JP3206519B2

JP3206519B2 - 振動ジャイロ

Info

Publication number: JP3206519B2
Application number: JP28874797A
Authority: JP
Inventors: 信行石床
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1997-10-21
Filing date: 1997-10-21
Publication date: 2001-09-10
Anticipated expiration: 2017-10-21
Also published as: JPH11125526A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動ジャイロに関
し、詳しくは、ビデオカメラなどに搭載される、手ぶれ
などの外的振動による回転角速度を検知し適切な制振を
行う手ぶれ防止装置に用いられる振動ジャイロに関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の振動ジャイロとして、本件出願人
により、特願平９−１３８３０４号として出願したもの
がある。これを図面を用いて説明する。

【０００３】図４に示す振動ジャイロ１００は、圧電セ
ラミック部材からなる直方体の振動子１０１を含む。振
動子１０１は、厚み方向に分極された第１の圧電体基板
１０３と、厚み方向に分極された第２の圧電体基板１０
４を有し、中間電極１０５を介して積層される。そし
て、第１の圧電体基板１０３の一方主面には、振動子１
０１の長手方向に沿って、２本の分割電極１０６ａ，１
０６ｂが形成されており、第２の圧電体基板１０５の一
方主面の全面には、共通電極１０７が形成される。

【０００４】そして、節点Ｎ１における振動体１０１の
厚み方向上側に位置する分割電極１０６ａ，１０６ｂの
部分には、支持部材１０８ａ，１０８ｂが、支持部材１
０８ａ，１０８ｂの一端に形成された拡大部１０９ａ，
１０９ｂを介してハンダ付けなどの方法により固着され
ており、節点Ｎ１における振動体１１の厚み方向下側に
位置する共通電極１０７の部分には、支持部材１０８ｃ
が、支持部材１０８ｃの略中間部に形成された拡大部１
０９ｃを介してハンダ付けなどの方法により固着され
る。同様に、節点Ｎ２の上側に位置する分割電極１０６
ａ，１０６ｂには、支持部材１０８ｄ，１０８ｅがそれ
ぞれの一端に形成された拡大部１０９ｄ，１０９ｅを介
して固着され、節点Ｎ２の下側に位置する共通電極１０
７には、支持部材１０８ｆがその略中間部に形成された
拡大部１０９ｆを介して固着される。

【０００５】支持部材１０８ａ〜１０８ｆは、それぞ
れ、略Ｚ型の細い金属製の板材からなる。そして、これ
らの支持部材１０８ａ〜１０８ｆは金属製であることか
ら導電性を有し、分割電極１０６ａ，１０６ｂや共通電
極１０７への電気的信号を入出力するためのリード線と
しても機能しているものである。

【０００６】そして、図５に示すように、振動子１０１
は、支持部材１０８ａ〜１０８ｆによって吊られた状態
で、金属や樹脂などからなる枠体１１０に収納され、枠
体１１０の上面部と支持部材１０８ａ，１０８ｂ，１０
８ｄ，１０８ｅとが、ハンダ付けなどの方法により接着
固定される。同様に、枠体１１０の下面部と支持部材１
０８ｃ，１０８ｆとが固着される。これにより、振動体
１０１が中空において実装される。なお、図面の見やす
さを考慮し、振動子１０１は電極を省略した正四角柱状
に簡略化して図示されている。

【０００７】以上のように、振動子１０１が、２つの節
点Ｎ１，Ｎ２において、支持部材１０８ａ〜１０８ｆに
より、上下方向からサンドイッチ状に挟持されて支持固
定されて振動ジャイロ１００が構成される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の振動ジャイロには、次のような問題点があった。即
ち、従来の振動ジャイロ１００では、支持部材１０８ａ
〜１０８ｆをリード線としても機能させるために、支持
部材１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｄ，１０８ｅの一端を
分割電極１０６ａ，１０６ｂと固着させる構造となって
いた。そして、振動ジャイロ１００に外部からの衝撃が
加わった場合、その衝撃は最終的に支持部材１０８ａ〜
１０８ｆの両端にまで伝わる。すると、分割電極１０６
ａ，１０６ｂと接続されている支持部材１０８ａ，１０
８ｂ，１０８ｄ，１０８ｅの分割電極１０６ａ，１０６
ｂとの固着部分に応力が掛かり、支持部材１０８ａ，１
０８ｂ，１０８ｄ，１０８ｅと分割電極１０６ａ，１０
６ｂが剥離し、導通不良が生じ、支持も不安定となっ
た。

