WO2007058343A1

WO2007058343A1 - 振動子およびその製造方法

Info

Publication number: WO2007058343A1
Application number: PCT/JP2006/323086
Authority: WO
Inventors: Katsumi Fujimoto
Original assignee: Murata Manufacturing Co., Ltd.
Priority date: 2005-11-21
Filing date: 2006-11-20
Publication date: 2007-05-24
Also published as: EP1953498A4; CN101258382B; JPWO2007058343A1; JP4636086B2; EP1953498A1; US20080185939A1; US7579760B2; CN101258382A; EP1953498B1

Abstract

　生産効率がよく、電気機械結合計通の値の大きい振動子およびその製造方法を提供する。　本願発明の一実施形態である振動子２０は、長手方向に延びる４つの側面２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄを有する四角柱状の振動体２４を含む。そして、振動体２４の１つの側面２２ａの全面には、共通電極２６が形成される。側面２２ａに対向する側面２２ｂには、その長手方向に延びるようにして、側面２２ｂの幅方向に分割されるように分割電極２８ａ，２８ｂが形成される。振動体２４には、第１分極部３０が、振動体２４の電極が形成されていない側面２２ｃ，２２ｄから分割電極２８ａ，２８ｂに向かって分極するように形成され、また、第２分極部３２は、振動体２４の電極が形成されていない側面２２ｃ，２２ｄから共通電極２６に向かって分極するように形成される。すなわち、接合層を有しないで、厚み方向に逆向きに分極された振動子２０である。

Description

明細書

振動子およびその製造方法

技術分野

[0001] この発明は、振動子およびその製造方法に関し、特にたとえば、角速度を検知するための圧電振動ジャイロに用いられる振動子およびその製造方法に関する。

背景技術

[0002] 図 11は、本願発明の背景となる従来の振動子を示す断面図である。

振動子 1は、図 11 (a)に示すように、たとえば第 1の圧電体基板 2aおよび第 2の圧電体基板 2bを含む。第 1の圧電体基板 2aおよび第 2の圧電体基板 2bは、接合層 3 を介在させながら積層される。また、第 1の圧電体基板 2aおよび第 2の圧電体基板 2 bは、図 11 (a)の矢印で示すように、互いに逆の厚み方向に分極している。そして、第 1の圧電体基板 2aの主面には、その幅方向に間隔を隔てて 2つの分割電極 4a, 4 bが形成される。また、第 2の圧電体基板 2bの主面には、共通電極 5が形成される（特許文献 1参照)。

振動子 1は、たとえば、角速度を検知するための圧電振動ジャイロに使用される。振動子 1における分割電極 4a, 4bおよび共通電極 5に、たとえば正弦波信号などの駆動信号が印加される。この駆動信号によって、第 1の圧電体基板 2aおよび第 2の圧電体基板 2bは、互いに逆に変位する。この場合、第 1の圧電体基板 2aがその主面に平行する方向に伸びて、るときには、第 2の圧電体基板 2bはその主面に平行する方向に縮む。逆に第 1の圧電体基板 2aがその主面に平行する方向に縮んで!/、るときには、第 2の圧電体基板 2bはその主面に平行する方向に伸びる。そのため、第 1の圧電体基板 2aおよび第 2の圧電体基板 2bは、その主面に直交する方向に屈曲運動する。この状態で中心軸 Oにおいて振動子 1が回転すると、 2つの分割電極 4a, 4b 力異なる信号が出力されるため、 2つの分割電極 4aと分割電極 4bの出力信号の差をとることにより、その回転角速度に応じた信号を検出することができる。この出力信号から、回転角速度を知ることができる。

[0003] このような振動子 1では、 2枚の基板の接合工程を有するので、該接合工程が量産時の生産効率を考えるうえでの阻害要因となり、さらに、個々の振動子の特性のばらつきを発生させる要因にもなつていた。また、接合層 3をエポキシ系接着剤などの有機接着剤で形成する場合、振動子 1の励振時には、その接着剤も共に振動することで角速度の検出の効率を下げたり、温度による接着剤の変化により振動状態が変化して角速度検出感度の変動を引き起こしたりして、た。

[0004] そこで、接合層を有しない振動子について、図 11 (b)に示すような振動子 6が開示されている。

振動子 6は、四角柱状の振動体 7の対向面に、それぞれ電極 8a, 8b, 8cおよび 8d , 8e, 8f力形成されて!ヽる。そして、振動体 7ίま、電極 8e力ら電極 8a, 8b, 8cに向力つて分極されており、さらに、電極 8eから電極 8d, 8fに向かってそれぞれ分極されている。（特許文献 2参照)。

