JPH07253441A - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
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- JPH07253441A JPH07253441A JP6043875A JP4387594A JPH07253441A JP H07253441 A JPH07253441 A JP H07253441A JP 6043875 A JP6043875 A JP 6043875A JP 4387594 A JP4387594 A JP 4387594A JP H07253441 A JPH07253441 A JP H07253441A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
- G01P15/0915—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up of the shear mode type
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 加速度センサに関し、構成が簡単で小型化が
図れ、かつ、大きな出力を得ることができる加速度セン
サを提供することを目的とする。 【構成】 基板１と、この基板１の上に取り付けられた
板状の圧電素子２と、この板状の圧電素子２の上に重ね
て設けられる板状の重り３とを備え、外部からの加速度
によって重り３に慣性力を発生させ、この慣性力で圧電
素子２に応力を与え、圧電素子２に発生した電圧もしく
は電荷を外部に取り出すことによって加速度の大きさを
検出する加速度センサにおいて、基板１と重り３の間
に、検出しようとする加速度の方向に対して分極方向を
異ならせた複数の圧電素子２を設け、これら複数の圧電
素子２の重り側と基板側には、各圧電素子２を電気的に
直列接続する導通手段４と、電気的に直列接続された圧
電素子２の両端部から電圧もしくは電荷を取り出す電極
５を設けて構成する。
図れ、かつ、大きな出力を得ることができる加速度セン
サを提供することを目的とする。 【構成】 基板１と、この基板１の上に取り付けられた
板状の圧電素子２と、この板状の圧電素子２の上に重ね
て設けられる板状の重り３とを備え、外部からの加速度
によって重り３に慣性力を発生させ、この慣性力で圧電
素子２に応力を与え、圧電素子２に発生した電圧もしく
は電荷を外部に取り出すことによって加速度の大きさを
検出する加速度センサにおいて、基板１と重り３の間
に、検出しようとする加速度の方向に対して分極方向を
異ならせた複数の圧電素子２を設け、これら複数の圧電
素子２の重り側と基板側には、各圧電素子２を電気的に
直列接続する導通手段４と、電気的に直列接続された圧
電素子２の両端部から電圧もしくは電荷を取り出す電極
５を設けて構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は加速度センサに関し、特
に、重りが取り付けられた板状の圧電素子から構成さ
れ、外部からの加速度を受けた時に重りに発生する慣性
力によって、圧電素子に発生する電圧もしくは電荷によ
って加速度の大きさを検出する加速度センサに関する。
に、重りが取り付けられた板状の圧電素子から構成さ
れ、外部からの加速度を受けた時に重りに発生する慣性
力によって、圧電素子に発生する電圧もしくは電荷によ
って加速度の大きさを検出する加速度センサに関する。
【０００２】ＯＡ（オフィス・オートメーション）機器
や，ＬＡ（ラボラトリ・オートメーション）機器の小型
化、可搬化に伴い、装置が多少の振動を受けても正確な
動作が継続して行えるようにすることが望まれている。
装置が多少の信号を受けても正確に動作を継続するため
には、装置に加速度センサを取り付けて装置が受けた加
速度を検知し、受けた加速度に応じた制御を行うことが
必要である。
や，ＬＡ（ラボラトリ・オートメーション）機器の小型
化、可搬化に伴い、装置が多少の振動を受けても正確な
動作が継続して行えるようにすることが望まれている。
装置が多少の信号を受けても正確に動作を継続するため
には、装置に加速度センサを取り付けて装置が受けた加
速度を検知し、受けた加速度に応じた制御を行うことが
必要である。
【０００３】装置が受けた加速度を検出して制御するも
のとしては、磁気ディスク装置のシーク動作の反作用を
ヘッド位置決め制御にフィードバックする方式や、ビデ
オカメラの手振れによる加速度をフィードバックする方
法が現在公知となっている。また、最近では、携帯用パ
ーソナルコンピュータに搭載される磁気ディスク装置に
おいて、加速度を監視し、装置が外部からの振動を受け
るとデータの書き込みを中断して隣接トラックへの不法
な書き込みを防止する方法が公知となっている。しかし
ながら、このような加速度を検出して制御する装置にお
ける従来の加速度センサは、その大きさが大きく（特に
高さ方向）、機構設計の負担になっている。
のとしては、磁気ディスク装置のシーク動作の反作用を
ヘッド位置決め制御にフィードバックする方式や、ビデ
オカメラの手振れによる加速度をフィードバックする方
法が現在公知となっている。また、最近では、携帯用パ
ーソナルコンピュータに搭載される磁気ディスク装置に
おいて、加速度を監視し、装置が外部からの振動を受け
るとデータの書き込みを中断して隣接トラックへの不法
な書き込みを防止する方法が公知となっている。しかし
ながら、このような加速度を検出して制御する装置にお
ける従来の加速度センサは、その大きさが大きく（特に
高さ方向）、機構設計の負担になっている。
【０００４】従って、装置のコストダウン、ダウンサイ
ジング（小型化）が進む中で、耐衝撃性があり、製造性
が良く、更に、プリント配線板に直接に取り付けが可能
で、より薄型の加速度センサが望まれている。
ジング（小型化）が進む中で、耐衝撃性があり、製造性
が良く、更に、プリント配線板に直接に取り付けが可能
で、より薄型の加速度センサが望まれている。
【０００５】
【従来の技術】装置が受けた加速度を検出する加速度セ
ンサとしては、重りを載せた圧電素子を金属性ハウジン
グの底部に取り付け、外部からの加速度により重りに慣
性力を発生させ、重りの慣性力により圧電素子に応力を
与えて電圧を発生させ、圧電素子の両面の電極に発生し
た電圧をリード線と金属製ハウジング８０によって取り
出すものを本出願人はすでに出願した（特開昭６４−４
１８６５号公報参照）。また、電極面に垂直な方向に分
極した圧電素子と、平行な方向に分極した２つの圧電素
子とを、分極の方向を互いに直交させ、接合面に電極を
挟んだ状態で重ね合わせて被測定物に取り付け、自由端
面には重り３を取り付けて３次元方向ｘ，ｙ，ｚの全て
の方向の加速度を検出できるようにした加速度センサも
提案されている（実開平１−１１２４６８号公報参
照）。
ンサとしては、重りを載せた圧電素子を金属性ハウジン
グの底部に取り付け、外部からの加速度により重りに慣
性力を発生させ、重りの慣性力により圧電素子に応力を
与えて電圧を発生させ、圧電素子の両面の電極に発生し
た電圧をリード線と金属製ハウジング８０によって取り
出すものを本出願人はすでに出願した（特開昭６４−４
１８６５号公報参照）。また、電極面に垂直な方向に分
極した圧電素子と、平行な方向に分極した２つの圧電素
子とを、分極の方向を互いに直交させ、接合面に電極を
挟んだ状態で重ね合わせて被測定物に取り付け、自由端
面には重り３を取り付けて３次元方向ｘ，ｙ，ｚの全て
の方向の加速度を検出できるようにした加速度センサも
提案されている（実開平１−１１２４６８号公報参
照）。
【０００６】ところが、以上のように構成された加速度
センサでは、圧電素子の電極からの出力を圧電素子の表
裏面から直接リード線で取り出す方式が一般的であり、
加速度センサ自体をプリント配線板に直接実装するよう
には配慮されていないので、加速度センサのプリント配
線板への取り付けに時間がかかっていた。また、最近で
は圧電素子を片持梁や両持梁にしたバイモルフ型による
表面実装タイプの加速度センサも公知となっているが、
このような加速度センサは検出感度が高い反面、強度が
低く、外部からの衝撃によりセンサーが破壊し易いとい
う問題点があった。
センサでは、圧電素子の電極からの出力を圧電素子の表
裏面から直接リード線で取り出す方式が一般的であり、
加速度センサ自体をプリント配線板に直接実装するよう
には配慮されていないので、加速度センサのプリント配
線板への取り付けに時間がかかっていた。また、最近で
は圧電素子を片持梁や両持梁にしたバイモルフ型による
表面実装タイプの加速度センサも公知となっているが、
このような加速度センサは検出感度が高い反面、強度が
低く、外部からの衝撃によりセンサーが破壊し易いとい
う問題点があった。
【０００７】そこで、本出願人は、板状圧電素子に板状
重りを取り付けた加速度センサにおいて、基板上に圧電