【０００９】特に、支持部材１０８ａ，１０８ｂ，１０
８ｄ，１０８ｅは、分割電極１０６ａ，１０６ｂから出
力される信号を分離させるため、各分割電極１０６ａ，
１０６ｂに対し独立して設けられる必要がある。したが
って、支持部材１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｄ，１０８
ｅは小さい形状が要求される。さらに、支持部材１０８
ａ，１０８ｂ，１０８ｄ，１０８ｅに設けられた拡大部
１０９ａ，１０９ｂ，１０９ｄ，１０９ｅを振動子１０
１に接合する際、各拡大部１０９ａ，１０９ｂ，１０９
ｄ，１０９ｅは、各支持部材１０８ａ，１０８ｂ，１０
８ｄ，１０８ｅの端部に位置するため、中空に浮いた状
態で振動子１０１に対して取り付けることが要求される
もので、このため、支持部材１０８ａ，１０８ｂ，１０
８ｄ，１０８ｅを振動子１０１に取り付ける作業は非常
に手間が掛かると共にコスト高の要因となっていた。

【００１０】したがって、本発明の目的は、上述の問題
点を解消するためになされたもので、振動子の支持が安
定し、かつ、電極との導通も良好で、かつ、支持部材を
分割電極に取り付けるのが容易な振動ジャイロを提供す
ることにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の振動ジャイロにおいては、厚み方向に分極
される第１の圧電体基板、第１の圧電体基板に積層され
厚み方向に分極される第２の圧電体基板、第１の圧電体
基板の一方主面に形成される２つの分割電極、第２の圧
電体基板の一方主面に形成される共通電極とからなる振
動子と、振動子の振動時に発生する２つの節点部位にお
いて振動子に接合されて振動子を支持する導電性を有す
る複数の支持部材とを含む振動ジャイロであって、支持
部材の１つはその略中間部が第１の圧電体基板の一方主
面における２つの節点の一方に対応する位置に配置さ
れ、２つの分割電極に固着されると共に２つの分割電極
の一方と電気的に接続され、支持部材の他の１つはその
略中間部が第１の圧電体基板の一方主面における２つの
節点の他方に対応する位置に配置され、２つの分割電極
に固着されると共に２つの分割電極の他方と電気的に接
続され、支持部材のさらに他の１つはその略中間部が第
２の圧電体基板の一方主面における２つの節点のいずれ
か一方に対応する位置に配置され、共通電極に電気的に
接続するように固着されたことを特徴としている。

【００１２】また、厚み方向に分極される第１の圧電体
基板、第１の圧電体基板に積層され、厚み方向に分極さ
れる第２の圧電体基板、第１の圧電体基板の一方主面に
形成される２つの分割電極、第２の圧電体基板の一方主
面に形成される共通電極とからなる振動子と、振動子の
振動時に発生する２つの節点部位において振動子に接合
されて前記振動子を支持する導電性を有する複数の支持
部材とを含む振動ジャイロであって、２つの分割電極
は、その長手方向端部側と長手方向中央部側の３つもし
くはその間を含む５つにさらに分割され、支持部材の１
つはその略中間部が第１の圧電体基板の一方主面におけ
る２つの節点の一方に対応する位置に配置され、２つの
分割電極に固着されると共に２つの分割電極の一方の長
手方向中央部側と電気的に接続され、かつ、２つの分割
電極の他方の長手方向端部側と電気的に接続され、支持
部材の他の１つはその略中間部が第１の圧電体基板の一
方主面における２つの節点の他方に対応する位置に配置
され、２つの分割電極に固着されると共に２つの分割電
極の他方の長手方向中央部側と電気的に接続され、か
つ、２つの分割電極の一方の長手方向端部側と電気的に
接続され、支持部材のさらに他の１つはその略中間部が
第２の圧電体基板の一方主面における２つの節点のいず
れか一方に対応する位置に配置され、前記共通電極に電
気的に接続するように固着されたことを特徴としてい
る。

【００１３】これにより、すべての支持部材について、
支持部材の略中間部で振動子が固着支持されているた
め、振動ジャイロに加わる外部からの衝撃は支持部材の
端部に伝わり、支持部材の略中間部には大きなストレス
が掛からず、支持部材が振動子の電極と剥離することが
低減される。

【００１４】また、第１の圧電体基板の主面に設けられ
た２つの支持部材が、それぞれ、分割電極のいずれか一
方と導通するように構成されており、支持部材がリード
線を兼用した状態で、支持部材と振動子との接合強度が
向上する。

