JP3369033B2 - 振動型ジャイロスコープ - Google Patents
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Description
成された振動子本体が振動駆動されて回転系内のコリオ
リ力の検出を行なう振動型ジャイロスコープに係り、特
に低電力で大きな振動を与えることが可能な振動型ジャ
イロスコープに関する。
る振動子は、従来エリンバなどの恒弾性材料に圧電材料
が貼着され、この圧電材料の圧電歪みにより恒弾性材料
が振動させられるものとなっている。しかし圧電材料に
電圧を与えて歪みを発生させ、その歪みを恒弾性材料に
伝達して恒弾性材料を振動させるものでは、駆動効率が
悪く、恒弾性材料を大きな振幅で振動させるためには、
圧電材料に大きな駆動電圧を与える必要がある。
ものにより振動子を構成し、この圧電材料の圧電歪みに
より振動を生じさせる構造とすることにより、前記恒弾
性材料に圧電材料が貼着されたものよりも駆動効率を良
くし、低電力で大きな歪みを発生させることが可能とな
る。
り振動子本体を構成した圧電振動子を端面から見たもの
である。
(紙面直交方向)が軸方向となった片持ち梁構造であ
る。振動子本体1の互いに平行な表面1aおよび裏面1
bには、Z軸方向に延びる電極2a、2b、2cがそれ
ぞれ形成されている。この振動子本体1に分極を施す際
には、図6(A)に示すように、中央の電極2b、2b
をグランド電位とし、電極2a、2aに(+)の電圧
が、電極2c、2cに(−)の電圧が与えられる。表面
1aと裏面1bそのそれぞれにおいて、電極2aと電極
2b間の電界により矢印で示す誘電分極が形成され、ま
た電極2bと電極2c間の電界により矢印で示す誘電分
極が形成される。
合には、図6(B)に示すように、中央の電極2b、2
bがグランド電位とされ、各電極2a、2aと電極2
c、2cに同相の交流駆動電圧(図5(A)参照)が与
えられる。図6(B)に示すように、ある時点で各電極
2a、2aおよび2c、2cに(+)の電圧が印加され
ると(○)を付した部分が+の歪み(伸び)、(×)を
付した部分が−の歪み(縮み)となり、中立面O−Oに
対し+X方向への正の曲がりが発生する。交流駆動電圧
により各電極に(−)の電圧が作用すると、−X方向が
正の曲りとなり、これを繰返すことにより振動子本体1
はX方向へ曲げ振動を生じる。
ャイロスコープでは、X方向へ振動している振動子本体
1がZ軸回りの回転系内に置かれると、コリオリ力によ
り振動子本体1にY方向の振動成分が生じ、振動子本体
1は、X方向の駆動振動と、Y方向のコリオリ力による
振動とが合成され運動を行なう。コリオリ力によるY方
向への振動成分が各電極から電圧として取り出される
と、これに基づいて角速度の検出が可能になる。
電材料により振動子本体1が形成された圧電振動子で
は、圧電材料の歪みを恒弾性材料に伝達して振動させる
構造に比べ、振動駆動効率がよくなる。しかし、図6に
示す従来例では、振動子本体1の表面1aと裏面1bに
おいて、誘電分極が、同じ面内に並ぶ電極の間に形成さ
れているだけである。そのため、駆動時に、誘電分極が
形成された表面1aと裏面1bに+の歪み(○印)と−
の歪み(×印)が生じても、この歪みによるX方向への
曲げモーメントが比較的小さいものとなる。すなわち、
図6(B)に示すように、ある時点で、表面1aにおい
て電極2aと2bの間に+の歪みが生じ、電極2bと2
cの間に−の歪みが生じるが、この歪みは表面1aと裏
面1bの面内に生じるものであるため、中立面O−Oを
中心とした大きな曲げモーメントを発生させることがで
きない。
する場合の駆動効率の向上に限界があり、振動子本体1
をX方向へ大きな振幅で駆動するためには、各電極2
a、2bに大きな交流駆動電圧を与えることが必要とな
り、低電力による大振幅の駆動を実現することができな
い。
あり、圧電材料により振動子本体を形成した場合に、電
極に与えられた駆動電力により、中立面に対する大きな
曲げモーメントを与えることを可能として、低電力で大
きな振動振幅を得ることができるようにした振動型ジャ
イロスコープを提供することを目的としている。
られる電界によって分極の形成が可能な圧電セラミック
で形成された断面が四角形で且つ縦長の振動子本体を有
し、この振動子本体の互いに対向する表面および裏面の
それぞれの面に、振動子本体の縦方向に延びる中心線の
両側に位置して前記縦方向と直交する方向である幅方向
に間隔を開けて平行に配置され且つ縦方向に延びる対を
成す電極が形成されている振動型ジャイ ロスコープにお
いて、前記振動子本体を形成する圧電セラミック内で