素子を積層し、最上部の電極と基板上の電極は、圧電素
子中に形成したビアやリード線で電気的に接続する加速
度センサを既に出願した（特願平５−２２１１８１
号）。この特願平５−２２１１８１号において、最上部
の電極と基板上の電極を圧電素子中に形成したビアで電
気的に接続した加速度センサ８０の構成を図１６に示
し、最上部の電極と基板上の電極をリード線で電気的に
接続した加速度センサ９０の構成を図１７に示す。な
お、図１６および図１７において、８１は基板、８２は
圧電素子、８３は重り、８４はプリント配線板、８５は
ビア、８６は上面電極、８７は下面電極、８８はカバ
ー、８９はリード線、９１，９２はプリント配線板上に
設けられた回路パターン、９３は外部端子、Ｈは半田を
示している。
重りを取り付けた加速度センサにおいて、基板上に圧電
素子を積層し、最上部の電極と基板上の電極は、圧電素
子中に形成したビアやリード線で電気的に接続する加速
度センサを既に出願した（特願平５−２２１１８１
号）。この特願平５−２２１１８１号において、最上部
の電極と基板上の電極を圧電素子中に形成したビアで電
気的に接続した加速度センサ８０の構成を図１６に示
し、最上部の電極と基板上の電極をリード線で電気的に
接続した加速度センサ９０の構成を図１７に示す。な
お、図１６および図１７において、８１は基板、８２は
圧電素子、８３は重り、８４はプリント配線板、８５は
ビア、８６は上面電極、８７は下面電極、８８はカバ
ー、８９はリード線、９１，９２はプリント配線板上に
設けられた回路パターン、９３は外部端子、Ｈは半田を
示している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この特
願平５−２２１１８１号において本出願人が提案した加
速度センサは、圧電素子中に形成したビア８５の剛性が
出力へ影響してＳ／Ｎを悪化させる恐れがあり、同様に
電極を接続するリード線８９の剛性および質量が出力へ
影響してＳ／Ｎを悪化させる恐れがある。また、またリ
ード線８９の結線作業、およびビア８５の形成は加速度
センサの製造工数を増加させ、加速度センサのコスト増
を招いていた。
願平５−２２１１８１号において本出願人が提案した加
速度センサは、圧電素子中に形成したビア８５の剛性が
出力へ影響してＳ／Ｎを悪化させる恐れがあり、同様に
電極を接続するリード線８９の剛性および質量が出力へ
影響してＳ／Ｎを悪化させる恐れがある。また、またリ
ード線８９の結線作業、およびビア８５の形成は加速度
センサの製造工数を増加させ、加速度センサのコスト増
を招いていた。
【０００９】そこで、本発明は、構成が簡単で小型化が
図れると共に製造性が良く、かつ、大きな出力を得るこ
とができる加速度センサを提供することを目的とする。
図れると共に製造性が良く、かつ、大きな出力を得るこ
とができる加速度センサを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明の加速度センサの原理構成が図１に示される。図１に
示すように、本発明では、基板１と、この基板１の上に
取り付けられた板状の圧電素子２と、この板状の圧電素
子２の上に重ねて設けられる板状の重り３とを備え、外
部からの加速度によって重り３に慣性力を発生させ、こ
の慣性力で圧電素子２に応力を与え、圧電素子２に発生
した電圧もしくは電荷を外部に取り出すことによって加
速度の大きさを検出する加速度センサにおいて、基板１
と重り３の間に、検出しようとする加速度の方向に対し
て分極方向を異ならせた複数の圧電素子２を設け、これ
ら複数の圧電素子２の重り側と基板側には、各圧電素子
２を電気的に直列接続する導通手段４と、電気的に直列
接続された圧電素子２の両端部から電圧もしくは電荷を
取り出す電極５を設けたことを特徴としている。
明の加速度センサの原理構成が図１に示される。図１に
示すように、本発明では、基板１と、この基板１の上に
取り付けられた板状の圧電素子２と、この板状の圧電素
子２の上に重ねて設けられる板状の重り３とを備え、外
部からの加速度によって重り３に慣性力を発生させ、こ
の慣性力で圧電素子２に応力を与え、圧電素子２に発生
した電圧もしくは電荷を外部に取り出すことによって加
速度の大きさを検出する加速度センサにおいて、基板１
と重り３の間に、検出しようとする加速度の方向に対し
て分極方向を異ならせた複数の圧電素子２を設け、これ
ら複数の圧電素子２の重り側と基板側には、各圧電素子
２を電気的に直列接続する導通手段４と、電気的に直列
接続された圧電素子２の両端部から電圧もしくは電荷を
取り出す電極５を設けたことを特徴としている。
【００１１】そして、基板１、圧電素子２、重り３、導
通手段４、および電極５の形態には以下のようなものが
ある。 (1) 複数の圧電素子２の分極方向が素子の面内で、かつ
少なくとも一組の圧電素子２の分極方向が互いに反対で
あって、導通手段４が重り側に設けられ、電極５が基板
側に設けられ、基板１の面内方向に作用する加速度を検
出するもの。
通手段４、および電極５の形態には以下のようなものが
ある。 (1) 複数の圧電素子２の分極方向が素子の面内で、かつ
少なくとも一組の圧電素子２の分極方向が互いに反対で
あって、導通手段４が重り側に設けられ、電極５が基板
側に設けられ、基板１の面内方向に作用する加速度を検
出するもの。
【００１２】(2) 複数の圧電素子２の分極方向が素子の
面内で、かつ少なくとも一組の圧電素子２の分極方向が
互いに平行であって、導通手段４が重り側に設けられ、
電極５が基板側に設けられ、この分極方向が互いに平行
な圧電素子２の間に、基板１に垂直な回転軸を想定し、
この回転軸の回りに作用する加速度を検出するもの。な
お、２つの圧電素子２が配置される位置に、分極方向が
同じで連続する１つの圧電素子を配置しても良い。
面内で、かつ少なくとも一組の圧電素子２の分極方向が
互いに平行であって、導通手段４が重り側に設けられ、
電極５が基板側に設けられ、この分極方向が互いに平行
な圧電素子２の間に、基板１に垂直な回転軸を想定し、
この回転軸の回りに作用する加速度を検出するもの。な
お、２つの圧電素子２が配置される位置に、分極方向が
同じで連続する１つの圧電素子を配置しても良い。
【００１３】(3) 複数の圧電素子２の分極方向が素子の
厚さ方向で、かつ少なくとも一組の圧電素子２の分極方
向が互いに反対であって、導通手段４が重り側に設けら
れ、電極５が基板側に設けられ、基板１に垂直な方向に
作用する加速度を検出するもの。 (4) 複数の圧電素子２の分極方向が素子の厚さ方向で、
かつ少なくとも一組の圧電素子２の分極方向が互いに平
行であって、導通手段４が重り側に設けられ、電極５が
基板側に設けられ、この分極方向が互いに平行な圧電素
子２の間に、基板１に平行な回転軸を想定し、この回転
軸の回りに作用する加速度を検出するもの。
厚さ方向で、かつ少なくとも一組の圧電素子２の分極方
向が互いに反対であって、導通手段４が重り側に設けら
れ、電極５が基板側に設けられ、基板１に垂直な方向に
作用する加速度を検出するもの。 (4) 複数の圧電素子２の分極方向が素子の厚さ方向で、
かつ少なくとも一組の圧電素子２の分極方向が互いに平
行であって、導通手段４が重り側に設けられ、電極５が
基板側に設けられ、この分極方向が互いに平行な圧電素
子２の間に、基板１に平行な回転軸を想定し、この回転
軸の回りに作用する加速度を検出するもの。
【００１４】(5) 分極方向が素子の面内で互いに反対方
向の２つの圧電素子２の組が、重り３の下面側に環状に
複数組配置され、導通手段４は基板側と重り側の両方に
設けられて全ての圧電素子２を電気的に直列に接続し、
基板側の隣接する導通手段４に電極５が接続しており、
重り３の中心部に基板１に垂直な回転軸があり、この回
転軸の回りに作用する加速度を検出するもの。
向の２つの圧電素子２の組が、重り３の下面側に環状に
複数組配置され、導通手段４は基板側と重り側の両方に
設けられて全ての圧電素子２を電気的に直列に接続し、
基板側の隣接する導通手段４に電極５が接続しており、
重り３の中心部に基板１に垂直な回転軸があり、この回
転軸の回りに作用する加速度を検出するもの。
【００１５】なお、導通手段４は重り３を導電性の材料
で作ることによって構成しても良く、また、導通手段４
および電極５と圧電素子２が、半田層あるいは導電性接
着剤によって電気的に接続されるようにしても良い。
で作ることによって構成しても良く、また、導通手段４
および電極５と圧電素子２が、半田層あるいは導電性接
着剤によって電気的に接続されるようにしても良い。
【００１６】
【作用】本発明の加速度センサによれば、重りと基板と
の間に配置された圧電素子が、検出しようとする加速度
の向きに対して互いに逆方向に配置されていると共に、
これらの圧電素子は導通手段によって電極に対して電気
的に直列に接続されているので、各圧電素子の出力は加
算されて電極に現れるので、加速度を受けた時の出力が
大きい。また、重りの下面の導体、あるいは導電性の重