【００１５】また、支持部材の端部が中空に位置するこ
とがないため、支持部材を振動子に接合することが容易
となる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳細に説明する。図１に、本発明の第１の実
施の形態に係る振動ジャイロを示す。この振動ジャイロ
１０は、略直方体型の振動子１１を含む。振動子１１
は、振動体１２を含む。振動体１２は、ＰＺＴからなる
第１の圧電体基板１３と第２の圧電体基板１４を有し、
第１の圧電体基板１３と第２の圧電体基板１４は、中間
電極１５を介して積層される。第１の圧電体基板１３お
よび第２の圧電体基板１４は、それぞれ図１の矢印に示
すように、厚み方向において互いに逆向きに分極されて
いる。

【００１７】第１の圧電体基板１３の一方主面には、振
動体１２の長手方向に沿って平行に２本の分割電極１６
ａ，１６ｂが形成され、第２の圧電体基板１４の一方主
面の全面には、共通電極１７が形成されて、振動子１１
が構成される。

【００１８】そして、分割電極１６ａ，１６ｂには、振
動子１１の振動時に発生する２つの節点Ｎ１，Ｎ２に対
応する位置を挟むように、振動子１１の幅方向に沿って
４本のスライス溝Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４が形成され
る。これにより、分割電極１６ａは、振動子１１の節点
Ｎ１側の端部から見て、分割電極１６ａ−１，分割電極
１６ａ−２，分割電極１６ａ−３，分割電極１６ａ−
４，分割電極１６ａ−５の５カ所に分割される。同様
に、分割電極１６ｂは、分割電極１６ｂ−１，分割電極
１６ｂ−２，分割電極１６ｂ−３，分割電極１６ｂ−
４，分割電極１６ｂ−５の５カ所に分割される。

【００１９】そして、節点Ｎ１に対応する振動子１１の
厚み方向上側に位置する分割電極１６ａ−２，１６ｂ−
２の部分には、支持部材１８ａが、支持部材１８ａの略
中間部に形成された拡大部１９ａを介してハンダ付けな
どの方法により固着される。同様に、節点Ｎ２に対応す
る振動子１１の厚み方向上側に位置する分割電極１６ａ
−４，１６ｂ−４の部分には、支持部材１８ｂが、支持
部材１８ｂの略中間部に形成された拡大部１９ａを介し
てハンダ付けなどの方法により固着される。そして、節
点Ｎ１，Ｎ２に対応する振動体１１の厚み方向下側に位
置する共通電極１７の部分には、それぞれ支持部材１８
ｃ，１８ｄが、それぞれの略中間部に形成された拡大部
１９ｃ，１９ｄを介してハンダ付けなどの方法により固
着される。これらの支持部材１８ａ〜１８ｄは、それぞ
れ、エリンバなどの恒弾性体の金属材を略Ｚ型の屈曲部
を有するような細い金属製の板状に加工して形成されて
おり、導電性を有するものである。また、これらの支持
部材１８ａ，１８ｂ、１８ｃ，１８ｄの略中間部に設け
られた略長方形状の拡大部１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１
９ｄは、振動子１１と支持部材１８ａ〜１８ｄとが固着
される部分の面積を大きくするためのものである。

【００２０】以上のように、振動子１１が、２つの節点
Ｎ１，Ｎ２において、支持部材１８ａ〜１８ｄにより、
上下方向からサンドイッチ状に挟持されて支持固定され
る。

【００２１】図２に、本発明の振動ジャイロ１０の実装
状態を示す。なお、図面の見やすさを考慮し、振動子１
１は、電極を省略した正四角柱形状で図示されている。
振動子１１は、支持部材１８ａ〜１８ｄによって吊られ
た状態で、金属や樹脂などからなる枠体２０に収納さ
れ、枠体２０の上面部と支持部材１８ａ，１８ｂの各端
部とが、ハンダ付けなどの方法により接着固定される。
同様に、枠体２０の下面部と支持部材１８ｃ，１８ｄの
各端部とが固着される。これにより、振動体１１が枠体
２０内で中空状に支持固定される。

【００２２】この振動ジャイロ１０において、２つの分
割電極１６ａ−３，１６ｂ−３は帰還用かつ検出用の電
極として用いられ、共通電極１７は駆動用の電極として
用いられる。つまり、特に図示はしないが、共通電極１
７と２つの分割電極１６ａ−３，１６ｂ−３との間には
移相回路などを含む発振回路が組み込まれ、また、２つ
の分割電極１６ａ−３，１６ｂ−３は差動増幅回路など
を含む検出回路と接続されて、振動ジャイロとしての機
能を奏するものである。