は、前記表面と前記裏面に沿って且つ前記幅方向に向け
て分極が施されているとともに、前記表面の電極と前記
裏面の電極との間で、圧電セラミックの厚み方向に向け
て分極が施されており、前記表面に形成された対を成す
電極に同じ位相の交流駆動電力が与えられて、前記振動
子本体に、前記表面および裏面の面に沿う方向で且つ前
記幅方向が振幅方向となる振動が励起され、前記裏面に
形成された対を成す電極が検出用電極として用いられ、
前記圧電振動子が振動しながら回転系内に置かれたとき
に、コリオリ力により前記振動子本体に与えられる振動
成分が、前記検出用電極により検出されることを特徴と
するものである。
形成された振動子本体に対し、表面と裏面にて同じ面内
に並ぶ電極間に電圧を与えると共に、表面と裏面にて互
いに対向する電極間にも電圧を与えることにより実現で
きる。駆動時に各電極に交流駆動電力が与えられると、
表面と裏面にて面内に歪みが発生すると共に、表面と裏
面間に位置する圧電材料にも歪みが生じ、よって振動子
本体に、中立面に対して大きな曲げモーメントが作用
し、大きな振幅にて振動を生じる。
振動子本体の縦方向に延びる両縁部に沿って電極が形成
され、前記圧電セラミック内では、前記表面に沿う分極
の形成方向と、前記裏面に沿う分極の形成方向が、幅方
向において互いに逆向きであり、さらに前記圧電セラミ
ック内では、前記厚み方向に向かう分極の形成方向が、
前記幅方向の両端において互いに逆向きであるものが好
ましい。
の両縁部に位置する電極に駆動電力が与えられたとき
に、この両縁部にて表面の電極と裏面の電極の間に位置
する圧電材料に歪みが発生する。この歪みは中立面から
最も離れた位置に発生するため、振動子本体に作用する
曲げモーメントは非常に大きくなり、低電力で大きな曲
げモーメントを発生させることが可能になる。
の縁部に位置する電極に所定の電圧が与えられたとき
に、前記電極と、同じ面内に位置する他の電極との間に
与えられる電界強度に対し、表面の電極と裏面の電極の
間に作用する電界強度が等しいかあるいはそれ以上であ
ることが好ましい。
する他の電極との間に作用する電界強度と、縁部に位置
する表裏の電極間に作用する電界強度とが同じである
と、中立面に対して一方の側にある圧電材料において、
表面と裏面に生じる歪みの大きさと、表面と裏面間に存
在する圧電材料に生じる歪みの大きさとのバランスが良
くなり、振動子本体の曲げ歪みが均一になって、駆動バ
ランスが良くなる。また縁部に位置する電極に所定の電
圧が与えられたときに、表面と裏面に作用する電界強度
よりも、表面と裏面の縁部に位置する電極間に作用する
電界強度の方が大きい場合には、中立面から離れるにし
たがって歪みが大きくなり、曲げ振動の駆動効率がよく
なる。
1つの板状の圧電セラミックに、3個の前記振動子本体
が互いに平行に分離して形成されており、個々の振動子
本体の前記表面に沿う分極方向と裏面に沿う分極方向が
互いに逆向きで、前記厚み方向に向かう分極方向が前記
幅方向の両端において互いに逆向きであり、且つ前記分
極方向は両側に位置する2個の振動子本体で同じ向き
で、中央の振動子本体で前記両側の振動子本体と逆向き
であり、圧電セラミックの前記表面において、3個の前
記振動子本体のそれぞれに設けられた前記対を成す電極
に同じ位相の交流電力が与えられて、両側の振動子本体
に、前記表面および裏面の面に沿う方向で且つ前記幅方
向が振幅方向となる振動が励起され、中央の振動子本体
に、前記面に沿う方向で且つ前記両側の振動子と逆の方
向の振動が励起され、 いずれかの振動子本体の裏面に形
成された対を成す電極が検出用電極として用いられるも
のである。
されて形成されて、前記電極に与えられる駆動電力によ
り両側の振動子本体と中央の振動子本体とが逆の位相で
振動させられるものでは、いずれかの振動子本体に設け
られた検出用電極によりコリオリ力の振動成分が検出さ
れるものとなる。
本体の振動駆動効率が良くなるため、低電力で駆動する
ことが可能になる。
ジャイロスコープを示す斜視図である。
電セラミックなど圧電材料で形成された板10の先部
に、互いに平行に分離された3個の振動子本体が形成さ
れている。この振動型ジャイロスコープでは、両側の振
動子本体が同じ位相で振動するため、この両側の振動子
本体を同じ符号11で示している。また中央の振動子本
体は両側の振動子本体と異なる位相で振動するため、両
側の振動子本体11と異なる符号12で示している。
体11、12、11をI方向から見た端面図である。図
1(A)に代表して示されるように、左右両側の振動子
本体11の表面11aには電極15a、15b、15c
