JPH11307835A - 積層構造の剪断型圧電素子の製造方法 - Google Patents
積層構造の剪断型圧電素子の製造方法Info
- Publication number
- JPH11307835A JPH11307835A JP12676898A JP12676898A JPH11307835A JP H11307835 A JPH11307835 A JP H11307835A JP 12676898 A JP12676898 A JP 12676898A JP 12676898 A JP12676898 A JP 12676898A JP H11307835 A JPH11307835 A JP H11307835A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarization
- piezoelectric
- piezoelectric element
- parallel conductor
- shear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 厚み滑り振動モードを利用した積層構造の剪
断型圧電素子を容易に且つ効率よく製造できる方法を提
供する。 【解決手段】 圧電板２０の表面に分極用の平行導体パ
ターン２２を形成し、それらの間に直流電界を印加して
分極処理を施した後、前記圧電板の少なくとも平行導体
パターン間の分極領域の両面に電極２４を形成し、電極
形成後の複数の圧電板を、それらの分極方向が上下層で
互いに逆向きとなるように、間に導電性フィルム２６を
挾んで積層して接着し、その積層体の分極領域から所望
の素子形状の剪断型圧電素子２８を切り出す。
断型圧電素子を容易に且つ効率よく製造できる方法を提
供する。 【解決手段】 圧電板２０の表面に分極用の平行導体パ
ターン２２を形成し、それらの間に直流電界を印加して
分極処理を施した後、前記圧電板の少なくとも平行導体
パターン間の分極領域の両面に電極２４を形成し、電極
形成後の複数の圧電板を、それらの分極方向が上下層で
互いに逆向きとなるように、間に導電性フィルム２６を
挾んで積層して接着し、その積層体の分極領域から所望
の素子形状の剪断型圧電素子２８を切り出す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、剪断型圧電素子の
製造方法に関し、更に詳しく述べると、厚み滑り振動モ
ードを利用した積層構造の剪断型圧電素子を効率よく製
造する方法に関するものである。本発明により得られる
積層構造の剪断型圧電素子は、特に限定されるものでは
ないが、例えば微動機構のアクチュエータや錘を組み合
わせた高感度の衝撃検知用センサなどに有用である。
製造方法に関し、更に詳しく述べると、厚み滑り振動モ
ードを利用した積層構造の剪断型圧電素子を効率よく製
造する方法に関するものである。本発明により得られる
積層構造の剪断型圧電素子は、特に限定されるものでは
ないが、例えば微動機構のアクチュエータや錘を組み合
わせた高感度の衝撃検知用センサなどに有用である。
【０００２】
【従来の技術】圧電セラミックスを用いた素子には様々
な構造のものがあるが、代表的な例は電界誘起歪みの縦
効果及び横効果を利用する圧電素子であり、前者には単
板構造あるいは積層構造があり、後者には管状構造があ
る。この種の圧電素子では、分極処理に用いた電極を、
そのまま駆動用電極あるいは検知用電極として使用する
ことができる。
な構造のものがあるが、代表的な例は電界誘起歪みの縦
効果及び横効果を利用する圧電素子であり、前者には単
板構造あるいは積層構造があり、後者には管状構造があ
る。この種の圧電素子では、分極処理に用いた電極を、
そのまま駆動用電極あるいは検知用電極として使用する
ことができる。
【０００３】圧電素子としては、その他、面に沿って滑
り振動する剪断型圧電素子がある。これは、素子の分極
方向と両方の駆動用電極又は検知用電極を結ぶ方向（電
界を印加する方向又は電界を検出する方向）が直交する
特殊な構造である。単板構造の素子を模式的に図５に示
す。圧電板１０は矢印方向に分極処理されており、両表
面に駆動用電極１２，１３を設ける。駆動用電極１２，
１３間に電圧を印加すると、圧電板１０は点線で示すよ
うに剪断歪みを生じる。このような単板構造の剪断型圧
電素子は、近年、衝撃検出用のセンサなどに利用されて
いる。
り振動する剪断型圧電素子がある。これは、素子の分極
方向と両方の駆動用電極又は検知用電極を結ぶ方向（電
