近年ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の
高記録密度化が進み、それに伴う読み込み・書き込み動
作を行うヘッドの位置決めの精密制御が求められてい
る。例えばパーソナルコンピュータ内の他の電子機器
（ＤＶＤ、ＣＤ−ＲＯＭ等）からの外部振動によりＨＤ
Ｄ筐体自身が回転振動をした時において、その位置決め
制御を維持するため、回転振動を検知して所定の処理を
行う必要がある。その回転振動の検知に対して加速度セ
ンサが使用されており、二個の加速度センサを使用し互
いの出力差により回転振動を検知している。

【０００３】加速度センサが搭載される機器の小型化・
高性能化に伴ってセンサの小型化・高性能化が要求され
る。

【０００４】

【従来の技術】従来、圧電型の加速度センサとしては、
特開平６−２７３４３９号公報に見られる圧電セラミッ
クスのたわみを利用し加速度を検出するもの等提案され
ている。また、特開平７−１４０１６４には、２枚の圧
電単結晶のたわみを利用し並進加速度と角加速度を同時
に検出するものが提案されている。また、特開２０００
−１７１４８０号公報には圧電単結晶のたわみと出力の
符号の差異により並進加速度と角加速度を分離して検出
するものが提案されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
圧電セラミックスを利用する加速度センサでは二つのセ
ンサを使用することから、各々の感度ばらつきに加え二
つのセンサの搭載基板への実装精度が、位置決め制御を
劣化させる要因になっている。また、圧電単結晶を利用
したセンサは角加速度と並進加速度を分離できないこと
に加え、２枚の圧電素子を利用することから小型化が難
しい。圧電単結晶のたわみと出力の符号の差異を利用す
るものは、二枚の圧電体を張り合わせ、かつ、圧電体を
支持体に張り合わせることから、工程が複雑になり低コ
スト化が難しい。

【０００６】本発明は、これらの問題を解決し、簡単な
構成で角加速度や並進加速度などの異なる加速度を容易
に検知できるセンサを提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明は、請求項１に記載のように、錘と、その重心位置で
該錘を支持するように設けられた振動子とを有すること
を特徴とする加速度センサである。錘が加速度を受ける
と、加速度に対応した応力が振動子に発生する。振動子
は錘の重心位置を支持するように設けられているので、
角加速度や並進加速度などの加速度と発生する電荷の大
きさや極性には特有の関係が成立する。この関係を利用
して、異なる加速度を容易に検知することができる。

【０００８】請求項１に記載の前記加速度センサにおい
て、例えば請求項２に記載のように、前記振動子の一面
に設けられ、該一面を二分割するように配置された二つ
の検出電極を含む。振動子を二分割する構成の一例であ
って、加速度を受けて振動子に発生した電荷を上記構成
の二つの検出電極で取り出すことで、角加速度と並進加
速度を検出することができる。

【０００９】請求項１に記載の前記加速度センサにおい
て、例えば請求項３に記載のように、前記振動子の一面
に設けられ、該一面を前記錘の長手方向に二分割するよ
うに配置された二つの検出電極を含む。振動子を二分割
する構成の一例であって、加速度を受けて振動子に発生
した電荷を上記構成の二つの検出電極で取り出すこと
で、角加速度と並進加速度を検出することができる。

【００１０】請求項１に記載の前記加速度センサにおい
て、例えば請求項４に記載のように、前記振動子の一面
に設けられ、該一面を前記錘の長手方向に二分割するよ
うに配置された二つの検出電極を有し、前記振動子は該
二つの検出電極の間に形成された溝を有する。振動子を
二分割する構成の一例であって、加速度を受けて振動子
に発生した電荷を上記構成の二つの検出電極で取り出す
ことで、角加速度と並進加速度を検出することができ
る。

【００１１】請求項１から４のいずれか一項記載の加速
度センサにおいて、例えば請求項５に記載のように、前
記振動子は、前記錘の長手方向に直交する方向に分極軸
を有する。また、請求項１から４のいずれか一項記載の
加速度センサにおいて、例えば請求項６に記載のよう
に、前記振動子は前記錘の長手方向に分極軸を有する。
分極軸の方向をこのように設定することによって、加速
度とこれに対応して発生する電荷（電位）との関係を特
定する。

【００１２】請求項１に記載の加速度センサにおいて、
例えば請求項７に記載のように、前記振動子は圧電セラ
ミックスで形成され、該圧電セラミックスは前記錘の長
手方向の圧電定数がゼロとなり且つ厚み方向の圧電定数
がゼロとなるカット角を有する。この圧電定数の一例は
後述する長手方向ｄ１６，厚み方向ｄ１１である。これ
によって、加速度とこれに対応して発生する電荷（電
位）とが特有の関係を持つことになり（例えば、後述す
る図５や図６に示す関係）、検出すべき方向や検出すべ
き加速度の種類を特定できるようになる。

【００１３】請求項１に記載の加速度センサにおいて、
例えば請求項８に記載のように、前記振動子は圧電セラ
ミックスで形成され、該圧電セラミックスは前記錘の長
手方向に直交する方向の圧電定数がゼロとなり且つ厚み
方向の圧電定数がゼロとなるカット角を有する。この定
数の一例は後述する長手方向ｄ１５，厚み方向ｄ１１で
ある。これによって、加速度とこれに対応して発生する
電荷（電位）とが特有の関係を持つことになり（例え
ば、後述する図１０や図１１に示す関係）、検出すべき
方向や検出すべき加速度の種類を特定できるようにな
る。

【００１４】請求項１に記載の加速度センサにおいて、
例えば請求項９に記載のように、前記振動子は圧電単結
晶で形成され、該圧電単結晶は前記錘の長手方向の圧電
定数がゼロとなり且つ厚み方向の圧電定数がゼロとなる
カット角を有する。この定数の一例は後述する長手方向
ｄ１６，厚み方向ｄ１１である。これによって、加速度
とこれに対応して発生する電荷（電位）とが特有の関係
を持つことになり（例えば、後述する図１５や図１６に
示す関係）、検出すべき方向や検出すべき加速度の種類
を特定できるようになる。