が、裏面11bには、電極16a、16b、16cが形
成されている。中央の振動子本体12では、表面12a
に電極17a、17b、17cが形成され、裏面12b
に、電極18a、18b、18cが形成されている。図
3に示すように、各電極は、Z軸方向に沿って各振動子
本体11と12の長軸方向の全長にわたって延びてい
る。
X方向である。各振動子本体11と12において、振動
駆動方向であるX方向を幅方向としたとき、電極15
a、15c、16a、16c、17a、17c、18
a、18cはそれぞれ、振動子本体11と12の幅方向
の両縁部に設けられている。また電極15b、16b、
17b、18bは、各振動子本体11と12の幅方向
(X方向)の中央に位置している。各振動子本体11と
12はX方向へ振動駆動されるため、駆動方向への曲げ
の中立面O−Oは、図4に示すように、各振動子本体1
1と12のX方向の中心に位置している。
している。各図において(A)は誘電分極を施すために
各電極に与えられる電圧を示しており、誘電分極を与え
るための電圧の正負は各図(A)において(+)(−)
で示しまたグランド電位をGで示している。
12をX方向へ駆動する際に各電極に与えられる交流駆
動電圧の位相を示している。各図の(B)以下におい
て、ある電極に(+)の表示が他の電極に(−)の表示
がなされている場合、この両電極には、図5(A)
(B)に示すように180度(π)の位相差の交流駆動
電圧がそれぞれ印加されることを意味している。また各
図の(B)以下において○印は+の歪み(伸び)を示
し、×印は−の歪み(縮み)を示している。
図1(A)に示すように各電極に電圧が与えられる。
幅方向の中心に位置する電極15bと16bがグランド
電位である。表面11aでは、幅方向両縁部に位置する
電極15aに正の電圧が15cに負の電圧が与えられ、
裏面11bでは幅方向両縁部に位置する電極16aに負
の電圧が16cに正の電圧が与えられる。中央の振動子
本体12では、中央に位置する電極17bと18bがグ
ランド電位である。表面12aでは幅方向の両縁部に位
置する電極17aに負の電圧が17cに正の電圧が与え
られ、裏面12bでは幅方向の両縁部に位置する電極1
8aに正の電圧が18cに負の電圧が与えられる。図1
(A)に示す矢印は、電極間に与えられる電界の方向で
あり、この電界方向に沿って誘電分極が施される。
本体11と12の表面11a、12aでは、電極15a
と17cから中央の電極15b、17bに向けて、中央
の電極15b、17bから電極15c、17aに向けて
誘電分極が施され、振動子本体11と12の裏面11
b、12bでは、電極16c、18aから、中央の電極
16b、18bに向けて、中央の電極16b、18bか
ら電極16a、18cに向けて誘電分極が施される。ま
た、振動子本体11では、幅方向の両縁部において裏面
11bの電極16cから、表面11aの電極15cに向
けて、また表面11aの電極15aから裏面11bの電
極16aに向けてそれぞれ誘電分極が施されている。ま
た、振動子本体12では、幅方向の両縁部において、裏
面12bの電極18aから、表面12aの電極17aに
向けて、また表面12aの電極17cから裏面12bの
電極18cに向けて誘電分極が施されている。
向(Y方向)に対向する電極間(15aと16a、15
cと16c、17aと18a、17cと18c)に電界
を与えることにより、Y方向へ誘電分極を施すことが可
能になる。すなわち、振動子本体11と12の幅方向の
両縁部に位置する電極間にY方向への電界が与えられて
誘電分極が施されるため、振動子本体11の振動駆動方
向(X方向)の側面11cと11dにY方向への誘電分
極が形成され、振動子12のX方向の側面12cと12
dにおいても、Y方向への誘電分極が形成されたものと
なる。
は、各振動子本体11と12の中央の電極15b、16
bおよび17b、18bをグランド電位とする。そして
振動子本体11では、電極15aと15cに、また振動
子本体12では電極17aと17cに、それぞれ同じ位
相の交流駆動電圧(図5(A))が与えられ、振動子本
体11では、電極16aと16cに、前記と逆の位相の
交流駆動電圧(図5(B))が与えられる。
面11aおよび裏面11bでは、ある時点で、電極15
aと15bの間および電極16aと16bの間で+の歪
み(○)となり、電極15bと15cの間および電極1
6bと16cの間で−の歪み(×)となる。また電極1
5aと16aの間すなわち側面11cでは+の歪み
(○)となり、電極15cと16cの間すなわち側面1
1dでは−の歪み(×)となる。中央の振動子本体12
では、表面12aにおいて、電極17aと17b間で、
