KR970070959A - 진동 자이로스코프 - Google Patents
진동 자이로스코프 Download PDFInfo
- Publication number
- KR970070959A KR970070959A KR1019970012255A KR19970012255A KR970070959A KR 970070959 A KR970070959 A KR 970070959A KR 1019970012255 A KR1019970012255 A KR 1019970012255A KR 19970012255 A KR19970012255 A KR 19970012255A KR 970070959 A KR970070959 A KR 970070959A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- piezoelectric substrate
- vibrator
- support pins
- polarized
- main surface
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
- G01C19/5663—Manufacturing; Trimming; Mounting; Housings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
본 발명은 진동 자이로스코프(vibrating gyroscope)에 관한 것으로, 외부 회로(external circuit)에 분할전극(divided electrode)을 접속하기 위한 리드를 장착할 필요가 없는 진동 자이로스코프에 관한 것이다. 본 발명에 따른 진동 자이로스코프는, 제1압전체 기판(first piezoelectric substrate)과 제2압전체 기판(second piezoelectric substrate)을 구비한 진동자(vibrator)를 포함한다. 제1압전체 기판의 주면에 두 개의 분할전극이 형성되어 있고, 제2압전체 기판의 주면에 공통전극이 배치되어 있다. 진동자는 제1지지핀(support pin)과 제2지지핀에 의해 지지되며, 제1지지핀과 제2지지핀은 실질적으로 “L”자형으로 형성되어 있다. 지지핀들 각각은 분할전극의 노드 근방에 부착된다. 제3지지핀은 실질적으로 “U”자형으로 형성되며, 그의 중간부에서 공통전극의 노드 근방에 결합된다. 제1지지핀과 제2지지핀은 진동자를 지지할 뿐만 아니라 각각 분할 전극에 전기적으로 접속되어 있고, 외부 외로에 결합되어 있다. 이것에 의해 분할전극들을 회로에 접속시키기 위해 필요했던 리드를 장착할 필요가 없다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 첫번째 구현예에 따른 진동 자이로스코프를 보여준다.
Claims (14)
- 기판의 두께 방향으로 분극화된 제1압전체 기판; 상기한 제1압전체 기판위에 적층되고 제1압전체 기판이 분극화된 방향에 대향하는 방향으로 분극화된 제2압전체 기판; 상기한 제1압전체 기판의 주면에 형성된 두개의 분할전극; 및 상기한 제2압전체 기판의 주면에 형성된 공통전극을 포함하는 진동자와, 상기한 진동자를 지지하는 제1, 제2 및 제3지지핀을 포함하는 진동 자이로스코프로서, 상기한 제1지지핀은 상기한 두 개의 분할적극중의 하나에 고착되어 있고, 상기한 제2지지핀은 다른 분할전극에 고착되어 있으며, 상기한 제3지지핀은 상기한 공통전극에 고착되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 자이로스코프.
- 제1항에 있어서, 상기한 제1, 제2 및 제3지지핀 각각은 굴곡부를 구비함을 특징으로 하는 진동 자이로스코프.
- 제2항에 있어서, 굴곡부 각각은 실질적으로 직각의 굴곡을 형성함을 특징으로 하는 진동 자이로스코프.
- 제2항에 있어서, 굴곡부 각각은 실질적으로 예각의 굴곡을 형성함을 특징으로 하는 진동 자이로스코프.
- 제2항에 있어서, 굴곡부 각각은 실질적으로 곡선의 굴곡을 형성함을 특징으로 하는 진동 자이로스코프.
- 제1항에 있어서, 상기한 제1, 제2 및 제3지지핀 각각은 다수의 굴곡부를 구비하고 있으며, 굴곡부 각각은 실질적으로 직각의 굴곡을 형성함을 특징으로 하는 진동 자이로스코프.
- 제1항에 있어서, 상기한 제1, 제2 및 제3지지핀은 코일형상으로 형성되어 있음을 특징으로 하는 진동 자이로스코프.