りで２つの圧電素子を直列に接続しているために、ビア
やリード線を必要としない。このため出力信号のＳ／Ｎ
が高く、加速度センサを作る工程も少なくて済む。更
に、圧電素子を面内に並べるため薄型化することができ
るので、簡素で薄型、低コストの加速度センサを提供す
ることができる。
の間に配置された圧電素子が、検出しようとする加速度
の向きに対して互いに逆方向に配置されていると共に、
これらの圧電素子は導通手段によって電極に対して電気
的に直列に接続されているので、各圧電素子の出力は加
算されて電極に現れるので、加速度を受けた時の出力が
大きい。また、重りの下面の導体、あるいは導電性の重
りで２つの圧電素子を直列に接続しているために、ビア
やリード線を必要としない。このため出力信号のＳ／Ｎ
が高く、加速度センサを作る工程も少なくて済む。更
に、圧電素子を面内に並べるため薄型化することができ
るので、簡素で薄型、低コストの加速度センサを提供す
ることができる。
【００１７】
【実施例】以下添付図面を用いて本発明の実施例を詳細
に説明する。図２は本発明の第１の実施例の加速度セン
サ１０の構成を示す組立斜視図であり、図３(a) は組立
後の加速度センサ１０の全体図を加速度検出方向と共に
示す斜視図である。
に説明する。図２は本発明の第１の実施例の加速度セン
サ１０の構成を示す組立斜視図であり、図３(a) は組立
後の加速度センサ１０の全体図を加速度検出方向と共に
示す斜視図である。
【００１８】第１の実施例では、基板１１の上に２つの
方形状の導体パターン１５が並んで形成されており、基
板１１の端部には２つの電極１７が形成されている。そ
して、これら２つの導体パターン１５は、それぞれ引き
出しパターン１６によって電極１７に接続されている。
この導体パターン１５の上には、下面形状が導体パター
ン１５とほぼ同じである直方体の剪断型の圧電素子１２
が取り付けられるようになっている。この２つの剪断型
の圧電素子１２のそれぞれの分極方向は、基板１１に平
行な素子の面内で、かつ、逆向きである。そして、この
圧電素子１２の上方に、これら２つの圧電素子１２に跨
がるように、重り１３が取り付けられるようになってい
る。また、この実施例では、重り１３は絶縁体で形成さ
れているので、重り１３の下面には、２つの圧電素子１
２の上面を電気的に接続する導体１４が設けられてい
る。
方形状の導体パターン１５が並んで形成されており、基
板１１の端部には２つの電極１７が形成されている。そ
して、これら２つの導体パターン１５は、それぞれ引き
出しパターン１６によって電極１７に接続されている。
この導体パターン１５の上には、下面形状が導体パター
ン１５とほぼ同じである直方体の剪断型の圧電素子１２
が取り付けられるようになっている。この２つの剪断型
の圧電素子１２のそれぞれの分極方向は、基板１１に平
行な素子の面内で、かつ、逆向きである。そして、この
圧電素子１２の上方に、これら２つの圧電素子１２に跨
がるように、重り１３が取り付けられるようになってい
る。また、この実施例では、重り１３は絶縁体で形成さ
れているので、重り１３の下面には、２つの圧電素子１
２の上面を電気的に接続する導体１４が設けられてい
る。
【００１９】従って、この実施例の加速度センサ１０を
組み立てた状態では、図３(a) に示すように、２つの圧
電素子１２が導体１４によって電気的に直列に接続され
た状態になっている。従って、この実施例の加速度セン
サ１０では、直列接続された２つの圧電素子１２の両端
が、導電パターン１６、引き出しパターン１６によって
２つの電極１７に接続された状態になっている。
組み立てた状態では、図３(a) に示すように、２つの圧
電素子１２が導体１４によって電気的に直列に接続され
た状態になっている。従って、この実施例の加速度セン
サ１０では、直列接続された２つの圧電素子１２の両端
が、導電パターン１６、引き出しパターン１６によって
２つの電極１７に接続された状態になっている。
【００２０】なお、図２および図３においては、説明を
簡単にするために、図中各部を接続するための半田層及
び導電性接着剤層は図示およびその説明を省略してお
り、これらについては最後に説明する。この実施例の加
速度センサ１０は、２つの剪断型の圧電素子１２の分極
方向に平行な方向の加速度を検出することができる。即
ち、加速度センサ１０の２つの圧電素子１２がＹ軸に平
行な方向に置かれていた場合、このＹ軸に平行な方向の
加速度を検出することができる。
簡単にするために、図中各部を接続するための半田層及
び導電性接着剤層は図示およびその説明を省略してお
り、これらについては最後に説明する。この実施例の加
速度センサ１０は、２つの剪断型の圧電素子１２の分極
方向に平行な方向の加速度を検出することができる。即
ち、加速度センサ１０の２つの圧電素子１２がＹ軸に平
行な方向に置かれていた場合、このＹ軸に平行な方向の
加速度を検出することができる。
【００２１】図３(b) は図２，図３(a) に示した加速度
センサ１０の電気的モデルを示す説明図である。例え
ば、図３(b) に矢印で示すように、剪断力が図の右方向
から左方向に加わった場合、左側の圧電素子１２Ｌには
上側にプラス（＋）電位、下側にマイナス（−）電位が
発生したとすると、右側の圧電素子１２Ｒは、その分極
方向が左側の圧電素子１２Ｌと反対であるので、下側に
プラス（＋）電位、上側にマイナス（−）電位が発生す
ることになる。そして、１つの圧電素子１２に発生する
電位差をＥとすると、右側の圧電素子１２Ｒと左側の圧
電素子１２Ｌとは導体１４で直列に接続に接続されてい
るので、電極１７の両端には電位差２Ｅの電位が発生す
ることになる。
センサ１０の電気的モデルを示す説明図である。例え
ば、図３(b) に矢印で示すように、剪断力が図の右方向
から左方向に加わった場合、左側の圧電素子１２Ｌには
上側にプラス（＋）電位、下側にマイナス（−）電位が
発生したとすると、右側の圧電素子１２Ｒは、その分極
方向が左側の圧電素子１２Ｌと反対であるので、下側に
プラス（＋）電位、上側にマイナス（−）電位が発生す
ることになる。そして、１つの圧電素子１２に発生する
電位差をＥとすると、右側の圧電素子１２Ｒと左側の圧
電素子１２Ｌとは導体１４で直列に接続に接続されてい
るので、電極１７の両端には電位差２Ｅの電位が発生す
ることになる。
【００２２】このように、重り１３の下面側に電気的に
直列に接続された分極特性が逆の２つの圧電素子１２を
配置して加速度を電位で取り出すようにすると、重り１
３の下面側に１つの圧電素子１２を配置してその上下か
ら発生電位を取り出す場合に比べて、２倍の発生電位を
取り出すことができ、加速度の検出感度を２倍にするこ
とができる。
直列に接続された分極特性が逆の２つの圧電素子１２を
配置して加速度を電位で取り出すようにすると、重り１
３の下面側に１つの圧電素子１２を配置してその上下か
ら発生電位を取り出す場合に比べて、２倍の発生電位を
取り出すことができ、加速度の検出感度を２倍にするこ
とができる。
【００２３】図４は本発明の第２の実施例の加速度セン
サ２０の構成を示す組立斜視図であり、図５は組立後の
加速度センサ２０の全体図を加速度検出方向と共に示す
斜視図である。第２の実施例では加速度センサ２０の構
成部材が前述の第１の実施例の加速度センサ１０とほぼ
同じであるので、同じ構成部材には同じ符号を付してそ
の説明を簡略化し、第１の実施例と異なる部分について
のみ詳しく説明する。
サ２０の構成を示す組立斜視図であり、図５は組立後の
加速度センサ２０の全体図を加速度検出方向と共に示す
斜視図である。第２の実施例では加速度センサ２０の構
成部材が前述の第１の実施例の加速度センサ１０とほぼ
同じであるので、同じ構成部材には同じ符号を付してそ
の説明を簡略化し、第１の実施例と異なる部分について
のみ詳しく説明する。
【００２４】第２の実施例の加速度センサ２０の構成を
示す図４において、１１は基板、１２は剪断型圧電素
子、１３は重り、１５は導体パターン、１６は引き出し
パターン、１７は電極を示している。第２の実施例の加
速度センサ２０が第１の実施例の加速度センサ１０と異
なる点は、剪断型の圧電素子１２の分極方向、および重
り１３の材料である。第２の実施例の加速度センサ２０
では、２つの剪断型の圧電素子１２のそれぞれの分極方
向は、基板１１に平行な素子の面内で、かつ、平行にな
っている。また、これら２つの圧電素子１２に跨がるよ
うに圧電素子１２の上方に取り付けられる重り１３が、
導体によって形成されている。従って、この実施例で
は、２つの圧電素子１２の上面が重り１３によって電気
的に接続される。
示す図４において、１１は基板、１２は剪断型圧電素
子、１３は重り、１５は導体パターン、１６は引き出し
パターン、１７は電極を示している。第２の実施例の加
速度センサ２０が第１の実施例の加速度センサ１０と異
なる点は、剪断型の圧電素子１２の分極方向、および重
り１３の材料である。第２の実施例の加速度センサ２０
では、２つの剪断型の圧電素子１２のそれぞれの分極方
