JPH10197254A

JPH10197254A - 振動子の支持装置

Info

Publication number: JPH10197254A
Application number: JP9000560A
Authority: JP
Inventors: Koichi Naito; 浩一内藤
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 1997-01-07
Filing date: 1997-01-07
Publication date: 1998-07-31
Also published as: DE19800333A1; DE19800333C2

Abstract

(57)【要約】【課題】三脚音叉型の振動子を支持する場合に、支持
構造が複雑になり、また各電極の配線本数も多くなって
いる。【解決手段】振動腕１ａ，１ｂ，１ｃを有する圧電材
料製の振動子１の基端部１Ｂが、支持部材６の固定板部
６に面接合されて導電性接着剤で接着され、振動子１に
設けられた全ての駆動電極が支持部材６と導通する。支
持部材６の支持脚６ｂが回路基板７に嵌合して半田付け
され、前記駆動電極が回路基板７のパターンに導通す
る。よって、配線は、アース電極４用のリード線１０ａ
と、検出電極５ａ，５ｂ用のリード線１０ｂ1，１０ｂ2
の３本のみとなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ジャイロスコープ
などに使用される振動子に係り、特に振動子を安定して
支持できるとともに振動子から基板までの空間配線を無
くし、また音叉型振動子であっても確実に支持できるよ
うにした振動子の支持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図８は、三脚音叉型の振動子を用いた振
動型ジャイロスコープを示す斜視図である。図８に示す
振動型ジャイロスコープにおいて、符号１２は振動子、
符号１３は支持台を示している。振動子１２は、基端
部１２ｄが支持台１３に剛体支持された片持ち梁構造で
ある。振動子１２の先部には、振動腕１２ａ，１２ｂ，
１２ｃが分岐形成されている。振動子１２は、例えばエ
リンバなどの恒弾性金属板の表裏両面に圧電材料が積層
されたもの、または全体が圧電材料により形成されたも
のである。各振動腕１２ａ，１２ｂ，１２ｃには、Ｘ方
向へ振動させるための駆動電極、およびＹ方向の振動成
分を検出する検出電極が設けられている。

【０００３】振動子１２に設けられた振動腕のうちの両
側の振動腕１２ｂおよび１２ｃの駆動電極には、同位相
の交流駆動電圧が印加され、中央の振動腕１２ａの駆動
電極には、振動腕１２ｂ，１２ｃと逆位相の交流駆動電
圧が印加される。その結果、両側の振動腕１２ｂおよび
１２ｃと、中央の振動腕１２ａは、Ｘ方向へ互いに逆の
位相（１８０度相違する位相）で振動させられる。上記
の振動が生じている振動型ジャイロスコープが、Ｚ軸回
りの回転系に置かれると、振動腕１２ａ，１２ｂ，１２
ｃに対し、Ｘ方向への速度に比例した大きさのＹ方向へ
のコリオリ力が作用し、各振動腕１２ａ，１２ｂ，１２
ｃがＹ方向への振動成分を持つようになる。このＹ方向
の振動においても、両側の振動腕１２ｂおよび１２ｃ
と、中央の振動腕１２ａとでは、位相が逆である（位相
が１８０度相違している）。各振動腕１２ａ，１２ｂ，
１２ｃのＹ方向の振動成分が、検出電極から取り出さ
れ、この検出出力からＺ軸回りの角速度ωが算出され
る。

【０００４】上記に示した振動腕の質量をｍ、振動腕の
Ｘ軸方向の振動速度をｖ（ベクトル値）、回転系でのＺ
軸回りの角速度をω0 （ベクトル値）とすると、コリオ
リ力Ｆ（ベクトル値）は、

【０００５】

【数１】Ｆ＝２ｍ（ｖ×ω0 ）（×はベクトル積）

【０００６】で表わされ、コリオリ力Ｆは角速度ω0 に
比例する。よって、振動腕のＹ軸方向への変形振動が検
出電極により検出されることにより、角速度ω0 が求め
られる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】図８に示す振動子１２
では、両側の振動腕１２ｃおよび１２ｂと、中央の振動
腕１２ａとが逆の位相で振動するために、振動子１２全
体の振動のバランスがよく、よって振動子１２の基端部
１２ｄを支持台１３で剛体支持することが可能である。
しかし、前記基端部１２ｄを支持台１３により単に剛体
支持したものでは、基端部１２ｄを支持台１３に隙間な
く差し込んだり、あるいは基端部１２ｄに樹脂材料をモ
ールドして支持台１３を形成することが必要になる。振
動子１２の基端部１２ｄを支持台１３に差し込む構造で
は、基端部１２ｄと支持台１３とを隙間なく確実に固定
することが困難である。また樹脂モールドで支持台１３
を形成する構造は、溶融樹脂の熱が振動子１２に悪影響
を及ぼすために現実的でない。

