JPS60226205A - 長辺縦振動子 - Google Patents
長辺縦振動子Info
- Publication number
- JPS60226205A JPS60226205A JP8200884A JP8200884A JPS60226205A JP S60226205 A JPS60226205 A JP S60226205A JP 8200884 A JP8200884 A JP 8200884A JP 8200884 A JP8200884 A JP 8200884A JP S60226205 A JPS60226205 A JP S60226205A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- base
- long side
- support
- long
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0595—Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、フォトリソグラフィ加工等にょシ同−圧電板
から枠状の支持部と一体形成される長辺縦振動子に関す
るものである。
から枠状の支持部と一体形成される長辺縦振動子に関す
るものである。
従来この種の長辺縦振動子においては、例えば第１図に
示す振動部１の振動は、その長辺方向中央部から両側に
引出した連結部２から支持部３の振動部長辺方向に沿っ
た脚部３ａを経て両脚部を連結する基部３ｂＫ至るまで
に十分に減衰し、したがってその基部３ｂにおいて保持
器に固定する方法は任意に選定できるものと考えられて
いた。
示す振動部１の振動は、その長辺方向中央部から両側に
引出した連結部２から支持部３の振動部長辺方向に沿っ
た脚部３ａを経て両脚部を連結する基部３ｂＫ至るまで
に十分に減衰し、したがってその基部３ｂにおいて保持
器に固定する方法は任意に選定できるものと考えられて
いた。
ところが、今回、発明者による詳細な解析の結果、上記
基部における支持点の位置によって、クリスタルインピ
ーダンス（ＣＩ）が和尚にばらつくことが明らかとなっ
た。
基部における支持点の位置によって、クリスタルインピ
ーダンス（ＣＩ）が和尚にばらつくことが明らかとなっ
た。
本発明紘このような事情に鑑みてなされたもので、支持
部が振動部の振動特性に与える影響を極力小さくするこ
とが可能表長辺縦振動子を提供することにある。
部が振動部の振動特性に与える影響を極力小さくするこ
とが可能表長辺縦振動子を提供することにある。
このような目的を達成するために、本発明は、枠状の第
１の支持部の基部の２点を振動部の長辺方向に支持する
第２の支持部を、振動部および第１の支持部と同一圧電
板から一体に形成し、かつ上記２点間の間隔を上記基部
の幅寸法をＷとしてはぼｙＷに設定したものである。以
下、実施例を用いて本発明の詳細な説明するが、はじめ
に本発明の基礎となった上述した解析結果について説明
する。
１の支持部の基部の２点を振動部の長辺方向に支持する
第２の支持部を、振動部および第１の支持部と同一圧電
板から一体に形成し、かつ上記２点間の間隔を上記基部
の幅寸法をＷとしてはぼｙＷに設定したものである。以
下、実施例を用いて本発明の詳細な説明するが、はじめ
に本発明の基礎となった上述した解析結果について説明
する。
第１図に示したような振動子の振動時における支持部各
部の偏位を解析した結果、基部３ｂは、第２図に示すよ
うな振動を呈し、底面部における振動部長辺方向の偏位
は幅方向中央部で最大で、幅寸法をＷとしてほぼＩＷだ
け離れた位置に、偏位の最も小さい点が生じていること
が明らかとなった。すなわち、これらの２点Ａ、Ｂにお
いては、幅方向の偏位はやや存在するものの、長辺方向
の偏位ははとんど皆無となる。
部の偏位を解析した結果、基部３ｂは、第２図に示すよ
うな振動を呈し、底面部における振動部長辺方向の偏位
は幅方向中央部で最大で、幅寸法をＷとしてほぼＩＷだ
け離れた位置に、偏位の最も小さい点が生じていること
が明らかとなった。すなわち、これらの２点Ａ、Ｂにお
いては、幅方向の偏位はやや存在するものの、長辺方向
の偏位ははとんど皆無となる。
第３図は、以上の解析結果を２板を用いた長辺縦水晶振
動子に適用してなる本発明の一実施例を示す正面図であ
る。図において、この振動子は全体が同一水晶板からフ
ォトリングラフィ加工によって一体に形成され、長辺方
向の全長Ｌ１が約７゜０ｍｍ−、幅寸法Ｗが約１．３ｍ
ｙｎ、第１の支持部としての支持部３の基部３ｂ間の距
離Ｌ２が約５．Ｏｍｍで、図上省略したが、振動部１の
、連結部２に連結した対向面に設けた励振電極間に励振
電圧を印加することによシ約ＩＭＨｚの周波数の振動を
行なう。
動子に適用してなる本発明の一実施例を示す正面図であ
る。図において、この振動子は全体が同一水晶板からフ
ォトリングラフィ加工によって一体に形成され、長辺方
向の全長Ｌ１が約７゜０ｍｍ−、幅寸法Ｗが約１．３ｍ
ｙｎ、第１の支持部としての支持部３の基部３ｂ間の距
離Ｌ２が約５．Ｏｍｍで、図上省略したが、振動部１の
、連結部２に連結した対向面に設けた励振電極間に励振
電圧を印加することによシ約ＩＭＨｚの周波数の振動を
行なう。
ここで、上記振動部１、連結部２および第１の支持部３
の構成は第１図に同一記号で示したものとはぼ同様であ
るが、本実施例では、上記第１の支持部３の基部３ｂの
２点を振動部１の長辺方向に支持する第２の支持部４が
設けてあシ、上記長辺方向に引出された腕部４色は、い
ったんかぎ状に屈曲させられた後中央部で一体となって
固定部４ｂを形成している。この固定部４ｂを保持器に
固定するが、上記腕部４ａによシ支持される２点は、基
