JP4678093B2 - 振動ジャイロの製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は振動ジャイロの製造方法に関し、特にたとえば回転角速度を検出することによって、移動体の挙動検出を行うシステム、移動体の位置を検出し適切な誘導を行うナビゲーションシステム、または、手振れなどの外的振動による回転角速度を検出し適正な制振を行うカメラの手振れ防止装置などの除振システムなどに応用される振動ジャイロの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１３は従来の振動ジャイロの一例を示す平面図解図である。図１３に示す振動ジャイロ１は、正４角柱状の振動子２を含む。振動子２の上面には、Ｌ字状の２つの分割電極３が形成される。この場合、２つの分割電極３の幅の広い一端部が、振動子２の長手方向における一端側および他端側にそれぞれ形成される。また、２つの分割電極３の他の部分が、振動子２の長手方向における中間部で幅方向に間隔を隔てて形成される。これらの分割電極３は、多数の振動子２を形成するための親基板上にエッチングで多数形成される。また、振動子２の平面的に見た輪郭は、その親基板をダイサーで多数の振動子２にカットして形成される。この振動子２は、平面的に見て振動子２を幅方向に横切る４つの支持部材５で支持される。この場合、２つの支持部材５の中央部５ａが、２つの分割電極３の幅の広い一端部に、それぞれ、はんだや導電接着剤で取り付けられる。また、それによって、それらの２つの支持部材５は、２つの分割電極３にそれぞれ電気的に接続される。
図１４は従来の振動ジャイロの他の例を示す平面図解図である。図１４に示す振動ジャイロ１では、図１３に示す振動ジャイロ１と比べて、振動子２の上面に、長方形状の２つの分割電極が幅方向に間隔を隔てて形成される。２つの分割電極は、さらに、１つの中央部３、その両側に位置する２つの支持部４および２つの端部に、それぞれ分割される。振動子２の平面的に見た輪郭、中央部３ａの輪郭および支持部４の輪郭は、主面のほぼ全面に親電極を有し多数の振動子２を形成するための親基板において、親電極をダイサーで多数の中央部３や支持部４などにカットし、さらに親基板自身を振動子２にカットして形成される。この振動子２は、平面的に見て振動子２を幅方向に横切る４つの支持部材５で支持される。この場合、２つの支持部材５の中央部５ａが、支持部４にはんだや導電接着剤で取り付けられる。また、それらの２つの支持部材５は、２つの中央部３にそれぞれ電気的に接続される。この場合、２つの支持部材５の中央部５ａには中央部３上にのびる突起５ｂが形成されていて、突起５ｂが中央部３にはんだや導電接着剤で取り付けられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
図１３に示す振動ジャイロ１では、エッチングで分割電極３を形成する寸法精度が低いことと、エッチングで形成した分割電極３の輪郭に対して振動子２の輪郭をダイサーで位置精度よく形成することが困難であることとにより、振動子２に対する２つの分割電極３の位置精度が低く、振動子２の中心軸に対して２つの分割電極３がたとえば図１３の矢印で示す幅方向に寸法ずれを発生し、振動子２の対称性がよくない場合がある。
それに対して、図１４に示す振動ジャイロ１では、振動子２の平面的に見た輪郭、中央部３の輪郭および支持部４の輪郭が親基板をダイサーカットして形成されるので、振動子２や２つの分割電極などの寸法精度および位置精度が高く、振動子２の中心軸に対して２つの分割電極などが幅方向に寸法ずれを発生しにくく、振動子２の対称性がよい。
ところで、図１４に示す振動ジャイロ１では、ダイサーで親基板を部分的にカットすることが困難であるため、２つの分割電極などは、碁盤の目状に形成される。
一方、２つの支持部材５が平面的に見て振動子２を幅方向に横切るようにして振動子２に取り付けられるとともに、それらの２つの支持部材５が短絡しないようにして２つの分割電極の中央部３にそれぞれ電気的に接続されるようにしたいという要請がある。
この要請を満足するために、図１４に示す振動ジャイロ１では、支持部材５の中央部５ａが分割電極の中央部３の外側の支持部４に取り付けられ、支持部材５の中央部５ａに中央部３上にのびる突起５ｂが形成され、突起５ｂが中央部３に取り付けられる。