向は、基板１１に平行な素子の面内で、かつ、平行にな
っている。また、これら２つの圧電素子１２に跨がるよ
うに圧電素子１２の上方に取り付けられる重り１３が、
導体によって形成されている。従って、この実施例で
は、２つの圧電素子１２の上面が重り１３によって電気
的に接続される。
【００２５】この実施例の加速度センサ２０は、図５に
示すように、分極方向が素子の面内で平行な２つの圧電
素子１２が重り１３によって電気的に直列に接続された
状態になっている。従って、この実施例の加速度センサ
２０によって検出できる加速度の方向は、２つの圧電素
子１２の間を、基板１１に対して垂直に通るＺ軸方向の
軸２１に対して回転する方向である。
示すように、分極方向が素子の面内で平行な２つの圧電
素子１２が重り１３によって電気的に直列に接続された
状態になっている。従って、この実施例の加速度センサ
２０によって検出できる加速度の方向は、２つの圧電素
子１２の間を、基板１１に対して垂直に通るＺ軸方向の
軸２１に対して回転する方向である。
【００２６】図６は本発明の第２の実施例の変形例の加
速度センサ２０′の構成を示す組立斜視図であり、図７
はこの第２の実施例の加速度センサ２０′の変形例の組
立後の全体構成を加速度検出方向と共に示す斜視図であ
る。第２の実施例の変形例の加速度センサ２０′が第２
の実施例の加速度センサ２０と異なる点は、第２の実施
例の加速度センサ２０において分極方向が基板１１に平
行な素子の面内で、かつ、平行になっている２つの剪断
型の圧電素子１２を、１つの圧電素子２２で構成したの
みである。この実施例の加速度センサ２０′では、剪断
型の圧電素子２２が１つしか設けられていないが、実質
的には２つの剪断型の圧電素子１２が設けられているの
と同じであり、その動作、加速度の検出方向は第２の実
施例の加速度センサ２０と全く同じである。この変形実
施例の利点は、圧電素子２２が１個で済むので、部品点
数が１個減り、組立工数が多少削減される点と、同一の
圧電素子を使用するため、素子の特性を同一にすること
により、感度特性が向上する点である。
速度センサ２０′の構成を示す組立斜視図であり、図７
はこの第２の実施例の加速度センサ２０′の変形例の組
立後の全体構成を加速度検出方向と共に示す斜視図であ
る。第２の実施例の変形例の加速度センサ２０′が第２
の実施例の加速度センサ２０と異なる点は、第２の実施
例の加速度センサ２０において分極方向が基板１１に平
行な素子の面内で、かつ、平行になっている２つの剪断
型の圧電素子１２を、１つの圧電素子２２で構成したの
みである。この実施例の加速度センサ２０′では、剪断
型の圧電素子２２が１つしか設けられていないが、実質
的には２つの剪断型の圧電素子１２が設けられているの
と同じであり、その動作、加速度の検出方向は第２の実
施例の加速度センサ２０と全く同じである。この変形実
施例の利点は、圧電素子２２が１個で済むので、部品点
数が１個減り、組立工数が多少削減される点と、同一の
圧電素子を使用するため、素子の特性を同一にすること
により、感度特性が向上する点である。
【００２７】図８は本発明の第３の実施例の加速度セン
サ３０の構成を示す組立斜視図であり、図９は第３の実
施例の加速度センサ３０の組立後の全体構成を加速度検
出方向と共に示す斜視図である。第３の実施例では加速
度センサ３０の構成部材が前述の第２の実施例の加速度
センサ２０とほぼ同じであるので、同じ構成部材には同
じ符号を付してその説明を簡略化し、第２の実施例と異
なる部分についてのみ詳しく説明する。
サ３０の構成を示す組立斜視図であり、図９は第３の実
施例の加速度センサ３０の組立後の全体構成を加速度検
出方向と共に示す斜視図である。第３の実施例では加速
度センサ３０の構成部材が前述の第２の実施例の加速度
センサ２０とほぼ同じであるので、同じ構成部材には同
じ符号を付してその説明を簡略化し、第２の実施例と異
なる部分についてのみ詳しく説明する。
【００２８】第３の実施例の加速度センサ３０の構成を
示す図８において、１１は基板、３２は圧縮型圧電素
子、１３は導電性の重り、１５は導体パターン、１６は
引き出しパターン、１７は電極を示している。第３の実
施例の加速度センサ３０が第２の実施例の加速度センサ
２０と異なる点は、圧電素子１２に剪断型ではなく、圧
縮型の圧電素子が使用されている点である。第２の実施
例の加速度センサ２０では、２つの剪断型の圧電素子１
２のそれぞれの分極方向は、基板１１に平行な素子の面
内で、かつ、平行になっていたが、第３の実施例の加速
度センサ３０では、２つの圧縮型の圧電素子１２のそれ
ぞれの分極方向は、基板１１に垂直な素子の厚さ方向で
あり、かつ反対方向である。
示す図８において、１１は基板、３２は圧縮型圧電素
子、１３は導電性の重り、１５は導体パターン、１６は
引き出しパターン、１７は電極を示している。第３の実
施例の加速度センサ３０が第２の実施例の加速度センサ
２０と異なる点は、圧電素子１２に剪断型ではなく、圧
縮型の圧電素子が使用されている点である。第２の実施
例の加速度センサ２０では、２つの剪断型の圧電素子１
２のそれぞれの分極方向は、基板１１に平行な素子の面
内で、かつ、平行になっていたが、第３の実施例の加速
度センサ３０では、２つの圧縮型の圧電素子１２のそれ
ぞれの分極方向は、基板１１に垂直な素子の厚さ方向で
あり、かつ反対方向である。
【００２９】この実施例の加速度センサ３０は、図９に
示すように、分極方向が素子の厚さ方向の２つの圧電素
子１２が重り１３によって電気的に直列に接続された状
態になっている。従って、この実施例の加速度センサ３
０によって検出できる加速度の方向は、基板１１に対し
て垂直なＺ軸方向である。即ち、この第３の実施例の加
速度センサ３０は、上下並進方向の加速度を検出するこ
とができ、出力も２倍と高感度になる。
示すように、分極方向が素子の厚さ方向の２つの圧電素
子１２が重り１３によって電気的に直列に接続された状
態になっている。従って、この実施例の加速度センサ３
０によって検出できる加速度の方向は、基板１１に対し
て垂直なＺ軸方向である。即ち、この第３の実施例の加
速度センサ３０は、上下並進方向の加速度を検出するこ
とができ、出力も２倍と高感度になる。
【００３０】図１０は本発明の第４の実施例の加速度セ
ンサ４０の構成を示す組立斜視図であり、図１１は第４
の実施例の加速度センサ４０の組立後の全体構成を加速
度検出方向と共に示す斜視図である。第４の実施例では
加速度センサ４０の構成部材が前述の第３の実施例の加
速度センサ３０とほぼ同じであるので、同じ構成部材に
は同じ符号を付してその説明を簡略化し、第３の実施例
と異なる部分についてのみ詳しく説明する。
ンサ４０の構成を示す組立斜視図であり、図１１は第４
の実施例の加速度センサ４０の組立後の全体構成を加速
度検出方向と共に示す斜視図である。第４の実施例では
加速度センサ４０の構成部材が前述の第３の実施例の加
速度センサ３０とほぼ同じであるので、同じ構成部材に
は同じ符号を付してその説明を簡略化し、第３の実施例
と異なる部分についてのみ詳しく説明する。
【００３１】第４の実施例の加速度センサ４０の構成を
示す図１０において、１１は基板、３２は圧縮型圧電素
子、１３は導電性の重り、１５は導体パターン、１６は
引き出しパターン、１７は電極を示している。第４の実
施例の加速度センサ４０が第３の実施例の加速度センサ
３０と異なる点は、圧電素子３２の分極方向のみであ
る。第３の実施例の加速度センサ３０では、２つの圧縮
型の圧電素子３２のそれぞれの分極方向は、基板１１に
垂直な素子の厚さ方向であり、かつ反対方向になってい
たが、第４の実施例の加速度センサ４０では、２つの圧
縮型の圧電素子１２のそれぞれの分極方向は、基板１１
に垂直な素子の厚さ方向であり、かつ平行方向である。
示す図１０において、１１は基板、３２は圧縮型圧電素
子、１３は導電性の重り、１５は導体パターン、１６は
引き出しパターン、１７は電極を示している。第４の実
施例の加速度センサ４０が第３の実施例の加速度センサ
３０と異なる点は、圧電素子３２の分極方向のみであ
る。第３の実施例の加速度センサ３０では、２つの圧縮
型の圧電素子３２のそれぞれの分極方向は、基板１１に
垂直な素子の厚さ方向であり、かつ反対方向になってい
たが、第４の実施例の加速度センサ４０では、２つの圧
縮型の圧電素子１２のそれぞれの分極方向は、基板１１
に垂直な素子の厚さ方向であり、かつ平行方向である。
【００３２】この実施例の加速度センサ４０は、図１１
に示すように、分極方向が素子の厚さ方向の２つの圧電
素子１２が重り１３によって電気的に直列に接続された
状態になっている。従って、この実施例の加速度センサ
４０によって検出できる加速度の方向は、２つの圧電素
子１２の間を、基板１１に対して平行に通るＸ軸方向の
軸４１に対して回転する方向である。
に示すように、分極方向が素子の厚さ方向の２つの圧電
素子１２が重り１３によって電気的に直列に接続された
状態になっている。従って、この実施例の加速度センサ