また、別の接合層を有しない振動子として、図 11 (c)に示すような振動子 8が開示されている。

振動子 9は、たとえば四角柱状の振動体 10を含み、 1つの主面には、その長手方向に延びるように、かつその幅方向に間隔を隔てて 2つの分割電極 11a, l ibが形成されている。また、振動体 10の分割電極 11a, l ib形成面に対向する主面には、共通電極 12が全面に形成される。そして、振動体 10の分割電極 11a, l ib形成面側は、分割電極 11a, l ibに向かって強く分極され、共通電極 12側は、弱く分極されている。これは、あら力じめ厚み方向に分極された振動体 10の一方面側をキュリー点以上の温度に加熱して分極を弱めると同時に、他方面を冷却して分極を残すことにより達成される (特許文献 3参照)。

上述したような振動子 6、 9は、接合層を有しないので、接合層を設けていたことによる従来の不都合は生じない。

[0005] 特許文献 1 :特開平 7— 332988号公報

特許文献 2：特開平 11 83496号公報

特許文献 3：特開 2000— 314629号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題 [0006] 上述のように、接合型の振動子 1は、第 1の圧電体基板 2aと第 2の圧電体基板 2bとを接合する接合工程を有するので、該接合工程が量産時の生産効率を低下させる要因となっていた。

また、振動子 6は、接合型の振動子 1に比べて、電気機械結合係数の値が小さいという問題があった。また、ュ-モルフ型である振動子 9は、分極の一部の方向を変えた振動子 6に比べて、電気機械結合係数はよいものの、駆動信号によって変位する部分が振動体 10の厚み方向の一方側だけであるため、接合型の振動子 1の半分以下の電気機械結合係数しか得られな、と、つた問題があった。

このように、接合型の振動子では、生産効率に問題があり、接合層を有しない振動子では、電気機械結合係数が小さい、すなわち、電気工ネルギと機械工ネルギとの変換効率が劣るという問題があった。

[0007] それゆえに、この発明の主たる目的は、生産効率がよぐ電気機械結合係数の値の大き、振動子およびその製造方法を提供することである。

課題を解決するための手段

[0008] 本願発明は、長手方向に延びる 4つの側面を有する四角柱状の振動体、振動体の 1つの側面の全面に形成される共通電極、および共通電極が形成された側面に対向する側面において幅方向に分割されるように形成される分割電極を含み、振動体は、電極の形成されていない側面から分割電極方向に分極された第 1分極部と、電極の形成されてヽなヽ側面から共通電極方向に分極された第 2分極部とを有する、振動子である。

[0009] また、本願発明にかかる振動子は、長手方向に延びる 4つの側面を有する四角柱状の振動体、振動体の 1つの側面の全面に形成される共通電極、および共通電極が形成された側面に対向する側面にぉヽて幅方向に分割されるように形成される分割電極を含み、振動体は、電極の形成されていない側面から分割電極方向に分極された第 1分極部と、第 1分極部以外の部分において分割電極カゝら共通電極方向に分極された第 2分極部とを有する、振動子である。

上述した振動子は、接合層のない振動体の厚み方向の両側において、ほぼ逆向きの分極となってヽるため、振動子の分割電極および共通電極に駆動信号を印加することにより、振動体の厚み方向の両側において逆向きの変位が発生する。

[0010] 本願発明にかかる音叉型振動子は、請求項 1または請求項 2に記載の振動子が 2 つ並んで配置され、 2つの振動子が連結部により連結される音叉型振動子であって、 2つの振動子の分割電極力同一面上に形成されるように連結され、連結部は、 2つの振動子の一方端において適宜な幅で連結されることにより形成される、音叉型振動子である。

[0011] 本願発明にかかる H型振動子は、請求項 1または請求項 2に記載の振動子が 2つ並んで配置され、 2つの振動子が連結部により連結される H型振動子であって、 2つの振動子の分割電極が、同一面上に形成されるように連結され、連結部は、 2つの振動子の略中央において適宜な幅で連結されることにより形成される、 H型振動子である。