ところが、このように支持部材５に突起５ｂを形成すると、振動子２が幅方向においてアンバランスになり、振動子２の振動のバランスに悪影響を与えるとともに、振動ジャイロ１の温度ドリフト特性などの諸特性がよくなかったりばらついたりして信頼性にかける。
【０００４】
それゆえに、この発明の主たる目的は、振動子の精度がよく、しかも、支持部材に突起を形成する必要がない振動ジャイロを製造することができる振動ジャイロの製造方法を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この発明にかかる振動ジャイロの製造方法は、２つの分割電極および２つのノード部分を有する柱状の振動子と、２つのノード部分に対応するそれぞれの位置で振動子を幅方向に横切るようにして振動子に取り付けられ、２つの分割電極に個別に電気的に接続される２つの支持部材とを含む振動ジャイロであって、振動子の主面において、その幅方向における中央に溝が形成され、溝の両側に２つの分割電極が形成され、２つのノード部分の一方のノード部分に対応する位置で２つの支持部材の一方の支持部材が２つの分割電極に取り付けられ、２つのノード部分の他方のノード部分に対応する位置で２つの支持部材の他方の支持部材が２つの分割電極に取り付けられ、一方の支持部材の内側で２つの分割電極の一方の分割電極のみがレーザで幅方向にカットされ、他方の支持部材の内側で２つの分割電極の他方の分割電極のみがレーザで幅方向にカットされた、振動ジャイロを製造する振動ジャイロの製造方法であって、表面に親電極を有し、幅方向に配列された複数の振動子となる親基板を準備する工程と、親電極において、複数の分割電極となる部分であって、一方の支持部分の内側で一方の分割電極の幅方向にカットされる部分および他方の支持部材の内側で他方の分割電極の幅方向にカットされる部分をレーザでカットする工程と、親基板において、複数の溝となる部分をダイサーでカットする工程と、親基板において、複数の振動子の輪郭となる部分をダイサーでカットして振動子を形成する工程と、振動子の分割電極に支持部材を取り付ける工程とを含む、振動ジャイロの製造方法である。
この発明にかかる振動ジャイロの製造方法では、振動ジャイロは、一方の支持部材の外側で２つの分割電極の他方の分割電極がレーザで幅方向にカットされ、さらに他方の支持部材の外側で２つの分割電極の一方の分割電極がレーザで幅方向にカットされた、振動ジャイロであり、親電極において、複数の分割電極となる部分であって、一方の支持部分の外側で他方の分割電極の幅方向にカットされる部分および他方の支持部材の外側で一方の分割電極の幅方向にカットされる部分をレーザでカットする工程をさらに含んでもよい。
さらに、この発明にかかる振動ジャイロの製造方法では、振動ジャイロは、一方の支持部材の外側で２つの分割電極の一方の分割電極がレーザで幅方向にカットされ、さらに他方の支持部材の外側で２つの分割電極の他方の分割電極がレーザで幅方向にカットされた、振動ジャイロであり、親電極において、複数の分割電極となる部分であって、一方の支持部分の外側で一方の分割電極の幅方向にカットされる部分および他方の支持部材の外側で他方の分割電極の幅方向にカットされる部分をレーザでカットする工程をさらに含んでもよい。
また、この発明にかかる他の振動ジャイロの製造方法は、２つの分割電極および２つのノード部分を有する柱状の振動子と、２つのノード部分に対応するそれぞれの位置で振動子を幅方向に横切るようにして振動子に取り付けられ、２つの分割電極に個別に電気的に接続される２つの支持部材とを含む振動ジャイロであって、振動子の主面において、その幅方向における中央に溝が形成され、溝の両側に２つの分割電極が形成され、２つのノード部分の一方のノード部分に対応する位置で２つの支持部材の一方の支持部材が２つの分割電極に取り付けられ、２つのノード部分の他方のノード部分に対応する位置で２つの支持部材の他方の支持部材が２つの分割電極に取り付けられ、一方の支持部材の内側で２つの分割電極の一方の分割電極のみがレーザで幅方向にカットされ、他方の支持部材の内側で２つの分割電極の他方の分割電極のみがレーザで幅方向にカットされた、振動ジャイロを製造する振動ジャイロの製造方法であって、表面に親電極を有し、幅方向に配列された複数の振動子となる親基板を準備する工程と、親基板において、複数の溝となる部分をダイサーでカットする工程と、親基板において、複数の振動子の輪郭となる部分をダイサーでカットして振動子を形成する工程と、分割電極に支持部材を取り付ける工程と、一方の支持部材の内側で２つの分割電極の一方の分割電極をレーザで幅方向にカットする工程と、他方の支持部材の内側で２つの分割電極の他方の分割電極をレーザで幅方向にカットする工程とを含む、振動ジャイロの製造方法である。