４０によって検出できる加速度の方向は、２つの圧電素
子１２の間を、基板１１に対して平行に通るＸ軸方向の
軸４１に対して回転する方向である。
【００３３】また、第４の実施例の加速度センサ４０に
おいても、第２の実施例２０の変形例の実施例２０′の
ように、２つの圧電素子３２を１つの圧電素子で置き換
えることができる。図１２は本発明の第５の実施例の加
速度センサ５０の構成を示す組立斜視図である。この実
施例においても前述の第１から第４の実施例と同じ構成
部材には同じ符号を付してある。
おいても、第２の実施例２０の変形例の実施例２０′の
ように、２つの圧電素子３２を１つの圧電素子で置き換
えることができる。図１２は本発明の第５の実施例の加
速度センサ５０の構成を示す組立斜視図である。この実
施例においても前述の第１から第４の実施例と同じ構成
部材には同じ符号を付してある。
【００３４】第５の実施例では、基板１１の上に４つの
方形状の導体パターン１５１〜１５４がマトリクス状に
並んで形成されており、基板１１の端部には２つの電極
１７が形成されている。そして、これら導体パターン１
５１，１５４の２つは、それぞれ引き出しパターン１６
によって電極１７に接続されており、残りの２つの導体
パターン１５２，１５３は接続パターン１８によって接
続されている。これら４つの導体パターン１５１〜１５
４の上には、下面形状が導体パターン１５１〜１５４と
ほぼ同じである３つの剪断型の直方体の圧電素子１２
と、１つの圧縮型の圧電素子３２が取り付けられるよう
になっている。
方形状の導体パターン１５１〜１５４がマトリクス状に
並んで形成されており、基板１１の端部には２つの電極
１７が形成されている。そして、これら導体パターン１
５１，１５４の２つは、それぞれ引き出しパターン１６
によって電極１７に接続されており、残りの２つの導体
パターン１５２，１５３は接続パターン１８によって接
続されている。これら４つの導体パターン１５１〜１５
４の上には、下面形状が導体パターン１５１〜１５４と
ほぼ同じである３つの剪断型の直方体の圧電素子１２
と、１つの圧縮型の圧電素子３２が取り付けられるよう
になっている。
【００３５】この実施例では、３つの剪断型の圧電素子
１２のそれぞれの分極方向は、基板１１に平行な素子の
面内で、かつ、全て異なる向きであり、１つの分極型の
圧電素子３２の分極方向は基板１１に垂直な素子の厚さ
方向である。そして、これらの圧電素子１２，３２の上
方に、これら４つの圧電素子１２，３２に跨がるよう
に、重り１３が取り付けられるようになっている。ま
た、この実施例では、重り１３は絶縁体で形成されてお
り、重り１３の下面には、導電パターン１５１，１５２
の上に設けられる圧電素子１２を接続する第１の導体１
４１と、導電パターン１５３，１５４の上に設けられる
圧電素子１２を接続する第２の導体１４２とが設けられ
ている。
１２のそれぞれの分極方向は、基板１１に平行な素子の
面内で、かつ、全て異なる向きであり、１つの分極型の
圧電素子３２の分極方向は基板１１に垂直な素子の厚さ
方向である。そして、これらの圧電素子１２，３２の上
方に、これら４つの圧電素子１２，３２に跨がるよう
に、重り１３が取り付けられるようになっている。ま
た、この実施例では、重り１３は絶縁体で形成されてお
り、重り１３の下面には、導電パターン１５１，１５２
の上に設けられる圧電素子１２を接続する第１の導体１
４１と、導電パターン１５３，１５４の上に設けられる
圧電素子１２を接続する第２の導体１４２とが設けられ
ている。
【００３６】従って、第５の実施例の加速度センサ５０
では、４つの圧電素子１２，３２が全て直列に接続さ
れ、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の各軸方向の並進、回転合わせて６軸
の加速度を検出することができる。また、分極方向を同
一軸上に合わせた圧電素子を複数持つことによりその方
向の検出感度を向上することができる。更に、特定方向
の加速度を分離するために、各圧電素子間の和や差を取
っても良い。
では、４つの圧電素子１２，３２が全て直列に接続さ
れ、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の各軸方向の並進、回転合わせて６軸
の加速度を検出することができる。また、分極方向を同
一軸上に合わせた圧電素子を複数持つことによりその方
向の検出感度を向上することができる。更に、特定方向
の加速度を分離するために、各圧電素子間の和や差を取
っても良い。
【００３７】図１３は本発明の第６の実施例の加速度セ
ンサ６０の構成を示す組立斜視図である。第６の実施例
では、重り１３Ａは絶縁材料で構成されており、その形
状は環状（ドーナツ型）となっている。環状の重り１３
Ａの下面には、この環状部分を５等分した形状の５つの
扇型の導体１４Ａから１４Ｅが独立して設けられてい
る。また、重り１３Ａの下面には１０個の剪断型の圧電
素子１２ａ〜１２ｊが環状に、かつ等間隔に配置され
る。この１０個の圧電素子１２ａ〜１２ｊの形状は、重
り１３Ａの環状部分を１０等分した形状の扇型であり、
その分極方向は重り１３Ａに平行に重りの円周方向を向
いている。そして、隣接する圧電素子１２ａ〜１２ｊの
分極方向は互いに反対向きになっている。これら１０個
の圧電素子１２ａ〜１２ｊは、圧電素子１２ａ，１２ｂ
が導体１４Ａで電気的に接続され、圧電素子１２ｃ，１
２ｄが導体１４Ｂで電気的に接続され、圧電素子１２
ｅ，１２ｆが導体１４Ｃで電気的に接続され、圧電素子
１２ｇ，１２ｈが導体１４Ｄで電気的に接続され、圧電
素子１２ｉ，１２ｊが導体１４Ｅで電気的に接続される
ように、重り１３Ａの下に配置される。
ンサ６０の構成を示す組立斜視図である。第６の実施例
では、重り１３Ａは絶縁材料で構成されており、その形
状は環状（ドーナツ型）となっている。環状の重り１３
Ａの下面には、この環状部分を５等分した形状の５つの
扇型の導体１４Ａから１４Ｅが独立して設けられてい
る。また、重り１３Ａの下面には１０個の剪断型の圧電
素子１２ａ〜１２ｊが環状に、かつ等間隔に配置され
る。この１０個の圧電素子１２ａ〜１２ｊの形状は、重
り１３Ａの環状部分を１０等分した形状の扇型であり、
その分極方向は重り１３Ａに平行に重りの円周方向を向
いている。そして、隣接する圧電素子１２ａ〜１２ｊの
分極方向は互いに反対向きになっている。これら１０個
の圧電素子１２ａ〜１２ｊは、圧電素子１２ａ，１２ｂ
が導体１４Ａで電気的に接続され、圧電素子１２ｃ，１
２ｄが導体１４Ｂで電気的に接続され、圧電素子１２
ｅ，１２ｆが導体１４Ｃで電気的に接続され、圧電素子
１２ｇ，１２ｈが導体１４Ｄで電気的に接続され、圧電
素子１２ｉ，１２ｊが導体１４Ｅで電気的に接続される
ように、重り１３Ａの下に配置される。
【００３８】一方、基板１１Ａの上には導体１４Ａ〜１
４Ｅと同形状の４つの扇型の導体パターン１５Ｂ〜１５
Ｅと、この４つの扇型の導体パターン１５Ｂ〜１５Ｅの
形状の半分の形状の扇型の導体パターン１５Ａ，１５Ｆ
が環状に形成されている。また、基板１１Ａの端部には
２つの電極１７Ａ，１７Ｂが形成されており、この電極
１７Ａ，１７Ｂは、引き出しパターン１６Ａ，１６Ｂに
よってそれぞれ扇型の導体パターン１５Ａ，１５Ｆの外
周部に接続されている。
４Ｅと同形状の４つの扇型の導体パターン１５Ｂ〜１５
Ｅと、この４つの扇型の導体パターン１５Ｂ〜１５Ｅの
形状の半分の形状の扇型の導体パターン１５Ａ，１５Ｆ
が環状に形成されている。また、基板１１Ａの端部には
２つの電極１７Ａ，１７Ｂが形成されており、この電極
１７Ａ，１７Ｂは、引き出しパターン１６Ａ，１６Ｂに
よってそれぞれ扇型の導体パターン１５Ａ，１５Ｆの外
周部に接続されている。
【００３９】そして、１０個の圧電素子１２ａ〜１２ｊ
は、圧電素子１２ａが導体パターン１５Ａの上に位置
し、圧電素子１２ｊが導体パターン１５Ｆの上に位置す
るように、導体パターン１５Ａ〜１５Ｆの上に載置され
る。この結果、圧電素子１２ａ〜１２ｊは、導体１４Ａ
〜１４Ｅと、導体パターン１５Ａ〜１５Ｆによって電気
的に直列に接続され、その両端に発生する電位が導体パ
ターン１５Ａ，１５Ｆ、引き出しパターン１６Ａ，１６
Ｂを通じて電極１７Ａ，１７Ｂに取り出されるようにな
っている。
は、圧電素子１２ａが導体パターン１５Ａの上に位置
し、圧電素子１２ｊが導体パターン１５Ｆの上に位置す
るように、導体パターン１５Ａ〜１５Ｆの上に載置され
る。この結果、圧電素子１２ａ〜１２ｊは、導体１４Ａ
〜１４Ｅと、導体パターン１５Ａ〜１５Ｆによって電気
的に直列に接続され、その両端に発生する電位が導体パ
ターン１５Ａ，１５Ｆ、引き出しパターン１６Ａ，１６
Ｂを通じて電極１７Ａ，１７Ｂに取り出されるようにな
っている。
【００４０】従って、第６の実施例の加速度センサ６０
では、１０個の圧電素子１２ａ〜１２ｊが全て直列に接
続され、重り１３Ａの中心を通るＺ軸の回りの回転方向
の加速度を検出することができる。従って、回転方向の