【００１５】請求項１に記載の加速度センサにおいて、
例えば請求項１０に記載のように、前記振動子は圧電単
結晶で形成され、該圧電単結晶は前記錘の長手方向に直
交する方向の圧電定数がゼロとなり且つ厚み方向の圧電
定数がゼロとなるカット角を有する。この定数の一例は
後述する長手方向ｄ１５，厚み方向ｄ１１である。これ
によって、加速度とこれに対応して発生する電荷（電
位）とが特有の関係を持つことになり（例えば、後述す
る図１５や図１６に示す関係）、検出すべき方向や検出
すべき加速度の種類を特定できるようになる。

【００１６】請求項１に記載の加速度センサにおいて、
例えば請求項１１に記載のように、更に、前記振動子の
一面を錘の長手方向に二分割した各領域で発生した出力
を加算する回路を有する。この加算処理により、特定の
軸に関し、特定の加速度を検出することができる。

【００１７】請求項１に記載の加速度センサにおいて、
例えば請求項１２に記載のように、更に前記振動子の一
面を錘の長手方向に二分割した各領域で発生した出力の
差分を出力する回路を有する。この差分処理により、特
定の軸に関し、特定の加速度を検出することができる。

【００１８】請求項１に記載の加速度センサにおいて、
例えば請求項１３に記載のように、更に前記振動子の一
面を錘の長手方向に二分割した各領域で発生した出力を
加算する第一の回路と、該出力の差分を出力する第二の
回路とを有する。これにより、特定の軸に関し、複数の
異なる加速度を同時に検出できる。

【００１９】請求項１記載の加速度センサにおいて、例
えば請求項１４に記載のように、更に前記振動子の一面
を錘の長手方向に二分割した各領域で発生した出力を処
理して角加速度と並進加速度にそれぞれ対応した複数の
検出信号を出力する回路を有する。これにより、特定の
軸に関し、角加速度及び並進加速度を同時に検出するこ
とができる。

【００２０】請求項１から１４のいずれか一項記載の加
速度センサにおいて、例えば請求項１５に記載のよう
に、更に前記錘に設けられた位置決め機構を有し、該位
置決め機構は前記振動子を収容する空間を形成する。こ
れにより、位置決めが容易になり、感度のばらつきを抑
えることができる。

【００２１】請求項１から１５のいずれか一項記載の加
速度センサにおいて、例えば請求項１６に記載のよう
に、更に前記振動子を支持する基板を有する。本請求項
の加速度センサは基板を具備する構成である。

【００２２】

【発明の実施の形態】（第一実施形態）本発明の第一実
施形態を図1に示す。図1（A）は、本発明の第一実施形
態による加速度センサの構造を表す斜視図である。加速
度センサは、振動子１０と錘１２とを有する。図１にお
いて、錘１２の厚み方向をＸ軸、長手方向をＹ軸、幅方
向をＺ軸と定義する。また、振動子１０について言え
ば、振動子１０の厚み方向がＸ軸、長さ（又は幅）方向
がＹ軸、幅（又は長さ）方向がＺ軸である。

【００２３】錘１２は矩形の板状部材で形成されてい
る。錘１２は例えば、比較的密度が高い金属やアルミナ
や鉛ガラスなどの絶縁材料で形成される。単一の物質で
形成されてもよく、また複数の異なる物質で形成されて
もよい。後者の場合には、例えば複数の異なる物質が積
層された構成である。

【００２４】錘１２の重心位置に振動子１０が配置され
ている。錘１２は均一の密度を持っている場合、重心位
置は錘１２の中心である。この中心に振動子１０の中心
が一致するように振動子１０が配置されている。また、
錘１２の長手方向の中心線（Y軸方向に錘１２を二分割
する位置）に、振動子１０の中心線が一致しているとも
言える。振動子１０から見れば、振動子１０は錘１２の
重心位置で錘１２を支持している。振動子１０は圧電セ
ラミックスである。図１（ｂ）に示すように、振動子１
０はＺ軸方向に分極されている。本実施形態において
は、Ｚ軸方向を圧電セラミックス結晶板の切り出し角
（カット角）θがゼロ度（θ＝０°）と定義する。振動
子１０は例えば、電気機械結合係数の比較的高いＰＺＴ
系圧電セラミックスで形成されている。圧電セラミック
スの分極は、圧電セラミックス結晶板の両端面間に高電
圧を印加することで与えられる。図１（Ａ）の例では、
錘１２のＺ軸方向の長さと振動子１０のＺ軸方向の長さ
とは略一致しているが、異なっていても良い。例えば、
振動子１０のＺ軸方向の長さは、錘１２のＺ軸方向の長
さよりも短い。なお、本実施形態のθ＝０°については
後で詳しく説明する。

【００２５】また、振動子１０は滑り振動子であって、
Ｙ軸方向に二分割されている。振動子１０がＹ軸方向に
二分割されている例を図２（Ａ）と（Ｂ）に示す。図２
（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、図１のＩＩ−ＩＩ線縦断面
図である。図２（Ａ）に示すように、直方体状の振動子
１０の一面に電極１４と１６が形成されている。電極１
４と１６は、振動子１０の一面に設けられ、この面をＹ
軸方向に等しく二分割するように配置されている。電極
１４と１６は同じ大きさで、分割溝２２を挟んでＹ軸方
向に隣接している。分割溝２２は、Ｚ軸方向に延びてい
る。電極１４と１６は検出電極として作用する。振動子
１０の対向する面には電極２０が形成されている。電極
２０はグランド電極として作用する。検出電極１４とグ
ランド電極２０との間、及び検出電極１６とグランド電
極２０との間に加速度に応じた電圧が発生する。このよ
うに、図２（Ａ）の構成では、検出電極１４と１６をＹ
軸方向に二分割することで、振動子１０をＹ軸方向に二
分割している。分極方向との関係で言えば、振動子１０
は分極方向に平行な方向に二分割されている。また、錘
１２との関係で言えば、振動子１０は錘１２の長手方向
に二分割されているとも言える。

【００２６】図２（Ｂ）の振動子は、検出電極１４と１
６を二分割する溝に連続する分割溝２４が振動子１０の
表面に形成されている。振動子１０の分割溝２４はＺ軸
方向に延びており、加速度に対する感度を向上させる作
用を持つ。分割溝２４の幅や深さを変えることで感度が
変化する。