部３ｂの幅寸法Ｗに対してｐ＝−ｕｗの間隔に設定しで
あるため、固定部４ｂには振動部１の振動はほとんど伝
わらない。この結果固定方法は任意とカリ、例えば固定
部４ｂの底面を直接保持器の上面に固着する方法をとっ
ても、振動部１にクリスタルインピーダンスの上昇など
の悪影響を与えることがなくなる。特に、本実施例では
屈曲部４ｃを設けて横方向の偏位を吸収したことにより
、前述したわずかに残る横方向の偏位の影響も排除でき
るため、さらに理想的な支持構造となっている。
の構成は第１図に同一記号で示したものとはぼ同様であ
るが、本実施例では、上記第１の支持部３の基部３ｂの
２点を振動部１の長辺方向に支持する第２の支持部４が
設けてあシ、上記長辺方向に引出された腕部４色は、い
ったんかぎ状に屈曲させられた後中央部で一体となって
固定部４ｂを形成している。この固定部４ｂを保持器に
固定するが、上記腕部４ａによシ支持される２点は、基
部３ｂの幅寸法Ｗに対してｐ＝−ｕｗの間隔に設定しで
あるため、固定部４ｂには振動部１の振動はほとんど伝
わらない。この結果固定方法は任意とカリ、例えば固定
部４ｂの底面を直接保持器の上面に固着する方法をとっ
ても、振動部１にクリスタルインピーダンスの上昇など
の悪影響を与えることがなくなる。特に、本実施例では
屈曲部４ｃを設けて横方向の偏位を吸収したことにより
、前述したわずかに残る横方向の偏位の影響も排除でき
るため、さらに理想的な支持構造となっている。
また、前述した解析結果からすれば、例えば第１図に示
すような振動子の基部３ｂを、保持器に植設したピンに
５ｗの位置で直接固定することによっても理論的にはほ
ぼ同様の効果が得られるはずであるが、実際にはそのよ
うに正確に位置決めした状態で導電性接着剤等によシ固
着する作業は困難である。これに対し、上述したように
フォトリソグラフィ加工によシ一体形成する構成を用い
れば容易に高精度の位置決めが行なえ、保持器への固定
は固着部４ｂにおいて自由に行うことが可能となる利点
がある。
すような振動子の基部３ｂを、保持器に植設したピンに
５ｗの位置で直接固定することによっても理論的にはほ
ぼ同様の効果が得られるはずであるが、実際にはそのよ
うに正確に位置決めした状態で導電性接着剤等によシ固
着する作業は困難である。これに対し、上述したように
フォトリソグラフィ加工によシ一体形成する構成を用い
れば容易に高精度の位置決めが行なえ、保持器への固定
は固着部４ｂにおいて自由に行うことが可能となる利点
がある。
なお、振動部１の対向面に設けた励振電極からは、連結
部２、脚部３ｍ、基部３ｂおよび腕部４ａを径て固定部
４ｂ′！で引出し部が設けてあり、この固定部４ｂにお
いて機械的に固着するとともに保持器のリード端子に電
気的に接続することかできる。
部２、脚部３ｍ、基部３ｂおよび腕部４ａを径て固定部
４ｂ′！で引出し部が設けてあり、この固定部４ｂにお
いて機械的に固着するとともに保持器のリード端子に電
気的に接続することかできる。
本実施例では第２の支持部４を第１の支持部３の両端に
設けたが、一端にのみ設けて片持ち状としてもよいこと
は言うまでもない。
設けたが、一端にのみ設けて片持ち状としてもよいこと
は言うまでもない。
ただし、対称性の点では本実施例のように両側に設けた
方が有利である。
方が有利である。
なお、ＴＷの支持位置については、１０チ程度であれば
多少のばらつきがあってもｔｌぼ良好な特性のものが得
られる。
多少のばらつきがあってもｔｌぼ良好な特性のものが得
られる。
以上、ｚ板の水晶板を用いた例について説明したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、同様の振動モー
ドを有し、枠状の第１の支持体と一体形成される圧電振
動子について一般に適用して同様の効果を得ることがで
きる。
発明はこれに限定されるものではなく、同様の振動モー
ドを有し、枠状の第１の支持体と一体形成される圧電振
動子について一般に適用して同様の効果を得ることがで
きる。
以上説明したように、本発明によれば、振動部を囲む枠
状の第１の支持部の基部の２点を振動部の長辺方向に支
持する第２の支持部を設け、上記２点間の間隔を基部の
幅寸法のほぼ■としたことによシ保持器への固定が振動
部の振動に与える影響をほとんど皆無とすることができ
る。特に、振動部および第１の支持部と同一の圧電板か
ら一体に形成したことによシ、百の点の位置決めが容易
にかつ高精度に行なえ、実際に保持器に固定する側につ
いては固定額域が広くとれ、固定刃υ−１も任意に選択
できる利点がある。
状の第１の支持部の基部の２点を振動部の長辺方向に支
持する第２の支持部を設け、上記２点間の間隔を基部の
幅寸法のほぼ■としたことによシ保持器への固定が振動
部の振動に与える影響をほとんど皆無とすることができ
る。特に、振動部および第１の支持部と同一の圧電板か
ら一体に形成したことによシ、百の点の位置決めが容易
にかつ高精度に行なえ、実際に保持器に固定する側につ
いては固定額域が広くとれ、固定刃υ−１も任意に選択
できる利点がある。
第１図は従来の長辺縦振動子の構成例を示す正面図、第
２図は本発明の基礎となった、解析結果を説明するだめ
の図、第３図は本発明の一実施例を示す正面図である。 １・・・・振動部、２・・・・連結部、３・・・・第１
の支持部、３ａ・・・・脚部、３ｂ・・・・基部、４・
・・・第２の支持部、４ａ ・・・・腕部、４ｂ ・・
・・固定部、４ｃ・・Φ屈曲部。 第１図 第 ２ 図
２図は本発明の基礎となった、解析結果を説明するだめ
の図、第３図は本発明の一実施例を示す正面図である。 １・・・・振動部、２・・・・連結部、３・・・・第１
の支持部、３ａ・・・・脚部、３ｂ・・・・基部、４・
・・・第２の支持部、４ａ ・・・・腕部、４ｂ ・・