[0012] また、本願発明にかかる振動子の製造方法は、基板の一方主面および他方主面に電極を形成する第 1のステップ、基板の一方主面および他方主面に一定の間隔で溝を入れる第 2のステップ、溝に電極を形成する第 3のステップ、溝に、溝より浅くかつ幅の広い溝をさらに入れる第 4のステップ、一方主面の溝に形成された電極と一方主面に形成された電極との間、および他方主面の溝が形成された電極と他方主面に形成された電極との間に電圧を印加することにより、一方主面の溝に形成された電極から一方主面に向力つて分極し、他方主面の溝に形成された電極から他方主面に形成された電極に向カゝつて分極する第 5のステップ、一方主面に分割電極を形成する第 6のステップ、溝が形成された部分で基板を切断する第 7のステップを含む、振動子の製造方法である。

この振動子の製造方法によれば、 1枚の基板力も上述のような構造の振動子を、同時に複数個、得ることができる。

[0013] さらに、本願発明にかかる他の振動子の製造方法は、基板の一方主面および他方主面に電極を形成する第 1のステップ、基板の一方主面から他方主面方向に分極する第 2のステップ、基板の一方主面に一定の間隔で溝を入れる第 3のステップ、溝に電極を形成する第 4のステップ、溝に、溝より浅くかつ幅の広い溝をさらに入れる第 5 のステップ、溝に形成された電極と一方主面に形成された電極との間に電圧を印加することにより、溝に形成された電極力も一方主面に向力つて分極する第 6のステツプ、一方主面に分割電極を形成する第 7のステップ、溝が形成された部分で基板を切断する第 8のステップを含む、振動子の製造方法である。

この振動子の製造方法によれば、 1枚の基板力上述のような構造の振動子を同時に複数個、得ることができる。さらに、基板の一方主面に一定の間隔で溝を入れる際において、その溝の深さを調整することによって、反転させる分極の部分の割合を調整することができる。

[0014] 本願発明に力かる音叉型振動子の製造方法は、基板の一方主面および他方主面に電極を形成する第 1のステップ、基板の一方主面および他方主面に一定の間隔で溝を入れる第 2のステップ、溝に電極を形成する第 3のステップ、溝に、溝より浅くかつ幅の広い溝をさらに入れる第 4のステップ、一方主面の溝に形成された電極と一方主面に形成された電極との間、および他方主面の溝が形成された電極と他方主面に形成された電極との間に電圧を印加することにより、一方主面の溝に形成された電極力一方主面に向かって分極し、他方主面の溝に形成された電極力他方主面に形成された電極に向かって分極する第 5のステップ、一方主面に分極電極を形成する第 6のステップ、溝が形成された部分のうち 1つおきに基板を切断する第 7のステツプ、切断された基板の溝が形成された部分において、基板の一方端側を残して基板を切断することにより、 2つの振動子と 2つの振動子の一方端を連結する連結部を形成する第 8ステップを含む、音叉型振動子の製造方法である。

[0015] また、本願発明に力かる他の音叉型振動子の製造方法は、基板の一方主面および他方主面に電極を形成する第 1のステップ、基板の一方主面から他方主面方向に分極する第 2のステップ、基板の一方主面に一定の間隔で溝を入れる第 3のステップ、溝に電極を形成する第 4のステップ、溝に、溝より浅くかつ幅の広い溝をさらに入れる第 5のステップ、一方主面の溝に形成された電極と一方主面に形成された電極との間に電圧を印加することにより、溝に形成された電極から一方主面に向かって分極する第 6のステップ、一方主面に分割電極を形成する第 7のステップ、溝が形成された部分のうち 1つおきに基板を切断する第 8のステップ、切断された基板の溝が形成された部分において、基板の一方端側を残して基板を切断することにより、 2つの振動子と 2つの振動子の一方端を連結する連結部を形成する第 9ステップを含む、音叉型振動子の製造方法である。

[0016] 本願発明にかかる H型振動子の製造方法は、基板の一方主面および他方主面に電極を形成する第 1のステップ、基板の一方主面および他方主面に一定の間隔で溝を入れる第 2のステップ、溝に電極を形成する第 3のステップ、溝に、溝より浅くかつ幅の広い溝をさらに入れる第 4のステップ、一方主面の溝に形成された電極と一方主面に形成された電極との間、および他方主面の溝が形成された電極と他方主面に形成された電極との間に電圧を印加することにより、一方主面の溝に形成された電極から一方主面に向力つて分極し、他方主面の溝に形成された電極から他方主面に形成された電極に向かって分極する第 5のステップ、一方主面に分極電極を形成する第 6のステップ、溝が形成された部分のうち 1つおきに基板を切断する第 7のステップ、切断された基板の溝が形成された部分において、基板の中央部を残して基板を切断することにより、 2つの振動子と 2つの振動子の中央部を連結する連結部を形成する第 8ステップを含む、 H型振動子の製造方法である。

