JPS6071909A - ジヤイロ - Google Patents
ジヤイロInfo
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- JPS6071909A JPS6071909A JP58179333A JP17933383A JPS6071909A JP S6071909 A JPS6071909 A JP S6071909A JP 58179333 A JP58179333 A JP 58179333A JP 17933383 A JP17933383 A JP 17933383A JP S6071909 A JPS6071909 A JP S6071909A
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- JP
- Japan
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- stress
- weight
- pedestal
- piezoelectric
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/0888—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values for indicating angular acceleration
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）技術分野
本発明は角速度を高い分解能で確実に検出することがで
きるジャイロに関する。
きるジャイロに関する。
（ロ）従来技術
従来移動一体の角速度を検出するジャイロが種々知られ
ているが、最近たとえば日本航空宇宙学会誌第３０巻第
３３６号に記載されているように回転部分がなくて構造
が簡単且つ信頼性の高い振動ジャイロが開発されている
。第１図は振動ジャイｐの動作原理を示しており、１は
低膨張係数の金属柱でその側面に駆動用圧電素子２と検
出用圧電素子３とが張り付けてあり、１次振動モードが
発生するように支点４，５で支持されている。圧電素子
２を発振器６で駆動し金属柱１をＸ２面内で振動させて
おく。このときｚｆｉｌｌＩまわりに角速度Ωが入力さ
れると、金属柱ｌの振動部分にコリオリの力が働いて、
Ｙｚ面内の振動が生じ、圧電素子３により検出される。
ているが、最近たとえば日本航空宇宙学会誌第３０巻第
３３６号に記載されているように回転部分がなくて構造
が簡単且つ信頼性の高い振動ジャイロが開発されている
。第１図は振動ジャイｐの動作原理を示しており、１は
低膨張係数の金属柱でその側面に駆動用圧電素子２と検
出用圧電素子３とが張り付けてあり、１次振動モードが
発生するように支点４，５で支持されている。圧電素子
２を発振器６で駆動し金属柱１をＸ２面内で振動させて
おく。このときｚｆｉｌｌＩまわりに角速度Ωが入力さ
れると、金属柱ｌの振動部分にコリオリの力が働いて、
Ｙｚ面内の振動が生じ、圧電素子３により検出される。
圧電素子３の出力はアンプ７で増幅され、位相検波器８
において発振器６の出力で位相検波され、角速度に応じ
た出力Ｐを得ることができる。角速度Ωの方向はこの出
力Ｐの位相でわかり、大きさはその出力Ｐの大きさで判
断できる０ この振動ジャイロは振動体である金属柱をその振動の節
で支持して自由に振動させるため振動体に角速度が伝わ
りに＜＜、分解能が低く且つ支持構造が衝撃などに弱い
という問題があった。
において発振器６の出力で位相検波され、角速度に応じ
た出力Ｐを得ることができる。角速度Ωの方向はこの出
力Ｐの位相でわかり、大きさはその出力Ｐの大きさで判
断できる０ この振動ジャイロは振動体である金属柱をその振動の節
で支持して自由に振動させるため振動体に角速度が伝わ
りに＜＜、分解能が低く且つ支持構造が衝撃などに弱い
という問題があった。
（ハ）発明の目的および構造
本発明は上記の点にかんがみてなされた本ので、角速度
を高−分解能で確実に検出することを目的とし、そのた
めに、■軸対称のウェイトと円周方向のせん断応力に対
して感度を有する応力変換素子とを台座に同軸的に固定
し、応力変換素子がウェイトから受ける応力を角速度信
号として出力するように構成したものである。
を高−分解能で確実に検出することを目的とし、そのた
めに、■軸対称のウェイトと円周方向のせん断応力に対