この発明にかかる他の振動ジャイロの製造方法では、振動ジャイロは、一方の支持部材の外側で２つの分割電極の他方の分割電極がレーザで幅方向にカットされ、さらに他方の支持部材の外側で２つの分割電極の一方の分割電極がレーザで幅方向にカットされた、振動ジャイロであり、一方の支持部材の外側で２つの分割電極の他方の分割電極をレーザで幅方向にカットする工程と、他方の支持部材の外側で２つの分割電極の一方の分割電極をレーザで幅方向にカットする工程とをさらに含んでもよい。
さらに、この発明にかかる他の振動ジャイロの製造方法では、振動ジャイロは、一方の支持部材の外側で２つの分割電極の一方の分割電極がレーザで幅方向にカットされ、さらに他方の支持部材の外側で２つの分割電極の他方の分割電極がレーザで幅方向にカットされた、振動ジャイロであり、一方の支持部材の外側で２つの分割電極の一方の分割電極をレーザで幅方向にカットする工程と、他方の支持部材の外側で２つの分割電極の他方の分割電極をレーザで幅方向にカットする工程とをさらに含んでもよい。
【０００６】
この発明によって製造された振動ジャイロでは、振動子の２つの分割電極がレーザおよびダイサーでカットして形成されるとともに、振動子の溝および輪郭がダイサーでカットして形成されるので、振動子の精度がよい。
さらに、この発明によって製造された振動ジャイロでは、一方の分割電極が一方のノード部分に対応する位置の内側でレーザで幅方向にカットされるとともに、他方の分割電極が他方のノード部分に対応する位置の内側でレーザで幅方向にカットされるので、支持部材に突起を形成することなく、２つのノード部分に対応するそれぞれの位置で２つの支持部材を２つの分割電極に個別に電気的に接続することができる。
【０００７】
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１はこの発明によって製造された振動ジャイロの一例を示す平面図解図であり、図２はその振動ジャイロに用いられる振動子を示す斜視図である。図１に示す振動ジャイロ１０は、たとえば正４角柱状の振動子１２を含む。
【０００９】
振動子１２は、図２に示すように、短冊状の第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂを含む。第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂは、積層され接着される。また、第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂは、互いに逆の厚み方向に分極される。
【００１０】
第１の圧電体基板１４ａの主面には、その幅方向に間隔を隔てて長方形状の２つの分割電極が形成される。分割電極の一方はさらに中央部１６ａ、支持部１７ａおよび２つの端部１７ｃに分割され、分割電極の他方はさらに中央部１６ｂ、支持部１７ｂおよび２つの端部１７ｃに分割される。この場合、一方の分割電極の中央部１６ａは、後述する２つのノード部分のうちの一方のノード部分に対応する位置の内側から他方のノード部分に対応する位置の外側にわたって形成される。また、他方の分割電極の中央部１６ｂは、一方のノード部分に対応する位置の外側から他方のノード部分に対応する位置の内側にわたって形成される。すなわち、一方の分割電極の中央部１６ａの長手方向における一端は、他方の分割電極の中央部１６ｂの長手方向における一端より、第１の圧電体基板１４ａの長手方向において内側に形成される。逆に、一方の分割電極の中央部１６ａの長手方向における他端は、他方の分割電極の中央部１６ｂの長手方向における他端より、第１の圧電体基板１４ａの長手方向において外側に形成される。
【００１１】
さらに、第１の圧電体基板１４ａの主面には、第１の圧電体基板１４ａの長手方向において、一方の分割電極の中央部１６ａの一端の外側に矩形状の一方の支持部１７ａが形成され、他方の分割電極の中央部１６ｂの他端の外側に矩形状の他方の支持部１７ｂが形成される。この場合、一方の支持部１７ａの外側の端は、他方の中央部１６ｂの一端と一直線上にそろうように形成される。また、他方の支持部１７ｂの外側の端は、一方の中央部１６ａの他端と一直線上にそろうように形成される。
【００１２】