【００２７】なお、検出電極１４と１６は例えば、異な
る金属の多層構成である。一例として、２層構成の電極
層はＮｉやＮｉＣｒを下地層とし、その上にＡｕを形成
したものである。これらの電極層は、スパッタ、焼き付
け、蒸着、電解メッキ、無電解メッキなどの公知の方法
で形成できる。電極層を形成した後、エッチングやレー
ザトリミングなどで電極層をパターニングして検出電極
１４、１６を形成する。このときに前述した分割溝２２
が形成される。そして、ダイシングにより振動子１０と
して、セラミックス結晶片に分離される。

【００２８】上記構成の振動子１０は例えば、エポキシ
系の樹脂接着剤を用いて錘１２の重心位置に取り付けら
れる。この場合、検出電極１４、１６が錘１２に接する
ように取り付けてもよく、逆にグランド電極２０が錘１
２に接するように取り付けても良い。検出電極１４、１
６及びグランド電極２０の引き出し電極は、公知の方法
を用いて形成できる。例えば、錘１２が絶縁物質で形成
されている場合には、錘１２の表面に導電パターンを設
け、これに検出電極１４、１６又はグランド電極２０が
接続される。この場合、接着剤は異方性導電接着剤を用
いる。錘１２が金属の場合には、等方性の導電性接着剤
を用いてグランド電極２０を錘１２に取り付ける。ま
た、フレキシブルプリント配線基板を用いることもでき
る。例えば、検出電極１４と１６が錘１２に対向するよ
うに振動子１０を取り付ける場合には、対応する配線パ
ターンを有する配線基板を振動子１０と錘１２との間に
介在させ、異方性導電接着剤で接続する。

【００２９】上記第一実施形態の加速度センサは、構造
が簡単であるにもかかわらず、一つのセンサで角加速度
（回転加速度）と並進加速度の両方を検出することがで
きる。

【００３０】ここで、圧電セラミックスの圧電定数のい
くつかを図３及び図４に示す。図３及び図４に図示され
ている圧電定数はｄ１１、ｄ１５及びｄ１６である。図
４（Ａ）に示す振動子は前述した図２（Ａ）の構成を持
つ振動子１０に相当し、図４（Ｂ）に示す振動子は前述
した図２（Ｂ）の構成を持つ振動子１０に相当する。

【００３１】本発明の第一実施形態では、圧電セラミッ
クスのカット角θは０°（θ＝０°）である。θ＝０°
の時、Ｙ軸方向、つまり錘１２の長手方向の定数ｄ１６
はゼロである。且つ、X軸方向、つまり錘１２の厚み方
向の定数ｄ１１はゼロである。このように、θ＝０°に
選択することで、以下の特性を持つ加速度センサが実現
できる。

【００３２】面内の回転振動が加速度センサに印加さ
れ、かつ、加速度センサの回転中心に加速度センサを配
置した場合、図５（Ａ）に示すように、二分割構成の振
動子１０に矢印で示す応力が発生し、この結果振動子１
０には（具体的には、振動子１０の二分割された部分に
はそれぞれ）振幅の値が同一で逆位相の電位（電荷）が
発生する。

【００３３】面内振動の回転振動が加速度センサに印加
され、かつ、回転中心以外に加速度センサを配置した場
合、図５（Ｂ）に示すように、二分割構成の振動子１０
に矢印で示す応力が発生し、この結果振動子１０には振
幅の値が異なる同位相の電位が発生する。

【００３４】面垂直方向の回転振動が加わった場合、図
６（Ａ）に示すように、振動子１０の厚み方向（Ｘ軸方
向）の圧電定数ｄ１１がゼロなので（図３参照）、二分
割構成の振動子１０には電位が発生しない。

【００３５】Ｚ軸方向へ並進加速度が印加された場合、
図６（Ｂ）に示すように、二分割構成の振動子１０に矢
印で示す応力が発生し、この結果振動子１０には振幅の
値が同一の同位相の電位が発生する。

【００３６】Ｘ軸、Ｙ軸方向の並進加速度が印加された
場合、図６（Ｃ）に示すように、分極軸と直交する成分
ｄ１６と厚み方向の成分ｄ１１はゼロなので（図３参
照）、二分割構成の振動子１０には電位が発生しない。

【００３７】上記構成の加速度センサは、図７（Ａ）、
（Ｂ）及び（Ｃ）にそれぞれ示す検出回路に接続される
（以下、単に回路Ａという）。図７（Ａ）に示す回路Ａ
は、振動子１０に発生する二つの電位を差動回路（減算
回路）２６で差動検出する。差動出力信号が出力端子２
７を介して出力される。図７（Ｂ）に示す回路Ｂは、振
動子１０に発生する二つの電位を加算回路２８で加算検
出する。加算出力信号が出力端子２９を介して出力され
る。図７（Ｃ）に示す回路Cは、回路ＡとＢの組み合わ
せである。参照番号３０と３２は増幅器である。これら
の増幅器を差動回路２６や加算回路２８の後段に設けて
もよい。

【００３８】第一実施形態の加速度センサを、図５
（Ａ）に示すように回転中心に配置した場合の加速度検
出について述べる。この場合の検出可能な加速度と回路
Ａ〜Ｃとの関係を図８（Ａ）に示す。回路Ａを使用した
場合、面内の角加速度（Ｘ軸まわり）に対しては二つの
電位が逆位相であるので、面内角加速度を検出可能であ
る。Ｚ軸方向への並進加速度に対しては二つの電位が同
一振幅で同位相であるので、差動検出で相殺してゼロと
なる。他の軸の加速度に対してはｄ定数がゼロである。
また、回路Ｂを使用した場合、面内の角加速度（Ｘ軸ま
わり）に対しては二つの電荷（又は電位）が同一振幅で
逆位相であるため、加算検出で相殺してゼロになる。Ｚ
軸方向への並進加速度に対しては二つの電位が同一振幅
で同位相であるので、加算検出でＺ軸の並進加速度を検
出可能である。他の軸の加速度に対してはｄ定数がゼロ
である。また、回路Ｃの構成は振動子１０の一面を錘の
長手方向に二分割した各領域で発生した出力を処理し
て、角加速度と並進加速度にそれぞれ対応した複数の検
出信号を出力する回路である。回路Ｃにより、面内角加
速度（Ｘ軸まわり）とＺ軸方向への並進加速度を分離し
て両方を検出することができる。以上より、回転中心に
センサを配置した場合、回路Ａ〜Ｃの構成により、面内
角加速度のみを検出、もしくはZ軸方向の並進加速度の
みを検出、又は角加速度（Ｘ軸まわり）とＺ軸方向の並
進加速度を同時に分離して検出する加速度センサを実現
できる。