・・固定部、４ｃ・・Φ屈曲部。 第１図 第 ２ 図
Claims (1)
- 励振電極を有し長辺縦振動を行なう圧電板からなる振動
部と、この振動部の長辺方向中央部から両側に引出した
連結部を介して自該振動部と同一圧電板から一体に形成
した上記長辺方向に沿った両脚部およびこの両脚部をそ
の先端で連結する基部からなる枠状の第１の支持部とを
備えた長辺縦振動子において、上記第１の支持部の基部
の２点を上記長辺方向に支持する第２の支持部を上記振
動部および第１の支持部と同一圧電板から一体に形成し
、かつ上記２点間の間隔を上記基部の幅寸縦振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8200884A JPS60226205A (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | 長辺縦振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8200884A JPS60226205A (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | 長辺縦振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60226205A true JPS60226205A (ja) | 1985-11-11 |
| JPH0374851B2 JPH0374851B2 (ja) | 1991-11-28 |
Family
ID=13762491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8200884A Granted JPS60226205A (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | 長辺縦振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60226205A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63311810A (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-20 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
| EP0343000A2 (en) * | 1988-05-20 | 1989-11-23 | Seiko Electronic Components Ltd. | Length-extensional piezo-electric resonator |
| EP0365268A2 (en) * | 1988-10-17 | 1990-04-25 | Seiko Electronic Components Ltd. | Length longitudinal resonator |
| JPH02153610A (ja) * | 1988-12-05 | 1990-06-13 | Seiko Electronic Components Ltd | 長辺縦振動子 |
| JPH03191607A (ja) * | 1989-12-21 | 1991-08-21 | Seiko Electronic Components Ltd | 厚みすべり水晶振動子 |
| JPH03291010A (ja) * | 1990-04-06 | 1991-12-20 | Seiko Electronic Components Ltd | 厚みすべり水晶振動子 |
-
1984
- 1984-04-25 JP JP8200884A patent/JPS60226205A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63311810A (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-20 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
| EP0343000A2 (en) * | 1988-05-20 | 1989-11-23 | Seiko Electronic Components Ltd. | Length-extensional piezo-electric resonator |
| EP0365268A2 (en) * | 1988-10-17 | 1990-04-25 | Seiko Electronic Components Ltd. | Length longitudinal resonator |
| JPH02153610A (ja) * | 1988-12-05 | 1990-06-13 | Seiko Electronic Components Ltd | 長辺縦振動子 |
| JPH03191607A (ja) * | 1989-12-21 | 1991-08-21 | Seiko Electronic Components Ltd | 厚みすべり水晶振動子 |
| JPH03291010A (ja) * | 1990-04-06 | 1991-12-20 | Seiko Electronic Components Ltd | 厚みすべり水晶振動子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0374851B2 (ja) | 1991-11-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |