JPS63234615A - 振動する圧電板用のサスペンションスプリング - Google Patents

振動する圧電板用のサスペンションスプリング

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JPS63234615A
JPS63234615A JP63053433A JP5343388A JPS63234615A JP S63234615 A JPS63234615 A JP S63234615A JP 63053433 A JP63053433 A JP 63053433A JP 5343388 A JP5343388 A JP 5343388A JP S63234615 A JPS63234615 A JP S63234615A
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JP
Japan
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tongue
bottom plate
suspension spring
diaphragm
spring
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Application number
JP63053433A
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English (en)
Inventor
ジャン−ピエール オブリー
マルク フラニョー
ジャン−シャルル クラヴール
ドゥニ ジャニオー
セルジュ ミュレール
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Office National dEtudes et de Recherches Aerospatiales ONERA
Original Assignee
Office National dEtudes et de Recherches Aerospatiales ONERA
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/09Elastic or damping supports

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Springs (AREA)
  • Vehicle Body Suspensions (AREA)
  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、加速度に対する感度の低い共振器を製造する
のに用いられる振動する圧電板用のサスペンションスプ
リングに関するものである。
従来の技術 共振器を製造するのに用いられる圧電板は一般に金属製
スプリングにより底板に固定されている。
金属製スプリングは成形したニッケルストリップを用い
て形成することが多い。このスプリングは機械的フィル
タとして機能するため不可欠である。
発明が解決しようとする課題 スプリングは加速度を受けると変形し、このスプリング
に保持されている圧電板が変形する。振動するこの圧電
板が変形すると共振器の共振周波数が変化する。この共
振周波数の変化は十分に大きく、装置によっては許容範
囲を越えてしまう。
この問題点を解決するための公知の方法は、この周波数
変化に対して予防手段を講じることである。
そこで、所定の加速度にふいて所望の周波数で共振する
ように、加速度のないときに、所望の周波数の値に近く
はあるがこの値とは異なっている周波数で共振するよう
に圧電板を構成する。周波数をこのように変化させる方
法は難しいだけでなく、この方法は所定の1つの加速度
に対してしか有効でない。このため、加速度がこの特定
の値から遠く離れた値になると共振周波数が許容範囲か
ら急速にはずれてしまう。
課題を解決するための手段 上記の欠点を解決するため、本発明によれば、少なくと
も2つの部分、すなわち、共振器の底板に固定される部
分と、振動板を支持する部分とを備える独特な構成のサ
スペンションスプリングが提供される。これら2つの部
分の構成とその特別な配置とは、本発明のスプリングは
加速度の作用により変形するが振動板はほとんど変形せ
ず、従って共振周波数はほんのわずかだけ変化するよう
な構成および配置を意味する。この結果、共振周波数の
変化を規定の許容範囲内に収めることができる。
そこで、本発明によれば、底板に固定される第1の部分
と振動板を支持する第2の部分とを含む振動する圧電板
用サスペンションスプリングであって、第2の部分が舌
状部であり、この舌状部の一端は、第1の部分が底板に
固定されている点とは反対側の領域でこの第1の部分に
固定されており、この舌状部の他端は上記振動板を支持
し、上記舌状部の端部のうちの第1の部分が底板に固定
されている点に最も近いほうの舌状部の端部が上記振動
板を支持する端部であることを特徴とするサスペンショ
ンスプリングが提供される。
本発明は、添付の図面を参照した以下の説明によりさら
によく理解できよう。なお、本発明が以下の実施例に限
定されることはない。
実施例 第1図には、従来の技術で圧電材料製の振動板1がいか
にして底板2の上方の所定の位置に保持されているかが
示されている。底板2には共振器の出力端子として機能
する2本の導電性支柱3.4が挿通されている。ガラス
ピーズ5.6が支柱と底板を絶縁している。これら支柱
には、スポット溶接7.8により導電性スプリング9.