【００３９】第一実施形態の加速度センサを、図５
（Ｂ）に示すように回転中心以外に配置した場合につい
て述べる。この場合の検出可能な加速度と回路Ａ〜Ｃと
の関係を図８（Ｂ）に示す。回路Ａを使用した場合、面
内の角加速度（Ｘ軸まわり）に対しては二つの電位の振
幅が異なり同位相であるので、面内角加速度を検出可能
である。Ｚ軸方向への並進加速度に対しては二つの電位
が同一振幅で同位相であるので、差動検出で相殺してゼ
ロとなる。他の軸の加速度に対してはｄ定数がゼロであ
る。また、回路Ｂを使用した場合、面内の角加速度（Ｘ
軸まわり）に対しては異なる振幅で同位相であるため、
加算検出で検出可能である。Ｚ軸方向への並進加速度に
対しては二つの電位が同一振幅で同位相であるので、加
算検出でZ軸の並進加速度を検出可能である。他の軸の
加速度に対してはｄ定数がゼロである。また、回路Ｃの
構成では面内角加速度（Ｘ軸まわり）とＺ軸方向への並
進加速度を同時に検出可能となる。以上より、回転中心
以外にセンサを配置した場合、回路Ａ〜Ｃの構成によ
り、面内角加速度のみを検出、もしくは面内角加速度と
Ｚ軸方向の並進加速度を同時に検出する加速度センサを
実現できる。

【００４０】以上説明したように、第一実施形態による
加速度センサによれば、角加速度と回転加速度を分離し
て検出、もしくは同時に検出することが可能となる。

【００４１】なお、検出電極を二分割して振動子１０に
発生した二つの電荷（分割溝２２（２４）の両側にそれ
ぞれ発生する電荷）を検出するものであるが、二つの電
荷を検出できる電極構成であれば、電極の分割数やパタ
ーン形状などは任意である。例えば、振動子１０の一面
を４分割し、分極方向に隣り合う電極同士を接続して実
質的に二つの検出電極を形成した場合も、上記と同様の
作用及び効果を奏する。この点は、以下の各実施形態に
ついても同様である。

【００４２】なお、θ＝０°の条件は厳密にカット角θ
がゼロであることを要求しているのではなく、加速度セ
ンサの製造時の誤差などでθ＝０°とならない場合も含
むものである。更に言えば、このカット角は図８の動作
が得られる範囲内であって、かつ、所望の加速度検出精
度を満足する範囲内おいて、０°近傍の値であってもよ
い。

【００４３】（第二実施形態）本発明の第二実施形態に
よる加速度センサを図９に示す。なお、図中、前述した
構成要素と同一のものには同一の参照番号を付してあ
る。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は図１と同様である。第二実施
形態の振動子４０は前述した振動子１０と異なり、図９
（Ｂ）の矢印で示すようにＹ軸方向に分極されている。
言い換えると、振動子４０の分極方向は錘１２の長手方
向に一致する。振動子４０は錘１２の重心位置に配置さ
れ、図２（Ａ）、（Ｂ）に示すように二分割されてい
る。振動子４０を形成する圧電セラミックスのカット角
θは９０°である（θ＝９０°）。図３から分かるよう
に、θ＝９０°の時、Ｚ軸方向、つまり錘１２の長手方
向に垂直な方向（短手方向）の定数ｄ１５はゼロであ
る。

【００４４】圧電セラミックスのカット角をθ＝９０°
に選択することで、以下の特性を持つ加速度センサが実
現できる。

【００４５】面内の回転振動が加速度センサに印加さ
れ、かつ、回転中心に加速度センサを配置した場合、図
１０（Ａ）に示すように、二分割構成の振動子４０には
振幅の値が同一の逆位相の電位が発生する。

【００４６】面内振動の回転振動が加速度センサに印加
され、かつ、回転中心以外に加速度センサを配置した場
合、図１０（Ｂ）に示すように、振動子４０には振幅の
値が異なる同位相の電位が発生する。

【００４７】面垂直方向の回転振動が加わった場合、図
１１（Ａ）に示すように、厚み方向の圧電定数ｄ１１が
ゼロなので、振動子４０には電位が発生しない。

【００４８】Ｙ軸方向へ並進加速度が印加された場合、
図１１（Ｂ）に示すように、振動子４０には振幅の値が
同一の同位相の電位が発生する。

【００４９】Ｘ軸、Ｚ軸方向の並進加速度が印加された
場合、図１１（Ｃ）に示すように、分極軸と直交する成
分ｄ１５と厚み方向の成分ｄ１１はゼロなので、振動子
４０には電位が発生しない。

【００５０】上記構成の加速度センサは図７（Ａ）、
（Ｂ）及び（Ｃ）の検出回路に接続される。

【００５１】第二実施形態による加速度センサを回転中
心に配置した場合について述べる。この場合の検出可能
な加速度と回路Ａ〜Ｃとの関係を図１２（Ａ）に示す。
図７（Ａ）回路Ａを使用した場合、面内の角加速度（Ｘ
軸まわり）に対しては二つの電位が逆位相であるので、
面内角加速度を検出可能である。Ｙ軸方向への並進加速
度に対しては二つの電位が同一振幅で同位相であるの
で、差動検出で相殺してゼロとなる。他の軸の加速度に
対してはｄ定数がゼロである。また、回路Ｂを使用した
場合、面内の角加速度（Ｘ軸まわり）に対しては二つの
電荷（又は電位）が同一振幅で逆位相であるため、加算
検出で相殺してゼロになる。Ｙ軸方向への並進加速度に
対しては二つの電位が同一振幅で同位相であるので、加
算検出でＹ軸の並進加速度を検出可能である。他の軸の
加速度に対してはｄ定数がゼロである。また、回路Ｃの
構成では面内角加速度（Ｘ軸まわり）とＹ軸方向への並
進加速度を分離して両方検出可能となる。以上より、回
転中心に加速度センサを配置した場合、回路Ａ〜Ｃの構
成により、面内角加速度のみを検出、もしくはＹ軸方向
の並進加速度のみを検出、又は角加速度（Ｘ軸まわり）
とＹ軸方向の並進加速度を同時に分離して検出する加速
度センサを実現できる。