【０００８】また、支持台１３を剛体で形成し、この支
持台１３を基板に固定する支持構造では、外部衝撃や外
部振動が、基板から支持台１３を経て振動子１２に直接
に作用することになって緩衝領域がなくなり、振動子１
２が外部衝撃や外部振動による悪影響を受けやすい。ま
た、この振動子１２では、３個の振動腕１２ａ，１２
ｂ，１２ｃのそれぞれを駆動するために多数の駆動電極
が設けられ、さらにコリオリ力による振動成分を検出す
るために検出電極も設けられるため、電極数が多くな
る。これらの総ての電極と、回路基板上の回路部とをリ
ード線により接続しようとすると、振動子１２から回路
基板に至る空間配線の本数が多くなる。よって配線作業
が非常に繁雑であるのみならず、空間を通過するリード
線が各振動腕の振動を阻害するおそれもある。

【０００９】本発明は上記従来の課題を解決するもので
あり、振動子の基端部を簡単な構造で確実に支持できる
ようにし、また弾性的な支持も可能とした振動子の支持
装置を提供することを目的としている。

【００１０】また本発明は、振動子に形成された電極か
らの配線経路を集約し、且つ支持部材を介して基板の回
路部に導通させることができるようにして、空間配線の
本数を減らすことを可能とした振動子の支持装置を提供
することを目的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、先端部が自由
端となって片持ち状態で振動する振動腕を有する振動子
と、この振動子の基端部を支持する支持部材とを有する
振動子の支持装置であって、前記支持部材は、振動子の
基端部の少なくとも一面が面合わせされて固定される固
定板部と、この固定板部から延びる支持脚とを有し、前
記支持脚が基板に固定されることを特徴とするものであ
る。

【００１２】上記において、前記固定板部および支持脚
は導電性材料で形成されており、前記振動腕を振動させ
る駆動手段または検出手段の複数の電極のうちの同電位
となるものが前記固定板部に導電接続されており、同電
位となる前記電極が、固定板部および支持脚を介して基
板の回路部に導通されているものとすることが可能であ
る。

【００１３】この場合に、振動子は圧電材料または圧電
材料と弾性材料とが接合された板状のもので、前記振動
子に複数の振動腕が分岐形成されており、この振動子に
は前記圧電材料に駆動電力を与える駆動電極と、駆動電
力が与えられて振動する振動腕にコリオリ力による変位
が発生したときにこの変位を検出する検出電極とが設け
られ、前記駆動電極のうちの同電位となるものが固定板
部に導通接続されているものとすることができる。

【００１４】さらに、振動子の電極が形成されている部
分と固定板部とが、導電性接着剤を介して接合されてい
ることが好ましい。

【００１５】本発明の振動子は、図１以下に示す三脚音
叉型、または二脚音叉型などであり、回転系内でのコリ
オリ力による振動成分を発生させて角速度を検出するジ
ャイロスコープ、または圧電トランス、加振装置などに
用いられる。

【００１６】振動子はエリンバなどの恒弾性材料の表面
に駆動手段および検出手段となる圧電材料が積層された
板状のもの、または全体が駆動手段および検出手段とし
ての圧電材料で形成された板状のものなどであり、圧電
材料の表面には、各振動腕を駆動するための駆動電極、
および振動検出用の検出電極が形成される。

【００１７】振動子の基端部は、支持部材により支持さ
れる。支持部材は固定板部と支持脚とから成るものであ
り、例えば固定板部と支持脚は導電性の金属板により一
体に曲げ形成される。または導電性金属の固定板部に同
じく導電性金属の軸状の脚部が固着されたものであって
もよい。

【００１８】振動子の基部は固定板部に面合わせされて
接合される。振動子に形成された電極を固定板部に導通
させるときには、同じ電位の電極を、前記固定板部に対
し、導電性接着剤などで接着し且つ導通させる。ただ
し、振動子の同電位の電極と導電性の固定板部とをワイ
ヤボンディングで導通させてもよい。