加速度を受けた場合、第６の実施例の加速度センサ６０
では、出力がすべて加算されるため、Ｓ／Ｎが非常に高
くなる。
では、１０個の圧電素子１２ａ〜１２ｊが全て直列に接
続され、重り１３Ａの中心を通るＺ軸の回りの回転方向
の加速度を検出することができる。従って、回転方向の
加速度を受けた場合、第６の実施例の加速度センサ６０
では、出力がすべて加算されるため、Ｓ／Ｎが非常に高
くなる。
【００４１】なお、前述の実施例では重り１３Ａの形状
を環状のもので説明したが、重り１３Ａの形状は環状に
限られず、円形、多角形でも良い。図１４は以上説明し
た実施例の加速度センサ１０〜６０における基板、圧電
素子、および重りの接続方法の一例を説明する図であ
り、図１４(a) は重りが絶縁体の場合の断面図、図１４
(b) は重りが導電体の場合の断面図である。図におい
て、１１が基板、１２が圧電素子、１３が重り、１４が
導体、１５が導体パターン、１６が引き出しパターン、
１７が電極を示すものとする。図１４(a) ，(b)に示す
ように、以上説明した実施例の加速度センサ１０〜６０
においては、圧電素子１２と、導体パターン１５とを半
田層または導電性接着剤１９で接合することができる。
を環状のもので説明したが、重り１３Ａの形状は環状に
限られず、円形、多角形でも良い。図１４は以上説明し
た実施例の加速度センサ１０〜６０における基板、圧電
素子、および重りの接続方法の一例を説明する図であ
り、図１４(a) は重りが絶縁体の場合の断面図、図１４
(b) は重りが導電体の場合の断面図である。図におい
て、１１が基板、１２が圧電素子、１３が重り、１４が
導体、１５が導体パターン、１６が引き出しパターン、
１７が電極を示すものとする。図１４(a) ，(b)に示す
ように、以上説明した実施例の加速度センサ１０〜６０
においては、圧電素子１２と、導体パターン１５とを半
田層または導電性接着剤１９で接合することができる。
【００４２】図１５は以上説明した実施例の加速度セン
サ１０〜６０における基板、圧電素子、および重りの接
続方法の別の例を説明する図であり、図１５(a) は重り
が絶縁体の場合の断面図、図１５(b) は重りが導電体の
場合の断面図である。図においても、１１が基板、１２
が圧電素子、１３が重り、１４が導体、１５が導体パタ
ーン、１６が引き出しパターン、１７が電極を示すもの
とする。図１５(a) ，(b) に示すように、以上説明した
実施例の加速度センサ１０〜６０においては、圧電素子
１２と、導体パターン１５とを半田層または導電性接着
剤１９で接合すると共に、圧電素子１２と導体１４、或
いは圧電素子１２と重り１３も半田層または導電性接着
剤１９で接合することができる。
サ１０〜６０における基板、圧電素子、および重りの接
続方法の別の例を説明する図であり、図１５(a) は重り
が絶縁体の場合の断面図、図１５(b) は重りが導電体の
場合の断面図である。図においても、１１が基板、１２
が圧電素子、１３が重り、１４が導体、１５が導体パタ
ーン、１６が引き出しパターン、１７が電極を示すもの
とする。図１５(a) ，(b) に示すように、以上説明した
実施例の加速度センサ１０〜６０においては、圧電素子
１２と、導体パターン１５とを半田層または導電性接着
剤１９で接合すると共に、圧電素子１２と導体１４、或
いは圧電素子１２と重り１３も半田層または導電性接着
剤１９で接合することができる。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
重り側の導通手段を用いて複数個の圧電素子を電気的に
直列に接続し、直列接続した圧電素子の両端に発生する
電位を基板側に設けた電極によって取り出すようにして
いるので、加速度センサの構造が簡単になって薄型化を
図れると共に、取り出す電位が高いのでＳ／Ｎが良いと
いう効果がある。この結果、本発明の加速度センサは、
携帯型情報機器に搭載する磁気ディスク装置の加速度セ
ンサとして最適である。
重り側の導通手段を用いて複数個の圧電素子を電気的に
直列に接続し、直列接続した圧電素子の両端に発生する
電位を基板側に設けた電極によって取り出すようにして
いるので、加速度センサの構造が簡単になって薄型化を
図れると共に、取り出す電位が高いのでＳ／Ｎが良いと
いう効果がある。この結果、本発明の加速度センサは、
携帯型情報機器に搭載する磁気ディスク装置の加速度セ
ンサとして最適である。
【図１】本発明の加速度センサの構成を示す原理構成図
である。
である。
【図２】本発明の第１の実施例の加速度センサの構成を
示す組立斜視図である。
示す組立斜視図である。
【図３】第１の実施例の加速度センサを示すものであ
り、(a) は全体図を加速度検出方向と共に示す斜視図、
(b) は本発明の電気的モデルを示す説明図図である。
り、(a) は全体図を加速度検出方向と共に示す斜視図、
(b) は本発明の電気的モデルを示す説明図図である。
【図４】本発明の第２の実施例の加速度センサの構成を
示す組立斜視図である。
示す組立斜視図である。
【図５】第２の実施例の加速度センサの全体構成を加速
度検出方向と共に示す斜視図である。
度検出方向と共に示す斜視図である。
【図６】第２の実施例の加速度センサの変形例の構成を
示す組立斜視図である。
示す組立斜視図である。
【図７】第２の実施例の加速度センサの変形例の全体構
成を加速度検出方向と共に示す斜視図である。
成を加速度検出方向と共に示す斜視図である。
【図８】本発明の第３の実施例の加速度センサの構成を
示す組立斜視図である。
示す組立斜視図である。
【図９】第３の実施例の加速度センサの全体構成を加速
度検出方向と共に示す斜視図である。
度検出方向と共に示す斜視図である。
【図１０】本発明の第４の実施例の加速度センサの構成
を示す組立斜視図である。
を示す組立斜視図である。
【図１１】第４の実施例の加速度センサの全体構成を加
速度検出方向と共に示す斜視図である。
速度検出方向と共に示す斜視図である。
【図１２】本発明の第５の実施例の加速度センサの構成
を示す組立斜視図である。
を示す組立斜視図である。
【図１３】本発明の第６の実施例の加速度センサの構成
を示す組立斜視図である。
を示す組立斜視図である。
【図１４】本発明の加速度センサにおける基板、圧電素
子、および重りの接続方法の一例を説明する図であり、
(a) は重りが絶縁体の場合の断面図、(b) は重りが導電
体の場合の断面図である。
子、および重りの接続方法の一例を説明する図であり、
(a) は重りが絶縁体の場合の断面図、(b) は重りが導電
体の場合の断面図である。
【図１５】本発明の加速度センサにおける基板、圧電素
子、および重りの接続方法の別の例を説明する図であ
り、(a) は重りが絶縁体の場合の断面図、(b) は重りが
導電体の場合の断面図である。
子、および重りの接続方法の別の例を説明する図であ
り、(a) は重りが絶縁体の場合の断面図、(b) は重りが
導電体の場合の断面図である。
【図１６】ビアを使用した従来の加速度センサの構成を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図１７】リード線を使用した従来の加速度センサの構
成を示す断面図である。
成を示す断面図である。
１…基板 ２…圧電素子 ３…重り ４…導通手段 ５…電極 ６…連続する圧電素子 １０…第１の実施例の加速度センサ １１，１１Ａ…基板 １２，１２ａ〜１２ｊ…剪断型圧電素子 １３，１３Ａ…重り １４，１４Ａ〜１４Ｅ，１４１，１４２…導体 １５，１５Ａ〜１５Ｆ，１５１〜１５４…導体パターン １６，１６Ａ，１６Ｂ…引き出しパターン １７，１７Ａ，１７Ｂ…電極 １８…接続パターン ２０…第２の実施例の加速度センサ ２１…回転軸 ２２…圧電素子 ３０…第３の実施例の加速度センサ ３２…圧縮型圧電素子 ４０…第４の実施例 ４１…回転軸 ５０…第５の実施例の加速度センサ ６０…第６の実施例の加速度センサ
【手続補正書】
【提出日】平成７年６月８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００２】ＯＡ（オフィス・オートメーション）機器
や，ＬＡ（ラボラトリ・オートメーション）機器の小型
化、可搬化に伴い、装置が多少の振動を受けても正確な
動作が継続して行えるようにすることが望まれている。
装置が多少の振動を受けても正確に動作を継続するため
には、装置に加速度センサを取り付けて装置が受けた加
速度を検知し、受けた加速度に応じた制御を行うことが
必要である。
や，ＬＡ（ラボラトリ・オートメーション）機器の小型
化、可搬化に伴い、装置が多少の振動を受けても正確な
動作が継続して行えるようにすることが望まれている。
装置が多少の振動を受けても正確に動作を継続するため
には、装置に加速度センサを取り付けて装置が受けた加
速度を検知し、受けた加速度に応じた制御を行うことが
必要である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この特