【００５２】次に、第二実施形態による加速度センサを
回転中心以外に配置した場合について述べる。この場合
の検出可能な加速度と回路Ａ〜Ｃとの関係を図１２
（Ｂ）に示す。回路Ａを使用した場合、面内の角加速度
（Ｘ軸まわり）に対しては二つの電位の振幅が異なり同
位相であるので、面内角加速を検出可能である。Ｙ軸方
向への並進加速度に対しては二つの電位が同一振幅で同
位相であるので、差動検出で相殺してゼロとなる。他の
軸の加速度に対してはｄ定数がゼロである。また、回路
Ｂを使用した場合、面内の角加速度（Ｘ軸まわり）に対
しては異なる振幅で同位相であるため、加算検出で検出
可能である。Ｙ軸方向への並進加速度に対しては二つの
電位が同一振幅で同位相であるので、加算検出でＹ軸の
並進加速度を検出可能である。他の軸の加速度に対して
はｄ定数がゼロである。また、回路Ｃの構成では面内角
加速度（Ｘ軸まわり）とＹ軸方向への並進加速度を同時
に検出可能となる。以上より、回転中心以外に加速度セ
ンサを配置した場合、回路Ａ〜Ｃの構成により、面内角
加速度のみを検出、もしくは面内角加速度とＹ軸方向の
並進加速度を同時に検出する加速度センサを実現でき
る。

【００５３】以上説明したように、本発明の第二実施形
態による加速度センサによれば、角加速度と並進加速度
を分離して検出もしくは同時に検出することが可能とな
る。

【００５４】なお、θ＝９０°の条件は厳密にカット角
θが９０°であることを要求しているのではなく、加速
度センサの製造時の誤差などでθ＝９０°とならない場
合も含むものである。更に言えば、このカット角は図１
２の動作が得られる範囲内であって、かつ、所望の加速
度検出精度を満足する範囲内において、９０°近傍の値
であってもよい。

【００５５】（第三実施形態）本発明の第三実施形態に
よる加速度センサを図１３に示す。なお、図中、前述し
た構成要素と同一のものには同一の参照番号を付してあ
る。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は図１と同様である。第三実施
形態の振動子５０は圧電単結晶で形成されている。そし
て、振動子５０の分極軸がθ＝３１°（θ＝０°はＺ軸
方向）である。θ＝３１°のとき、定数ｄ１６はゼロで
あり、ｄ１６／ｄ１５もゼロとなる。振動子５０は錘１
２の重心位置に配置され、図２（Ａ）、（Ｂ）に示すよ
うに二分割されている。

【００５６】図１４は、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ
_３：以下、ＬＮと略記する）の圧電定数の一例を示す。
振動子５０を錘１２の重心位置に配置するとともに二分
割構成とし、かつ分極軸をθ＝３１°又はこの近傍の方
向とすることにより、一つの加速度センサで角加速度
（回転加速度）と並進加速度を検出する加速度センサを
実現できる。以下、加速度の検出原理について説明す
る。

【００５７】面内の回転振動が加速度センサに印加さ
れ、かつ、回転中心に加速度センサを配置した場合、図
１５（Ａ）に示すように、振動子５０には振幅の値が同
一の逆位相の電位が発生する。

【００５８】面内振動の回転振動が加速度センサに印加
され、かつ、回転中心以外に加速度センサを配置した場
合、図１５（Ｂ）に示すように、振動子５０には振幅の
値が異なる同位相の電位が発生する。

【００５９】面垂直方向の回転振動が加わった場合、図
１６（Ａ）に示すように、厚み方向の圧電定数ｄ１１が
ゼロであるので、振動子５０には電位が発生しない。

【００６０】Ｚ軸方向へ並進加速度が印加された場合、
図１６（Ｂ）に示すように、振動子５０には振幅の値が
同一の同位相の電位が発生する。

【００６１】Ｘ軸、Ｙ軸方向の並進加速度が印加された
場合、図１６（Ｃ）に示すように、分極軸と直交する成
分ｄ１６と厚み方向の成分ｄ１１はゼロであるので、振
動子５０には電位が発生しない。

【００６２】このような加速度センサは、前述した図７
（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）に示す検出回路に接続され
る。

【００６３】第三実施形態による加速度センサを回転中
心に配置した場合について述べる。この場合の検出可能
な加速度と回路Ａ〜Ｃとの関係を図１７（Ａ）に示す。
図７（Ａ）に示す回路Ａを使用した場合、面内の角加速
度（Ｘ軸まわり）に対しては二つの電位が逆位相である
ので、面内角加速度を検出可能である。Ｚ軸方向への並
進加速度に対しては二つの電位が同一振幅で同位相であ
るので、差動検出で相殺してゼロとなる。他の軸の加速
度に対してはｄ定数がゼロである。また、回路Ｂを使用
した場合、面内の角加速度（Ｘ軸まわり）に対しては二
つの電荷（又は電位）が同一振幅で逆位相であるため、
加算検出で相殺してゼロになる。Ｚ軸方向への並進加速
度に対しては二つの電位が同一振幅で同位相であるの
で、加算検出でＺ軸の並進加速度を検出可能である。他
の軸の加速度に対してはｄ定数がゼロである。また、回
路Ｃの構成では面内角加速度（Ｘ軸まわり）とＺ軸方向
への並進加速度を分離して両方検出可能となる。以上よ
り、回転中心に加速度センサを配置した場合、回路Ａ〜
Ｃの構成により、面内角加速度のみを検出、もしくはＺ
軸方向の並進加速度のみを検出、又は角加速度（Ｘ軸ま
わり）とＺ軸方向の並進加速度を同時に分離して検出す
る加速度センサを実現できる。

【００６４】次に、第三実施形態による加速度センサを
回転中心以外に配置した場合について述べる。この場合
の検出可能な加速度と回路Ａ〜Ｃとの関係を図１７
（Ｂ）に示す。回路Ａを使用した場合、面内の角加速度
（Ｘ軸まわり）に対しては二つの電位の振幅が異なり同
位相であるので、面内角加速を検出可能である。Ｚ軸方
向への並進加速度に対しては二つの電位が同一振幅で同
位相であるので、差動検出で相殺してゼロとなる。他の
軸の加速度に対してはｄ定数がゼロである。また、回路
Ｂを使用した場合、面内の角加速度（Ｘ軸まわり）に対
しては異なる振幅で同位相であるため、加算検出で検出
可能である。Ｚ軸方向への並進加速度に対しては二つの
電位が同一振幅で同位相であるので、加算検出でＺ軸の
並進加速度を検出可能である。他の軸の加速度に対して
はｄ定数がゼロである。また、回路Ｃの構成では面内角
加速度（Ｘ軸まわり）とＺ軸方向への並進加速度を同時
に検出可能となる。以上より、回転中心以外に加速度セ
ンサを配置した場合、回路Ａ〜Ｃの構成により、面内角
加速度のみを検出、もしくは面内角加速度とＺ軸方向の
並進加速度を同時に検出する加速度センサを実現でき
る。

【００６５】なお、振動子５０はＬＮ以外の圧電単結
晶、例えばＫＮｂＯ_３やＬｉＴａＯ_３を用いてもよい。

【００６６】以上説明したように、本発明の第三実施形
態による加速度センサによれば、角加速度と並進加速度
を分離して検出もしくは同時に検出することが可能とな
る。

【００６７】なお、θ＝３１°の条件は厳密にカット角
θが３１°であることを要求しているのではなく、加速
度センサの製造時の誤差などでθ＝３１°とならない場
合も含むものである。更に言えば、このカット角は図１
７の動作が得られる範囲内であって、かつ、所望の加速
度検出精度を満足する範囲内において、３１°近傍の値
であってもよい。

【００６８】（第四実施形態）本発明の第四実施形態に
よる加速度センサを図１８に示す。なお、図中、前述し
た構成要素と同一のものには同一の参照番号を付してあ
る。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は図１と同様である。第三実施
形態の振動子６０は圧電単結晶で形成されている。そし
て、振動子６０の分極軸がθ＝１２１°（θ＝０°はＺ
軸方向）又はこの付近の角度を持つ。θ＝１２１°のと
き、定数ｄ１５はゼロである。振動子６０は錘１２の重
心位置に配置され、図２（Ａ）、（Ｂ）に示すように二
分割されている。

【００６９】図１９は、ＬｉＮｂＯ_３（ＬＮ）の圧電定
数の一例を示す（グラフそのものは図１４と同じ）。振
動子６０を錘の重心位置に配置するとともに二分割し、
かつ分極軸をθ＝１２１°又はこの近傍の値とすること
により、一つのセンサで角加速度（回転加速度）と並進
加速度を検出する加速度センサを実現できる。以下、加
速度の検出原理について説明する。

【００７０】面内の回転振動が加速度センサに印加さ
れ、かつ、回転中心に加速度センサを配置した場合、図
２０（Ａ）に示すように、振動子６０には振幅の値が同
一の逆位相の電位が発生する。

【００７１】面内振動の回転振動が加速度センサに印加
され、かつ、回転中心以外に加速度センサを配置した場
合、図２０（Ｂ）に示すように、振動子６０には振幅の
値が異なる同位相の電位が発生する。

【００７２】面垂直方向の回転振動が加わった場合、図
２１（Ａ）に示すように、厚み方向の圧電定数ｄ１１が
ゼロであるので、振動子６０には電位が発生しない。

【００７３】Ｙ軸方向へ並進加速度が印加された場合、
図２１（Ｂ）に示すように、振動子６０には振幅の値が
同一の同位相の電位が発生する。

【００７４】Ｘ軸、Ｚ軸方向の並進加速度が印加された
場合、図２１（Ｃ）に示すように、分極軸と直交する成
分ｄ１５と厚み方向の成分ｄ１１はゼロなので、振動子
６０には電位が発生しない。

【００７５】このような加速度センサは、前述した図７
（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）に示す検出回路に接続され
る。

【００７６】第四実施形態による加速度センサを回転中
心に配置した場合について述べる。この場合の検出可能
な加速度と回路Ａ〜Ｃとの関係を図２２（Ａ）に示す。
回路Ａを使用した場合、面内の角加速度（Ｘ軸まわり）
に対しては二つの電位が逆位相であるので、面内角加速
を検出可能である。Ｙ軸方向への並進加速度に対しては
二つの電位が同一振幅で同位相であるので、差動検出で
相殺してゼロとなる。他の軸の加速度に対してはｄ定数
がゼロである。また、回路Ｂを使用した場合、面内の角
加速度（Ｘ軸まわり）に対しては二つの電荷（又は電
位）が同一振幅で逆位相であるため、加算検出で相殺し
てゼロになる。Ｙ軸方向への並進加速度に対しては二つ
の電位が同一振幅で同位相であるので、加算検出でＹ軸
の並進加速度を検出可能である。他の軸の加速度に対し
てはｄ定数がゼロである。また、回路Ｃの構成では面内
角加速度（Ｘ軸まわり）とＹ軸方向への並進加速度を分
離して両方検出可能となる。以上より、回転中心にセン
サを配置した場合、回路Ａ〜Ｃの構成により、面内角加
速度のみを検出、もしくはＹ軸方向の並進加速度のみを
検出、又は角加速度（Ｘ軸まわり）とＹ軸方向の並進加
速度を同時に分離して検出する加速度センサを実現でき
る。

【００７７】次に、第四実施形態による加速度センサを
回転中心以外に配置した場合について述べる。この場合
の検出可能な加速度と回路Ａ〜Ｃとの関係を図２２
（Ｂ）に示す。回路Ａを使用した場合、面内の角加速度
（Ｘ軸まわり）に対しては二つの電位の振幅が異なり同
位相であるので、面内角加速を検出可能である。Ｙ軸方
向への並進加速度に対しては二つの電位が同一振幅で同
位相であるので、差動検出で相殺してゼロとなる。他の
軸の加速度に対してはｄ定数がゼロである。また、回路
Ｂを使用した場合、面内の角加速度（Ｘ軸まわり）に対
しては異なる振幅で同位相であるため、加算検出で検出
可能である。Ｙ軸方向への並進加速度に対しては二つの
電位が同一振幅で同位相であるので、加算検出でＹ軸の
並進加速度を検出可能である。他の軸の加速度に対して
はｄ定数がゼロである。また、回路Ｃの構成では面内角
加速度（Ｘ軸まわり）とＹ軸方向への並進加速度を同時
に検出可能となる。以上より、回転中心以外にセンサを
配置した場合、回路Ａ〜Ｃの構成により、面内角加速度
のみを検出、もしくは面内角加速度とＹ軸方向の並進加
速度を同時に検出する加速度センサを実現できる。

【００７８】なお、振動子６０はＬＮ以外の圧電単結
晶、例えばＫＮｂＯ_３やＬｉＴａＯ_３を用いてもよい。

【００７９】以上説明したように、本発明の第四実施形
態による加速度センサによれば、角加速度と回転加速度
を分離して検出もしくは同時に検出することが可能とな
る。なお、θ＝１２１°の条件は厳密にカット角θが１
２１°であることを要求しているのではなく、加速度セ
ンサの製造時の誤差などでθ＝１２１°とならない場合
も含むものである。更に言えば、このカット角は図２２
の動作が得られる範囲内であって、かつ、所望の加速度
検出精度を満足する範囲内において、１２１°近傍の値
であってもよい。

【００８０】（第五実施形態）本発明の第五実施形態を
図２３及び図２４に示す。図２３は、錘１２に振動子１
０を搭載する位置決め機構を示す。図２４は、加速度セ
ンサが取り付けられる基板に振動子１０を搭載する位置
決め機構を示す。

【００８１】図２３（Ａ）に示す位置決め機構は、錘１
２に４つのＬ字状ブロック７２ａ、７２ｂ、７２ｃ及び
７２ｄを有する。これらのブロックは、振動子１０を収
容する空間７６を形成する。空間７６の縦、横の長さは
振動子１０の縦、横長さに等しいか若干大きい。図２３
（Ｂ）に示す位置決め機構は、錘１２に４つの直方体ブ
ロック７４ａ、７４ｂ、７４ｃ及び７４ｄを有する。こ
れらのブロックは、振動子１０を収容する空間７８を形
成する。空間７８の縦、横の長さは振動子１０の縦、横
長さに等しいか若干大きい。このような位置決め機構に
よる簡易な実装により、感度ばらつきを抑えることがで
きる。

【００８２】図２４（Ａ）に示す位置決め機構は、基板
８０に４つのＬ字状ブロック８２ａ、８２ｂ、８２ｃ及
び８４ｄを有する。これらのブロックは、振動子１０を
収容する空間８６を形成する。空間８６の縦、横の長さ
は振動子１０の縦、横長さに等しいか若干大きい。図２
４（Ｂ）に示す位置決め機構は、基板８０に４つの直方
体ブロック８４ａ、８４ｂ、８４ｃ及び８４ｄを有す
る。これらのブロックは、振動子１０を収容する空間８
８を形成する。空間８８の縦、横の長さは振動子１０の
縦、横長さに等しいか若干大きい。このような位置決め
機構による簡易な実装により、感度ばらつきを抑えるこ
とができる。錘１２を支持する振動子１０が基板８０に
取り付けられた構成は、本発明の加速度センサの一態様
である。

【００８３】なお、図示を省略してあるが、基板８０上
には検出電極１４と１６又はグランド電極２０の引き出
し電極パターンを形成してもよい。同様に、錘１２にも
引き出し電極パターンを形成してもよい。振動子１０以
外の他の振動子も同様に、上記位置決め機構を用いて容
易に位置決めすることができる。

【００８４】以上、本発明の実施形態を説明した、各実
施形態とも、振動子の構造と錘の搭載位置と検出方法に
よる簡便な方法で一つのセンサで角加速度と並進加速度
を検知する加速度センサを実現している。

【００８５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
簡単な構成で角加速度や並進加速度などの異なる加速度
を容易に検知できる加速度センサを提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施形態による加速度センサを示
す図であって、（Ａ）は加速度センサの斜視図、（Ｂ）
は加速度センサに用いられている振動子の斜視図であ
る。

【図２】図１（Ｂ）のＩＩ−ＩＩ線断面図であって、
（Ａ）は振動子の一構成例を示し、（Ｂ）は別の構成例
を示す。

【図３】圧電セラミックスの定数例を示す図である。

【図４】圧電セラミックスの定数例を示す図であって、
（Ａ）は図２（Ａ）の構成における定数例を示し、
（Ｂ）は図２（Ｂ）の構成における定数例を示す。

【図５】本発明の第一実施形態による加速度検出原理
（その１）を示す図である。

【図６】本発明の第一実施形態による加速度検出原理
（その２）を示す図である。

【図７】本発明の各実施形態で使用可能な検出回路の構
成例を示す図である。

【図８】本発明の第一実施形態における検出回路と検出
加速度との関係を示す図であって、（Ａ）は回転中心に
加速度センサを配置した場合を示し、（Ｂ）は回転中心
以外に加速度センサを配置した場合を示す。

【図９】本発明の第二実施形態による加速度センサを示
す図であって、（Ａ）は加速度センサの斜視図、（Ｂ）
は加速度センサに用いられている振動子の斜視図であ
る。

【図１０】本発明の第二実施形態による加速度検出原理
（その１）を示す図である。

【図１１】本発明の第二実施形態による加速度検出原理
（その２）を示す図である。

【図１２】本発明の第二実施形態における検出回路と検
出加速度との関係を示す図であって、（Ａ）は回転中心
に加速度センサを配置した場合を示し、（Ｂ）は回転中
心以外に加速度センサを配置した場合を示す。

【図１３】本発明の第三実施形態による加速度センサを
示す図であって、（Ａ）は加速度センサの斜視図、
（Ｂ）は加速度センサに用いられている振動子の斜視図
である。

【図１４】本発明の第三実施形態で用いられる圧電単結
晶の定数例を示す図である。

【図１５】本発明の第三実施形態による加速度検出原理
（その１）を示す図である。

【図１６】本発明の第三実施形態による加速度検出原理
（その２）を示す図である。

【図１７】本発明の第三実施形態における検出回路と検
出加速度との関係を示す図であって、（Ａ）は回転中心
に加速度センサを配置した場合を示し、（Ｂ）は回転中
心以外に加速度センサを配置した場合を示す。

【図１８】本発明の第四実施形態による加速度センサを
示す図であって、（Ａ）は加速度センサの斜視図、
（Ｂ）は加速度センサに用いられている振動子の斜視図
である。

【図１９】本発明の第四実施形態で用いられる圧電単結
晶の定数例を示す図である。

【図２０】本発明の第四実施形態による加速度検出原理
（その１）を示す図である。

【図２１】本発明の第四実施形態による加速度検出原理
（その２）を示す図である。

【図２２】本発明の第四実施形態における検出回路と検
出加速度との関係を示す図であって、（Ａ）は回転中心
に加速度センサを配置した場合を示し、（Ｂ）は回転中
心以外に加速度センサを配置した場合を示す。

【図２３】本発明の第五実施形態で用いられる位置決め
機構を具備した錘の構成例を示す斜視図である。

【図２４】本発明の第五実施形態で用いられる位置決め
機構を具備した基板の構成例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１０振動子１２錘１４，１６検出電極１８分割溝２０グランド電極２２、２４分割溝２６差動回路２８加算回路３０、３２増幅器４０、５０、６０振動子７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、７２ｄＬ字状ブロック７４ａ、７４ｂ、７４ｃ、７４ｄ直方体ブロック７６、７８空間８０基板８２ａ、８２ｂ、８２ｃ、８２ｄＬ字状ブロック８４ａ、８４ｂ、８４ｃ、８４ｄ直方体ブロック８６空間

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者加藤隆志長野県須坂市大字小山460番地富士通メディアデバイス株式会社内 (72)発明者石川寛神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】錘と、その重心位置で該錘を支持するよ
うに設けられた振動子とを有することを特徴とする加速
度センサ。
【請求項２】前記加速度センサは、前記振動子の一面
に設けられ、該一面を二分割するように配置された二つ
の検出電極を含むことを特徴とする請求項１記載の加速
度センサ。
【請求項３】前記加速度センサは、前記振動子の一面
に設けられ、該一面を前記錘の長手方向に二分割するよ
うに配置された二つの検出電極を含むことを特徴とする
請求項１記載の加速度センサ。
【請求項４】前記加速度センサは、前記振動子の一面
に設けられ、該一面を前記錘の長手方向に二分割するよ
うに配置された二つの検出電極を有し、前記振動子は該
二つの検出電極の間に形成された溝を有することを特徴
とする請求項１記載の加速度センサ。
【請求項５】前記振動子は、前記錘の長手方向に直交
する方向に分極軸を有することを特徴とする請求項１か
ら４のいずれか一項記載の加速度センサ。
【請求項６】前記振動子は、前記錘の長手方向に分極
軸を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか
一項記載の加速度センサ。
【請求項７】前記振動子は圧電セラミックスで形成さ
れ、該圧電セラミックスは前記錘の長手方向の圧電定数
がゼロとなり且つ厚み方向の圧電定数がゼロとなるカッ
ト角を有することを特徴とする請求項１記載の加速度セ
ンサ。
【請求項８】前記振動子は圧電セラミックスで形成さ
れ、該圧電セラミックスは前記錘の長手方向に直交する
方向の圧電定数がゼロとなり且つ厚み方向の圧電定数が
ゼロとなるカット角を有することを特徴とする請求項１
記載の加速度センサ。
【請求項９】前記振動子は圧電単結晶で形成され、該
圧電単結晶は前記錘の長手方向の圧電定数がゼロとなり
且つ厚み方向の圧電定数がゼロとなるカット角を有する
ことを特徴とする請求項１記載の加速度センサ。
【請求項１０】前記振動子は圧電単結晶で形成され、
該圧電単結晶は前記錘の長手方向に直交する方向の圧電
定数がゼロとなり且つ厚み方向の圧電定数がゼロとなる
カット角を有することを特徴とする請求項１記載の加速
度センサ。
【請求項１１】前記加速度センサは更に、前記振動子
の一面を錘の長手方向に二分割した各領域で発生した出
力を加算する回路を有することを特徴とする請求項１記
載の加速度センサ。
【請求項１２】前記加速度センサは更に、前記振動子
の一面を錘の長手方向に二分割した各領域で発生した出
力の差分を出力する回路を有することを特徴とする請求
項１記載の加速度センサ。
【請求項１３】前記加速度センサは更に、前記振動子
の一面を錘の長手方向に二分割した各領域で発生した出
力を加算する第一の回路と、該出力の差分を出力する第
二の回路とを有することを特徴とする請求項１記載の加
速度センサ。
【請求項１４】前記加速度センサは更に、前記振動子
の一面を錘の長手方向に二分割した各領域で発生した出
力を処理して角加速度と並進加速度にそれぞれ対応した
複数の検出信号を出力する回路を有することを特徴とす
る請求項１記載の加速度センサ。
【請求項１５】前記加速度センサは更に、前記錘に設
けられた位置決め機構を有し、該位置決め機構は前記振
動子を収容する空間を形成することを特徴とする請求項
１から１４のいずれか一項記載の加速度センサ。
【請求項１６】前記加速度センサは更に、前記振動子
を支持する基板を有することを特徴とする請求項１から
１５のいずれか一項記載の加速度センサ。
【請求項１７】前記振動子は滑り振動子であることを
特徴とする請求項１から１６のいずれか一項記載の加速
度センサ。