[0017] また、本願発明にかかる他の H型振動子の製造方法は、基板の一方主面および他方主面に電極を形成する第 1のステップ、基板の一方主面から他方主面方向に分極する第 2のステップ、基板の一方主面に一定の間隔で溝を入れる第 3のステップ、溝に電極を形成する第 4のステップ、溝に、溝より浅くかつ幅の広い溝をさらに入れる第 5のステップ、一方主面の溝に形成された電極と一方主面に形成された電極との間に電圧を印加することにより、溝に形成された電極から一方主面に向かって分極する第 6のステップ、一方主面に分割電極を形成する第 7のステップ、溝が形成された部分のうち 1つおきに基板を切断する第 8のステップ、切断された基板の溝が形成された部分において、基板の中央部を残して基板を切断することにより、 2つの振動子と 2 つの振動子の中央部を連結する連結部を形成する第 9ステップを含む、 H型振動子の製造方法である。

発明の効果

[0018] 本願発明によれば、振動体に接合層がないことから、従来のような 2枚の圧電体基板を接合する工程が不要なため、製造工程の合理ィ匕ゃコスト削減を図ることができるまた、本願発明にかかる振動子は、 1枚の振動体の厚み方向の両側において逆向きの分極が形成されている。よって、分割電極および共通電極に駆動信号を印加することで、振動体の厚み方向の両側において逆向きの変位が発生することから、結果、電気機械結合係数が大きくなる。

さらに、本願発明にかかる振動子は、接合層がないことから、温度変化などによる接合層の状態変化がなぐ力かる変化による検出感度の劣化が小さい。

本願発明の製造方法によれば、溝に形成された電極を用いることにより、 1枚の振動体の厚み方向の両側で異なる向きの分極が可能である。

したがって、 1枚の基板力本願発明の構造の振動子を複数個得ることができる。さらにまた、本願発明の製造方法によれば、上述した振動子の製造方法を応用することにより音叉型振動子や H型振動子といった振動子についても容易に製造することが可能である。

[0019] この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための最良の形態の説明から一層明ら力となろう。

図面の簡単な説明

[0020] [図 1]本願発明にかかる振動子を示す斜視図解図である。

[図 2]本願発明にかかる振動子を形成するための製造方法を示す図解図である。

[図 3]本願発明にかかる別の振動子を示す斜視図解図である。

[図 4]本願発明にかかる別の振動子を形成するための製造方法を示す図解図である

[図 5]本願発明にかかる音叉型振動子を示す斜視図解図である。

[図 6]本願発明にかかる音叉型振動子を形成するための製造方法を示す図解図である。

[図 7]本願発明にかかる別の音叉型振動子を示す斜視図解図である。

[図 8]本願発明にかかる別の音叉型振動子を形成するための製造方法を示す図解図である。

[図 9]本願発明にかかる H型振動子を示す斜視図解図である。 [図 10]本願発明にかかる別の H型振動子を示す斜視図解図である。

[図 11]本願発明の背景となる従来の振動子を示す断面図解図である。

符号の説明

[0021] 20、 50 振動子

22a, 22b, 22c, 22d 側面

24 振動体

26 共通電極

28a, 28b 分割電極

30 第 1分極部

32 第 2分極部

34 基板

36、 38 全面電極

40a, 40b 第 1の溝

42a, 42b 電極

44a, 44b 第 2の溝

60 連結部

120, 150 音叉型振動子

220, 250 H型振動子

発明を実施するための最良の形態

[0022] 図 1は、本発明の一実施形態に力かる振動子を示す斜視図解図である。

振動子 20は、長手方向に延びる 4つの側面 22a, 22b, 22c, 22dを有する四角柱状の振動体 24を含む。そして、振動体 24の 1つの側面 22aの全面には、共通電極 2 6が形成される。該共通電極 26が形成された側面 22aに対向する側面 22bの長手方向に延びるようにして、側面 22bの幅方向における中央部で分割されるように分割電極 28a, 28b力形成される。

[0023] 振動体 24には、第 1分極部 30および第 2分極部 32が形成される。第 1分極部 30 は、振動体 24の電極が形成されていない側面 22c, 22dから分割電極 28a, 28b形成面 22bに向力つて分極するように形成される。また、第 2分極部 32は、振動体 24の電極が形成されていない側面 22c, 22d力ら共通電極 26形成面 22aに向力つて分極するように形成される。