−の歪み(×)となり、電極17bと17cの間で+の
歪み(○)となる。したがって、図1(B)に示される
ある時点では、両側の振動子本体11、11の振幅方向
が+X方向となり、中央の振動子本体12の振幅は−X
方向となるように曲げ振動を生じる。両側の振動子本体
11、11と、中央の振動子本体12は、互いに逆の位
相で振動することになる。
体11では、表面11aと裏面11bでの誘電分極によ
る歪みのみならず、Y方向に対向する電極15aと16
aとの間および電極15cと16cの間の誘電分極によ
っても歪みが生じるため、振動子本体11をX方向へ曲
げ変形させるためモーメントが大きくなる。特に、電極
15aと16aの間および電極15cと16cの間の誘
電分極によって振動子本体11の両側面11cと11d
に生じる歪みは、中立面O−O(図4参照)からの距離
が長いため、この側面11cと11dの歪みにより大き
な曲げモーメントが作用する。左右の振動子本体11、
11は同じ位相でX方向へ振動し、中央の振動子本体1
2は、両側の振動子本体11と逆の位相でX方向へ振動
するが、前記のように両側の振動子本体11が大きなモ
ーメントによりX方向へ大きな振幅により振動するた
め、中央の振動子本体12は、その反作用で、X方向へ
大きな振幅にて振動するようになる。
の印加のしかたが図1(B)と相違しているが、この図
1(C)(D)においても、両側の振動子本体11、1
1と 中央の振動子本体12が、X方向へ逆の位相で振動
駆動される。
回転系内に置かれると、コリオリ力により振動方向と直
交するY方向への力が作用する。左右の振動子本体1
1、11と中央の振動子本体12は、X方向へ逆の位相
で振動駆動されているため、コリオリ力による振動成分
は、両側の振動子本体11、11と中央の振動子本体1
2とで逆位相となり、例えば両側の振動子本体11、1
1のある時点での振幅方向が+Y方向であるとき、中央
の振動子本体12の振幅方向は−Y方向である。
央の振動子本体12の裏面12bの電極18aと18c
が、コリオリ力による振動成分を検出する電極となる。
電極18aと18cが設けられている部分では誘電分極
の方向が逆であり、またコリオリ力によるY方向への振
動成分の歪みの正負は、電極18aと18cが設けられ
ている部分において同じである。よって電極18aと1
8cでは、コリオリ力による振動成分が異なる位相によ
り取り出される。この異なる位相の検出電圧は差動回路
を経て検出電圧とされる。
動子本体11の表面11aと11bにおいて、電極15
aと15b間、電極15bと15c間および電極16a
と16b間、電極16bと16c間に歪みが生じ、さら
に側面11cと11dにおいて電極15aと16a間お
よび電極15cと16c間に歪みが生じて、これらの各
歪みにより振動子本体11がX方向へ駆動される。よっ
て振動子本体11は低電力で大きな振幅で駆動されるこ
とになる。
面11aにおいて、電極15aと15cの間で電位が一
定であり、裏面11bでも、電極16aと16cの間で
電位が一定である。よって図1(C)では表面11aと
裏面11bに歪みが発生せず、側面11cと11dにお
いてのみ、電極15aと16aの間および電極15cと
16cの間で歪みが発生する。振動子本体は、側面11
cと11dに生じる歪みによりX方向へ駆動されるが、
中立面O−Oから離れた位置に歪みが生じるため、振動
子本体11は、比較的大きなモーメントによりX方向へ
駆動されることになる。
例では、分極を施す際に、図2(A)に示すように、電
極15a、16c、17c、18aに正の電圧が与えら
れ、電極15c、16a、17a、18cに負の電圧が
印加される。また各振動子本体11、12での幅方向の
中央に位置する電極15b、16bおよび17b、18
bには何の電位も与えられない。したがって、振動子本
体11の表面11aでは、電極15aから電極15cへ
電界が与えられ、裏面11bでは電極16cから電極1
6aに電界が与えられる。中央の振動子本体12の表面
12aおよび裏面12bでも同様に、電極17cから電
極17aに、また電極18aから18cに電界が与えら
れる。この電界の方向が誘電分極の方向である。
両側部では、電極15aから電極16aへ、また電極1
6cから電極15cへ電界が与えられ、この電界方向へ
分極が施される。振動子本体12でも、同様に、電極1
8aから電極17aに、また電極17cから電極18c
に電界が与えられ、その方向へ誘電分極が施される。
している。各図に示すように交流駆動電圧が印加される
ことにより、両側の振動子本体11、11と中央の振動
子本体12とで、X方向へ逆の位相で駆動される。コリ