【００１９】または、固定板部にフレキシブル基板が接
着固定されて、このフレキシブル基板上の導電パターン
と、振動子の各電極とが面合わせされて、導電パターン
と電極とが導通接続され、このフレキシブル基板から一
体に延びるリード部が、支持脚に沿って、または支持脚
とは別に回路基板まで延びて、フレキシブル基板上の導
電パターンと基板の回路部とが導通されてもよい。ただ
し、固定板部と支持脚とを導電性金属で形成し、固定板
部と振動子の同電位の電極とを導通させ、支持脚を介し
て回路基板の回路部に導通させる構造にすると、配線部
材を少なくでき、配線構造を簡単にできる。

【００２０】いずれにせよ、振動子の電極を、支持部材
を介して回路基板の回路部に導通させることにより、空
中配線の量を減らすことができ、配線構造を簡略化で
き、また空中配線の断線の可能性も少なくなる。

【００２１】また、支持脚を弾性変形可能に構成する
と、振動子が基板上にて弾性的に支持されることにな
り、前記支持脚が緩衝領域となり、回路基板から振動子
に直接に外部衝撃や振動が作用しなくなる。

【００２２】なお、支持脚は基板に半田などの溶融金属
により固定され、またはネジ止めや圧入により固定され
る。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明について図面を参照
して説明する。図１は、本発明の振動子の支持装置の第
１の実施の形態を示す分解斜視図、図２は振動子の支持
装置の側面図、図３（Ａ）は振動子を表面側を上にして
示す斜視図、図３（Ｂ）は振動子を裏面側を上にして示
す斜視図、図４は振動子の電極の形成状態を示す図１お
よび図３（Ａ）のＩＶ矢視端面図である。図１におい
て、符号１は三脚音叉型の振動子であり、振動型ジャイ
ロスコープとして使用される。

【００２４】振動子１は、板状の圧電セラミックなどの
圧電材料で形成されたものであり、その先部は溝１Ａ，
１Ａで分離されて３個の振動腕１ａ，１ｂ，１ｃが一体
に形成されている。各振動腕１ａ，１ｂ，１ｃでの圧電
材料の誘電分極方向は図４に示す通りであり、左右両側
の振動腕１ｂと１ｃとで誘電分極方向が同じであり、中
央の振動腕１ａでは、左右の振動腕１ｂおよび１ｃと誘
電分極方向が左右および上下に対称である。各振動腕１
ａ，１ｂ，１ｃでは下面側にそれぞれ一対の駆動電極
２，２，…が導電性材料により形成されており、この駆
動電極２，２，…は、図３（Ｂ）に示すように、振動子
１の基端部１Ｂまで延びている。上記駆動電極２，２，
…は後述する導電経路により、交流駆動電源３に導通
し、交流駆動電源３から各駆動電極２，２，…に同電位
の駆動電圧が与えられる。

【００２５】振動子１の上面では、左右の振動腕１ｂ，
１ｃに一対のアース電極４，４…が、中央の振動腕１ａ
に１本のアース電極４が形成されている。図１および図
３（Ａ）に示すように、各アース電極４，４，…は、振
動子１の基端部１Ｂに延びている。振動子１の表面では
基端部１Ｂに集約パターン４ａが形成されて、全てのア
ース電極４は集約パターン４ａに接続されている。後述
する配線経路により、各アース電極４，４，…は接地電
位となっている。前記駆動電極２，２，…とアース電極
４，４，…とで、駆動手段である圧電材料に対して駆動
電圧が与えられる。図４に示す誘電分極構造にしたがっ
て、左右の振動腕１ｂと１ｃは、Ｘ方向へ同位相で振動
駆動され、中央の振動腕１ａは、左右の振動腕１ｂ，１
ｃと逆の位相（１８０度相違する位相）により同じくＸ
方向へ振動駆動される。すなわち、ある時点において、
左右の振動腕１ｂ，１ｃのＸ方向への振幅と振動腕１ａ
のＸ方向への振幅とは逆方向である。