願平５−２２１１８１号において本出願人が提案した加
速度センサは、圧電素子中に形成したビア８５の剛性が
出力へ影響してＳ／Ｎを悪化させる恐れがあり、同様に
電極を接続するリード線８９の剛性および質量が出力へ
影響してＳ／Ｎを悪化させる恐れがある。また、リード
線８９の結線作業、およびビア８５の形成は加速度セン
サの製造工数を増加させ、加速度センサのコスト増を招
いていた。
願平５−２２１１８１号において本出願人が提案した加
速度センサは、圧電素子中に形成したビア８５の剛性が
出力へ影響してＳ／Ｎを悪化させる恐れがあり、同様に
電極を接続するリード線８９の剛性および質量が出力へ
影響してＳ／Ｎを悪化させる恐れがある。また、リード
線８９の結線作業、およびビア８５の形成は加速度セン
サの製造工数を増加させ、加速度センサのコスト増を招
いていた。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明の加速度センサの原理構成が図１に示される。図１に
示すように、本発明では、基板１の上に取り付けられる
板状の圧電素子２と、この板状の圧電素子２の上に重ね
て設けられる板状の重り３とを備え、外部からの加速度
によって重り３に慣性力を発生させ、この慣性力で圧電
素子２に応力を与え、圧電素子２に発生した電圧もしく
は電荷を外部に取り出すことによって加速度の大きさを
検出する加速度センサにおいて、基板１と重り３の間
に、検出しようとする加速度の方向に対して分極方向を
異ならせた圧電素子２を設け、圧電素子２の重り側と基
板側には、検出しようとする加速度の向きに対して分極
方向の異なる圧電素子２を電気的に直列接続する導通手
段４と、電気的に直列接続された圧電素子２の両端部か
ら電圧もしくは電荷を取り出す電極５を設けたことを特
徴としている。
明の加速度センサの原理構成が図１に示される。図１に
示すように、本発明では、基板１の上に取り付けられる
板状の圧電素子２と、この板状の圧電素子２の上に重ね
て設けられる板状の重り３とを備え、外部からの加速度
によって重り３に慣性力を発生させ、この慣性力で圧電
素子２に応力を与え、圧電素子２に発生した電圧もしく
は電荷を外部に取り出すことによって加速度の大きさを
検出する加速度センサにおいて、基板１と重り３の間
に、検出しようとする加速度の方向に対して分極方向を
異ならせた圧電素子２を設け、圧電素子２の重り側と基
板側には、検出しようとする加速度の向きに対して分極
方向の異なる圧電素子２を電気的に直列接続する導通手
段４と、電気的に直列接続された圧電素子２の両端部か
ら電圧もしくは電荷を取り出す電極５を設けたことを特
徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】そして、圧電素子２、重り３、導通手段
４、および電極５の形態には以下のようなものがある。 (1) 圧電素子２の分極方向が素子の面内で、かつ少なく
とも一組の圧電素子２の分極方向が互いに反対であっ
て、導通手段４が重り側に設けられ、電極５が基板側に
設けられ、基板１の面内方向に作用する加速度を検出す
るもの。
４、および電極５の形態には以下のようなものがある。 (1) 圧電素子２の分極方向が素子の面内で、かつ少なく
とも一組の圧電素子２の分極方向が互いに反対であっ
て、導通手段４が重り側に設けられ、電極５が基板側に
設けられ、基板１の面内方向に作用する加速度を検出す
るもの。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】(2) 圧電素子２の分極方向が素子の面内
で、かつ少なくとも一組の圧電素子２の分極方向が互い
に平行であって、導通手段４が重り側に設けられ、電極
５が基板側に設けられ、この分極方向が互いに平行な圧
電素子２の間に、基板１に垂直な回転軸を想定し、この
回転軸の回りに作用する加速度を検出するもの。なお、
２つの圧電素子２が配置される位置に、分極方向が同じ
で連続する１つの圧電素子を配置しても良い。
で、かつ少なくとも一組の圧電素子２の分極方向が互い
に平行であって、導通手段４が重り側に設けられ、電極
５が基板側に設けられ、この分極方向が互いに平行な圧
電素子２の間に、基板１に垂直な回転軸を想定し、この
回転軸の回りに作用する加速度を検出するもの。なお、
２つの圧電素子２が配置される位置に、分極方向が同じ
で連続する１つの圧電素子を配置しても良い。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】(3) 圧電素子２の分極方向が素子の厚さ方
向で、かつ少なくとも一組の圧電素子２の分極方向が互
いに反対であって、導通手段４が重り側に設けられ、電
極５が基板側に設けられ、基板１に垂直な方向に作用す
る加速度を検出するもの。 (4) 圧電素子２の分極方向が素子の厚さ方向で、かつ少
なくとも一組の圧電素子２の分極方向が互いに平行であ
って、導通手段４が重り側に設けられ、電極５が基板側
に設けられ、この分極方向が互いに平行な圧電素子２の
間に、基板１に平行な回転軸を想定し、この回転軸の回
りに作用する加速度を検出するもの。
向で、かつ少なくとも一組の圧電素子２の分極方向が互
いに反対であって、導通手段４が重り側に設けられ、電
極５が基板側に設けられ、基板１に垂直な方向に作用す
る加速度を検出するもの。 (4) 圧電素子２の分極方向が素子の厚さ方向で、かつ少
なくとも一組の圧電素子２の分極方向が互いに平行であ
って、導通手段４が重り側に設けられ、電極５が基板側
に設けられ、この分極方向が互いに平行な圧電素子２の
間に、基板１に平行な回転軸を想定し、この回転軸の回
りに作用する加速度を検出するもの。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１６】
【作用】本発明の加速度センサによれば、重りと基板と
の間に配置された圧電素子の分極方向が、検出しようと
する加速度の向きに対して互いに逆方向になっていると
共に、検出しようとする加速度の向きに対して分極方向
の異なる圧電素子は導通手段によって電極に対して電気
的に直列に接続されているので、検出しようとする加速
度の向きに対して分極方向の異なる圧電素子の出力は加
算されて電極に現れるので、加速度を受けた時の出力が
大きい。また、重りの下面の導体、あるいは導電性の重
りで検出しようとする加速度の向きに対して分極方向の
異なる圧電素子を直列に接続しているために、ビアやリ
ード線を必要としない。このため出力信号のＳ／Ｎが高
く、加速度センサを作る工程も少なくて済む。更に、圧
電素子を面内に並べるため薄型化することができるの
で、簡素で薄型、低コストの加速度センサを提供するこ
とができる。
の間に配置された圧電素子の分極方向が、検出しようと
する加速度の向きに対して互いに逆方向になっていると
共に、検出しようとする加速度の向きに対して分極方向
の異なる圧電素子は導通手段によって電極に対して電気
的に直列に接続されているので、検出しようとする加速
度の向きに対して分極方向の異なる圧電素子の出力は加
算されて電極に現れるので、加速度を受けた時の出力が
大きい。また、重りの下面の導体、あるいは導電性の重
りで検出しようとする加速度の向きに対して分極方向の
異なる圧電素子を直列に接続しているために、ビアやリ
ード線を必要としない。このため出力信号のＳ／Ｎが高
く、加速度センサを作る工程も少なくて済む。更に、圧
電素子を面内に並べるため薄型化することができるの
で、簡素で薄型、低コストの加速度センサを提供するこ
とができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２８】第３の実施例の加速度センサ３０の構成を
示す図８において、１１は基板、３２は圧縮型圧電素
子、１３は導電性の重り、１５は導体パターン、１６は
引き出しパターン、１７は電極を示している。第３の実
施例の加速度センサ３０が第２の実施例の加速度センサ
２０と異なる点は、圧電素子１２に剪断型ではなく、圧
縮型の圧電素子が使用されている点である。第２の実施
例の加速度センサ２０では、２つの剪断型の圧電素子１
２のそれぞれの分極方向は、基板１１に平行な素子の面
内で、かつ、平行になっていたが、第３の実施例の加速
度センサ３０では、２つの圧縮型の圧電素子３２のそれ
ぞれの分極方向は、基板１１に垂直な素子の厚さ方向で
あり、かつ反対方向である。
示す図８において、１１は基板、３２は圧縮型圧電素
子、１３は導電性の重り、１５は導体パターン、１６は
引き出しパターン、１７は電極を示している。第３の実
施例の加速度センサ３０が第２の実施例の加速度センサ
２０と異なる点は、圧電素子１２に剪断型ではなく、圧
縮型の圧電素子が使用されている点である。第２の実施
例の加速度センサ２０では、２つの剪断型の圧電素子１
２のそれぞれの分極方向は、基板１１に平行な素子の面
内で、かつ、平行になっていたが、第３の実施例の加速
度センサ３０では、２つの圧縮型の圧電素子３２のそれ