して感度を有する応力変換素子とを台座に同軸的に固定
し、応力変換素子がウェイトから受ける応力を角速度信
号として出力するように構成したものである。
また、上記目的を達成するために、■軸対称のウェイト
と対称軸方向の応力に対して感度を有する応力変換素子
とを応力変換素子の対称軸方向の感度の方向および大き
さを打消すように台座に固定したものである。
と対称軸方向の応力に対して感度を有する応力変換素子
とを応力変換素子の対称軸方向の感度の方向および大き
さを打消すように台座に固定したものである。
に）実施例
以下本発明を図面に基づいて説明する。
第２図は本発明によるジャイロの一実施例を示しており
、軸対称に作ったウェイ）１０の一ヒ下に同軸で且つ軸
対称にドーナツ状の圧■素子１１と１２とをワッシャ１
３を介してボルト１４で台座１５に固定する。ボルト１
４は上記構造部品が同軸上に並ぶようにチューブ１６に
通しである。ウェイトｌＯにはリード線１７が接続され
、台座１５との間の出力がアンプ１８で増幅され積分器
１９を通して取出される。なお、各部品を組立てるのに
ボルトを用いずに接着剤を用いれば、各部品の間のせん
断力が再現性よく現われるので出力が安定する。
、軸対称に作ったウェイ）１０の一ヒ下に同軸で且つ軸
対称にドーナツ状の圧■素子１１と１２とをワッシャ１
３を介してボルト１４で台座１５に固定する。ボルト１
４は上記構造部品が同軸上に並ぶようにチューブ１６に
通しである。ウェイトｌＯにはリード線１７が接続され
、台座１５との間の出力がアンプ１８で増幅され積分器
１９を通して取出される。なお、各部品を組立てるのに
ボルトを用いずに接着剤を用いれば、各部品の間のせん
断力が再現性よく現われるので出力が安定する。
第３図は第２図のジャイロを分解してその一部を示して
おり、圧電素子１１ 、１２Ｆｉ円周方向に分極されて
おり、上下の圧電素子ＩＩ、１２とも分極方向を同方向
に揃えている。圧電素子１１および１２の上下両面には
それぞれ銀電極２０および２１が焼付けられている。
おり、圧電素子１１ 、１２Ｆｉ円周方向に分極されて
おり、上下の圧電素子ＩＩ、１２とも分極方向を同方向
に揃えている。圧電素子１１および１２の上下両面には
それぞれ銀電極２０および２１が焼付けられている。
このジャイロに対して第２図のようにＸ、Ｙ。
Ｚ軸を定めると、その軸まわりに角速度ΩＸ。
Ω７．Ω２が加わると、これらの運動に対する動作は第
４図に示すようになる。圧電素子は一般に力に対して電
荷を発生するが、定常的な力に対しては発生した電荷が
漏れてしまうため力の変化つまり加速度または角加速度
の測定には好都合である。そこで第４図は様々な加速度
、角加速度に対する効果を示している。
４図に示すようになる。圧電素子は一般に力に対して電
荷を発生するが、定常的な力に対しては発生した電荷が
漏れてしまうため力の変化つまり加速度または角加速度
の測定には好都合である。そこで第４図は様々な加速度
、角加速度に対する効果を示している。
２ ｚ
第４図（ａ）は台座１５に２方向の加速度ｄｔ２が加わ
った場合で、この場合はウェイト１０け慣性を持つため
、２の反対方向に力が働き上の圧電素子１１には伸張力
が働き下の圧電素子１２には圧縮力が働く。両圧電素子
１１．１２の分極方向は一致しているため圧電素子１１
．１２で発生する電荷はウェイト１０に対して同方向に
なりリード線１７を介して出力端子Ｆには両者の圧電素
子１１．１２で発生する電荷の和が得られる。この様子
な第４図の（３）に示す。ところが、このときの圧電効
果は、分極方向に垂直な力を加え、力の方向に電荷を取
り出すためｄ１１効果である。ｄｔｔ効果はＰＺＴなど
の圧電セラミクスでｄ”Ｚ は小さいので２方向に加速度下が加わっても出力端子Ｆ
に現われる出力は無視できるほど小さい。
った場合で、この場合はウェイト１０け慣性を持つため
、２の反対方向に力が働き上の圧電素子１１には伸張力
が働き下の圧電素子１２には圧縮力が働く。両圧電素子
１１．１２の分極方向は一致しているため圧電素子１１
．１２で発生する電荷はウェイト１０に対して同方向に
なりリード線１７を介して出力端子Ｆには両者の圧電素
子１１．１２で発生する電荷の和が得られる。この様子
な第４図の（３）に示す。ところが、このときの圧電効
果は、分極方向に垂直な力を加え、力の方向に電荷を取
り出すためｄ１１効果である。ｄｔｔ効果はＰＺＴなど