【００２６】中央の振動腕１ａの上面には、一対の検出
電極５ａと５ｂが形成されている。各検出電極５ａと５
ｂは、振動子１の後方にて基端部１Ｂよりも手前の位置
まで延びており、それぞれの検出電極５ａおよび５ｂに
はランド部５ａ1と５ｂ1が一体に形成されている。振動
子１がＺ軸回りの角速度を有する回転系内に置かれる
と、前記数１に示したコリオリ力により、各振動腕１
ａ，１ｂ，１ｃがＹ方向の振動成分を持つ。両側の振動
腕１ｂおよび１ｃと、中央の振動腕１ａとでは、駆動電
圧による振動の位相が逆であるため、コリオリ力による
振動の位相も、振動腕１ｂ，１ｃと、振動腕１ａとで逆
である。すなわち、ある時点において、振動腕１ｂと１
ｃのコリオリ力によるＹ軸での振幅方向が同じであり、
中央の振動腕１ａのＹ軸での振幅方向は振動腕１ｂ，１
ｃと逆方向である。

【００２７】検出電極５ａと５ｂは、中央の振動腕１ａ
の同じ面に形成されており、中央の振動腕１ａの圧電材
料がコリオリ力の検出手段として機能する。この検出電
極５ａと５ｂが形成されている部分の圧電材料の誘電分
極方向が互いに逆であるため、コリオリ力によるＹ方向
の振動成分に関して、検出電極５ａと検出電極５ｂとで
１８０度位相の相違する圧電作用による検出出力が得ら
れる。両検出電極５ａと５ｂからの検出出力の差を取る
ことにより、各検出電極５ａと５ｂからの検出出力の絶
対値が加算される。この検出出力からＺ軸回りの角速度
ω成分を算出することが可能になる。

【００２８】図１に示すように、振動子１の基端部１Ｂ
は支持部材６により支持される。支持部材６は、導電性
の金属板により曲げ形成されたものであり、固定板部６
ａと支持脚６ｂとから成る。支持部材６は、例えば圧延
剛板の表面に金メッキが施されたもの、または銅板など
の電気抵抗の小さい材料により形成されている。また支
持脚６ｂは弾性変形可能な断面寸法である。振動子１の
基端部１Ｂの下面は、支持部材６の固定板部６ａに面接
合され、図２に示すように導電性接着剤１７により接着
固定される。振動子１の基端部１Ｂにおいて、全ての駆
動電極２，２，…が導電性接着剤１７を介して支持部材
６の固定板部６ａに導通されている。導電性接着剤１７
は、熱可塑性樹脂、または熱硬化性樹脂または紫外線硬
化性樹脂に、導電性金属フィラーが混合されたものであ
る。あるいは導電性接着剤１７の代わりに半田などの導
電性溶融金属により、駆動電極２，２，…と固定板部６
ａとが導通されて固定されてもよい。

【００２９】前記支持部材６が固定される回路基板７に
は、支持穴７ａが開口しており、支持部材６の支持脚６
ｂはこの支持穴７ａ内に嵌合されている。回路基板７の
裏面には、導電パターンが形成されており、図２に示す
ように、支持脚６ｂは、回路基板７の裏面の前記導電パ
ターンに半田８により固定されている。よって、図２に
示すように、振動子１は基端部１Ｂが支持部材６に支持
された状態で、片持ちにて支持され、各振動腕１ａ，１
ｂ，１ｃは、回路基板７の表面と平行となる。また、回
路基板７には切欠部７ｂが形成されており、各振動腕１
ａ，１ｂ，１ｃは、切欠部７ｂ上に位置する。振動子１
に形成された各駆動電極２，２，…は、前記導電性接着
剤１７および支持部材６を介して、回路基板７の導電パ
ターンに導通されており、この導電パターンを介して図
４に示した交流駆動電源３に導通されている。

【００３０】回路基板７の表面には、アースパターンと
一体のランド部９ａが形成されており、振動子１の基端
部１Ｂの表面に形成されている前記集約パターン４ａと
ランド部９ａとはリード線１０ａで接続されている。振
動子１に形成されている各アース電極４，４，…は、集
約パターン４ａ、１本のリード線１０ａおよびランド部
９ａを介して、回路基板７上のアースパターンに導通さ
れている。回路基板７の表面には、検出パターンと一体
のランド部９ｂ1および９ｂ2が形成されており、検出電
極５ａ，５ｂのランド部５ａ1，５ｂ1と、回路基板７上
のランド部９ｂ1，９ｂ2とは、リード線１０ｂ1および
１０ｂ2により接続されている。振動子１の各検出電極
５ａ，５ｂは、リード線１０ｂ1，１０ｂ2および回路基
板７上のランド部９ｂ1，９ｂ2および検出パターンを介
して回路基板７上の検出回路に導通している。