- 제1항에 있어서, 상기한 제1, 제2지지핀은 상기한 제1압전체 기판의 주면에 평행한 방향으로 굽어 있고, 상기한 제3지지핀은 상기한 제2압전체 기판의 주면에 평행한 방향으로 실질적으로 U자형으로 굽어 있음을 특징으로 하는 진동 자이로스코프.
- 압전체 진동자; 상기한 진동자를 지지하는 제1, 제2 및 제3지지핀; 상기한 제1, 제2 및 제3지지핀에 접속되어 있고, 상기한 진동자에 구동신호들을 인가하는 구동수단; 및 상기한 제1 및 제2지지핀에 접속되어 있고, 상기한 진동자로부터 신호들을 검지하는 검지 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 자이로스코프.
- 압전체 진동자; 상기한 진동자를 지지하는 제1, 제2 및 제3지지핀; 상기한 제1, 제2지지핀에 접속되어 있고, 상기한 진동자에 구동신호들을 인가하는 발진 회로; 및 상기한 제1 및 제2지지핀에 접속되어 있고, 상기한 진동자로부터 신호들을 검지하는 차동증폭회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 자이로스코프.
- 제10항에 있어서, 상기한 진동자는 기판의 두께 방향으로 분극화된 제1압전체 기판; 상기한 제1압전체 기판 위에 적층되고, 제1압전체 기판이 분극화된 방향에 대향하는 방향으로 분극화된 제2압전체 기판; 상기한 제1압전체 기판의 주면에 형성된 두 개의 분할전극; 및 상기한 제2압전체 기판의 주면에 형성된 공통전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 자이로스코프.
- 제11항에 있어서, 상기한 제1지지핀은 상기한 두 개의 분할전극 중의 하나에 고착되어 있고, 상기한 제2지지핀은 다른 분할 전극에 고착되어 있으며, 상기한 제3지지핀은 상기한 공통전극에 고착되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 자이로스코프.
- 제11항에 있어서, 상기한 제1, 제2 및 제3지지핀 각각은 굴곡부를 구비함을 특징으로 하는 진동 자이로스코프.
- 주부(main portion)와 단차부(stepped portion)를 구비한 프레임; 상기한 프레임 내부에 배치된 진동자로서, 기판의 두께 방향으로 분극화된 제1압전체 기판과, 상기한 제1압전체 기판에 적층되고 제1압전체 기판이 분극화된 방향에 대향하는 방향으로 분극화된 제2압전체 기판과, 상기한 제1압전체 기판의 주면에 형성된 두개의 분할전극 및 상기한 제2압전체 기판의 주면에 형성된 공통전극을 포함하는 진동자; 상기한 진동자를 지지하는 제1, 제2 및 제3지지핀으로서, 상기한 제1지지핀은 상기한 두 개의 분할전극 중의 하나에 실질적으로 평행하게 배치되어, 상기한 단차부의 제1측과 상기한 분할전극 간에 접속되어 있으며, 상기한 제2지지핀은 상기한 두 개의 분할전극 중의 다른 하나에 실질적으로 평행하게 배치되어, 상기한 단차부의 상기한 제1측에 대향하는 제2측과 상기한 다른 분할전극 간에 접속되어 있으며, 상기한 제3지지핀은 상기한 공통전극에 실질적으로 평행하게 배치되고 상기한 프레임을 상기한 주부의 대향하는 양측에 접속된 대향하는 말단과 상기한 공통전극에 접속된 중간 부분을 갖고 있음을 특징으로 하는 진동 자이로스코프.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8-82504 | 1996-04-04 | ||
JP08082504A JP3082663B2 (ja) | 1996-04-04 | 1996-04-04 | 振動ジャイロ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970070959A true KR970070959A (ko) | 1997-11-07 |
KR100198712B1 KR100198712B1 (en) | 1999-06-15 |
Family
ID=13776341
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019970012255A KR100198712B1 (en) | 1996-04-04 | 1997-04-02 | Vibrating gyroscope |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0800057B1 (ko) |
JP (1) | JP3082663B2 (ko) |
KR (1) | KR100198712B1 (ko) |
DE (1) | DE69719832T2 (ko) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10232132A (ja) * | 1997-02-20 | 1998-09-02 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
JP3674440B2 (ja) * | 2000-02-15 | 2005-07-20 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
JP4816295B2 (ja) * | 2006-07-13 | 2011-11-16 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子の支持構造 |
DE102008057280A1 (de) * | 2008-11-14 | 2010-05-27 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Corioliskreisel, Einrichtung für einen Corioliskreisel und Verfahren zum Betrieb eines Corioliskreisels |