オリ力によるY方向の振動成分は、中央の振動子本体1
2の電極18aと18cから検出される。図2の実施例
では、コリオリ力の振動成分が電極18aと18cとか
ら逆の位相として取出され、その差動をとることにより
出力が得られる。
表面11aと裏面11bにおいて、電極15aと電極1
5c間、および電極16aと電極16c間で電位が一定
である。よって表面11aと裏面11bでは歪みが発生
しない。そして側面11cにおいて電極15aと16a
の間に歪みが発生し、側面11dにおいて電極15cと
電極16cとの間に歪みが発生し、この両側面11cと
11dの歪みにより、振動子本体11がX方向へ振動駆
動されるものとなる。この場合も、側面11cと11d
での歪みは中立面O−Oに対して離れた位置に作用して
いるので、振動子本体11に対してX方向への大きな曲
げモーメントを与えることができる。
1を拡大して示したものである。まず、図4において、
振動子本体11のX方向の幅寸法とY方向の幅寸法が同
じであるとする(L2=2・L1)。誘電分極を施す際
に、グランド電位を基準として電極15aに+Vの電圧
を印加し、電極16aに−Vを印加したとすると、電極
15aと15b間の電位差はVであり、電極15aと1
6aとの電位差は2・Vである。ただし、Y方向に対向
する電極15aと16aとの距離L2は、電極15aと
15bとの距離L1の2倍である。よって、電極15a
と15b間の電界密度と、電極15aと16aとの間の
電界密度は同じであり、電極15aと15b間、および
電極15aと16a間とで分極率は同じになる。
いて、電極15aと電極16aに対し図7(A)(B)
に示す逆位相の交流駆動電圧が与えられると、電極15
aと電極15bとの間のある部分での圧電材料と、電極
15aと電極16aとの間のある部分での圧電材料にか
かる電界の強度は同じである。よって表面11aと裏面
11bのある部分での圧電効果による+の歪み量と、側
面11cのある部分での圧電効果による+の歪みの量は
等しくなる。したがって、中立面O−Oよりも左側の部
分の表面11a、裏面11bおよび、側面11cでは、
歪みの分布が一定になり、よって、振動子本体11はX
方向へバランス良く駆動されることになる。
曲げ振動させるためには、電極15aと15bの間およ
び電極16aと16bの間の各部分の歪み量よりも、側
面11cでの各部分の歪み量が大きい方が良い。これを
実現するためには、駆動時に側面11cの各部分での電
界の強度を、電極15aと15bの間および電極16a
と16bの間の各部分での電界の強度よりも大きくすれ
ばよい。そのためには、振動子本体11のY方向の厚さ
寸法L2を、X方向の幅寸法2・L1よりも短くし、図1
(A)の誘電分極形成時に、電極15aに+V、電極1
6aに−Vの電圧を印加すれば、電極15aと16a間
での圧電材料の分極率を高くでき、駆動時に作用する電
界を大きくできて、大きな歪みを発生することが可能に
なる。
表面と裏面に誘電分極を形成するのみならず、表面と裏
面の電極間にも誘電分極を形成しているため、振動駆動
時に歪みが振動のモーメントに大きく寄与するようにな
り、振動駆動効率が向上される。特に、振動子本体の幅
方向の両縁部において、厚み方向への誘電分極を形成し
ておくと、駆動時に中立面から離れた位置での歪みが大
きくなり、低電力で大きな振幅の振動を生じさせること
が可能になる。
イロスコープでは、低電力で効率の良い振動駆動が可能
になる。
分極の第1実施例を示す図3のI矢視の端面図であり、
(A)は誘電分極を形成する際に各電極に与える電圧を
示し、(B)(C)(D)は各振動子本体をX方向へ駆
動する際の各電極への交流駆動電圧の付与方法を示す、
(A)は誘電分極を形成する際に各電極に与える電圧を
示し、(B)(C)(D)は各振動子本体をX方向へ駆
動する際の各電極への交流駆動電圧の付与方法を示す、
図、
交流駆動電圧の波形図、
り、(A)は誘電分極を形成する際の電圧印加を示す説
明図、(B)は駆動時の説明図、
Claims (5)
- 【請求項1】 外部から与えられる電界によって分極の
形成が可能な圧電セラミックで形成された断面が四角形
で且つ縦長の振動子本体を有し、この振動子本体の互い
に対向する表面および裏面のそれぞれの面に、振動子本
体の縦方向に延びる中心線の両側に位置して前記縦方向
と直交する方向である幅方向に間隔を開けて平行に配置
され且つ縦方向に延びる対を成す電極が形成されている
振動型ジャイロスコープにおいて、 前記振動子本体を形成する圧電セラミック内では、前記
表面と前記裏面に沿って且つ前記幅方向に向けて分極が
施されているとともに、前記表面の電極と前記裏面の電
極との間で、圧電セラミックの厚み方向に向けて分極が
施されており、 前記表面に形成された対を成す電極に同じ位相の交流駆
動電力が与えられて、前記振動子本体に、前記表面およ
び裏面の面に沿う方向で且つ前記幅方向が振幅方向とな
る振動が励起され、前記裏面に形成された対を成す電極
が検出用電極として用いられ、前記圧電振動子が振動し
ながら回転系内に置かれたときに、コリオリ力により前
記振動子本体に与えられる振動成分が、前記検出用電極
により検出されることを特徴とする振動型ジャイロスコ
ープ。 - 【請求項2】 前記表面と前記裏面では、振動子本体の
縦方向に延びる両縁部に沿って電極が形成されている請
求項1記載の振動型ジャイロスコープ。 - 【請求項3】 前記圧電セラミック内では、前記表面に
沿う分極の形成方向と、前記裏面に沿う分極の形成方向
が、幅方向において互いに逆向きである請求項1または
2記載の振動型ジャイロスコープ。 - 【請求項4】 前記圧電セラミック内では、前記厚み方
向に向かう分極の形成方向が、前記幅方向の両端におい
て互いに逆向きである請求項1または2記載の振動型ジ
ャイロスコープ。 - 【請求項5】 1つの板状の圧電セラミックに、3個の
前記振動子本体が互いに平行に分離して形成されてお
り、個々の振動子本体の前記表面に沿う分極方向と裏面
に沿う分極方向が互いに逆向きで、前記厚み方向に向か
う分極方向が前記幅方向の両端において互いに逆向きで
あり、且つ前記分極方向は両側に位置する2個の振動子
本体で同じ向きで、中央の振動子本体で前記両側の振動
子本体と逆向きであり、 圧電セラミックの前記表面において、3個の前記振動子
本体のそれぞれに設けられた前記対を成す電極に同じ位
相の交流電力が与えられて、両側の振動子本体に、前記
表面および裏面の面に沿う方向で且つ前記幅方向が振幅
方向となる振動が励起され、中央の振動子本体に、前記
面に沿う方向で且つ前記両側の振動子と逆の方向の振動
が励起され、いずれかの振動子本体の裏面に形成された対を成す電極
が検出用電極として用いられる 請求項1ないし4のいず
れかに記載の振動型ジャイロスコープ。
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---|---|---|---|
JP22341795A JP3369033B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 振動型ジャイロスコープ |
US08/706,201 US5942839A (en) | 1995-08-31 | 1996-08-30 | Piezoelectric vibrator and vibratory gyroscope using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP22341795A JP3369033B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 振動型ジャイロスコープ |
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Family
ID=16797823
Family Applications (1)
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- 1995-08-31 JP JP22341795A patent/JP3369033B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-08-30 US US08/706,201 patent/US5942839A/en not_active Expired - Lifetime
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Title |
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近野正,圧電形の振動ジャイロ・方向センサー,昭和61年度文部省科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書(課題番号No60460142),日本,1987年 3月31日,41頁図16(a)、45頁図11(d) |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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