【００２３】この振動ジャイロでは、支持部材１８ａ〜
１８ｄは金属から構成されており、分割電極１６ａ−
３，１６ｂ−３や共通電極１７と電気的に接続されるリ
ード線の役割も果たすものである。そして、支持部材１
８ａは、分割電極１６ａ−３の入出力端子としてのリー
ド線として機能しており、そのため、支持部材１８ａは
分割電極１６ａ−３とのみ導通する必要がある。そこ
で、支持部材１８ａには拡大部１９ａから分割電極１６
ａ−３側に突起部１８ａ’が設けられており、突起部１
８ａ’と分割電極１６ａ−３がハンダ付けなどの方法に
より導通接続され、支持部材１８ａが分割電極１６ａ−
３のリード線として機能する。同様に、支持部材１８ｂ
は、分割電極１６ｂ−３の入出力端子としてのリード線
として機能しており、そのため、支持部材１８ｂは分割
電極１６ｂ−３とのみ導通する必要がある。そこで、支
持部材１８ｂには拡大部１９ｂから分割電極１６ｂ−３
側に突起部１８ｂ’が設けられており、突起部１８ｂ’
と分割電極１６ｂ−３がハンダ付けなどの方法により導
通接続され、支持部材１８ｂが分割電極１６ｂ−３のリ
ード線として機能する。

【００２４】なお、支持部材１８ａは分割電極１６ａ−
２，１６ｂ−２とハンダ付けにより固着されているた
め、分割電極１６ａ−２，１６ｂ−２の両方と導通して
おり、分割電極１６ａ−２，１６ｂ−２から出力される
信号も検出されることになる。しかし、分割電極１６ａ
−２，１６ｂ−２から出力される信号の差を取ることに
より、それらの信号はキャンセルされるため、分割電極
１６ａ−３から得られる出力信号に影響を及ぼすもので
はない。同様に、支持部材１８ｂは分割電極１６ａ−
４，１６ｂ−４とハンダ付けにより固着されているた
め、分割電極１６ａ−４，１６ｂ−４の両方と導通して
おり、分割電極１６ａ−４，１６ｂ−４から出力される
信号も検出されることになる。しかし、分割電極１６ａ
−４，１６ｂ−４から出力される信号の差を取ることに
より、それらの信号はキャンセルされるため、分割電極
１６ｂ−３から得られる出力信号に影響を及ぼすもので
はない。次に、本発明の第２の実施の形態に係る振動ジ
ャイロを図３を用いて説明する。なお、第１の実施の形
態で示した振動ジャイロ１０と同一の構成箇所について
は同一番号を付し、その説明を省略する。

【００２５】この第２の実施の形態において、第１の実
施の形態と異なる点は、支持部材１８ａの略中間部に設けられた拡大部１９ａ
には、２つの突起１８ａ’と１８ａ”が互いに反対向き
に形成されており、突起１８ａ’は分割電極１６ａ−３
と導通され、突起１８ａ”は分割電極１６ｂ−１と導通
されている点、支持部材１８ｂの略中間部に設けられた拡大部１９ｂ
には、２つの突起１８ｂ’と１８ｂ”が互いに反対向き
形成されており、突起１８ｂ’は分割電極１６ｂ−３と
導通され、突起１８ｂ”は分割電極１６ａ−５と導通さ
れている点、の２点である。

【００２６】このような構成とする要因として、振動子
１１において、節点Ｎ１，Ｎ２から振動子１１の長手方
向端部側と長手方向中央側とでは、発生する電圧の極性
が反転するため、節点Ｎ１，Ｎ２において交差するよう
に、分割電極１６ａ−３と１６ｂ−１を、分割電極１６
ｂ−３と１６ａ−５をそれぞれ導通させることにより、
回転角速度に応じた信号を検出する効率がさらに大きく
なるからである。

【００２７】なお、上述の実施の形態においては、振動
子１１と支持部材１８ａ〜１８ｄの固着がハンダ付けに
より行われていたが、たとえば、非導電性接着剤で行っ
てもよい。

