JPH01250815A - 振動ジャイロ - Google Patents

振動ジャイロ

Info

Publication number
JPH01250815A
JPH01250815A JP63079158A JP7915888A JPH01250815A JP H01250815 A JPH01250815 A JP H01250815A JP 63079158 A JP63079158 A JP 63079158A JP 7915888 A JP7915888 A JP 7915888A JP H01250815 A JPH01250815 A JP H01250815A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibrator
detection
vibration
piezoelectric
electrode plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP63079158A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2614483B2 (ja
Inventor
Seiichi Fujimura
藤村 誠一
Hiroaki Yamada
博章 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Home Electronics Ltd
NEC Corp
Original Assignee
NEC Home Electronics Ltd
NEC Corp
Nippon Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Home Electronics Ltd, NEC Corp, Nippon Electric Co Ltd filed Critical NEC Home Electronics Ltd
Priority to JP7915888A priority Critical patent/JP2614483B2/ja
Priority to CA000575857A priority patent/CA1313065C/en
Priority to DE88115809T priority patent/DE3882865T2/de
Priority to EP88115809A priority patent/EP0309963B1/en
Priority to KR1019880012491A priority patent/KR970007042B1/ko
Publication of JPH01250815A publication Critical patent/JPH01250815A/ja
Priority to US07/555,376 priority patent/US5166571A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2614483B2 publication Critical patent/JP2614483B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は振動ジャイロに関するものである。
[従来の技術] 振動ジャイロは、振動子を圧電素子等で駆動して振動さ
せ、この振動子に角速度が加わった時に生じるコリオリ
の力を振動子の変位(検出側の振動)として検出して、
加わった角速度を検出するものであるが、精度良い角速
度検出のためには、駆動側の振動モードにも検出側の振
動モードにも影響を与えないように振動子を支持するこ
とが要求される。そのためには、振動子を不動点、つま
り、振動の際に動かない部分で支持することが望ましい
、しかし、本出願人が先に出願した振動ジャイロ、すな
わち、互いに逆向きに対向して配された2個のコ字形振
動片の間に、2枚のねじり検出用圧電板、および、この
2枚のねじり検出用圧電板の間の検出用電極板を配し、
これらの隣接する面どうしを相互に接合してH型の振動
子を構成した振動ジャイロ(特願昭62−243490
号参照)の場きには、振動子の中心部に2枚のねしり検
出用圧電板で挟まれた検出用電極板を持つという構造の
ために不動点を支持することが困難であった。
[発明が解決しようとする課題] 振動子の駆動側の振動モードおよび検出側の振動モード
のいずれについても不動点を支持しないと、振動が不安
定となり、出力信すの安定性が低下する。
この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、振動子の
中心部に2枚のねじり検出用圧電板で挟まれた検出用電
極板を持つ構渫の1(型の振動ジャイロにおいて、振動
子の振動の不動点を支持することを可能にすることを目
的とする。
[yA題を解決するための手段] 上記課題を解決する本発明は、互いに逆面きに対向して
配された2個のコ字形振動片の間に、2枚のねじり検出
用圧電板、および、この2枚のねじり検出用圧電板の間
の検出用電極板を配し、これらの隣接する面どうしを相
互に接6してH型の振動子を構成した振動ジャイロにお
いて、前記検出用電極板に振動子支持用の複数の突起を
一体に設けたものである。
[作用] 上記構成において、検出用電極板はH型の振動子の中心
部にあり、この検出用電極板から延出させた突起は、振