の圧電セラミクスでｄ”Ｚ は小さいので２方向に加速度下が加わっても出力端子Ｆ
に現われる出力は無視できるほど小さい。
次に第４図（ｂ）は台座１５の２軸のまわりに角加速度
血が加わった場合で、ウェイト１０は反対方ｔ 向の慣性力を圧電素子１１．１２に与える。圧電素子１
１と圧電素子１２には、ウェイト１０に対して逆方向の
せん断力が働き、ウェイト１０に対して同方向の電荷が
発生し、リード線１７で出力端子Ｆに取出すことができ
る。このときの圧電効果は分極方向に平行にせん断力が
働き、せん断力が働く面で電荷を取り出すためｄ１１効
果である。ｄｌ１１効果は□値が太き―とともに温度変
化があったとき圧電素子で電荷が発生するというパイロ
効果がないため、温度変化による出力変動が少なく違い
力変化を検知するのに有効である。従って２軸のまわり
の角加速度の感度よくかつ非常にゆっくりした変化も検
出できる。またウェイト１０は周囲の重さを大きくしで
あるため角加速度に対する回転モーメントが大きくなる
ので感度はさらに大きくなる。
血が加わった場合で、ウェイト１０は反対方ｔ 向の慣性力を圧電素子１１．１２に与える。圧電素子１
１と圧電素子１２には、ウェイト１０に対して逆方向の
せん断力が働き、ウェイト１０に対して同方向の電荷が
発生し、リード線１７で出力端子Ｆに取出すことができ
る。このときの圧電効果は分極方向に平行にせん断力が
働き、せん断力が働く面で電荷を取り出すためｄ１１効
果である。ｄｌ１１効果は□値が太き―とともに温度変
化があったとき圧電素子で電荷が発生するというパイロ
効果がないため、温度変化による出力変動が少なく違い
力変化を検知するのに有効である。従って２軸のまわり
の角加速度の感度よくかつ非常にゆっくりした変化も検
出できる。またウェイト１０は周囲の重さを大きくしで
あるため角加速度に対する回転モーメントが大きくなる
ので感度はさらに大きくなる。
け圧電素子１１．１２にその接する面に対して加速度の
反対方向に力を与え、圧電素子１１゜１２にはせん断力
が加わる。このとき圧電効果は圧電素子上の場所によっ
て異なり、図のＡ。
反対方向に力を与え、圧電素子１１゜１２にはせん断力
が加わる。このとき圧電効果は圧電素子上の場所によっ
て異なり、図のＡ。
Ａ′の場所では分極方向に垂直にせん断力が働き、せん
断力が餉く面で電荷を取り出すためｄｌｌｌ効果である
。ｄ１６効果もＰＺＴなどの圧電セラミクスでは小さい
。また図示したように、Ａ、Ａ′の場所では発生する電
荷の方向が逆なため、出力としては現われない。またＢ
の場所では２軸のまわりの角加速度と同様にｄｌＢ効果
であるが、Ｂ′と逆方向の出力のため打消し合い出力と
しては現われない。
断力が餉く面で電荷を取り出すためｄｌｌｌ効果である
。ｄ１６効果もＰＺＴなどの圧電セラミクスでは小さい
。また図示したように、Ａ、Ａ′の場所では発生する電
荷の方向が逆なため、出力としては現われない。またＢ
の場所では２軸のまわりの角加速度と同様にｄｌＢ効果
であるが、Ｂ′と逆方向の出力のため打消し合い出力と
しては現われない。
次に、第４図（ｄ）は台座１５にＸ、Ｙ軸のまわりの角
加速度匝医、土が加わった場合で、図１ ｄｌ 示したように圧電素子１１．１２には場所によって圧縮
力と伸張力が加わる。圧電効果は２方向の加速度の場合
と同じでｄｌｌ効果なので小さく、また場所によって力
の方向が反転するので打消し台い出力端子Ｆには出力は
でない。
加速度匝医、土が加わった場合で、図１ ｄｌ 示したように圧電素子１１．１２には場所によって圧縮
力と伸張力が加わる。圧電効果は２方向の加速度の場合
と同じでｄｌｌ効果なので小さく、また場所によって力
の方向が反転するので打消し台い出力端子Ｆには出力は
でない。
以上のように、このジャイロでは２方向の加速度（第４
図（ａ）の場合）と２軸のまわりの加速度（第４図（ｂ
）の場合）に対して出力がでるが、２方向の加速度に対
する感度は小さいので無視でき、従ってほとんどＺ軸の
まわりの角加速度に対する感度だけになる。そして角加
速度ｄｉ）ｚ１ の方向と大きさは、それぞれ出力の極性と大きさで判断
できる。なお、分極方向をすべて逆にすれば、逆方向の
出力が得られるのは自明である。
図（ａ）の場合）と２軸のまわりの加速度（第４図（ｂ
）の場合）に対して出力がでるが、２方向の加速度に対
する感度は小さいので無視でき、従ってほとんどＺ軸の
まわりの角加速度に対する感度だけになる。そして角加