10が固定されている。これらスプリングは上記支柱と
反対側の端部がV字形となって対向し、振動板1を所定
位置に保持している。振動板1の各面には電極が設けら
れており、各電極は導電性スポット状接着剤(図示せず
)によりスプリングのいずれか一方に電気的に接続され
ている。従って、支柱と振動板の電極が電気的に接続す
る。この操作の後、保護ケースが底板の上に配置され、
固定される。
加速度が及ぼされていないときには、このような構成の
共振器は共振周波数がf。である。
上記の共振器が、スプリングの変位面内にありかつ振動
板の平面と平行な加速度rを受けると、振動板は第2図
に誇張して示したように変形する。
この変形がS字状になるのはサスペンションスプリング
9.10が変形するからである。このような状態では共
振器の共振周波数はf。とは違った値になる。加速度が
十分に大きい場合には、共振周波数は変化の許容範囲を
越えてしまう。
本発明のスプリングは加速度を受けると変形するが、こ
の変形によって振動板は従来の装置におけるよりもはる
かに小さくしか変形しない。この様子が第3図と第4図
に示されている。例えばスポット溶接17.18により
底板19に固定されているスプリング15.16で振動
板20を支持する。振動板20は導電性スポット状接着
剤によりスプリングに固定される。第3図は加速度を受
けていない状態の共振器である。第4図は同じ共振器が
加速度Fを受けている状態を示す図である。この場合、
加速度を受けるのはスプリングであって、振動板はほと
んど変形しない。
本発明のスプリングは、互いに固定されているか、ある
いは第3の部分により接続された少なくとも2つの部分
を備えている。
第1の部分は底板に固定されるが、その際には直接に、
またはこの底板を貫通する支柱を介して固定される。第
2の部分は舌状部であり、その一端で振動板を支持する
。この支持端は、舌状部の端部のうちの第1の部分が底
板に固定される点の最も近くに位置するほうの端部であ
る。第5図は本発明のサスペンションスプリングの図で
ある。
このスプリングは一本のストリップを数回折り曲げるこ
とにより形成される。このスプリングは第1の部分25
を含んでおり、その一端26が共振器の底板に固定され
、他端27は中間部29を介して舌状部28と一体化し
ている。舌状部28は第1の部分25の平面と平行な平
面上に位置する。舌状部の端部30には振動板が支持さ
れることになる。この端部30は、舌状部の端部のうち
の共振器の底板にスプリングが固定される点に最も近い
ほうの端部である。同じタイプの2つのスプリングの間
に振動板をうまく収容するためには、端部30が延長し
て収容部31となっていることが望ましい。振動板が収
容部31の上に載せられているのであれば、振動板をス
プリングに固定するにはスポット状に接着剤を堆積させ
るだけでよい。するとこの接着剤が端部30および/ま
たは収容部31に接着する。
本発明のスプリングを最も効果的なものにするためには
、所定の配置条件を満足させることが望ましい。
第6図は上記の形状を再び示した図である。この第6図
かられかるように、スプリングは一定の厚さeの金属ス
トリップから製造されたものであり、このストリップは
曲げられて長さhの部分とこの部分から距離ε離れた長
さHの部分とが形成されていると仮定する。長さHは、
スプリングを対応する支柱または底板に接続する点から
測定する。最良の結果は、ε≦3eかつh/H!=i0
.5のときに得られる。
本発明のスプリングとしては第5図に示したのとは別の
形状のスプリングを用いることもできる。
特に、εがゼロの形状にすることが可能である。
第7図は長方形の部材から作製したこのタイプのスプリ
ングの図である。舌状部35は部分36と同じ平面上に
位置する。部分36は下端部37が共振器の底板に固定
される。第5図と同様に、舌状部35は延長して振動板
の収容部となっていることが望ましい。舌状部35は幅
がβ′で高さがhである。
この場合のサイズHは、この部材に対称に形成されたU
字状開口部の高さに対応する。この開口部の下に位置す
る部分は、底板に固定されているために剛性が無限大で
あると考えることができる。
スプリングの効果は、舌状部35と幅が1/2の側方脚
部38.39とにより得られると考えられる。部材の厚
さが一定であり、かつII!−j!’ の場合には、h
/H=J2−1、すなわちこの比の値が約0.5のとき
に最良の結果が得られる。部材の厚さが一定であり、か