界を印加する方向又は電界を検出する方向）が直交する
特殊な構造である。単板構造の素子を模式的に図５に示
す。圧電板１０は矢印方向に分極処理されており、両表
面に駆動用電極１２，１３を設ける。駆動用電極１２，
１３間に電圧を印加すると、圧電板１０は点線で示すよ
うに剪断歪みを生じる。このような単板構造の剪断型圧
電素子は、近年、衝撃検出用のセンサなどに利用されて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】剪断型圧電素子は、図
６に示すように、複数枚の圧電板１４，１５を、分極方
向（矢印で示す方向）が上下の層で逆になるように重ね
た積層構造とすることによって、上下の層を同方向に滑
り変位させて歪み量の増大を図ることができる。しか
し、各圧電板について分極用の電極を形成して分極処理
を行い、それとは別に駆動用電極又は検知用電極を形成
しなければならないために積層化が困難とされており、
効率よく積層化する方法の開発が望まれていた。
６に示すように、複数枚の圧電板１４，１５を、分極方
向（矢印で示す方向）が上下の層で逆になるように重ね
た積層構造とすることによって、上下の層を同方向に滑
り変位させて歪み量の増大を図ることができる。しか
し、各圧電板について分極用の電極を形成して分極処理
を行い、それとは別に駆動用電極又は検知用電極を形成
しなければならないために積層化が困難とされており、
効率よく積層化する方法の開発が望まれていた。
【０００５】本発明の目的は、厚み滑り振動モードを利
用した積層構造の剪断型圧電素子を容易に且つ効率よく
製造できる方法を提供することである。
用した積層構造の剪断型圧電素子を容易に且つ効率よく
製造できる方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、圧電板の表面
に分極用の平行導体パターンを形成し、それらの間に直
流電界を印加して分極処理を施した後、前記圧電板の少
なくとも平行導体パターン間の分極領域の両面に電極を
形成し、電極形成後の複数の圧電板を、それらの分極方
向が上下層で互いに逆向きとなるように、間に導電性フ
ィルムを挾んで積層して接着し、その積層体の分極領域
から所望の素子形状に切り出すようにした積層構造の剪
断型圧電素子の製造方法である。
に分極用の平行導体パターンを形成し、それらの間に直
流電界を印加して分極処理を施した後、前記圧電板の少
なくとも平行導体パターン間の分極領域の両面に電極を
形成し、電極形成後の複数の圧電板を、それらの分極方
向が上下層で互いに逆向きとなるように、間に導電性フ
ィルムを挾んで積層して接着し、その積層体の分極領域
から所望の素子形状に切り出すようにした積層構造の剪
断型圧電素子の製造方法である。
【０００７】厚み滑り振動モードを利用した剪断型圧電
素子は、図５に示したように、その分極方向と電界方向
が直交した形となり、変位は面に沿った滑り振動とな
る。そして、上記のように積層構造とする際に、上下各
層の分極方向を逆向きに設定することによって、図６に
示すように、上下の層を同方向に滑り振動させて高変位
化することができる。
素子は、図５に示したように、その分極方向と電界方向
が直交した形となり、変位は面に沿った滑り振動とな
る。そして、上記のように積層構造とする際に、上下各
層の分極方向を逆向きに設定することによって、図６に
示すように、上下の層を同方向に滑り振動させて高変位
化することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明では、焼結したセラミック
ス圧電板を用い、その表面に間隔をおいて２対の分極用
の平行導体パターンを形成するのがよい。それら各平行
導体パターンの間に直流電界を印加して圧電板面内の同
一方向に分極処理を施す。そして、両平行導体パターン
のうちの外側の導体パターンの部分を切除し、少なくと
も前記圧電板の残されている導体パターンよりも外側の
分極領域の両面に電極を形成する。電極形成後の複数の
圧電板を、それらの分極方向が上下層で互いに逆向きと
なるように組み合わせて、間に導電性フィルムを挾んで
該導電性フィルムの一部が圧電板の前記切除した面から
はみ出すように積層して接着し、その積層体の分極領域
から所望の素子形状に切り出す。この方法は、両側の分
極領域から多数の製品を切り出すことができるため、効
率よく生産できる利点がある。
ス圧電板を用い、その表面に間隔をおいて２対の分極用
の平行導体パターンを形成するのがよい。それら各平行
導体パターンの間に直流電界を印加して圧電板面内の同