ぞれの分極方向は、基板１１に垂直な素子の厚さ方向で
あり、かつ反対方向である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２９】この実施例の加速度センサ３０は、図９に
示すように、分極方向が素子の厚さ方向の２つの圧電素
子３２が重り１３によって電気的に直列に接続された状
態になっている。従って、この実施例の加速度センサ３
０によって検出できる加速度の方向は、基板１１に対し
て垂直なＺ軸方向である。即ち、この第３の実施例の加
速度センサ３０は、上下並進方向の加速度を検出するこ
とができ、出力も２倍と高感度になる。
示すように、分極方向が素子の厚さ方向の２つの圧電素
子３２が重り１３によって電気的に直列に接続された状
態になっている。従って、この実施例の加速度センサ３
０によって検出できる加速度の方向は、基板１１に対し
て垂直なＺ軸方向である。即ち、この第３の実施例の加
速度センサ３０は、上下並進方向の加速度を検出するこ
とができ、出力も２倍と高感度になる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３１】第４の実施例では加速度センサ４０の構成
部材が前述の第３の実施例の加速度センサ３０とほぼ同
じであるので、同じ構成部材には同じ符号を付してその
説明を簡略化し、第３の実施例と異なる部分についての
み詳しく説明する。第４の実施例の加速度センサ４０の
構成を示す図１０において、１１は基板、３２は圧縮型
圧電素子、１３は導電性の重り、１５は導体パターン、
１６は引き出しパターン、１７は電極を示している。第
４の実施例の加速度センサ４０が第３の実施例の加速度
センサ３０と異なる点は、圧電素子３２の分極方向のみ
である。第３の実施例の加速度センサ３０では、２つの
圧縮型の圧電素子３２のそれぞれの分極方向は、基板１
１に垂直な素子の厚さ方向であり、かつ反対方向になっ
ていたが、第４の実施例の加速度センサ４０では、２つ
の圧縮型の圧電素子３２のそれぞれの分極方向は、基板
１１に垂直な素子の厚さ方向であり、かつ平行方向であ
る。
部材が前述の第３の実施例の加速度センサ３０とほぼ同
じであるので、同じ構成部材には同じ符号を付してその
説明を簡略化し、第３の実施例と異なる部分についての
み詳しく説明する。第４の実施例の加速度センサ４０の
構成を示す図１０において、１１は基板、３２は圧縮型
圧電素子、１３は導電性の重り、１５は導体パターン、
１６は引き出しパターン、１７は電極を示している。第
４の実施例の加速度センサ４０が第３の実施例の加速度
センサ３０と異なる点は、圧電素子３２の分極方向のみ
である。第３の実施例の加速度センサ３０では、２つの
圧縮型の圧電素子３２のそれぞれの分極方向は、基板１
１に垂直な素子の厚さ方向であり、かつ反対方向になっ
ていたが、第４の実施例の加速度センサ４０では、２つ
の圧縮型の圧電素子３２のそれぞれの分極方向は、基板
１１に垂直な素子の厚さ方向であり、かつ平行方向であ
る。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３２】この実施例の加速度センサ４０は、図１１
に示すように、分極方向が素子の厚さ方向の２つの圧電
素子３２が重り１３によって電気的に直列に接続された
状態になっている。従って、この実施例の加速度センサ
４０によって検出できる加速度の方向は、２つの圧電素
子３２の間を、基板１１に対して平行に通るＸ軸方向の
軸４１に対して回転する方向である。
に示すように、分極方向が素子の厚さ方向の２つの圧電
素子３２が重り１３によって電気的に直列に接続された
状態になっている。従って、この実施例の加速度センサ
４０によって検出できる加速度の方向は、２つの圧電素
子３２の間を、基板１１に対して平行に通るＸ軸方向の
軸４１に対して回転する方向である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
重り側の導通手段を用いて検出しようとする加速度の向
きに対して分極方向の異なる圧電素子を電気的に直列に
接続し、直列接続した圧電素子の両端に発生する電位を
基板側に設けた電極によって取り出すようにしているの
で、加速度センサの構造が簡単になって薄型化を図れる
と共に、取り出す電位が高いのでＳ／Ｎが良いという効
果がある。この結果、本発明の加速度センサは、携帯型
情報機器に搭載する磁気ディスク装置の加速度センサと
して最適である。
重り側の導通手段を用いて検出しようとする加速度の向
きに対して分極方向の異なる圧電素子を電気的に直列に
接続し、直列接続した圧電素子の両端に発生する電位を
基板側に設けた電極によって取り出すようにしているの
で、加速度センサの構造が簡単になって薄型化を図れる
と共に、取り出す電位が高いのでＳ／Ｎが良いという効
果がある。この結果、本発明の加速度センサは、携帯型
情報機器に搭載する磁気ディスク装置の加速度センサと
して最適である。
Claims (9)
- 【請求項１】 基板(1) と、この基板(1) の上に取り付
けられた板状の圧電素子(2) と、この板状の圧電素子
(2) の上に重ねて設けられる板状の重り(3) とを備え、
外部からの加速度によって前記重り(3) に慣性力を発生
させ、この慣性力で前記圧電素子(2) に応力を与え、前
記圧電素子(2) に発生した電圧もしくは電荷を外部に取
り出すことによって前記加速度の大きさを検出する加速
度センサであって、 前記基板(1) と前記重り(3) の間に、検出しようとする
加速度の方向に対して分極方向を異ならせた複数の圧電
素子(2) が設けられ、 これら複数の圧電素子(2) の重り側と基板側には、各圧
電素子(2) を電気的に直列接続する導通手段(4) と、電
気的に直列接続された圧電素子(2) の両端部から電圧も
しくは電荷を取り出す電極(5) が設けられていることを
特徴とする加速度センサ。 - 【請求項２】 前記複数の圧電素子(2) の分極方向が素
子の面内で、かつ少なくとも一組の圧電素子(2) の分極
方向が互いに反対であって、前記導通手段(4) が前記重
り側に設けられ、前記電極(5) が前記基板側に設けら
れ、前記基板(1) の面内方向に作用する加速度を検出可
能であることを特徴とする請求項１に記載の加速度セン
サ。 - 【請求項３】 前記複数の圧電素子(2) の分極方向が素
子の面内で、かつ少なくとも一組の圧電素子(2) の分極
方向が互いに平行であって、前記導通手段(4) が前記重
り側に設けられ、前記電極(5) が前記基板側に設けら
れ、この分極方向が互いに平行な圧電素子(2) の間に、
基板(1) に垂直な回転軸があると想定した時、この回転
軸の回りに作用する加速度を検出可能であることを特徴
とする請求項１に記載の加速度センサ。 - 【請求項４】 前記複数の圧電素子(2) の分極方向が素
子の厚さ方向で、かつ少なくとも一組の圧電素子(2) の
分極方向が互いに反対であって、前記導通手段(4) が前
記重り側に設けられ、前記電極(5) が前記基板側に設け
られ、前記基板(1) に垂直な方向に作用する加速度を検
出可能であることを特徴とする請求項１に記載の加速度
センサ。 - 【請求項５】 前記複数の圧電素子(2) の分極方向が素
子の厚さ方向で、かつ少なくとも一組の圧電素子(2) の
分極方向が互いに平行であって、前記導通手段(4) が前
記重り側に設けられ、前記電極(5) が前記基板側に設け
られ、この分極方向が互いに平行な圧電素子(2) の間
に、基板(1) に平行な回転軸があると想定した時、この
回転軸の回りに作用する加速度を検出可能であることを
特徴とする請求項１に記載の加速度センサ。 - 【請求項６】 分極方向が素子の面内で互いに平行な２
つの圧電素子(2) が配置された位置に、分極方向が同じ
で連続する１つの圧電素子(6) が配置されたことを特徴
とする請求項３に記載の加速度センサ。 - 【請求項７】 分極方向が素子の面内で互いに反対方向
の２つの圧電素子(2) の組が、前記重り(3) の下面側に
環状にに複数組配置され、前記導通手段(4)は基板側と
重り側の両方に設けられて全ての圧電素子(2) を電気的
に直列に接続し、基板側の隣接する導通手段(4) に前記
電極(5) が接続しており、前記重り(3) の中心部に基板
(1) に垂直な回転軸があると想定した時、この回転軸の
回りに作用する加速度を検出することを特徴とする請求
項１に記載の加速度センサ。 - 【請求項８】 前記導通手段(4) が前記重り(3) を導電
性の材料で作ることによって構成されていることを特徴
とする請求項１から７の何れか１項に記載の加速度セン
サ。 - 【請求項９】 前記導通手段(4) および前記電極(5) と
前記圧電素子(2,6)が、半田層あるいは導電性接着剤に
よって電気的に接続されていることを特徴とする請求項
１から８の何れか１項に記載の加速度センサ。
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