JPS59104812A - 輪郭水晶振動子 - Google Patents
輪郭水晶振動子Info
- Publication number
- JPS59104812A JPS59104812A JP21499182A JP21499182A JPS59104812A JP S59104812 A JPS59104812 A JP S59104812A JP 21499182 A JP21499182 A JP 21499182A JP 21499182 A JP21499182 A JP 21499182A JP S59104812 A JPS59104812 A JP S59104812A
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- crystal
- supporting section
- axis
- plate
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0595—Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はフォトリソグラフィ加工等で支持部と一体に形
成される輪郭水晶振動子に関するものである。
成される輪郭水晶振動子に関するものである。
従来この種の振動子、例えば２板を用いた長辺縦振動子
は、通常振動子の長辺方向中央部よシ引出した連結部に
音叉形の支持部を設けた構造を有している。したがって
、第１図からも明らかなように支持部１と一体の振動子
全体としては、水晶板２の中央の連結部３を通る軸を中
心として上下の対称性が悪くなっているため、音響リー
クが発生し易く、また上部に水晶板２そのものが突出し
ているためホルダーへの組立等の作業時に振動子を破損
するおそれがあった。
は、通常振動子の長辺方向中央部よシ引出した連結部に
音叉形の支持部を設けた構造を有している。したがって
、第１図からも明らかなように支持部１と一体の振動子
全体としては、水晶板２の中央の連結部３を通る軸を中
心として上下の対称性が悪くなっているため、音響リー
クが発生し易く、また上部に水晶板２そのものが突出し
ているためホルダーへの組立等の作業時に振動子を破損
するおそれがあった。
本発明はこのような事情に艦みてなされたもので、その
目的は、対称性が良好で破損し難い強固な輪郭水晶振動
子を提供することにある。
目的は、対称性が良好で破損し難い強固な輪郭水晶振動
子を提供することにある。
このような目的を達成するために、本発明は、水晶板を
、先端で結合した２つの音叉からなる支持部によって全
周を包囲するように支持したものである。以下、実施例
を用いて本発明の詳細な説明する。
、先端で結合した２つの音叉からなる支持部によって全
周を包囲するように支持したものである。以下、実施例
を用いて本発明の詳細な説明する。
第２図は本発明の一実施例を示す斜視図である。
本実施例は、長辺方向に伸縮する長辺縦振動子の例で、
水晶板としては、第３図に示すように２軸に垂直な水晶
素板から長辺方向がＹ軸、短辺方向がＸ軸に平行な四辺
形状に加工した水晶板を用い、その両側面に励振用電極
を配置する。支持部は、水晶板の長辺方向に添った脚部
とこれを先端で連結する基部とからなシ、上記側面から
ｔすは垂直に引出した連結部を介し水晶板と一体に形成
される。
水晶板としては、第３図に示すように２軸に垂直な水晶
素板から長辺方向がＹ軸、短辺方向がＸ軸に平行な四辺
形状に加工した水晶板を用い、その両側面に励振用電極
を配置する。支持部は、水晶板の長辺方向に添った脚部
とこれを先端で連結する基部とからなシ、上記側面から
ｔすは垂直に引出した連結部を介し水晶板と一体に形成
される。
なお、それぞれ±１０度以内程度の結晶軸のずれは実用
上許容される。このような水晶板１１に対し、その長手
方向中央部から両側面に垂直に引出された連結部１２を
介して一体に形成された支持部１３を備えている。支持
部１３は、２つの音叉を結合した形状で水晶板１１の全
周を包囲している。すなわち、支持部１３は、水晶板１
１の長手方向に沿った脚部１３ａ 、 １３ｂとこの脚
部１３１．１３ｂをその先端で連結する基部１３ｃとか
らなり、これら水晶板１１．連結部１２．支持部１３か
らなる振動子は、長辺方向、短辺方向のいずれの中心線
に対しても全く対称である。
上許容される。このような水晶板１１に対し、その長手
方向中央部から両側面に垂直に引出された連結部１２を
介して一体に形成された支持部１３を備えている。支持
部１３は、２つの音叉を結合した形状で水晶板１１の全
周を包囲している。すなわち、支持部１３は、水晶板１
１の長手方向に沿った脚部１３ａ 、 １３ｂとこの脚
部１３１．１３ｂをその先端で連結する基部１３ｃとか
らなり、これら水晶板１１．連結部１２．支持部１３か
らなる振動子は、長辺方向、短辺方向のいずれの中心線
に対しても全く対称である。
励振用電極１４ａ 、 １４ｂは、第４図に示すように
水晶板１１０両側面に配置され、その引出し部は連結部
１２を通って各脚１３ａ 、 １３ｂの主面上に延在し
、基部１３ｅの上の半田付は用パッド１５に連結してい
る。なお、連結部１２においては電極は全周を巻くよう
に形成しである。半田付は用パッド１５は、各基部１３
６の表裏両面に対称的に設けられ、脚部１３ｍ 、 １
３ｂの上下方向に延在する引出し部はその一端が表面上
のパッド、他端が裏面上のパッドに連結され、表面、裏
面のいずれにも、電極１４ａに接続するパッドおよび電
極１４ｂに接続するパッドの双方が配置される。電極材
料としては、例えばニクロム金、ニクロム銀、クロム金
。
水晶板１１０両側面に配置され、その引出し部は連結部
１２を通って各脚１３ａ 、 １３ｂの主面上に延在し
、基部１３ｅの上の半田付は用パッド１５に連結してい
る。なお、連結部１２においては電極は全周を巻くよう
に形成しである。半田付は用パッド１５は、各基部１３
６の表裏両面に対称的に設けられ、脚部１３ｍ 、 １
３ｂの上下方向に延在する引出し部はその一端が表面上
のパッド、他端が裏面上のパッドに連結され、表面、裏
面のいずれにも、電極１４ａに接続するパッドおよび電
極１４ｂに接続するパッドの双方が配置される。電極材
料としては、例えばニクロム金、ニクロム銀、クロム金
。
クロム銀等が用いられる。
なお、各部の寸法は、ＩＭＨｚの場合を例に挙げれば水
晶板１１の長辺方向寸法Ｙ１が２．８ｇｚｓ短辺方向寸
法Ｘ１が８０μｍ１支持部１３の脚部１３ａ。
晶板１１の長辺方向寸法Ｙ１が２．８ｇｚｓ短辺方向寸
法Ｘ１が８０μｍ１支持部１３の脚部１３ａ。
１３ｂの長辺方向寸法Ｙ２が３．１５１１１Ｘ両脚部間
の寸法Ｘ２が７０４μｍ１基部１３ｅを含む支持部１３
の長辺方向寸法Ｙ３が５．００ｍｍ、短辺方向寸法Ｙ３
が１．０２４１１１連結部１２のＹ軸方向寸法Ｙ４が８
０μｍ１これに対し厚み２は水晶板１１．連結部１２．
支持部１３ともに２００μｍである。エツチング速度の
大きい２構成分を多く含む水晶板を用いているところか
ら、エツチングによって容易に加工形成することかでき
る。
の寸法Ｘ２が７０４μｍ１基部１３ｅを含む支持部１３
の長辺方向寸法Ｙ３が５．００ｍｍ、短辺方向寸法Ｙ３
が１．０２４１１１連結部１２のＹ軸方向寸法Ｙ４が８
０μｍ１これに対し厚み２は水晶板１１．連結部１２．
支持部１３ともに２００μｍである。エツチング速度の
大きい２構成分を多く含む水晶板を用いているところか
ら、エツチングによって容易に加工形成することかでき
る。
上記構成の振動子は、支持部１３の基部１３ｅにおいて
半田付は等によりホルダーに固定されるが、上述したよ
うな電極構造をとることによシ、片持支持の場合、すな
わち振動子の長手方向の一端部においてのみホルダーに
固定する組立て構造では固着部に方向性がなくなシいず
れの端部でも同様に固定できるため組立て作業の能率が
著しく向上する。また、フラットパッケージで第５図に
示すようにセラミック等の基板１６の上に振動子１７を
両持支持する場合には、振動子１７の片面のみにおいて
両励振用電極１４ｍ 、 １４ｂと外部との電気的接続
を行なうことができ、接続構造を極めて簡単にすること
ができる。第５図において１４ｍ 、１４ｂはリード電
極である。さらに組立前の振動子の検査工程においても
、第６図のように台１８の上に振動子１７を載置し、片
面から接触ピン１９を当てて両電極１４ａ、１４ｂ間に
電圧を印加する方法、第７図のように両面から両電極に
電圧を印加する方法のいずれの方法も用いることができ
、製造工程内における治工具選択の自由度が大きくなる
。
半田付は等によりホルダーに固定されるが、上述したよ
うな電極構造をとることによシ、片持支持の場合、すな
わち振動子の長手方向の一端部においてのみホルダーに
固定する組立て構造では固着部に方向性がなくなシいず
れの端部でも同様に固定できるため組立て作業の能率が
著しく向上する。また、フラットパッケージで第５図に
示すようにセラミック等の基板１６の上に振動子１７を
両持支持する場合には、振動子１７の片面のみにおいて
両励振用電極１４ｍ 、 １４ｂと外部との電気的接続
を行なうことができ、接続構造を極めて簡単にすること
ができる。第５図において１４ｍ 、１４ｂはリード電
極である。さらに組立前の振動子の検査工程においても
、第６図のように台１８の上に振動子１７を載置し、片
面から接触ピン１９を当てて両電極１４ａ、１４ｂ間に
電圧を印加する方法、第７図のように両面から両電極に
電圧を印加する方法のいずれの方法も用いることができ
、製造工程内における治工具選択の自由度が大きくなる
。
第８図は、本発明の他の実施例を示す正面図である。本
実施例では、支持部１３の脚部１３ｍ、１３ｂは、連結
部１２に結合するその中央部内側面に凹部２０ｍ 、
２０ｂが設けてあり、この凹部な除く端部において脚部
１３ｍ 、 １３ｂを太く形成しである。すなわち、第
８図において、支持部１３の短辺方向寸法Ｘ３は第３図
と全く同様であるが、両脚部間の寸法は上記凹部２Ｇａ
ｓ ２０ｂにおいて第３図のＸ２と同様であるが、端
部においてはＩＭＨｚの場合でＸ４−５７２μｍと狭く
なっている。なお、凹部２０ａ。
実施例では、支持部１３の脚部１３ｍ、１３ｂは、連結
部１２に結合するその中央部内側面に凹部２０ｍ 、
２０ｂが設けてあり、この凹部な除く端部において脚部
１３ｍ 、 １３ｂを太く形成しである。すなわち、第
８図において、支持部１３の短辺方向寸法Ｘ３は第３図
と全く同様であるが、両脚部間の寸法は上記凹部２Ｇａ
ｓ ２０ｂにおいて第３図のＸ２と同様であるが、端
部においてはＩＭＨｚの場合でＸ４−５７２μｍと狭く
なっている。なお、凹部２０ａ。
２０ｂの長辺方向寸法Ｙ５は５００μｍ１連結部１２の
Ｙ軸方向寸法Ｙ４’が１００μｍであシ、その他Ｘｉ、
Ｘ３゜Ｙ１〜Ｙ３の寸法および厚み２は第３図と全く同
様である。
Ｙ軸方向寸法Ｙ４’が１００μｍであシ、その他Ｘｉ、
Ｘ３゜Ｙ１〜Ｙ３の寸法および厚み２は第３図と全く同
様である。
このように連結部１２を設けた脚部１３ｍ 、 １３ｂ
の内側面に凹部２ｏａ ＃ ２０ｂを設けることは、支
持部１３への音響リークを防止しかつ十分大きな機械的
強度を得るためにきわめて有効である。すなわち、本発
明による振動子においては、連結部１２を通して伝達さ
れる水晶板１１の振動エネルギーを脚部１３ｍ 、 １
３ｂおよび基部１３ｅからなる実質的に音叉形の共振系
を形成する支持部によって漸次減衰することから、基部
１３ｃを固定端として支持しても水晶板１１に対しては
機誠的影響を与えることがなく、直列共振抵抗値を一層
低くするとともに、安定にすることができるものである
。したがって、水晶板１１の発振周波数と支持部の反共
振周波数とが等しくなるように脚部１ａａ 、 １３ｂ
の幅と長さとを選定することが好ましいとともに連結部
１２と脚部１３ｍ 、 １３ｂとの結合部が振動の節に
当たるように連結部１２の幅と長さとを選定することが
望ましい。この場合、第３図の例で連結部１２の長さ、
す彦わち脚部間寸法を大きくするには支持部１３の短辺
方向外径寸法を大きくするか脚部１３１ 、１３ｂの幅
を狭くする方法があるが、前者の場合側の大きいホルダ
ーが必要となって望ましくない。また、脚部の幅は機械
的強度の点から余シ狭くすることはやはシ望ましくない
。したがって、第８図のように凹部２０ｍ 、 ２０ｂ
を設けることによシ、外径寸法を大きくすることもなく
、かつ脚部全体としては十分表幅を確保しながら連結部
１２の長さを有効に調整することができる。
の内側面に凹部２ｏａ ＃ ２０ｂを設けることは、支
持部１３への音響リークを防止しかつ十分大きな機械的
強度を得るためにきわめて有効である。すなわち、本発
明による振動子においては、連結部１２を通して伝達さ
れる水晶板１１の振動エネルギーを脚部１３ｍ 、 １
３ｂおよび基部１３ｅからなる実質的に音叉形の共振系
を形成する支持部によって漸次減衰することから、基部
１３ｃを固定端として支持しても水晶板１１に対しては
機誠的影響を与えることがなく、直列共振抵抗値を一層
低くするとともに、安定にすることができるものである
。したがって、水晶板１１の発振周波数と支持部の反共
振周波数とが等しくなるように脚部１ａａ 、 １３ｂ
の幅と長さとを選定することが好ましいとともに連結部
１２と脚部１３ｍ 、 １３ｂとの結合部が振動の節に
当たるように連結部１２の幅と長さとを選定することが
望ましい。この場合、第３図の例で連結部１２の長さ、
す彦わち脚部間寸法を大きくするには支持部１３の短辺
方向外径寸法を大きくするか脚部１３１ 、１３ｂの幅
を狭くする方法があるが、前者の場合側の大きいホルダ
ーが必要となって望ましくない。また、脚部の幅は機械
的強度の点から余シ狭くすることはやはシ望ましくない
。したがって、第８図のように凹部２０ｍ 、 ２０ｂ
を設けることによシ、外径寸法を大きくすることもなく
、かつ脚部全体としては十分表幅を確保しながら連結部
１２の長さを有効に調整することができる。
なお、励振用電極１４ｍ、１４ｂは、第９図のように一
方の電極の半田付は用パッド１５がそれぞれ片面のみに
配置されるように設けてもよいし、第１０図のように両
電極１４ａ 、 １４ｂの半田付は用パッド１５がすべ
て片面にのみ配置されるように設けてもよい。さらに第
１０図において表面と全く同様の電極を裏面にも設けて
もよい。
方の電極の半田付は用パッド１５がそれぞれ片面のみに
配置されるように設けてもよいし、第１０図のように両
電極１４ａ 、 １４ｂの半田付は用パッド１５がすべ
て片面にのみ配置されるように設けてもよい。さらに第
１０図において表面と全く同様の電極を裏面にも設けて
もよい。
また、本発明は２次の共振モードを利用する振動子に用
いても有効である。第１１図ないし第１５図はいずれも
この例で、１４ｍ、１４ｂは励振用電極を示す。
いても有効である。第１１図ないし第１５図はいずれも
この例で、１４ｍ、１４ｂは励振用電極を示す。
さらに、以上の実施例では長辺振動子についてのみ説明
したが、本発明は短辺振動子についても同様に適用でき
ることは言うまでも＆（、またＧＴ。
したが、本発明は短辺振動子についても同様に適用でき
ることは言うまでも＆（、またＧＴ。
ＨＴ、ＳＬカット等の輪郭水晶振動子に適用しても同様
の効果を得ることができる。
の効果を得ることができる。
以上説明したように、本発明によれば、側面に励振用電
極を設けた水晶板を、側面からｔ″！ぼ垂直に引出した
連結部を介して当該水晶板と一体に形成した結合音叉か
らなる支持部によって全周を包囲するように支持したこ
とによシ、支持部の対称性が向上し音響リークの発生を
防止することができるとともに、水晶板が支持部によっ
て完全に包囲・保護されるところから、機械的強度を向
上させ組立時の作業性を向上させることができる。もち
ろん、振動子自体も周知のフォトリソグラフィによって
容易に一体形成することができる。
極を設けた水晶板を、側面からｔ″！ぼ垂直に引出した
連結部を介して当該水晶板と一体に形成した結合音叉か
らなる支持部によって全周を包囲するように支持したこ
とによシ、支持部の対称性が向上し音響リークの発生を
防止することができるとともに、水晶板が支持部によっ
て完全に包囲・保護されるところから、機械的強度を向
上させ組立時の作業性を向上させることができる。もち
ろん、振動子自体も周知のフォトリソグラフィによって
容易に一体形成することができる。
第１図は従来の輪郭水晶振動子の一例を示す正面図、第
２図は本発明の一実施例を示す斜視図、第３図はその結
晶方向を説明するための図、第４図はその電極構造を示
す正面図、第５図は組立例を示す図、第６図、第７図は
それぞれ組立前の検査方法の一例を示す図、第８図は本
発明の他の実施例を示す正面図、第９図、第１０図はそ
れぞれ電極の他の構造例を示す正面図、第１１図〜第１
５図はそれぞれ本発明のさらに他の実施例を示す正面図
である。 １１・・・・水晶板、１２・・・・連結部、１３・・・
・支持部、１３ａ 、 １３ｂ・・・・脚部、１３Ｃ＠
＠＠＠基部、１４ｍ −１４ｍ １１４ｂｓ Ｎｂ ”
・” ”励振用電極、１７・・・・振動子。 特許出願人 キンセキ株式会社 代理人 山川政樹（ほか１名）
２図は本発明の一実施例を示す斜視図、第３図はその結
晶方向を説明するための図、第４図はその電極構造を示
す正面図、第５図は組立例を示す図、第６図、第７図は
それぞれ組立前の検査方法の一例を示す図、第８図は本
発明の他の実施例を示す正面図、第９図、第１０図はそ
れぞれ電極の他の構造例を示す正面図、第１１図〜第１
５図はそれぞれ本発明のさらに他の実施例を示す正面図
である。 １１・・・・水晶板、１２・・・・連結部、１３・・・
・支持部、１３ａ 、 １３ｂ・・・・脚部、１３Ｃ＠
＠＠＠基部、１４ｍ −１４ｍ １１４ｂｓ Ｎｂ ”
・” ”励振用電極、１７・・・・振動子。 特許出願人 キンセキ株式会社 代理人 山川政樹（ほか１名）
Claims (1)
- 水晶板に励振のための電極を配置してなる輪郭水晶振動
子において、上記電極を配置した水晶振動板の長辺方向
に沿った脚部ととの脚部をその先端で連結する基部とか
らなり当該水晶板の全周を包囲する形状を有しかつ当該
水晶板の上記側面からほぼ垂直に引出した連結部ととも
に当該水晶板と一体的に形成してなる支持部を設けたこ
とを特徴とする輪郭水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21499182A JPS59104812A (ja) | 1982-12-08 | 1982-12-08 | 輪郭水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21499182A JPS59104812A (ja) | 1982-12-08 | 1982-12-08 | 輪郭水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59104812A true JPS59104812A (ja) | 1984-06-16 |
Family
ID=16664887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21499182A Pending JPS59104812A (ja) | 1982-12-08 | 1982-12-08 | 輪郭水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59104812A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0343000A2 (en) * | 1988-05-20 | 1989-11-23 | Seiko Electronic Components Ltd. | Length-extensional piezo-electric resonator |
| EP0365268A2 (en) * | 1988-10-17 | 1990-04-25 | Seiko Electronic Components Ltd. | Length longitudinal resonator |
| JPH03150911A (ja) * | 1989-11-07 | 1991-06-27 | Seiko Electronic Components Ltd | 高調波結合振動子 |
-
1982
- 1982-12-08 JP JP21499182A patent/JPS59104812A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0343000A2 (en) * | 1988-05-20 | 1989-11-23 | Seiko Electronic Components Ltd. | Length-extensional piezo-electric resonator |
| EP0365268A2 (en) * | 1988-10-17 | 1990-04-25 | Seiko Electronic Components Ltd. | Length longitudinal resonator |
| JPH03150911A (ja) * | 1989-11-07 | 1991-06-27 | Seiko Electronic Components Ltd | 高調波結合振動子 |
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