[0024] 図 2は、振動子 20を形成するための製造方法を示した断面図解図である。

このような振動子 20を形成するために、まず、基板 34が準備される。

基板 34の一方主面および他方主面には、図 2 (a)に示すように、全面電極 36, 38 が形成される。

基板 34の一方主面および他方主面の両面の対向する位置において、図 2 (b)に示すように、一定間隔で平行に第 1の溝 40a, 40bが形成される。基板 34の一方主面および他方主面にそれぞれ形成された第 1の溝 40a, 40b〖こ電極 42a, 42bが形成される。結果、全面電極 36, 38と電極 42a, 42bと力 ^接続される。なお、図 2 (b)にお!/、て、電極 42a, 42bは、第 1の溝 40a, 40bに隙間なく完全に満たされた状態となっているが、それに限るものではなぐ第 1の溝 40a, 40bの側面および底面に対して電極 42a, 42bが全面的に接触していれば良い。

図 2 (c)に示すように、第 1の溝 40a, 40bに形成された電極 42a, 42bの部分にさらに第 1の溝 40a, 40bよりも幅が広くかつ浅い第 2の溝 44a, 44b力 S形成される。結果、全面電極 36, 38と電極 42a, 42bと力 ^分離することとなる。

[0025] 基板 34の一方主面の第 1の溝 40aに形成された電極 42aと一方主面の全面電極 3 6との間、および基板 34の他方主面の第 1の溝 40bに形成された電極 42bと他方主面の全面電極 38との間に電圧を印加することにより、図 2 (c)における矢印で示すように、互いに逆の厚み方向に第 1分極部 30および第 2分極部 32が形成される。図 2 (d)において、基板 34の一方主面の全面電極 36における溝 44a間の中心線 4 6上に沿って削られて、分割電極 28a, 28bが形成される。その後、図 2 (d)に示す点線 48に示すように、幅広の第 2の溝 44a, 44bに沿って基板 34は切断されて、複数の振動子 20が形成される。このとき、第 1の溝 40a, 40b内の電極 42a, 42bは除去される。

[0026] このような振動子 20は、接合層を有しないことから、接合層を介して基板同士を接着する工程が不要なため、製造工程の合理ィ匕ゃコスト削減を図ることができる。また、振動子 20は、互いに逆の厚み方向に分極された振動体 24を含んでいることから、分割電極 28a, 28bと共通電極 26に駆動信号を印加することで、バイモルフ振動をするため、電気機械結合係数が大きな振動子 20を得ることができる。

さらに、上述した振動子 20の製造方法によると、第 1の溝 40aに形成された電極 42 aと全面電極 36との間、および第 1の溝 40bに形成された電極 42bと全面電極 38との間に電圧を印加することにより、 1枚の振動体 24の厚み方向の両側で、異なる向きの第 1分極部 30および第 2分極部 32の形成が可能となる。また、単板から多数の振動子 20を同時に得ることができる。

[0027] 図 3は、本発明の他の実施形態に力かる振動子を示す斜視図解図である。

振動子 50は、長手方向に延びる 4つの側面 22a, 22b, 22c, 22dを有する四角柱状の振動体 24を含む。そして、振動体 24の 1つの側面 22aの全面には、共通電極 2 6が形成される。該共通電極 26が形成された側面 22aに対向する側面 22bには、その長手方向に延びるようにして、側面 22bの幅方向の中央部で分割されるように分割電極 28a, 28bが形成される。

[0028] 振動体 24には、第 1分極部 30および第 2分極部 32が形成される。第 1分極部 30 は、振動体 24の電極が形成されていない側面 22c, 22dから分割電極 28a, 28b形成面 22bに向力つて分極するように形成される。また、第 2分極部 32は、振動体 24の第 1分極部 30以外の部分において、分割電極 28a, 28b形成面 22bから共通電極 2 6形成面 22aに向カゝつて分極するように形成される。

[0029] 図 4は、振動子 50を形成するための製造方法を示した断面図解図である。

このような振動子 50を形成するためには、まず、基板 34が準備される。基板 34の一方主面および他方主面には、図 4 (a)に示すように、全面電極 36, 38 が形成される。そして、図 4 (a)の矢印に示すように、その基板 34は、厚み方向、すなわち、基板 34の一方主面力も他方主面の方向の全域にわたって分極される。