動子の振動の不動点に位置させることができる。したが
って、振動子の不動点を支持することが可能となる。
[実施例] 以下、本発明の一実施例を第1図〜第5図を参照して説
明する。
第1図は本発明一実施例の振動ジャイロの斜視図で、こ
の振動ジャイロの振動子は、互いに逆向きに対向して配
された2個のコ字形振動片1.2の間に、2枚のねじり
検出用圧電板3,4、および、この2枚のねじり検出用
圧電板3.4の間の検出用電極板5を配し、これらの隣
接する面どうしを相互に接着剤で接合してH型の振動子
6を構成し、このH型の振動子6の側面の4カ所に駆動
用圧電素子7を図示のように上下の極性を逆にして弓艮
り1寸けた構造て′ある。
本発明では前記検出用電極板5に振動子支持用の突起8
が形成されている。実施例の突起8は、1枚の金属板か
ら前記検出用電極板5の部分とともに一体に切り出され
たもので、細いくび部8aと取り1寸は穴8bをあけた
取り付は部8cとを持ち、8字形の正面から見た中心を
貫通する中心線(1点鎖線l)の方向の両側に延出する
ように形成されている。
各部l\の配線は1示の通りであり、4枚の駆動用圧電
素子7に図示せぬ発振回路からの共通の交流駆動電圧が
供給され(端子A)、上下のコ字形振動片1,2は接地
され、各検出用圧電板3,4の出力は中間の検出用電極
板5と一体の前記突起8から引き出している(端子B)
なお、前記ねじり検出用圧電板3.4は、すべり歪みに
より電圧が発生する圧電物質を利用したもので、分極方
向が逆の2つの部分がらなり、上下両面に電極を張り付
けた構造であり、1枚の圧電板の対向面の間に働くねじ
り力に対して当J圧電板の対向面間に電圧が発生する。
上記構成の振動ジャイロの動作を説明する。
4枚の駆動用圧電素子7に交流駆動電圧を印加すると、
振動子6は、第5図に示すように、X方向で、上側と下
側とが互いに反対方向、かつ、右側と左側とが反対方向
の振動モードで振動する。
この振動子6にZ軸回りの角速度が加わると、駆動側の
振動方向と直交するY方向のコリオリの力が発生し、第
6図に示すように、振動子6をねじるごとき振動モード
で振動する。コリオリの力によるこのねじり力は中間部
の各ねじり検出用圧電板3.4に作用するので、ねじり
検出用圧電板3.4のそれぞれの対向面間にコリオリの
力に比例した電圧が発生する。各ねじり検出用圧電板3
゜4に発生した電圧は中間の検出用電極板5と一体の突
起8を介し端子Bから検出され、コリオリの力に比例し
たこの出力電圧(出力信号)から振動ジャイロに加わっ
た角速度が検出される。
第5(2Iで示した駆動側の振動モードおよび第6図で
示した検出側の振動モードにおいて、いずれの場合にも
動かない部分は、振動子6の8字形の正面からみた中心
を貫通ずる正面中心線(−点鎖線1)および側面から見
た中心を貫通する側面中心線(−点鎖線m)の部分であ
る。ところが、前記突起8は振動子6の前記正面中心線
lを通っているので、振動子6は突起8により振動の動
かない部分、つまり、不動点を支持されていることにな
り、駆動側についても検出側についても安定した振動が
得られ、出力信号の安定性が向上する。
また、振動子支持用の突起8は検出用電極5と一体なの
で、上述のようにこの突起8がら出力信号を取り出すこ
とができ、検出側のリード線の配線は不要である。
なお、振動子支持用の突起は、前記のものに限らず、第
3図、あるいは、第4図のごとき形態で検出用電極板5
と一体に設けることもできる。すなわち、第3図の場合
は、8字形の側面から見た中心を貫通する側面中心線(
1点鎖線m)の方向に延出するように突起9を形成した
ものである。
この突起9は、同様にくび部9aと取り付は穴9bをあ
けた取り付は部9Cとからなる。この側面中心線mも前
述のように振動の際に動かない部分であるので、安定し
た出力信号が得られる。
第4図の場きは、第2図で示した突起8と第3図で示し
た突起9とを共に備えたものである。この場合に′は、
8字形の正面中心線lと側面中心線mとがいずれも振動
の際に動かない部分であるから、同じく安定した信号出
力が得られるとともに、振動子6が4カ所で支持される
ので、−層支持強度が向上し、安定した支持を行うこと
ができる。
[発明の効果コ 以上説明したように本発明によれば、検出用電極板に振
動子支持用の複数の突起を設けたので、振動子を振動の
際に動かない部分で支持することが可能となり、これに
より出力信号の安定性を向上させることができた。また
、振動子を支持する突起から出力信号を取り出すことが
できるので検出側のリード線の配線が不要となり、また
、別に支持具を取り付ける必要もなく、構造が著しく簡
略化された。さらに、突起は検出用電極板と一体なので
、十分な支持強度が容易に得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す振動ジャイロの斜視図
、第2図は第1図における検出用電極板および突起の部
分の平面図、第3図は突起部分の池の実施例を示す平面
図、第4図は突起部分のさらに他の実施例を示す平面図
、第5図は駆動側の振動モードの説明図、第6図は検出
側の振動モードの説明図である。 1.2・・・コ字形振動片、3,4・・・ねじり検出用
圧電板、5・・・検出用電極板、6・・・振動ジャイロ
、7・・・駆動用圧電素子、8.9・・・突起。 出願人 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社日本
電気株式会社