一方向に分極処理を施す。そして、両平行導体パターン
のうちの外側の導体パターンの部分を切除し、少なくと
も前記圧電板の残されている導体パターンよりも外側の
分極領域の両面に電極を形成する。電極形成後の複数の
圧電板を、それらの分極方向が上下層で互いに逆向きと
なるように組み合わせて、間に導電性フィルムを挾んで
該導電性フィルムの一部が圧電板の前記切除した面から
はみ出すように積層して接着し、その積層体の分極領域
から所望の素子形状に切り出す。この方法は、両側の分
極領域から多数の製品を切り出すことができるため、効
率よく生産できる利点がある。
【０００９】なお、駆動用あるいは検知用の電極を形成
する際には、消極されずに分極状態が維持されるように
スパッタ法又は蒸着法などの手法を用いるのがよい。圧
電体と導電性フィルムとは導電性接着剤で固着するのが
好ましい。圧電体は、間にそれぞれ導電性フィルムを介
在させて、３層以上積層してもよい。
する際には、消極されずに分極状態が維持されるように
スパッタ法又は蒸着法などの手法を用いるのがよい。圧
電体と導電性フィルムとは導電性接着剤で固着するのが
好ましい。圧電体は、間にそれぞれ導電性フィルムを介
在させて、３層以上積層してもよい。
【００１０】
【実施例】図１は本発明に係る積層構造の剪断型圧電素
子の製造方法の一実施例を示す工程説明図である。図１
のＡに示すように、焼結した圧電セラミックスからなる
矩形状の圧電板２０（例えば縦横約２５mm、厚さ約０．
２〜０．５mm）を用意し、その表面に分極用の２対の平
行導体パターン２２（外側を２２ａ、内側を２２ｂとす
る）を形成する。両方の平行導体パターン２２は、圧電
板２０の表裏両面で同一形状とし、矩形状の圧電板２０
の対向する２辺の近傍に設ける。各パターンは幅約２mm
であり、４mm程度の間隔をおいて設けることで平行導体
パターンとする。これは、例えば銀ペーストをスクリー
ン印刷法により塗布し、焼き付ける方法で形成する。そ
して２対の平行導体パターン２２を利用して、圧電板２
０の面内方向に同じ向きに分極処理を施す。分極方向を
矢印で示す。例えば、１２０℃の絶縁油中にて１．５ｋ
Ｖ／mm以上の直流電界を３０分以上印加する。
子の製造方法の一実施例を示す工程説明図である。図１
のＡに示すように、焼結した圧電セラミックスからなる
矩形状の圧電板２０（例えば縦横約２５mm、厚さ約０．
２〜０．５mm）を用意し、その表面に分極用の２対の平
行導体パターン２２（外側を２２ａ、内側を２２ｂとす
る）を形成する。両方の平行導体パターン２２は、圧電
板２０の表裏両面で同一形状とし、矩形状の圧電板２０
の対向する２辺の近傍に設ける。各パターンは幅約２mm
であり、４mm程度の間隔をおいて設けることで平行導体
パターンとする。これは、例えば銀ペーストをスクリー
ン印刷法により塗布し、焼き付ける方法で形成する。そ
して２対の平行導体パターン２２を利用して、圧電板２
０の面内方向に同じ向きに分極処理を施す。分極方向を
矢印で示す。例えば、１２０℃の絶縁油中にて１．５ｋ
Ｖ／mm以上の直流電界を３０分以上印加する。
【００１１】次に、分極に用いた平行導体パターンのう
ち、それぞれ外側の１本のパターン２２ａの部分を切除
する。ここでは切断位置を指示線ａ−ａで示す（図１の
Ａ参照）。そして、図１のＢに示すように、圧電板２０
の表裏両面に全面にわたって電極２４を形成する。この
電極形成は、消極されないように（即ち、分極状態が維
持されるように）、導体ペーストの焼き付けではなく、
スパッタ法あるいは蒸着法などで金などの金属膜を付着
させることで行う。
ち、それぞれ外側の１本のパターン２２ａの部分を切除
する。ここでは切断位置を指示線ａ−ａで示す（図１の
Ａ参照）。そして、図１のＢに示すように、圧電板２０
の表裏両面に全面にわたって電極２４を形成する。この
電極形成は、消極されないように（即ち、分極状態が維
持されるように）、導体ペーストの焼き付けではなく、
スパッタ法あるいは蒸着法などで金などの金属膜を付着
させることで行う。
【００１２】図１のＣに示すように、このように両面全
面に電極を形成した２枚の圧電板２０を、それらの分極
方向が互いに逆向きとなり分極領域が重なるように上下
に配置し、それらの間に導電性フィルム２６を挾んで積
層する。導電性フィルム２６としては、例えば厚さ３０
μｍ程度の合成樹脂フィルムの両面全面に銅箔を貼り付
け、銀メッキを施したものが好適である。このよう導電
性フィルム２６を、その一部が圧電板２０の前記切断箇