【００２８】また、上述の実施の形態において、スライ
ス溝は、振動子１１の幅方向に沿ってＳ１〜Ｓ４の４本
形成されていたが、これらは、分割電極１６ａ−３と分
割電極１６ｂ−３から出力される信号が混合しないため
のものである。したがって、特に、スライス溝は４本必
要でなく、たとえば、第１の実施の形態では、スライス
溝Ｓ１，Ｓ４は特に設けなくてもよい。これは、支持部
材１８ａ，１８ｂがそれぞれ、分割電極１６ａ−２，１
６ｂ−２、分割電極１６ａ−４，１６ｂ−４と導通して
いるため、振動子１１の節点Ｎ１，Ｎ２より端部側で発
生する信号が理論上キャンセルされるからである。但
し、振動子の材質や大きさなどのバラツキにより、節点
より端部側の分割電極から発生する信号が完全にキャン
セルされるとは限らない。そこで、上記実施の形態に示
したように、スライス溝を４本設け、節点部分に発生す
る信号のみをキャンセルするような構成とすることによ
り、振動子の材質バラツキの影響は小さくなり、また、
節点付近から発生する信号は非常に小さいため、誤差の
少ない角速度信号が得られる。

【００２９】また、第１の実施の形態において、振動子
１１と支持部材１８ａ〜１８ｄの固着が非導電性接着剤
で行なわれている場合は、スライス溝Ｓ１〜Ｓ４は特に
形成されなくてもよい。ただし、第２の実施の形態でも
述べたとおり、振動子１１の節点Ｎ１，Ｎ２より端部側
では発生する電圧の極性が反転するため、分割電極１６
ａ，１６ｂから出力される信号が小さくなってしまい、
得られる角速度信号も小さくなる。したがって感度の低
い振動ジャイロとなってしまうため、少なくともスライ
ス溝Ｓ１，Ｓ４の２本を形成することが望ましい。

【００３０】また、第２の実施の形態において、振動子
１１と支持部材１８ａ〜１８ｄの固着が非導電性接着剤
で行なわれている場合は、スライス溝Ｓ２，Ｓ３は特に
形成されなくてもよい。上述の実施の形態で示した振動
ジャイロ１０では、振動子１１と支持部材１８ａ〜１８
ｄとの接合面積が大きいため、支持部材１８ａ〜１８ｄ
と振動子１１との接合力が大きく、十分な耐衝撃性が得
られると共に、支持部材１８ａ〜１８ｄが略中間部に形
成した拡大部１９ａ〜１９ｄ以外では細い線状構造を有
しているため、振動子１１の振動が支持部材１２を伝わ
って振動子１１の外部に漏れるといった、振動のダンピ
ング現象が起こりにくくなり、よって、振動子１１の振
幅が十分大きくなり振動ジャイロ１０の検出感度も良好
となる。

【００３１】また、上述の実施の形態では、振動子１１
と支持部材１８ａ〜１８ｄとの接合部分において、支持
部材１８ａ〜１８ｄの略中間部には拡大部１９ａ〜１９
ｄが形成されているが、本発明は、特に、支持部材の接
合部分の面積を大きくする構造に限定されるものではな
い。ただし、支持部材に拡大部を設けて接合面積を大き
くすることにより、支持部材１８ａ〜１８ｄと振動子１
１との接合力が大きくなり、十分な耐衝撃性が得ること
ができるものとなる。また、支持部材１２が振動子１１
との接合部分以外は細い線状構造を有しているが、これ
は、振動子１１の振動が支持部材１８ａ〜１８ｄを伝わ
って振動子１１の外部に漏れるといった、振動のダンピ
ング現象が起こりにくくするためである。よって、耐衝
撃性が向上すると共に振動子１１の振幅が十分大きくな
る振動ジャイロとなり、検出感度も良好となる。また、
上記の本発明の実施の形態において、支持部材は、略Ｚ
型の屈曲部を有するように形成されているが、特にＺ型
のように鋭角的に屈曲した形状に限定されるものではな
く、屈曲部を有するものであれば、たとえば、曲線状に
形成してもよい。また、特に支持部材を屈曲させて形成
しなくてもよい。ただし、屈曲部を設けることにより、
振動子を弾力的に支持することができ、振動子が振動し
たときに、支持部材も屈曲部で変形するため、振動のダ
ンピングが起こりにくくなる。

【００３２】また、上記の実施の形態では、振動子の構
造として、２枚の圧電体基板が分極の向きが逆向きにな
るように配置されているが、特に、これらに限定される
ものではなく、たとえば、２枚の圧電体基板の分極の向
きが同じ向きになるように配置され、中間電極を接地す
るように構成された振動子でも構わない。