また、第１の圧電体基板１４ａの一方主面には、一方の分割電極の中央部１６ａおよび一方の支持部１７ａの両外側と、他方の分割電極の中央部１６ｂおよび他方の支持部１７ｂの両外側とに、矩形状の端部１７ｃがそれぞれ形成される。なお、一方の分割電極の中央部１６ａと一方の支持部１７ａとの間の部分１５ａ、他方の分割電極の中央部１６ｂと他方の支持部１７ｂとの間の部分１５ｂ、他方の支持部１７ｂと端部１７ｃとの間の部分１５ｃ、一方の分割電極の中央部１６ａと端部１７ｃとの間の部分１５ｃ、一方の支持部１７ａと端部１７ｃとの間の部分１５ｄ、および他方の分割電極の中央部１６ｂと端部１７ｃとの間の部分１５ｄは、もともとあった電極の一部をレーザで除去して形成されている。また、第１の圧電基板１４ａの一方主面には、その幅方向における中央において、一方の分割電極の中央部１６ａ、一方の支持部１７ａおよびそれらの両外側の２つの端部１７ｃと、他方の分割電極の中央部１６ｂ、他方の支持部１７ｂおよびそれらの両外側の２つの端部１７ｃとの間に、直線状の溝１６ａｂが形成される。
【００１３】
また、第２の圧電体基板１４ｂの主面には、共通電極１８が形成される。さらに、第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂ間には、中間電極２０が形成される。
【００１４】
この振動子１２では、第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂが互いに逆の厚み方向に分極されているので、２つの分割電極の中央部１６ａおよび１６ｂと共通電極１８との間にたとえば正弦波信号などの駆動信号を印加すれば、第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂが互いに逆に屈曲する。この場合、第１の圧電体基板１４ａがその主面に平行する方向に伸びているときには、第２の圧電体基板１４ｂはその主面に平行する方向に縮む。逆に、第１の圧電体基板１４ａがその主面に平行する方向に縮んでいるときには、第２の圧電体基板１４ｂはその主面に平行する方向に伸びる。そのため、第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂは、その長手方向における両端部から少しだけ内側の２つの部分を２つのノード部分として、その主面に直交する方向に屈曲振動する。
【００１５】
振動子１２の上面および下面の分割電極の中央部１６ａ，１６ｂ、支持部１７ａ，１７ｂおよび共通電極１８において、２つのノード部分に対応する４か所の位置には、４つの支持部材２２の矩形板状の中央部２２ａがそれぞれたとえばはんだや導電接着剤で取り付けられる。それによって、振動子１２は、平面的に見て振動子１２を幅方向に横切る４つの支持部材２２で上下方向から挟持されて支持される。これらの支持部材２２は、中央部２２ａが矩形板状のパッドとして形成され、中央部２２ａの両側には、それぞれ、振動子１２の振動の閉じ込め効果を得るための略Ｚ字状の中間部２２ｂを介して矩形板状の端部２２ｃが形成される。これらの支持部材２２は、たとえばリン青銅などの恒弾性金属の板材を打ち抜くことによって形成される。これらの支持部材２２は、振動子１２の分割電極の中央部１６ａ，１６ｂおよび共通電極１８に駆動信号を与え、また、分割電極の中央部１６ａ，１６ｂおよび共通電極１８から検出信号を得るための導電線ともなる。そのため、振動子１２の上面の一方の支持部材２２の中央部２２ａは、分割電極の中央部１６ｂの一端部および支持部１７ａに、たとえばはんだや導電接着剤で電気的かつ機械的に接続される。また、振動子１２の上面の他方の支持部材２２の中央部２２ａは、分割電極の中央部１６ａの他端部および支持部１７ｂに、たとえばはんだや導電接着剤で電気的かつ機械的に接続される。さらに、振動子１２の下面の２つの支持部材２２の中央部２２ａは、共通電極１８にたとえばはんだや導電接着剤で電気的かつ機械的に接続される。
【００１６】
さらに、この振動ジャイロ１０は、たとえば合成樹脂からなる箱型の外囲器３０を含む。外囲器３０の幅方向における両側の内壁には、たとえばブロック状の４つの支持台３２が間隔を隔てて外囲器３０と一体的に形成される。さらに、これらの支持台３２の上面には、支持部材２２が取り付けられる電極（図示せず）がそれぞれ形成され、同様に、これらの支持台３２の下面にも、支持部材２２が取り付けられる電極（図示せず）がそれぞれ形成される。
【００１７】