つlがβ′と異なっている場合には、比h/Hの値が以
下の方程式の解となっているときに最良の結果を得るこ
とができる。
第8図は本発明のスプリングの別の実施例の図である。
このスプリングは丁字形であり、第1の部分40と、こ
の第1の部分の両側に位置する2つの半舌状部42.4
3で形成された第2の部分とで形成されている。第1の
部分40の端部41は共振器の底板に固定される。従っ
て、各スプリングには振動板を支持する2点が与えられ
る。先に説明した場合のように、半舌状部を延長して振
動板の収容部を設けることもできる。長さβ、1’ 、
hSHが図中に示されている。厚さが一定の部材の場合
には、第7図のスプリングと同じ条件のときに最良の結
果が得られる。
第9図は本発明のスプリングの別の実施例の図である。
このスプリングは第7図のスプリングと同様のものであ
るが、90度曲げられた側方部50.51がさらに付加
されている。この場合、サイズHは図面に示した長さに
なり、側方部はこの部分の境界領域のスプリング効果を
抑制する。別のスプリングに対してこのような側方部を
形成することもできる。その場合、同じ効果が得られる
第10図は本発明の別の実施例の図である。このスプリ
ングは第7図のスプリングと似ている。独創的な点は、
側方脚部55.56とこのスプリングの残りの部分とで
厚さが異なる点である。斜線部は側方脚部55.56の
厚さよりも厚いeoとなっている。eoがeよりも十分
に大きい(実際にはe′≧2e)場合には、斜線部は非
斜線部よりも剛性が大きいと考えることができる。従っ
て、最良の結果を得るために従うべき配置条件は極めて
簡単になる。すなわち、h=H/2となっている必要が
ある。この関係は舌状部57および側方脚部の幅とは関
係がない。この解決法の利点は、振動板が接合されるの
は剛性があると考えられている部分に対してであるため
振動板の接合にあまり注意を払う必要がない点である。
上記のいずれの構成でも、舌状部の可撓性が良好に保た
れるようにするためにはスポット状接着剤をあまり大き
くしてはならない。スプリングのサイズが小さいため、
これは難しい操作である。
厚さの異なる領域を形成するためには様々な方法を用い
ることができる。例えば薄いシートから出発して電着に
より局所的堆積部を形成することができる。また、厚い
シートを例えば放電加工または化学的加工することがで
きる。
第10図のスプリングのサイズの数値例を以下に示す。
−出発部材のサイズ2.2 x 4 mm。
−舌状部: h =1.32+nm :幅0,8mm0
−H=2.1mm0 − 側方脚部の幅0.4胚。
−厚さ:e” −0,16m+n、  e =0.08
+++m0本発明のスプリングは、直接または間接に底
板に溶接することができる。スプリングの鉛直方向の位
置決めを容易にするため、スプリングには底板として機
能する屈曲部が設けられている。第11図には、本発明
のスプリングを形成するのに使用する金属部材60を折
り曲げる前の状態が示されている。この部材は、例えば
放電加工操作により開口部61とノツチ62.63も同
時に形成することにより得られる。第12図に示したよ
うに、ノツチがあるとスプリングの脚部64と部分65
を折り曲げやすくなる。脚部64は溶接され、部分65
は振動板を支持するのに使用される。
本発明のスプリングは、従来のスプリングと同様に振動
板の電極に接続される導電体として機能する。使用する
材料はS品質のニッケルがよい。
加速度の関数である周波数の相対変化は以下の関係式で
与えられる。
Δ f/f   二  K−r (ただし、Kは共振器の加速度感度ベクトルである)加
速度の値に対する周波数変化を測定するとKの値を決め
ることができる。本発明のスプリングを従来のスプリン
グと比較するために測定を行った。使用した振動板は以
下の特性を有する。すなわち、共振周波数10MHzS
SCカット、部分振動モード3、自己支持式のクォーツ
である。第1図に示したような従来のスプリングだとK
は約7XIO−” /gになる。第10図に示したよう
なスプリングだとKは約2 xlO−” /gになる。
このようにこのパラメータの大きさが小さくなるとその
ことが周波数のドリフトの減少に直接反映される。
【図面の簡単な説明】
第1図は、従来のスプリングに保持された振動板の図で
ある。 第2図は、加速状態にある場合の第1図の装置の図であ
る。 第3図は、本発明のスプリングに保持された振動板の図
である。 第4図は、加速状態にある場合の第3図の装置の図であ
る。 第5図〜第10図は、本発明のスプリングの図である。 第11図と第12図は、本発明のスプリングの構成を示
す図である。 (主な参照番号) 1.20・・振動板、   2.19・・底板、3.4
・・支柱、 5.6・・ガラスピーズ、 7.8.17.18・・スポット溶接、9.10.15
.16・・スプリング、28.35.57・・舌状部、
 38.39・・側方脚部、40・・第1の部分、  
 42.43・・半舌状部、50.51・・側方部、 
  55.56・・側方脚部、60・・金属部材、  
  61・・開口部、62.63・・ノツチ

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)共振器の底板に固定される第1の部分と、振動す
    る圧電板を支持する第2の部分とを備える振動する圧電
    板用のサスペンションスプリングであって、第2の部分
    は舌状部であり、この舌状部の一端は、第1の部分が底
    板に固定されている点とは反対側の領域でこの第1の部
    分と一体化しており、この舌状部の他端は上記振動板を
    支持し、上記舌状部の端部のうちの第1の部分が底板に
    固定されている点に最も近いほうの端部が上記振動板を
    支持する端部であり、上記スプリングは数回曲げられた
    ストリップにより形成され、上記舌状部は中間部を介し
    て第1の部分に接続され、上記舌状部と第1の部分は互
    いにほぼ平行な平面上にそれぞれ位置するサスペンショ
    ンスプリングにおいて、上記舌状部の第1の部分との離
    隔距離が上記ストリップの厚さの3倍以下であり、上記
    舌状部の長さが第1の部分の長さの約半分であることを
    特徴とするサスペンションスプリング。
  2. (2)側方部が、上記第1の部分のうちのスプリングが
    底板に固定されている点と同じ側に設けられていること
    を特徴とする請求項1に記載のサスペンションスプリン
    グ。
  3. (3)上記舌状部が延長されて上記振動板の位置決めを
    行うための折り曲げ部となっていることを特徴とする請
    求項1に記載のサスペンションスプリング。
  4. (4)第1の部分が延長されてスプリングを底板に固定
    するための折り曲げ脚部となっていることを特徴とする
    請求項1に記載のサスペンションスプリング。
  5. (5)底板に固定される第1の部分と、振動する圧電板
    を支持する第2の部分とを備える振動する圧電板用のサ
    スペンションスプリングであって、第2の部分は舌状部
    であり、この舌状部の一端は、第1の部分が底板に固定
    されている点とは反対側の領域でこの第1の部分と一体
    化しており、この舌状部の他端は上記振動板を支持し、
    上記舌状部の端部のうちの第1の部分が底板に固定され
    ている点に最も近いほうの端部が上記振動板を支持する
    端部であり、上記スプリングは対称にU字形の開口部が
    形成された長方形の部材から得られ、この開口部が舌状
    部と2つの側方脚部を規定しているサスペンションスプ
    リングにおいて、上記舌状部は高さがh、幅がl’であ
    り、Hはこの開口部の高さであり、各側方脚部の幅はl
    /2であるとき、以下の式 l/l’×(h/H)^2+2(h/H)−1=0が満
    足されることを特徴とする請求項1に記載のサスペンシ
    ョンスプリング。
  6. (6)上記側方部が、上記第1の部分のうちのスプリン
    グが底板に固定されている点と同じ側に設けられている
    ことを特徴とする請求項5に記載のサスペンションスプ
    リング。
  7. (7)上記舌状部が延長されて上記振動板の位置決めを
    行うための折り曲げ部となっていることを特徴とする請
    求項5に記載のサスペンションスプリング。
  8. (8)第1の部分が延長されてスプリングを底板に固定
    するための折り曲げ脚部となっていることを特徴とする
    請求項5に記載のサスペンションスプリング。
  9. (9)共振器の底板に固定される第1の部分と、振動す
    る圧電板を支持する第2の部分とを備える振動する圧電
    板用のサスペンションスプリングであって、第2の部分
    は舌状部であり、この舌状部の一端は、第1の部分が底
    板に固定されている点とは反対側の領域でこの第1の部
    分と一体化しており、この舌状部の他端は上記振動板を
    支持し、上記舌状部の端部のうちの第1の部分が底板に
    固定されている点に最も近いほうの端部が上記振動板を
    支持する端部であり、上記スプリングは対称にU字形の
    開口部が形成された長方形の部材から得られ、この開口
    部が舌状部と2つの側方脚部を規定しているサスペンシ
    ョンスプリングにおいて、上記2つの側方脚部の厚さ(
    e)が上記スプリングの残りの部分の厚さ(e’)より
    も薄いことを特徴とするサスペンションスプリング。
  10. (10)上記2つの側方脚部の厚さ(e)がスプリング
    の残りの部分の厚さ(e’)の半分以下である(e’≧
    e)ことを特徴とする請求項9に記載のサスペンション
    スプリング。
  11. (11)側方部が、上記第1の部分のうちのスプリング
    が底板に固定されている点と同じ側に設けられているこ
    とを特徴とする請求項9に記載のサスペンションスプリ
    ング。
  12. (12)上記舌状部が延長されて上記振動板の位置決め
    を行うための折り曲げ部となっていることを特徴とする
    請求項9に記載のサスペンションスプリング。
  13. (13)第1の部分が延長されてスプリングを底板に固
    定するための折り曲げ脚部となっていることを特徴とす
    る請求項9に記載のサスペンションスプリング。
  14. (14)底板に固定される第1の部分と、振動する圧電
    板を支持する第2の部分とを備える振動する圧電板用の
    サスペンションスプリングであって、第2の部分は、第
    1の部分が底板に固定されている点とは反対側の領域で
    この第1の部分に対して固定され、この舌状部の他端は
    上記振動板を支持し、第2の部分の端部のうちの第1の
    部分が底板に固定されている点に最も近いほうの端部が
    上記振動板を支持する端部であり、上記スプリングはT
    字形であり、第2の部分は、第1の部分を形成する上記
    T宇の鉛直部の両側に位置する2つの半舌状部に分割さ
    れていることを特徴とするサスペンションスプリング。
  15. (15)lが第1の部分の幅であり、Hが上記T字の高
    さであり、hが各半舌状部の長さであり、l/2がこの
    半舌状部の幅である場合に、以下の式l/l’×(h/
    H)^2+2(h/H)−1=0 が満足されることを
    特徴とする請求項14に記載のサスペンションスプリン
    グ。
  16. (16)側方部が、上記第1の部分のうちのスプリング
    が底板に固定されている点と同じ側に設けられているこ
    とを特徴とする請求項14に記載のサスペンションスプ
    リング。
  17. (17)上記舌状部が延長されて上記振動板の位置決め
    を行うための折り曲げ部となっていることを特徴とする
    請求項14に記載のサスペンションスプリング。
  18. (18)第1の部分が延長されてスプリングを底板に固
    定するための折り曲げ脚部となっていることを特徴とす
    る請求項14に記載のサスペンションスプリング。
JP63053433A 1987-03-06 1988-03-07 振動する圧電板用のサスペンションスプリング Pending JPS63234615A (ja)

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FR8703074 1987-03-06

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US (1) US4859898A (ja)
EP (1) EP0284474B1 (ja)
JP (1) JPS63234615A (ja)
AT (1) ATE75565T1 (ja)
CA (1) CA1307043C (ja)
DE (1) DE3870499D1 (ja)
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FR (1) FR2612021A1 (ja)

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