速度ｄｉ）ｚ１ の方向と大きさは、それぞれ出力の極性と大きさで判断
できる。なお、分極方向をすべて逆にすれば、逆方向の
出力が得られるのは自明である。
第５図は本発明によるジャイロの他の実施例の要部を示
している。第４図で説明したように、圧電素子１１．１
２のいずれか一方の出力でも十分検出できるので、圧電
素子を１つにしたものである。ただしウェイト１０分共
通電極とするため、ウェイト１０と台座１５との絶縁の
ために絶縁ワッシャ２２を入れる必要がある。この実施
例によれば、圧電素子の数を半分にでき製造上、コスト
上有利であり、コンバタ）化モ可能である。
している。第４図で説明したように、圧電素子１１．１
２のいずれか一方の出力でも十分検出できるので、圧電
素子を１つにしたものである。ただしウェイト１０分共
通電極とするため、ウェイト１０と台座１５との絶縁の
ために絶縁ワッシャ２２を入れる必要がある。この実施
例によれば、圧電素子の数を半分にでき製造上、コスト
上有利であり、コンバタ）化モ可能である。
第６図は本発明によるジャイｐの第３の実施例を示す。
この実施例では圧電素子１１はそのままとして、絶縁ワ
ッシャ２２を介してウェイト１０の下方に圧電素子２３
を入れる。この圧電素子２３は２方向の上下両面に錫電
極２３ａがつけられ、２方向に分極されている。このた
め圧電効果ｄＳＳによって２方向の加速度に対してのみ
感度を持たせることができ、リード線２４で出力を取り
出すことができる。圧電素子２３はさらに他の分極方法
によりｘ、ｙ方向への加速度を検知するようにもできる
。従って、この実施例によれば、１つのウェイトで多次
元加速度計が実現できる。
ッシャ２２を介してウェイト１０の下方に圧電素子２３
を入れる。この圧電素子２３は２方向の上下両面に錫電
極２３ａがつけられ、２方向に分極されている。このた
め圧電効果ｄＳＳによって２方向の加速度に対してのみ
感度を持たせることができ、リード線２４で出力を取り
出すことができる。圧電素子２３はさらに他の分極方法
によりｘ、ｙ方向への加速度を検知するようにもできる
。従って、この実施例によれば、１つのウェイトで多次
元加速度計が実現できる。
第７図は本発明によるシャイｐのざらに他の実施例で、
ジャイｏＢ構成する圧電素子１１゜２３およびウェイト
１０などの部品は第６図に示した実施例と同じである。
ジャイｏＢ構成する圧電素子１１゜２３およびウェイト
１０などの部品は第６図に示した実施例と同じである。
ところがこの実施例では圧電素子１１の出力から圧電素
子２３の出力の一部を差し引いている。チャージアンプ
２４で得られる圧電素子１１の出力にＦｉＺ軸方向の加
速度成分による出、力がわずかながら含まれている。こ
のためＺ軸方向だけの出力が得られる。圧電素子２３の
チャージアンプ２５の出力とチャージアンプ２４の出力
とがそれぞれ抵抗Ｒ２＋ Ｒ＋を介してフィードバック
抵抗Ｒ，を有する加算器２６で加える。加える比率Ｆｉ
Ｒ１とＲ２の比で決められる。この実施例で２方向に加
速度が加わると圧電素子１１ではｄｌｌ効果によって正
の出力が得られ、圧電素子２３でＦ′１ｄｓａ効果で負
の出力が得られるため両者は逆位相の出力である。この
ため両者を比率を合わせて加えるだけで２方向に対する
感度を打、消してなくすことができる。
子２３の出力の一部を差し引いている。チャージアンプ
２４で得られる圧電素子１１の出力にＦｉＺ軸方向の加
速度成分による出、力がわずかながら含まれている。こ
のためＺ軸方向だけの出力が得られる。圧電素子２３の
チャージアンプ２５の出力とチャージアンプ２４の出力
とがそれぞれ抵抗Ｒ２＋ Ｒ＋を介してフィードバック
抵抗Ｒ，を有する加算器２６で加える。加える比率Ｆｉ
Ｒ１とＲ２の比で決められる。この実施例で２方向に加
速度が加わると圧電素子１１ではｄｌｌ効果によって正
の出力が得られ、圧電素子２３でＦ′１ｄｓａ効果で負
の出力が得られるため両者は逆位相の出力である。この
ため両者を比率を合わせて加えるだけで２方向に対する
感度を打、消してなくすことができる。
第８図は本発明によるジャイｐのさらに他の実施例を組
立て状態で示しており、ウェイト３０を一方向だけのも
のとした例である。ウェイト３０は回転モーメントを発
生すればよいので２軸に対して軸対称であれば使える。
立て状態で示しており、ウェイト３０を一方向だけのも
のとした例である。ウェイト３０は回転モーメントを発