そして、振動子１２の下面に取り付けられる２つの支持部材２２の４つの端部２２ｃは、外囲器３０の４つの支持台３２の下面に形成した電極（図示せず）に、たとえばはんだや導電接着剤で電気的かつ機械的に接続される。同様に、振動子１２の上面に取り付けられる２つの支持部材２２の４つの端部２２ｃは、外囲器３０の４つの支持台３２の上面に形成した電極（図示せず）に、たとえばはんだや導電接着剤で電気的かつ機械的に接続される。
【００１８】
この振動ジャイロ１０を製造するためには、まず、振動子１２、支持部材２２および外囲器３０が形成される。この場合、外囲器３０には、４つの支持台３２のほかに、支持台３２の上面および下面に電極（図示せず）がそれぞれ形成される。
【００１９】
次に、図３、図４および図５を用いて振動子１２を形成する方法を示す。
まず、親基板１１が形成される。この親基板１１は、複数の振動子１２となるものであって、第１の親電極１５、第１の親圧電体基板１３ａ、第３の親電極１９、第２の親圧電体基板１３ｂおよび第２の親電極１７が、この順に積層されたものである。第１の親圧電体基板１３ａおよび第２の親圧電体基板１３ｂは、それぞれ、複数の第１の圧電体基板１４ａおよび複数の第２の圧電体基板１４ｂとなるものである。また、第１の親電極１５は、複数の分割電極の中央部１６ａ，１６ｂ、支持部１７ａ，１７ｂおよび端部１７ｃとなるものである。さらに、第２の親電極１７は、複数の共通電極１８となるものである。また、第３の親電極１９は、複数の中間電極２０となるものである。
【００２０】
そして、親基板１１の第１の親電極１５は、図３に示すように、分割電極の中央部１６ａの長手方向における一端の外側になる部分１５ａ（中央部１６ａおよび支持部１７ａの間になる部分）と、中央部１６ｂの長手方向における他端の外側になる部分１５ｂ（中央部１６ｂおよび支持部１７ｂの間になる部分）と、中央部１６ａの長手方向における他端の外側および支持部１７ｂの外側になる部分１５ｃ（中央部１６ａおよび端部１７ｃの間になる部分と支持部１７ｂおよび端部１７ｃの間になる部分）と、中央部１６ｂの長手方向における一端の外側および支持部１７ａの外側になる部分１５ｄ（中央部１６ｂおよび端部１７ｃの間になる部分と支持部１７ａおよび端部１７ｃの間になる部分）とが、それぞれ、レーザでカットされる。
【００２１】
それから、親基板１１の第１の親電極１５と第１の親圧電体基板１３ａの厚みの一部分とは、２つの分割電極の間の溝１６ａｂに対応する直線部分（図４の１点鎖線で示す部分）にダイサーで溝が形成されるとともに、親基板１１は、振動子１２の平面的に見た輪郭に対応する部分（図４の２点鎖線で示す部分）がダイサーでカットされる。それによって、図２および図５に示す振動子１２が形成される。
【００２２】
そして、下方の２つの支持部材２２の４つの端部２２ｃが、外囲器３０の４つの支持台３２の下面に形成した電極（図示せず）に、たとえばはんだや導電接着剤で電気的かつ機械的に接続される。
【００２３】
それから、それらの２つの支持部材２２の中央部２２ａには、振動子１２の共通電極１８が、たとえばはんだや導電接着剤で電気的かつ機械的に接続される。
【００２４】
そして、上方の２つの支持部材２２の中央部２２ａが、振動子１２の分割電極の中央部１６ａ，１６ｂおよび支持部１７ａ，１７ｂに、たとえばはんだや導電接着剤で電気的かつ機械的に接続されるとともに、それらの２つの支持部材２２の４つの端部２２ｃが、外囲器３０の４つの支持台３２の上面に形成した電極（図示せず）に、たとえばはんだや導電接着剤で電気的かつ機械的に接続される。それによって、図１に示す振動ジャイロ１０が製造される。
【００２５】
この振動ジャイロ１０では、振動子１２の２つの分割電極の中央部１６ａ，１６ｂなどの各部がレーザおよびダイサーでカットして形成されるとともに、振動子１２の溝１６ａｂおよび輪郭がダイサーでカットして形成されるので、振動子１２の精度がよい。
【００２６】
さらに、この振動ジャイロ１０では、一方の分割電極の中央部１６ａが一方のノード部分に対応する位置の内側から他方のノード部分に対応する位置の外側に形成されるとともに、他方の分割電極の中央部１６ｂが一方のノード部分に対応する位置の外側から他方のノード部分に対応する位置の内側に形成されるので、支持部材２２に突起を形成することなく、２つのノード部分に対応するそれぞれの位置で２つの支持部材２２を２つの分割電極の中央部１６ａ，１６ｂに個別に電気的に接続することができる。