基板 34の一方主面において、図 4 (b)に示すように、一定間隔で平行に第 1の溝 4 Oaが形成される。基板 34の一方主面に形成された第 1の溝 40aには、電極 42aが形成される。結果、全面電極 36と電極 42aとが接続される。なお、図 4 (b)において、電極 42aは、第 1の溝 40aに隙間なく完全に満たされた状態となっている力それに限るものではなぐ第 1の溝 40aの側面および底面に対して電極 42aが全面的に接触していれば良い。

つづいて、図 4 (c)に示すように、基板 34の一方主面の第 1の溝 40aに形成された電極 42aの部分にさらに第 1の溝 40aよりも幅が広くかつ浅い第 2の溝 44aが形成される。結果、全面電極 36と電極 42aとが分離することとなる。

[0030] 基板 34の一方主面の第 1の溝 40aに形成された電極 42aと一方主面の全面電極 3 6との間に電圧を印加することにより、図 4 (d)における矢印で示すように第 1分極部 3 0が形成される。なお、基板 34の第 1分極部 30形成部以外の部分においては、基板 34の分極が残ることにより、第 2分極部 32が形成される。

図 4 (e)において、基板 34の一方主面の全面電極 36における溝 44a間の中心線 4 6上に沿って削られて、分割電極 28a, 28bが形成される。その後、図 4 (e)に示す点線 48に示すように、幅広の第 2の溝 44a, 44bに沿って基板 34は切断されて、複数の振動子 50が形成される。このとき、第 1の溝 40a内の電極 42aは除去される。

[0031] このような振動子 50でも、接合層を有しないことから、接合層を介して基板同士を接着する工程が不要なため、製造工程の合理ィ匕ゃコスト削減を図ることができる。また、振動子 50は、互いに逆の厚み方向に分極された振動体 24を含んでいることから、分割電極 28a, 28bと共通電極 26に駆動信号を印加することで、ノィモルフ振動をするため、電気機械結合係数が大きな振動子 50を得ることができる。

さら〖こ、上述した振動子 50の製造方法によると、全面電極 36と全面電極 38との間に電圧を印加することで振動体 24の厚み方向に分極した後、第 1の溝 40aに形成された電極 42aと全面電極 36との間に電圧を印加することにより、 1枚の振動体 24の厚み方向の両側で、異なる向きの第 1分極部 30および第 2分極部 32の形成が可能となる。

また、振動子 50の製造方法によると、第 1の溝 40aの深さを調整することで、第 1分極部 30の範囲を調整することができる。それにより振動子のバイモルフ振動の状態を調整することができる。さらに、該振動子 50を単板から多数同時に得ることができる

[0032] 図 5は、本発明の実施形態に力かる音叉型振動子を示す斜視図解図である。

音叉型振動子 120は、並んで配置される 2つの振動子 20を含む。これらの振動子 20の一方端側は、連結部 60で連結され、全体として音叉型に形成される。 2つの振動子 20は、図 1に示す振動子 20と同様の構成であり、連結部 60は、振動子 20を構成する振動体 24と同じ材料で形成される。連結部 60の対向部には、 2つの振動子 2 0に並んで延びるように、電極 42a, 42bが形成されているが、これらの電極 42a, 42 bは、音叉型振動子 120の製造工程において形成された電極 42a, 42bが残ったものであり、音叉型振動子 120の動作には、関係のないものである。

[0033] 次に、音叉型振動子 120を形成するための製造方法について説明する。

音叉型振動子 120は、図 2 (a)力ゝら図 2 (c)に示す工程を含み、分極された基板 34 が形成される。次に、図 6に示すように、基板 34の一方主面の全面電極における溝 4 4a間の中心線 46上に沿って削られて、分割電極 28a, 28bが形成される。その後、図 6の点線 48に示すように、溝が形成された部分のうち、 1つおきに基板 34が切断され、中央部に溝を有する複数の基板が形成される。このようにして得られた基板の溝部分において、基板の一方端側を残して、基板が切断される。これにより、 2つの振動子 20と連結部 60とが形成され、音叉型振動子 120を得ることができる。

[0034] 図 7は、本発明の他の実施形態に力かる音叉型振動子を示す斜視図解図である。

音叉型振動子 150は、並んで配置される 2つの振動子 50を含む。これらの振動子 50の一方端側は、連結部 60で連結され、全体として音叉型に形成される。 2つの振動子 50は、図 3に示す振動子 50と同様の構成であり、連結部 60は、振動子 50を構成する振動体 24と同じ材料で形成される。連結部 60の対向部には、 2つの振動子 5 0に並んで延びるように、電極 42aが形成されているが、この電極 42aは、音叉型振動子 150の製造工程において形成された電極 42aが残ったものであり、音叉型振動子 150の動作には、関係のないものである。