所からはみ出るようにし、エポキシ系などの導電性接着
剤で接着する。
面に電極を形成した２枚の圧電板２０を、それらの分極
方向が互いに逆向きとなり分極領域が重なるように上下
に配置し、それらの間に導電性フィルム２６を挾んで積
層する。導電性フィルム２６としては、例えば厚さ３０
μｍ程度の合成樹脂フィルムの両面全面に銅箔を貼り付
け、銀メッキを施したものが好適である。このよう導電
性フィルム２６を、その一部が圧電板２０の前記切断箇
所からはみ出るようにし、エポキシ系などの導電性接着
剤で接着する。
【００１３】このようにして得られる積層体について、
その分極領域を複数の所定形状に切断する。ここでは指
示線ｂ−ｂで切断して外側の分極領域を切り出し、更に
指示線ｃ−ｃで切断して個々の素子に分離する。このよ
うにして図１のＤに示すような積層構造の剪断型圧電素
子２８が得られる。ここで上下の両電極を結線すること
で一方の駆動用電極となり、中間の導電性フィルム２６
が他方の駆動用電極となる。
その分極領域を複数の所定形状に切断する。ここでは指
示線ｂ−ｂで切断して外側の分極領域を切り出し、更に
指示線ｃ−ｃで切断して個々の素子に分離する。このよ
うにして図１のＤに示すような積層構造の剪断型圧電素
子２８が得られる。ここで上下の両電極を結線すること
で一方の駆動用電極となり、中間の導電性フィルム２６
が他方の駆動用電極となる。
【００１４】上記の実施例は圧電板を２枚重ねる構造で
あったが、同様の手法によって図２に示すように、３枚
の圧電板を重ねた構造の剪断型圧電素子３０を製造する
ことも可能であるし、図示するのを省略するが、４枚以
上の圧電板を積層する構造も勿論可能である。いずれに
しても、上下の電極及び中間の導電性フィルムを交互に
結線して外部と電気的に接続する。積層枚数を増やすこ
とで、より一層の高変位化を図ることができる。
あったが、同様の手法によって図２に示すように、３枚
の圧電板を重ねた構造の剪断型圧電素子３０を製造する
ことも可能であるし、図示するのを省略するが、４枚以
上の圧電板を積層する構造も勿論可能である。いずれに
しても、上下の電極及び中間の導電性フィルムを交互に
結線して外部と電気的に接続する。積層枚数を増やすこ
とで、より一層の高変位化を図ることができる。
【００１５】このようにして製作した積層構造の剪断型
圧電素子は、図３に示すように圧電素子２８に駆動片３
２を取り付けることで矢印方向に変位する微動機構のア
クチュエータに利用できる。また図４に示すように、圧
電素子２８に錘３４を取り付けることで、高感度の衝撃
検出用センサとして利用できる。
圧電素子は、図３に示すように圧電素子２８に駆動片３
２を取り付けることで矢印方向に変位する微動機構のア
クチュエータに利用できる。また図４に示すように、圧
電素子２８に錘３４を取り付けることで、高感度の衝撃
検出用センサとして利用できる。
【００１６】
【発明の効果】本発明によって、従来積層構造が困難で
あるとされてきた剪断型の積層圧電素子を効率よく多数
個取り方式で製造することが可能となる。その結果、従
来の単層品よりも圧電素子としての変位量の拡大、ある
いは加速度センサとしての感度向上を図ることができ
る。
あるとされてきた剪断型の積層圧電素子を効率よく多数
個取り方式で製造することが可能となる。その結果、従
来の単層品よりも圧電素子としての変位量の拡大、ある
いは加速度センサとしての感度向上を図ることができ
る。
【図１】本発明に係る製造方法の一実施例を示す工程説
明図。
明図。
【図２】本発明により得られる積層構造の剪断型圧電素
子の一例を示す説明図。
子の一例を示す説明図。
【図３】積層構造の剪断型圧電素子の応用例を示す説明
図。
図。
【図４】積層構造の剪断型圧電素子の他の応用例を示す
説明図。
説明図。
【図５】単層構造の剪断型圧電素子の説明図。
【図６】２層構造の剪断型圧電素子の説明図。
２０ 圧電板 ２２ 平行導体パターン ２４ 電極 ２６ 導電性フィルム ２８ 圧電素子
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電板の表面に分極用の平行導体パター
ンを形成し、それらの間に直流電界を印加して分極処理
を施した後、前記圧電板の少なくとも平行導体パターン
間の分極領域の両面に電極を形成し、電極形成後の複数
の圧電板を、それらの分極方向が上下層で互いに逆向き
となるように、間に導電性フィルムを挾んで積層して接
着し、その積層体の分極領域から所望の素子形状に切り
出すことを特徴とする積層構造の剪断型圧電素子の製造