【００２７】
また、この振動ジャイロ１０では、上述のように、振動子１２の精度がよいとともに支持部材２２に突起を形成する必要がないので、振動子１２の対称性がよくなり、温度ドリフト特性などの諸特性が向上するとともにばらつきも低減して信頼性が向上する。
【００２８】
図６は振動子の他の例を示す斜視図である。図６に示す振動子１２は、図２および図５に示す振動子１２と比べて、支持部１７ａが第１に圧電体基板１４ａの長手方向における一端にまでのびて形成され、支持部１７ｂが第１の圧電体基板１４ａの長手方向における他端にまでのびて形成される。図６に示す振動子１２を形成するためには、上述の図２および図５に示す振動子１２を形成する方法において、親基板１１の第１の親電極１５は、支持部１７ｂの外側になる部分１５ｃと支持部１７ａの外側になる部分１５ｄとがカットされなければよい。この発明は、図６に示す振動子１２が用いられる振動ジャイロの製造方法にも適用される。
【００２９】
また、この発明は、図示は省略するが、図６に示す振動子１２と比べて、分割電極の中央部１６ａが第１の圧電体基板１４ａの長手方向における他端にまでのびて形成され、分割電極の中央部１６ｂが第１の圧電体基板１４ａの長手方向における一端にまでのびて形成される振動子が用いられる振動ジャイロの製造方法にも適用される。このような振動子を形成するためには、上述の図６に示す振動子１２を形成する方法において、親基板１１の第１の親電極１５は、分割電極の中央部１６ａの長手方向における他端の外側になる部分１５ｃと分割電極の中央部１６ｂの長手方向における一端の外側になる部分１５ｄとがカットされなければよい。
【００３０】
図７はこの発明によって製造された振動ジャイロの他の例を示す平面図解図である。図７に示す振動ジャイロ１０は、図１に示す振動ジャイロ１０と比べて、支持部材２２の中央部２２ａが中間部２２ｂと同様に細く形成される。
【００３１】
図７に示す振動ジャイロ１０は、図１に示す振動ジャイロ１０と同様に製造される。
【００３２】
図７に示す振動ジャイロ１０についても、図１に示す振動ジャイロ１０と同様の効果を奏する。
【００３３】
図８はこの発明によって製造された振動ジャイロのさらに他の例を示す平面図解図である。図８に示す振動ジャイロ１０は、図１に示す振動ジャイロ１０と比べて、分割電極の中央部１６ａの長手方向における他端の外側および支持部１７ｂの外側になる部分１５ｃと、分割電極の中央部１６ｂの長手方向における一端の外側および支持部１７ａの外側になる部分１５ｄとが、それぞれ、レーザでカットされずにダイサーで第１の圧電体基板１４ａの厚みの一部分までカットされている。
【００３４】
図８に示す振動ジャイロ１０を製造するためには、図１に示す振動ジャイロ１０を製造する上述の方法と比べて、親基板１１の第１の親電極１５は、図９に示すように、分割電極の中央部１６ａの長手方向における一端の外側になる部分１５ａと、分割電極の中央部１６ｂの長手方向における他端の外側になる部分１５ｂとが、それぞれ、レーザでカットされるが、分割電極の中央部１６ａの長手方向における他端の外側および支持部１７ｂの外側になる部分１５ｃと、分割電極の中央部１６ｂの長手方向における一端の外側および支持部１７ａの外側になる部分１５ｄとは、レーザでカットされない。
【００３５】
そして、親基板１１の第１の親電極１５と第１の圧電体基板１４ａの厚みの一部分とは、分割電極の中央部１６ａの長手方向における他端の外側および支持部１７ｂの外側になる部分１５ｃ（図１０の１点鎖線で示す部分）と、分割電極の中央部１６ｂの長手方向における一端の外側および支持部１７ａの外側になる部分１５ｄ（図１０の１点鎖線で示す部分）と、分割電極の中央部１６ａおよび１６ｂなどの間の溝１６ａｂに対応する直線部分（図１０の１点鎖線で示す部分）とが、それぞれ、ダイサーでカットされるとともに、親基板１１は、振動子１２の平面的に見た輪郭に対応する部分（図１０の２点鎖線で示す部分）がダイサーでカットされる。それによって、図１１に示す振動子１２が形成される。その他は、図１に示す振動ジャイロ１０を製造する上述の方法と同様にして、図８に示す振動ジャイロ１０が製造される。
【００３６】
図８に示す振動ジャイロ１０についても、図１に示す振動ジャイロ１０と同様の効果を奏する。
【００３７】
図１２はこの発明によって製造された振動ジャイロのさらに他の例を示す平面図解図である。図１２に示す振動ジャイロ１０は、図８に示す振動ジャイロ１０と比べて、支持部材２２の中央部２２ａが中間部２２ｂと同様に細く形成される。