[0035] 音叉型振動子 150を形成するための製造方法について説明する。

音叉型振動子 150は、図 4 (a)から図 4 (d)に示す工程を含み、分極された基板 34 が形成される。次に、図 8に示すように、基板 34の一方主面の全面電極における溝 4 4a間の中心線 46上に沿って削られて、分割電極 28a, 28bが形成される。その後、図 8の点線 48に示すように、溝が形成された部分のうち、 1つおきに基板 34が切断され、中央部に溝を有する複数の基板が形成される。このようにして得られた基板の溝部分において、基板の一方端側を残して、基板が切断される。これにより、 2つの振動子 50と連結部 60とが形成され、音叉型振動子 150を得ることができる。

[0036] 図 9は、本発明の実施形態に力かる H型振動子を示す斜視図解図である。

H型振動子 220は、並んで配置される 2つの振動子 20を含む。これらの振動子 20 の中央部は、連結部 60で連結され、全体として H型に形成される。 2つの振動子 20 は、図 1に示す振動子 20と同様の構成であり、連結部 60は、振動子 20を構成する振動体 24と同じ材料で形成される。連結部 60の対向部には、 2つの振動子 20に並んで延びるように、電極 42a, 42bが形成されている力これらの電極 42a, 42bは、 H型振動子 220の製造工程において形成された電極 42a, 42bが残ったものであり、 H型振動子 220の動作には、関係のな!、ものである。

[0037] 次に、 H型振動子 220の製造方法について説明する。

H型振動子 220は、図 2 (a)から図 2 (d)に示す工程を含み、分極された基板 34が形成される。次に、図 6に示すように、基板 34の一方主面の全面電極における溝 44a 間の中心線 46上に沿って削られて、分割電極 28a, 28bが形成される。その後、図 6 の点線 48に示すように、溝が形成された部分のうち、 1つおきに基板 34が切断され、中央部に溝を有する複数の基板が形成される。このようにして得られた基板の溝部分において、基板の中央部を残して、基板が切断される。これにより、 2つの振動子 2 0と連結部 60とが形成され、 H型振動子 220を得ることができる。

[0038] 図 10は、本発明の他の実施形態に力かる H型振動子を示す斜視図解図である。

H型振動子 250は、並んで配置される 2つの振動子 50を含む。これらの振動子 50 の中央部は、連結部 60で連結され、全体として H型に形成される。 2つの振動子 50 は、図 3に示す振動子 50と同様の構成であり、連結部 60は、振動子 50を構成する振動体 24と同じ材料で形成される。連結部 60の対向部には、 2つの振動子 50に並んで延びるように、電極 42aが形成されている力この電極 42aは、 H型振動子 250 の製造工程において形成された電極 42aが残ったものであり、 H型振動子 250の動作には、関係のないものである。

[0039] 次に、 H型振動子 250の製造方法について説明する。

H型振動子 250は、図 4 (a)から図 4 (d)に示す工程を含み、分極された基板 34が形成される。次に、図 8に示すように、基板 34の一方主面の全面電極における溝 44a 間の中心線 46上に沿って削られて、分割電極 28a, 28bが形成される。その後、図 8 の点線 48に示すように、溝が形成された部分のうち、 1つおきに基板 34が切断され、中央部に溝を有する複数の基板が形成される。このようにして得られた基板の溝部分において、基板の中央部を残して、基板が切断される。これにより、 2つの振動子 5 0と連結部 60とが形成され、 H型振動子 250を得ることができる。

Claims

請求の範囲

[1] 長手方向に延びる 4つの側面を有する四角柱状の振動体、

前記振動体の 1つの側面の全面に形成される共通電極、および

前記共通電極が形成された側面に対向する側面にぉヽて幅方向に分割されるように形成される分割電極を含み、

前記振動体は、電極の形成されて！ヽなヽ側面から前記分割電極方向に分極された第 1分極部と、電極の形成されて！ヽなヽ側面から前記共通電極方向に分極された第 2分極部とを有する、振動子。

[2] 長手方向に延びる 4つの側面を有する四角柱状の振動体、

前記振動体は、電極の形成されて！ヽなヽ側面から前記分割電極方向に分極された第 1分極部と、前記第 1分極部以外の部分において前記分割電極から前記共通電極方向に分極された第 2分極部とを有する、振動子。