【００３３】

【発明の効果】以上のように、本発明による振動ジャイ
ロでは、支持部材の略中間部で振動子が固着支持されて
いるため、振動ジャイロに加わる外部からの衝撃は支持
部材の端部に伝わり、支持部材の略中間部には大きなス
トレスが掛からず、支持部材が振動子の電極と剥離する
ことが低減される。

【００３４】また、第１の圧電体基板の主面に設けられ
た２つの支持部材が、それぞれ、分割電極のいずれか一
方と導通するように構成されており、支持部材がリード
線を兼用した状態で、支持部材と振動子との接合強度が
向上する。

【００３５】また、支持部材における振動子との接合部
分は、支持部材の略中央部に位置し、支持部材の端部に
位置することがないため、従来のように、支持部材にお
ける振動子との接合部分が中空に浮いた状態で振動子に
対して支持部材を取り付けることがないため、支持部材
を振動子に接合することが容易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る振動ジャイロ
の構造を示す斜視図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態に係る振動ジャイロ
の実装状態を示す斜視図である。

【図３】本発明の第２の実施の形態に係る振動ジャイロ
の構造を示す平面図である。

【図４】従来の振動ジャイロを示す斜視図である。

【図５】従来の振動ジャイロの実装状態を示す斜視図で
ある。

【符号の説明】

１０振動ジャイロ１１振動子１２振動体１３第１の圧電体基板１４第２の圧電体基板１５中間電極１６ａ，１６ｂ分割電極１７共通電極１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ支持部材

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】厚み方向に分極される第１の圧電体基
板、該第１の圧電体基板に積層され、厚み方向に分極さ
れる第２の圧電体基板、前記第１の圧電体基板の一方主
面に形成される２つの分割電極、前記第２の圧電体基板
の一方主面に形成される共通電極、とからなる振動子
と、該振動子の振動時に発生する２つの節点部位におい
て、前記振動子に接合されて前記振動子を支持する、導
電性を有する複数の支持部材と、を含む振動ジャイロで
あって、前記支持部材の１つは、その略中間部が、前記第１の圧
電体基板の一方主面における２つの節点の一方に対応す
る位置に配置され、前記２つの分割電極に固着されると
共に、前記２つの分割電極の一方と電気的に接続され、前記支持部材の他の１つは、その略中間部が、前記第１
の圧電体基板の一方主面における２つの節点の他方に対
応する位置に配置され、前記２つの分割電極に固着され
ると共に、前記２つの分割電極の他方と電気的に接続さ
れ、前記支持部材のさらに他の１つは、その略中間部が、前
記第２の圧電体基板の一方主面における２つの節点のい
ずれか一方に対応する位置に配置され、前記共通電極に
電気的に接続するように固着されたことを特徴とする、
振動ジャイロ。
【請求項２】厚み方向に分極される第１の圧電体基
板、該第１の圧電体基板に積層され、厚み方向に分極さ
れる第２の圧電体基板、前記第１の圧電体基板の一方主
面に形成される２つの分割電極、前記第２の圧電体基板
の一方主面に形成される共通電極、とからなる振動子
と、該振動子の振動時に発生する２つの節点部位において、
前記振動子に接合されて前記振動子を支持する、導電性
を有する複数の支持部材と、を含む振動ジャイロであっ
て、前記２つの分割電極は、その長手方向端部側と長手方向
中央部側の３つもしくはその間を含む５つにさらに分割
され、前記支持部材の１つは、その略中間部が、前記第１の圧
電体基板の一方主面における２つの節点の一方に対応す
る位置に配置され、前記２つの分割電極に固着されると
共に、前記２つの分割電極の一方の長手方向中央部側と
電気的に接続され、かつ前記２つの分割電極の他方の長
手方向端部側と電気的に接続され、前記支持部材の他の１つは、その略中間部が、前記第１
の圧電体基板の一方主面における２つの節点の他方に対
応する位置に配置され、前記２つの分割電極に固着され
ると共に、前記２つの分割電極の他方の長手方向中央部
側と電気的に接続され、かつ、前記２つの分割電極の一
方の長手方向端部側と電気的に接続され、前記支持部材のさらに他の１つは、その略中間部が、前
記第２の圧電体基板の一方主面における２つの節点のい
ずれか一方に対応する位置に配置され、前記共通電極に
電気的に接続するように固着されたことを特徴とする、
振動ジャイロ。