【００３８】
図１２に示す振動ジャイロ１０は、図８に示す振動ジャイロ１０と同様に製造される。
【００３９】
図１２に示す振動ジャイロ１０についても、図８に示す振動ジャイロ１０と同様の効果を奏する。
【００４０】
なお、上述の各振動ジャイロ１０の製造方法では、親基板の状態で電極をレーザでカットした後で振動子を形成し、その振動子に支持部材を接続しているが、この発明では、振動子に支持部材を接続した後で所望の電極をレーザでカットしてもよい。
【００４１】
また、上述の各振動ジャイロ１０では正４角柱状の振動子１２、略Ｚ字状の中間部２２ｂを有する支持部材２２、箱型の外囲器３０およびブロック状の支持台３２が用いられているが、この発明ではそれらは他の形状に形成されてもよい。
【００４２】
【発明の効果】
この発明によれば、振動子の精度がよく、支持部材に突起を形成する必要がない振動ジャイロが得られる。そのため、この発明によって製造された振動ジャイロでは、振動子の対称性がよくなり、温度ドリフト特性などの諸特性が向上するとともにばらつきも低減して信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明によって製造された振動ジャイロの一例を示す平面図解図である。
【図２】図１に示す振動ジャイロに用いられる振動子を示す斜視図である。
【図３】図１に示す振動ジャイロの振動子を形成する一工程を示す斜視図である。
【図４】図１に示す振動シャイロの振動子を形成する他の工程を示す斜視図である。
【図５】図３および図４に示す工程で形成された振動子を示す斜視図である。
【図６】振動子の他の例を示す斜視図である。
【図７】 この発明によって製造された振動ジャイロの他の例を示す平面図解図である。
【図８】 この発明によって製造された振動ジャイロのさらに他の例を示す平面図解図である。
【図９】図８に示す振動ジャイロの振動子を形成する一工程を示す斜視図である。
【図１０】図８に示す振動ジャイロの振動子を形成する他の工程を示す斜視図である。
【図１１】図９および図１０に示す工程で形成された振動子を示す斜視図である。
【図１２】 この発明によって製造された振動ジャイロのさらに他の例を示す平面図解図である。
【図１３】従来の振動ジャイロの一例を示す平面図解図である。
【図１４】従来の振動ジャイロの他の例を示す平面図解図である。
【符号の説明】
１０ 振動ジャイロ
１１ 親基板
１２ 振動子
１３ａ 第１の親圧電体基板
１３ｂ 第２の親圧電体基板
１４ａ 第１の圧電体基板
１４ｂ 第２の圧電体基板
１５ 第１の親電極
１６ａ、１６ｂ 分割電極の中央部
１６ａｂ 溝
１７ａ、１７ｂ 支持部
１７ｃ 端部
１７ 第２の親電極
１８ 共通電極
１９ 第３の親電極
２０ 中間電極
２２ 支持部材
２２ａ 中央部
２２ｂ 中間部
２２ｃ 端部
３０ 外囲器
３２ 支持台

Claims (6)

1. ２つの分割電極および２つのノード部分を有する柱状の振動子と、前記２つのノード部分に対応するそれぞれの位置で前記振動子を幅方向に横切るようにして前記振動子に取り付けられ、前記２つの分割電極に個別に電気的に接続される２つの支持部材とを含む振動ジャイロであって、
   前記振動子の主面において、その幅方向における中央に溝が形成され、前記溝の両側に前記２つの分割電極が形成され、
   前記２つのノード部分の一方のノード部分に対応する位置で前記２つの支持部材の一方の支持部材が前記２つの分割電極に取り付けられ、
   前記２つのノード部分の他方のノード部分に対応する位置で前記２つの支持部材の他方の支持部材が前記２つの分割電極に取り付けられ、
   前記一方の支持部材の内側で前記２つの分割電極の一方の分割電極のみがレーザで幅方向にカットされ、
   前記他方の支持部材の内側で前記２つの分割電極の他方の分割電極のみがレーザで幅方向にカットされた、振動ジャイロを製造する振動ジャイロの製造方法であって、
   表面に親電極を有し、幅方向に配列された複数の前記振動子となる親基板を準備する工程、
   前記親電極において、複数の前記分割電極となる部分であって、前記一方の支持部分の内側で前記一方の分割電極の幅方向にカットされる部分および前記他方の支持部材の内側で前記他方の分割電極の幅方向にカットされる部分をレーザでカットする工程、
   前記親基板において、複数の前記溝となる部分をダイサーでカットする工程、