方法。 - 【請求項２】 焼結したセラミックス圧電板の表面に間
隔をおいて２対の分極用の平行導体パターンを形成し、
それら各平行導体パターンの間に直流電界を印加して分
極処理を施した後、両平行導体パターンのうちの外側の
導体パターンの部分を切除し、少なくとも前記圧電板の
残されている導体パターンよりも外側の分極領域の両面
に電極を形成し、電極形成後の複数の圧電板を、それら
の分極方向が上下層で互いに逆向きとなるように組み合
わせて、間に導電性フィルムを挾んで該導電性フィルム
の一部が圧電板の前記切除した面からはみ出すように積
層して接着し、その積層体の分極領域から所望の素子形
状に切り出すことを特徴とする積層構造の剪断型圧電素
子の製造方法。 - 【請求項３】 消極されずに分極状態が維持されるよう
にスパッタ法又は蒸着法により両面全面に電極を形成
し、各圧電体と導電性フィルムを導電性接着剤で固着す
る請求項１又は２記載の積層構造の剪断型圧電素子の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12676898A JPH11307835A (ja) | 1998-04-21 | 1998-04-21 | 積層構造の剪断型圧電素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12676898A JPH11307835A (ja) | 1998-04-21 | 1998-04-21 | 積層構造の剪断型圧電素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11307835A true JPH11307835A (ja) | 1999-11-05 |
Family
ID=14943457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12676898A Pending JPH11307835A (ja) | 1998-04-21 | 1998-04-21 | 積層構造の剪断型圧電素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11307835A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003101093A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-04 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電アクチュエータ |
| WO2009007047A2 (en) * | 2007-07-06 | 2009-01-15 | Eth Zurich | Piezoelectric device for detecting or generating forces and torques in multiple directions |
| JP2009302381A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 圧電薄膜デバイスおよびその製造方法 |
| JP2010177537A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電アクチュエータ |
| JPWO2016027495A1 (ja) * | 2014-08-22 | 2017-04-27 | 株式会社村田製作所 | 圧電センサ及び検出装置 |
| JP2020165887A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 凸版印刷株式会社 | 圧電体積層シートおよび圧電体積層シートの製造方法、圧電センサーおよび圧電センサーの製造方法 |
-
1998
- 1998-04-21 JP JP12676898A patent/JPH11307835A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003101093A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-04 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電アクチュエータ |
| WO2009007047A2 (en) * | 2007-07-06 | 2009-01-15 | Eth Zurich | Piezoelectric device for detecting or generating forces and torques in multiple directions |
| WO2009007047A3 (en) * | 2007-07-06 | 2009-04-09 | Eth Zuerich | Piezoelectric device for detecting or generating forces and torques in multiple directions |
| JP2009302381A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 圧電薄膜デバイスおよびその製造方法 |
| JP2010177537A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電アクチュエータ |
| JPWO2016027495A1 (ja) * | 2014-08-22 | 2017-04-27 | 株式会社村田製作所 | 圧電センサ及び検出装置 |
| US10429255B2 (en) | 2014-08-22 | 2019-10-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric sensor and detecting device |
| JP2020165887A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 凸版印刷株式会社 | 圧電体積層シートおよび圧電体積層シートの製造方法、圧電センサーおよび圧電センサーの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5605433B2 (ja) | 圧電振動装置 | |
| US5991988A (en) | Method of manufacturing a piezoelectric element | |
| JP4909607B2 (ja) | ２軸加速度センサ | |
| JP3262048B2 (ja) | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 | |
| US5192925A (en) | Piezoelectric resonator and method of fabricating the same | |
| JPH11307835A (ja) | 積層構造の剪断型圧電素子の製造方法 | |
| JP5403170B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ及び圧電振動装置 | |
| JPH11186869A (ja) | 積層型厚み縦圧電共振子 | |
| JP2002084008A (ja) | 積層構造の剪断型圧電素子 | |
| WO2016158743A1 (ja) | マザーの圧電素子及び積層型圧電素子並びに積層型圧電素子の製造方法 | |
| US6903498B2 (en) | Piezoelectric device, ladder type filter, and method of producing the piezoelectric device | |
| JP7158151B2 (ja) | 積層圧電セラミック部品及び圧電デバイス | |
| JPS62104182A (ja) | 積層圧電体の製造方法 | |
| JP2005164505A (ja) | 加速度センサ | |
| JPH0677555A (ja) | 積層型圧電素子の製造方法 | |
| WO2021049149A1 (ja) | 圧電センサ | |
| JP2007101448A (ja) | 加速度センサ及び加速度センサの製造方法 | |
| JP4818853B2 (ja) | 超音波モータ素子 | |
| JP2002246666A (ja) | 積層圧電アクチュエータ | |
| JP2002286746A (ja) | 圧電センサの製造方法 | |
| JP2008061344A (ja) | 超音波モータ素子 | |
| JPH0685451B2 (ja) | 積層型圧電バイモルフ素子及びその使用方法 | |
| JPH0442947Y2 (ja) | ||
| JP4818858B2 (ja) | 超音波モータ素子 | |
| JP2508249B2 (ja) | 圧電アクチュエ―タ |