JP2012252013A (ja) * | 2012-08-09 | 2012-12-20 | Seiko Epson Corp | 振動ジャイロ素子およびジャイロセンサ |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05340759A (ja) * | 1992-06-11 | 1993-12-21 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
JPH06123634A (ja) * | 1992-08-31 | 1994-05-06 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
JPH06174474A (ja) * | 1992-12-09 | 1994-06-24 | Murata Mfg Co Ltd | 振動子の支持構造 |
JPH07131280A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-19 | Toyota Motor Corp | 振動子の支持構造 |
JPH07208997A (ja) * | 1994-01-14 | 1995-08-11 | Fujitsu Ten Ltd | 振動子の支持構造 |
JP2780643B2 (ja) * | 1994-06-03 | 1998-07-30 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
-
1996
- 1996-04-04 JP JP08082504A patent/JP3082663B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-04-02 DE DE69719832T patent/DE69719832T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-04-02 KR KR1019970012255A patent/KR100198712B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-04-02 EP EP97105463A patent/EP0800057B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0800057A2 (en) | 1997-10-08 |
EP0800057B1 (en) | 2003-03-19 |
DE69719832D1 (de) | 2003-04-24 |
JPH09273934A (ja) | 1997-10-21 |
DE69719832T2 (de) | 2003-12-24 |
KR100198712B1 (en) | 1999-06-15 |
JP3082663B2 (ja) | 2000-08-28 |
EP0800057A3 (en) | 1998-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100356695B1 (ko) | 진동자이로 | |
JP2000009472A (ja) | 角速度センサ | |
US6720714B2 (en) | Vibrating gyroscope | |
KR100527351B1 (ko) | 진동 자이로스코프 및 각속도 센서 | |
KR970070959A (ko) | 진동 자이로스코프 | |
KR970070958A (ko) | 진동 자이로스코프 | |
JP3724403B2 (ja) | 振動子およびそれを用いた振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置 | |
KR960034990A (ko) | 진동 자이로스코프 | |
JP3000888B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JP3166522B2 (ja) | 加速度センサ | |
JP3189620B2 (ja) | 圧電振動子 | |
JP3139205B2 (ja) | 加速度センサ | |
KR100310140B1 (ko) | 진동자이로스코프 | |
JP3139204B2 (ja) | 加速度センサ | |
JP4191836B2 (ja) | 圧電振動ジャイロ | |
JP3687609B2 (ja) | 振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置 | |
JP3371609B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JPH09304081A (ja) | 圧電振動角速度計用振動子 | |
JP3286902B2 (ja) | 振動子の支持構造 | |
JPH07239235A (ja) | 圧電振動ジャイロ用支持具とそれを用いた組立方法 | |
JP2000292171A (ja) | 振動ジャイロ | |
JPH066959B2 (ja) | 圧電フアン | |
JPH10185583A (ja) | 圧電振動ジャイロ | |
JPH01250815A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2709315B2 (ja) | 両端自由型屈曲水晶振動子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130219 Year of fee payment: 15 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140220 Year of fee payment: 16 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150224 Year of fee payment: 17 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160222 Year of fee payment: 18 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170217 Year of fee payment: 19 |
|
EXPY | Expiration of term |