   前記親基板において、複数の前記振動子の輪郭となる部分をダイサーでカットして前記振動子を形成する工程、および
   前記振動子の前記分割電極に前記支持部材を取り付ける工程を含む、振動ジャイロの製造方法。
2. 前記振動ジャイロは、
   前記一方の支持部材の外側で前記２つの分割電極の他方の分割電極がレーザで幅方向にカットされ、さらに
   前記他方の支持部材の外側で前記２つの分割電極の一方の分割電極がレーザで幅方向にカットされた、振動ジャイロであり、
   前記親電極において、複数の前記分割電極となる部分であって、前記一方の支持部分の外側で前記他方の分割電極の幅方向にカットされる部分および前記他方の支持部材の外側で前記一方の分割電極の幅方向にカットされる部分をレーザでカットする工程をさらに含む、請求項１に記載の振動ジャイロの製造方法。
3. 前記振動ジャイロは、
   前記一方の支持部材の外側で前記２つの分割電極の一方の分割電極がレーザで幅方向にカットされ、さらに
   前記他方の支持部材の外側で前記２つの分割電極の他方の分割電極がレーザで幅方向にカットされた、振動ジャイロであり、
   前記親電極において、複数の前記分割電極となる部分であって、前記一方の支持部分の外側で前記一方の分割電極の幅方向にカットされる部分および前記他方の支持部材の外側で前記他方の分割電極の幅方向にカットされる部分をレーザでカットする工程をさらに含む、請求項２に記載の振動ジャイロの製造方法。
4. ２つの分割電極および２つのノード部分を有する柱状の振動子と、前記２つのノード部分に対応するそれぞれの位置で前記振動子を幅方向に横切るようにして前記振動子に取り付けられ、前記２つの分割電極に個別に電気的に接続される２つの支持部材とを含む振動ジャイロであって、
   前記振動子の主面において、その幅方向における中央に溝が形成され、前記溝の両側に前記２つの分割電極が形成され、
   前記２つのノード部分の一方のノード部分に対応する位置で前記２つの支持部材の一方の支持部材が前記２つの分割電極に取り付けられ、
   前記２つのノード部分の他方のノード部分に対応する位置で前記２つの支持部材の他方の支持部材が前記２つの分割電極に取り付けられ、
   前記一方の支持部材の内側で前記２つの分割電極の一方の分割電極のみがレーザで幅方向にカットされ、
   前記他方の支持部材の内側で前記２つの分割電極の他方の分割電極のみがレーザで幅方向にカットされた、振動ジャイロを製造する振動ジャイロの製造方法であって、
   表面に親電極を有し、幅方向に配列された複数の前記振動子となる親基板を準備する工程、
   前記親基板において、複数の前記溝となる部分をダイサーでカットする工程、
   前記親基板において、複数の前記振動子の輪郭となる部分をダイサーでカットして前記振動子を形成する工程、
   前記分割電極に前記支持部材を取り付ける工程、
   前記一方の支持部材の内側で前記２つの分割電極の一方の分割電極をレーザで幅方向にカットする工程、および
   前記他方の支持部材の内側で前記２つの分割電極の他方の分割電極をレーザで幅方向にカットする工程を含む、振動ジャイロの製造方法。
5. 前記振動ジャイロは、
   前記一方の支持部材の外側で前記２つの分割電極の他方の分割電極がレーザで幅方向にカットされ、さらに
   前記他方の支持部材の外側で前記２つの分割電極の一方の分割電極がレーザで幅方向にカットされた、振動ジャイロであり、
   前記一方の支持部材の外側で前記２つの分割電極の他方の分割電極をレーザで幅方向にカットする工程、および
   前記他方の支持部材の外側で前記２つの分割電極の一方の分割電極をレーザで幅方向にカットする工程をさらに含む、請求項４に記載の振動ジャイロの製造方法。
6. 前記振動ジャイロは、
   前記一方の支持部材の外側で前記２つの分割電極の一方の分割電極がレーザで幅方向にカットされ、さらに
   前記他方の支持部材の外側で前記２つの分割電極の他方の分割電極がレーザで幅方向にカットされた、振動ジャイロであり、
   前記一方の支持部材の外側で前記２つの分割電極の一方の分割電極をレーザで幅方向にカットする工程、および
   前記他方の支持部材の外側で前記２つの分割電極の他方の分割電極をレーザで幅方向にカットする工程をさらに含む、請求項５に記載の振動ジャイロの製造方法。

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