生すればよいので２軸に対して軸対称であれば使える。
３１はリード線である。このような構成にすればジャイ
ロのサイズを小さくすることができる。
ロのサイズを小さくすることができる。
第９図は本発明によるジャイロのさらに他の実施列で、
上下の圧電素子をそれぞれ２分割している。分割された
上下の圧電素子３２．３４および３６．３８は同じもの
であり、それぞれ両面に銀電極３２ａ、３４ａ＋３６ａ
、３８ａが付けである。第３図に示した実施例では分極
方向は同局方向となっているが、これでは分極をさせる
ことが難しいので第１０図に示すようにして分極をして
いる。圧電素子の作り方としては、第１０図で切断面に
銀電極３４ｂおよび３４ｃをつけ外部から高電圧Ｖａｔ
’印加する。これをポーリングという。次に同図（ロ）
に示すように銀電極３４ｂ、３４ｃを硝酸などで取り除
く。
上下の圧電素子をそれぞれ２分割している。分割された
上下の圧電素子３２．３４および３６．３８は同じもの
であり、それぞれ両面に銀電極３２ａ、３４ａ＋３６ａ
、３８ａが付けである。第３図に示した実施例では分極
方向は同局方向となっているが、これでは分極をさせる
ことが難しいので第１０図に示すようにして分極をして
いる。圧電素子の作り方としては、第１０図で切断面に
銀電極３４ｂおよび３４ｃをつけ外部から高電圧Ｖａｔ
’印加する。これをポーリングという。次に同図（ロ）
に示すように銀電極３４ｂ、３４ｃを硝酸などで取り除
く。
そして同図（ハ）のように新たな銀電極３４ａをつける
のである。なお銀電極３４ａＩＥ一つけるとき高温焼成
すると分極がなくなるので導電接着剤などの塗付による
ほうがよい。また各部品の組立のときの接着を導電接着
剤で行なえば第１０図（ハ）の工程が同時にできるため
製造上効率的である。
のである。なお銀電極３４ａＩＥ一つけるとき高温焼成
すると分極がなくなるので導電接着剤などの塗付による
ほうがよい。また各部品の組立のときの接着を導電接着
剤で行なえば第１０図（ハ）の工程が同時にできるため
製造上効率的である。
なお、上記実施例では、圧電素子の分極方向を円周方向
とし、■極を２軸方向と垂直な面にとっているが、これ
ｔｉＰＺＴなどの圧電セラミクスにとって有効な圧電効
果（たとえばｄ１５効果は大きくｄ１１効果は小さい）
をいかした分極、電極の配置であり、他の圧電セラミク
スまたは圧電結晶さらに圧電高分子などでは感度の高い
他の圧電効果を用いてもよい。この場合でも、分極方向
を円周方向または各方向とし、電極を選ぶことによりそ
れぞれの素子の特徴を活かすことができる。この例を第
１１図に示す。ここに図示した例は、ウェイト１０の上
下に圧電素子１１と１２とを同軸的に配置したもので、
（ａ）は素子の円周方向に分極させて素子の外周面に銀
電極を設けるとともに素子の上面と外周面および内周面
との角部に回り込み電極を設けた構造、（ｂ）は圧電素
子の径方向に分極させ素子の上下両面に銀電極を設けた
構造、（ｃ）は圧電素子の径方向に分極させ素子の外周
面に銀電極を設けるとともに素子の上面と外周面および
内周面との角部に回り込み電極を設けた構造である。回
り込み電極は上下に出力を伝えるためである。
とし、■極を２軸方向と垂直な面にとっているが、これ
ｔｉＰＺＴなどの圧電セラミクスにとって有効な圧電効
果（たとえばｄ１５効果は大きくｄ１１効果は小さい）
をいかした分極、電極の配置であり、他の圧電セラミク
スまたは圧電結晶さらに圧電高分子などでは感度の高い
他の圧電効果を用いてもよい。この場合でも、分極方向
を円周方向または各方向とし、電極を選ぶことによりそ
れぞれの素子の特徴を活かすことができる。この例を第
１１図に示す。ここに図示した例は、ウェイト１０の上
下に圧電素子１１と１２とを同軸的に配置したもので、
（ａ）は素子の円周方向に分極させて素子の外周面に銀
電極を設けるとともに素子の上面と外周面および内周面
との角部に回り込み電極を設けた構造、（ｂ）は圧電素
子の径方向に分極させ素子の上下両面に銀電極を設けた
構造、（ｃ）は圧電素子の径方向に分極させ素子の外周
面に銀電極を設けるとともに素子の上面と外周面および
内周面との角部に回り込み電極を設けた構造である。回
り込み電極は上下に出力を伝えるためである。
また第１１図には各構造ごとに必要な圧電定数と不要な
圧電定数とを示してあり、この条件に適う圧電素子であ
ればよい。
圧電定数とを示してあり、この条件に適う圧電素子であ
ればよい。
また上記実施例ではすべて圧電素子を用いたが、本発明
のジャイロは圧電素子に限らす磁歪素子、光偏向素子な
どの方向性を有する応力変換素子などを使うことができ
る。
のジャイロは圧電素子に限らす磁歪素子、光偏向素子な
どの方向性を有する応力変換素子などを使うことができ
る。
（ホ）発明の詳細
な説明したように、本発明においては、軸対称のウェイ
トと円周方向のせん断応力に対して感度を有する応力変
換素子とを台座に同軸的に固定し、応力変換素子がウェ
イトから受ける応力を角速度信号として出力するように
したので、物体が受ける角速度を高い分解能で確実に検
出することができる。本発明によるジャイロは構造上衝
撃に強く耐久性が大きい。
トと円周方向のせん断応力に対して感度を有する応力変
換素子とを台座に同軸的に固定し、応力変換素子がウェ
イトから受ける応力を角速度信号として出力するように
したので、物体が受ける角速度を高い分解能で確実に検
出することができる。本発明によるジャイロは構造上衝
撃に強く耐久性が大きい。
第１図は従来のジャイロの一例としての振動ジャイロの
概略構成図、第２図は本発明によるジャイロの構造を示
す部分断面斜視図、第３図は第２図に示したジャイロの
要部分解斜視図、第４図は本発明によるジャイロに様々
な加速度および角加速度が加わったときの効果を示した
図、第５図、第６図、第７図、第８図、第９図は本発明
によるジャイロの異なる実施例の要部分解斜視図、第１
０図は第９図に示した実施例で用いる圧電素子の製造方
法を説明する図、第１１図は本発明によるジャイロで用
いる圧電素子の分極方向および電極の配置を示す図であ
る。 １０．３０・・・ウェイト、１１ 、］ ２．２３，３
２゜３４．３６．３８・・・圧電素子、１５・・・台座
、２０１２１ 、２３ ａ 、 ３２ ａ 、 ３４
ａ 、 ３６ ａ 、 ３８ａ・・・銀電極、１７．３
１・・・リード線、１９・・・積分器、２４．２５・・
・チャージアンプ、２６・・・加算特許出願人 日産自
動車株式会社 −１５− 手 続 補 正 書 昭和５８年１０月−２ｙ日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、事件の表示 昭和５８年特許願第１７９３３３号 ２、発明の名称 ジ ャ イ 四 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 神奈川県横浜市神奈用区宝町２査地名称 （３９
９）日産自動車株式会社 代表者 石 原 俊 ４、代 理 人 住所 東東部港区芝３丁目４番１１号 芝シティビル６
、補正の対象 昭和５８年９月２９日提出の特許願の願書７、補正の内
容 願書を下記のとおり補正する。 （１） ｌａ書の第１行の特許願と第２行の提出年月日
との間に「（特許法第３８条ただし書の規定による特許
出願）」を加入する。 （２） ｊｉｉｌ書の第２項として［２、特許請求の範
囲に記載された発明の数２］を加入する。 （３）願書の第２項「２９発明者」、第３項「３．特許
出願人」、第４項「４９代理人」、第５項「５゜添付書
類の目録」の各項数を１項ずつ繰り下げて第３項「３０
発明者」、第４項「４．特許出願人」、第５項「５６代
理人」、第６項「６．添付書類の目録」とする。
概略構成図、第２図は本発明によるジャイロの構造を示
す部分断面斜視図、第３図は第２図に示したジャイロの
要部分解斜視図、第４図は本発明によるジャイロに様々
な加速度および角加速度が加わったときの効果を示した
図、第５図、第６図、第７図、第８図、第９図は本発明
によるジャイロの異なる実施例の要部分解斜視図、第１
０図は第９図に示した実施例で用いる圧電素子の製造方
法を説明する図、第１１図は本発明によるジャイロで用
いる圧電素子の分極方向および電極の配置を示す図であ
る。 １０．３０・・・ウェイト、１１ 、］ ２．２３，３
２゜３４．３６．３８・・・圧電素子、１５・・・台座
、２０１２１ 、２３ ａ 、 ３２ ａ 、 ３４
ａ 、 ３６ ａ 、 ３８ａ・・・銀電極、１７．３
１・・・リード線、１９・・・積分器、２４．２５・・
・チャージアンプ、２６・・・加算特許出願人 日産自
動車株式会社 −１５− 手 続 補 正 書 昭和５８年１０月−２ｙ日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、事件の表示 昭和５８年特許願第１７９３３３号 ２、発明の名称 ジ ャ イ 四 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 神奈川県横浜市神奈用区宝町２査地名称 （３９
９）日産自動車株式会社 代表者 石 原 俊 ４、代 理 人 住所 東東部港区芝３丁目４番１１号 芝シティビル６
、補正の対象 昭和５８年９月２９日提出の特許願の願書７、補正の内
容 願書を下記のとおり補正する。 （１） ｌａ書の第１行の特許願と第２行の提出年月日
との間に「（特許法第３８条ただし書の規定による特許
出願）」を加入する。 （２） ｊｉｉｌ書の第２項として［２、特許請求の範
囲に記載された発明の数２］を加入する。 （３）願書の第２項「２９発明者」、第３項「３．特許
出願人」、第４項「４９代理人」、第５項「５゜添付書
類の目録」の各項数を１項ずつ繰り下げて第３項「３０
発明者」、第４項「４．特許出願人」、第５項「５６代
理人」、第６項「６．添付書類の目録」とする。
Claims (3)
- （１）軸対称のウェイトと円周方向のせん断応力に対し
て感度を有する応力変換素子とを台座に同軸的に固定し
、前記応力変換素子が前記ウェイトから受ける応力を角
速度信号として出力することを特徴とするジャイロ。 - （２）前記応力変換素子が対称軸に対して円周方向に分
極され且つ対称軸方向に電極を有する圧電素子である特
許請求の範囲第１項に記載のジャイロ。 - （３）軸対称のウェイトと対称軸方向の応力に対して感
度を有する応力変換素子とを前記応力変換素子の対称軸
方向の感度の方向および大きさを打消すように台座に固
定したことを特徴とするジャイロ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58179333A JPS6071909A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | ジヤイロ |
| US06/654,389 US4611490A (en) | 1983-09-29 | 1984-09-26 | Angular acceleration sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58179333A JPS6071909A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | ジヤイロ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6071909A true JPS6071909A (ja) | 1985-04-23 |
| JPH0356428B2 JPH0356428B2 (ja) | 1991-08-28 |
Family
ID=16064001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58179333A Granted JPS6071909A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | ジヤイロ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4611490A (ja) |
| JP (1) | JPS6071909A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004094949A1 (ja) * | 2003-04-22 | 2004-11-04 | Japan Science And Technology Agency | 傾斜・加速度センサ及びヨーレートセンサ |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4759220A (en) * | 1986-02-28 | 1988-07-26 | Burdess James S | Angular rate sensors |
| US5063782A (en) * | 1987-06-18 | 1991-11-12 | Kellett Michael A | Accelerometers and associated control circuits |
| EP0316498B1 (de) * | 1987-11-09 | 1992-03-04 | Vibro-Meter Sa | Accelerometer |
| JPH08247770A (ja) * | 1995-03-14 | 1996-09-27 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
| JP2003248015A (ja) * | 2002-02-25 | 2003-09-05 | Fujitsu Media Device Kk | 加速度センサ |
| US20040135095A1 (en) * | 2003-01-13 | 2004-07-15 | Holmquist Glenn Allen | Gamma detecting discharge device and method of forming the same |
| JP5936374B2 (ja) * | 2011-02-15 | 2016-06-22 | キヤノン株式会社 | 圧電振動型力センサ及びロボットハンド並びにロボットアーム |
| DE102011076393A1 (de) * | 2011-05-24 | 2012-11-29 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Drehbeschleunigungssensor und Verfahren zur Messung einer Drehbeschleunigung |
| JP5166585B2 (ja) * | 2011-10-11 | 2013-03-21 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 慣性センサ素子 |
| CN113639852B (zh) * | 2021-07-20 | 2024-01-02 | 哈尔滨工程大学 | 一种扭转型非惯性式矢量水听器 |
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Citations (1)
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| JPS5939646U (ja) * | 1982-09-06 | 1984-03-13 | 中川 健一 | 湿式スクラバ−と電気集塵機の組合せ |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2505636A (en) * | 1946-04-10 | 1950-04-25 | United Aircraft Corp | Angular accelerometer |
| US3295377A (en) * | 1966-06-13 | 1967-01-03 | Richard R Richard | Angular accelerometer |
| US3468167A (en) * | 1966-09-12 | 1969-09-23 | Union Oil Co | Inertially responsive device |
-
1983
- 1983-09-29 JP JP58179333A patent/JPS6071909A/ja active Granted
-
1984
- 1984-09-26 US US06/654,389 patent/US4611490A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5939646U (ja) * | 1982-09-06 | 1984-03-13 | 中川 健一 | 湿式スクラバ−と電気集塵機の組合せ |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2004094949A1 (ja) * | 2003-04-22 | 2004-11-04 | Japan Science And Technology Agency | 傾斜・加速度センサ及びヨーレートセンサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4611490A (en) | 1986-09-16 |
| JPH0356428B2 (ja) | 1991-08-28 |
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