[3] 請求項 1または請求項 2に記載の振動子が 2つ並んで配置され、前記 2つの振動子が連結部により連結される音叉型振動子であって、

前記 2つの振動子の分割電極が、同一面上に形成されるように連結され、前記連結部は、前記 2つの振動子の一方端において適宜な幅で連結されることにより形成される、音叉型振動子。

[4] 請求項 1または請求項 2に記載の振動子が 2つ並んで配置され、前記 2つの振動子が連結部により連結される H型振動子であって、

前記 2つの振動子の分割電極が、同一面上に形成されるように連結され、前記連結部は、前記 2つの振動子の略中央において適宜な幅で連結されることにより形成される、 H型振動子。

[5] 基板の一方主面および他方主面に電極を形成する第 1のステップ、

前記基板の前記一方主面および前記他方主面に一定の間隔で溝を入れる第 2のステップ、前記溝に電極を形成する第 3のステップ、

前記溝に、前記溝より浅くかつ幅の広い溝をさらに入れる第 4のステップ、前記一方主面の溝に形成された電極と前記一方主面に形成された電極との間、および前記他方主面の溝が形成された電極と前記他方主面に形成された電極との間に電圧を印加することにより、前記一方主面の溝に形成された電極力前記一方主面に向力つて分極し、前記他方主面の溝に形成された電極力前記他方主面に形成された電極に向力つて分極する第 5のステップ、

前記一方主面に分割電極を形成する第 6のステップ、

前記溝が形成された部分で前記基板を切断する第 7のステップを含む、振動子の製造方法。

[6] 基板の一方主面および他方主面に電極を形成する第 1のステップ、

前記基板の前記一方主面から前記他方主面方向に分極する第 2のステップ、前記基板の前記一方主面に一定の間隔で溝を入れる第 3のステップ、前記溝に電極を形成する第 4のステップ、

前記溝に、前記溝より浅くかつ幅の広い溝をさらに入れる第 5のステップ、前記一方主面の溝に形成された電極と前記一方主面に形成された電極との間に電圧を印加することにより、前記溝に形成された電極力前記一方主面に向かって分極する第 6のステップ、

前記一方主面に分割電極を形成する第 7のステップ、

前記溝が形成された部分で前記基板を切断する第 8のステップを含む、振動子の製造方法。

[7] 基板の一方主面および他方主面に電極を形成する第 1のステップ、

前記基板の前記一方主面および前記他方主面に一定の間隔で溝を入れる第 2のステップ、

前記溝に電極を形成する第 3のステップ、

前記一方主面に分極電極を形成する第 6のステップ、

前記溝が形成された部分のうち 1つおきに前記基板を切断する第 7のステップ、切断された前記基板の前記溝が形成された部分にお!ヽて、前記基板の一方端側を残して前記基板を切断することにより、 2つの振動子と前記 2つの振動子の一方端を連結する連結部を形成する第 8ステップを含む、音叉型振動子の製造方法。

[8] 基板の一方主面および他方主面に電極を形成する第 1のステップ、

前記一方主面に分割電極を形成する第 7のステップ、

前記溝が形成された部分のうち 1つおきに前記基板を切断する第 8のステップ、切断された前記基板の前記溝が形成された部分にお!ヽて、前記基板の一方端側を残して前記基板を切断することにより、 2つの振動子と前記 2つの振動子の一方端を連結する連結部を形成する第 9ステップを含む、音叉型振動子の製造方法。

[9] 基板の一方主面および他方主面に電極を形成する第 1のステップ、

前記溝に電極を形成する第 3のステップ、

前記一方主面に分極電極を形成する第 6のステップ、

前記溝が形成された部分のうち 1つおきに前記基板を切断する第 7のステップ、切断された前記基板の前記溝が形成された部分にお!、て、前記基板の中央部を残して前記基板を切断することにより、 2つの振動子と前記 2つの振動子の中央部を連結する連結部を形成する第 8ステップを含む、 H型振動子の製造方法。

基板の一方主面および他方主面に電極を形成する第 1のステップ、

前記一方主面に分割電極を形成する第 7のステップ、

前記溝が形成された部分のうち 1つおきに前記基板を切断する第 8のステップ、切断された前記基板の前記溝が形成された部分にお!、て、前記基板の中央部を残して前記基板を切断することにより、 2つの振動子と前記 2つの振動子の中央部を連結する連結部を形成する第 9ステップを含む、 H型振動子の製造方法。