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、互いに逆向きに対向して配された2個のコ字形振動
    片の間に、2枚のねじり検出用圧電板、および、この2
    枚のねじり検出用圧電板の間の検出用電極板を配し、こ
    れらの隣接する面どうしを相互に接合してH型の振動子
    を構成した振動ジャイロにおいて、 前記検出用電極板に振動子支持用の複数の突起を一体に
    設けたことを特徴とする振動ジャイロ。 2、前記突起は、H字形の正面から見た中心を貫通する
    正面中心線の方向に延出するように形成されたことを特
    徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。 3、前記突起は、H字形の側面から見た中心を貫通する
    側面中心線の方向に延出するように形成されたことを特
    徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
JP7915888A 1987-08-28 1988-03-31 振動ジャイロ Expired - Lifetime JP2614483B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7915888A JP2614483B2 (ja) 1988-03-31 1988-03-31 振動ジャイロ
CA000575857A CA1313065C (en) 1987-08-28 1988-08-26 Vibration gyro having an h-shaped vibrator
DE88115809T DE3882865T2 (de) 1987-09-28 1988-09-26 Oszillierender Kreisel mit H-förmigem Vibrator.
EP88115809A EP0309963B1 (en) 1987-09-28 1988-09-26 Vibration gyro having an h-shaped vibrator
KR1019880012491A KR970007042B1 (ko) 1987-09-28 1988-09-27 H형상 진동자 보유 진동 자이로
US07/555,376 US5166571A (en) 1987-08-28 1990-07-19 Vibration gyro having an H-shaped vibrator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7915888A JP2614483B2 (ja) 1988-03-31 1988-03-31 振動ジャイロ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01250815A true JPH01250815A (ja) 1989-10-05
JP2614483B2 JP2614483B2 (ja) 1997-05-28

Family

ID=13682149

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7915888A Expired - Lifetime JP2614483B2 (ja) 1987-08-28 1988-03-31 振動ジャイロ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2614483B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0646319U (ja) * 1992-11-30 1994-06-24 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 振動ジャイロ
US6111338A (en) * 1993-05-28 2000-08-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Acceleration sensor and method for producing the same
JP2007318996A (ja) * 2001-01-18 2007-12-06 Ngk Insulators Ltd 圧電/電歪デバイスおよびその製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0646319U (ja) * 1992-11-30 1994-06-24 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 振動ジャイロ
US6111338A (en) * 1993-05-28 2000-08-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Acceleration sensor and method for producing the same
JP2007318996A (ja) * 2001-01-18 2007-12-06 Ngk Insulators Ltd 圧電/電歪デバイスおよびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2614483B2 (ja) 1997-05-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3973742B2 (ja) 振動型ジャイロスコープ
JP2008180511A (ja) 角速度センサ
WO1998007005A1 (fr) Detecteur de vitesse angulaire
JPH0868638A (ja) 圧電振動ジャイロ,その支持構造,多次元ジャイロ
US20100229647A1 (en) Angular velocity sensor and method for fabricating the same
JP2000074673A (ja) 複合運動センサ
USRE46514E1 (en) Angular velocity sensor element, angular velocity sensor and angular velocity sensor unit both using angular velocity sensor element, and signal detecting method for angular velocity sensor unit
JPH01250815A (ja) 振動ジャイロ
JP2734155B2 (ja) 角速度センサ
JPH02218914A (ja) 振動ジャイロ
JP2741620B2 (ja) 振動子の支持構造
JP2521493B2 (ja) 振動ジャイロ
JP2681371B2 (ja) 振動ジャイロ
JPH07294262A (ja) 角速度センサ
JP2534373Y2 (ja) 振動ジャイロ
JP3307101B2 (ja) 角速度センサ
JPH09273934A (ja) 振動ジャイロ
JPH03120415A (ja) 振動ジャイロ
JPH05231870A (ja) 半導体振動ジャイロ
JP3531295B2 (ja) 振動子及びこれを用いた圧電振動角速度計
JPH0814491B2 (ja) 振動ジャイロ
JP3286902B2 (ja) 振動子の支持構造
JPS6246266A (ja) 振動センサ
JPH09250931A (ja) 音片形振動ジャイロ
JPH02228518A (ja) 振動子の支持構造