【００３１】図１および図２に示す振動子の支持装置で
は、全ての駆動電極２，２，…が支持部材６を介して、
回路基板７上の導電パターンに導通され、さらにアース
電極４，４，…が１個の集約パターン４ａに集約されて
いるため、振動子１から回路基板７に延びる空中配線
は、３本のリード線１０ａ，１０ｂ1，１０ｂ2のみであ
り、配線本数が最少である。また、振動子１は１個の支
持部材６により片持ち支持されているために、固定のた
めの部品が最少ですむ。また振動子１の基端部１Ｂは、
支持部材６の固定板部６ａに面接合されて固定されてい
るため、振動子１は支持部材６により安定して支持され
る。また支持部材６の支持脚６ｂを弾性変形可能な断面
寸法に設定しておくことにより、振動子１を回路基板７
上にて弾性的に支持することが可能であり、回路基板７
に与えられる外部衝撃や外部振動が支持脚６ｂにより緩
衝でき、振動子１に衝撃や振動が直接的に伝達されるの
を防止できる。

【００３２】特に、図１以下に示す三脚音叉型の振動子
１では、左右の振動腕１ｂ，１ｃと、中央の振動腕１ａ
とが、１８０度相違する位相で振動するため、振動子１
全体での振動バランスが良く、振動子１の基端部１Ｂ
に、振動に大きな影響を及ぼす曲げの節が形成されな
い。よって、基端部１Ｂが固定板部６ａに面接合された
状態で、振動腕１ａ，１ｂ，１ｃは支持による拘束を受
けることなく振動でき、固定板部６ａに面接合で固定さ
れても、各振動腕の駆動感度および検出感度が低下する
ことがない。また、各振動腕１ａ，１ｂ，１ｃは、回路
基板７の切欠部７ｂの上に位置しているため、振動子１
が回路基板７上に支持された状態で、切欠部７ｂの部分
で振動腕１ａ，１ｂ，１ｃの先端部のトリミングが可能
であり、支持した状態でのトリミングにより振動数の調
整などが可能である。

【００３３】図５は本発明の振動子の支持装置の第２の
実施の形態を示す斜視図である。図５に示す支持装置の
支持部材１６は、固定板部１６ａと、支持脚１６ｂが一
体に形成され、さらに支持基部１６ｃが一体に形成され
ている。支持基部１６ｃは平面がＨ型であり、固定板部
１６ａと平行である。この支持基部１６ｃの４隅に、回
路基板７に嵌合する爪部１６ｄ，１６ｄ，…が一体に形
成されている。

【００３４】図５に示すものでは、振動子１の基端部１
Ｂにおいて駆動電極２，２，…が形成されている面が固
定板部１６ａに面接合されて導電性接着剤により接着固
定される。また支持基部１６ｃは、回路基板７の表面に
面接合され、爪部１６ｄ，１６ｄ，…が、回路基板７の
嵌合穴に嵌合し、駆動電力が供給される導電パターンに
半田で固定される。図５に示すものでは、支持部材１６
の支持基部１６ｃが、回路基板７に面接合されるため、
支持部材１６が回路基板７に安定して固定される。また
支持部材１６の固定板部１６ａと支持基部１６ｃとを平
行に加工しておくことにより、回路基板７に対して振動
子１を確実に平行に設置することが可能である。

【００３５】図６と図７は、本発明の振動子の支持装置
のさらに他の実施の形態を示している。図６に示すもの
では、支持部材２６が平板形状であり、固定板部２６ａ
と支持脚２６ｂとが同一面となっている。図１に示した
のと同様に、固定板部２６ａは振動子１の基端部１Ｂに
面接合されて接着固定され、各駆動電極２，２，…（図
６では図示省略）が、導電性接着剤を介して固定板部２
６ａに導通している。また支持脚２６ｂは、回路基板の
嵌合穴に垂直に差し込まれて半田にて固定される。図６
では、振動子１が回路基板に対して垂直に支持され、回
路基板に対して垂直な軸回りの角速度を検出することが
できる。

【００３６】図７では、振動子１の基端部１Ｂが、両面
側から支持部材３６および支持部材３７で支持される。
それぞれの支持部材３６，３７は、固定板部３６ａ，３
７ａと、これに垂直な支持脚３６ｂ，３７ｂとから構成
されている。この例では、支持脚３６ｂ，３７ｂが、丸
棒形状である。この支持脚３６ｂ，３７ｂも弾性変形可
能な断面形状および寸法である。

【００３７】一方の支持部材３６の固定板部３６ａは、
振動子１の基端部１Ｂにて、全ての駆動電極２，２，…
と導電性接着剤を介して接合されており、他方の支持部
材３７の固定板部３７ａは、振動子１の集約パターン４
ａに導電性接着剤で接合固定されている。各支持部材３
６，３７の支持脚３６ｂ，３７ｂは、回路基板に支持さ
れて導電パターンに導通される。よって、駆動電極２，
２，…とアース電極４，４，…は２個の支持部材３６，
３７により駆動回路および接地パターンに導通されるこ
とになるため、リード線は、検出電極５ａ，５ｂのラン
ド部５ａ1，５ｂ1から回路基板に延びる２本だけでよ
く、空中配線の本数をさらに少なくできる。また、振動
子１の基端部１Ｂが両面側から支持されるため、振動子
１の支持が安定する。

【００３８】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、三脚音叉
型または二脚音叉型などの振動子の基端部を、最小の部
品で安定して支持することが可能になる。また支持部材
を介して同じ電位の電極と基板上の導電パターンとを導
通させることにより、配線本数を減らすことが可能であ
る。また、支持部材の支持脚を弾性変形可能とすること
により、振動子をある程度の弾性をもって支持すること
が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の振動子の支持装置の第１の実施の形態
を示す分解斜視図、

【図２】図１に示す振動子の支持装置の側面図、

【図３】（Ａ）（Ｂ）は振動子の表裏両面をそれぞれ示
す斜視図、

【図４】振動子の誘電分極方向を示す図１および図３
（Ａ）のＩＶ矢視端面図、

【図５】本発明の振動子の支持装置の第２の実施の形態
を示す分解斜視図、

【図６】振動子を垂直に配置する支持装置を示す斜視
図、

【図７】振動子を両面から支持する支持装置を示す斜視
図、

【図８】従来の課題を説明する振動子の支持構造を示す
斜視図、

【符号の説明】

１振動子１ａ，１ｂ，１ｃ振動腕１Ｂ基端部２駆動電極３交流駆動電源４アース電極５ａ，５ｂ駆動電極６，１６，２６，３６，３７支持部材６ａ，１６ａ，２６ａ，３６ａ，３７ａ固定板部６ｂ，１６ｂ，２６ｂ，３６ｂ，３７ｂ支持脚７回路基板９ａ，９ｂ1，９ｂ2 ランド部１０ａ，１０ｂ1，１０ｂ2 リード線

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】先端部が自由端となって片持ち状態で振
動する振動腕を有する振動子と、この振動子の基端部を
支持する支持部材とを有する振動子の支持装置であっ
て、前記支持部材は、振動子の基端部の少なくとも一面
が面合わせされて固定される固定板部と、この固定板部
から延びる支持脚とを有し、前記支持脚が基板に固定さ
れることを特徴とする振動子の支持装置。
【請求項２】前記固定板部および支持脚は導電性材料
で形成されており、前記振動腕を振動させる駆動手段ま
たは検出手段の複数の電極のうちの同電位となるものが
前記固定板部に導電接続されており、同電位となる前記
電極が、固定板部および支持脚を介して基板の回路部に
導通されている請求項１記載の振動子の支持装置。
【請求項３】振動子は圧電材料または圧電材料と弾性
材料とが接合された板状のもので、前記振動子に複数の
振動腕が分岐形成されており、この振動子には前記圧電
材料に駆動電力を与える駆動電極と、駆動電力が与えら
れて振動する振動腕にコリオリ力による変位が発生した
ときにこの変位を検出する検出電極とが設けられ、前記
駆動電極のうちの同電位となるものが固定板部に導通接
続されている請求項２記載の振動子の支持装置。
【請求項４】振動子の電極が形成されている部分と固
定板部とが、導電性接着剤を介して接合されている請求
項１ないし３のいずれかに記載の振動子の支持装置。