JPS5850816A - 水晶振動子 - Google Patents

水晶振動子

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JPS5850816A
JPS5850816A JP56150036A JP15003681A JPS5850816A JP S5850816 A JPS5850816 A JP S5850816A JP 56150036 A JP56150036 A JP 56150036A JP 15003681 A JP15003681 A JP 15003681A JP S5850816 A JPS5850816 A JP S5850816A
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piece
terminal
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JP56150036A
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Sumiyuki Ishigami
石神 純幸
Mitsuru Sato
充 佐藤
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Goto Seisakusho KK
Tokyo Denpa Co Ltd
Original Assignee
Goto Seisakusho KK
Tokyo Denpa Co Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/0504Holders; Supports for bulk acoustic wave devices
    • H03H9/0514Holders; Supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/42Piezoelectric device making

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は組立を自動化し、かつその周波数微調整をも自
動的(1行なう水晶振動子の製造方法C1関する。  
  ゛ 従来、水晶振動・子の水晶片は、特にATカットおよび
BTカット形の場合、ワイヤクリップまたはリボンクリ
ップ等により保持されていた。第1図(a)はワイヤク
リップ方式による水晶振動子の一例、同図(b)はその
拡大図を示し、先端をコイル状のクリップlに加工した
支持材2により、水晶片3の周辺部をはさんで保持する
。なおリボンクリップ方式もこれに類似したもので、こ
れらの従来の方式では組立作業のほとんどを熟練した作
業員により行なう必要があった。
これらの手作業による水晶片の組立作業は、上記支持材
の変形と、これを矯正したことによる機械的残留応力等
が水晶片に作用して生じる特性上の整置が避けられず、
精密な水晶振動子を得るための均一的作業性に欠けるも
のであった。
本発明はこれらの欠点を解消し、作業員の熟練(二軸る
ことなく、ロボットにより水晶振動子の組立2周波数調
整さらに検査に至るまでを自動化し得る水晶振動子を提
供するもので、以下実施例によって詳細に説明する。
第2図(a)および(b)は本発明による水晶振動子の
実施例を示す平面図および正面図で、破線で示した水晶
片5を端子金具6a、6bで保持し、その表、裏からガ
ラス等の絶縁物の容器7a、7bで覆い、容器7 a 
、’ 7 bの各コーティングを施した縁端部7’−1
で端子金具6a、6bをはさんで圧着、加熱し、気密に
封止して一体としたものである。
第3図ないし第5図は上記端子金具6a、6bの詳細を
示し、第3図の平面図(a)および側面図(b)に示す
形状の薄い金属片6を第4図(aXb)のように屈曲し
て幹部6−1.その下端の左右に突出した枝部6−2.
および各枝部の端部に設けた支持部6−3を形成し、さ
らに枝部6−2を幹部6−1に対してY字状に曲げて、
第5図の平面図(a)および側面図(b)に示す形状の
端子金属6 a。
6bとする。
組立に際しては、このように形成した端子金具6 a 
、 ’6 bを、第6図(a)および(b)に示すよう
に対向して水平に配置し、その上に水晶片5を載持され
るようにする。この場合、水晶片5は表。
1.Dエヮ5−1(7)!NBL□5−03ヵ1ヨイ0
.6 a、6bの各2個の支持部6−3の少なくとも一
方に接するようにすることが必要である。
次いで上記各支持部に導電性塗料を滴下し加熱。
硬化させれば、水晶片5はそれぞれ支持部に固着−し4
箇所で機械的に十分な強度で保持されると共に、表、裏
の電極5−1はそれぞれ端子金具6 a。
6bに接続される。
その後第7図に示すように、あらがしめコーティングを
各縁端部7−1の内面に施した容器7 a。
7bで表、裏から覆い、電気炉または赤外線等で加熱軟
化させて接合したのちコーティングを硬化させ、気密に
封止された水晶振動子8が得られる。
このよう・にして構成された水晶振動子は、端子金具6
a、6bの各Y字状に曲げられた枝部先端の支持部6−
3で水晶片を保持するため、水晶片は非常に可撓性の大
きな支持材で保持された状態となり、その特、性は極め
て安定のものとなる。また、この構造は第6図に示し〜
たように、種々異なる大きさの水晶片に対応できる。す
なわち、端子金具の枝部6−2を幹部6−1(二対して
適宜の角度で7字形となるように曲げて、水晶片に適合
させることができる。
なお端子金具6a、6bを形成する金属片の材質や厚さ
、および幹部、枝部の幅、長さ等は、水晶片5の特性に
影響を及ぼすおそれのな、いように選定することが必要
であり、プレス打抜きまたはエツチング加工等による通
常の薄板金属加工技術で容易に実現できる。
この構造の水晶振動子は次のよう(二端子金具を多数連
続して設けることにより、組立作業を自動化することが
できる。第8図はその一例を示し、薄い帯状金属板に前
記第3図に示した形状の端子金具6を打抜加工等の手段
により多数形成し、フレーム9とする。なおフレーム9
は周辺部にガイド孔10を設け、各工程における自動送
りを行なわせる。
すなわち、フレーム9には1区画ごとに端子金具6を2
個ずつ上・下に相対して形成され、換言すれば区画ごと
に端子金具6は1個の水晶振動子を形成するように配置
されている。各端子金具はさらに前記第3図〜第5図に
示したように屈曲加工して、第9−に示すように各区画
ごとに先端をY字状に加工された端子金具6a、6bを
形成させる。次いで前記第2図(aXb)に示した容器
7a。
7bのうち、一方の容器7bを1.その縁端部7−1の
内側の所定部分にあらかじめ低融点ガラス等   ”の
コーティングを施し、第10図に示すように、各区画ご
とに端子金具6a、6bに裏側から接着。
固定する。
なお、このように一方の容器を双方の端子金具に固定す
るのは、後述するパーシャル蒸着時に水晶振動子を発振
させるため一方の端子金具6aをフレームから切断する
ので、水晶片5は他方の端子金具6bのみで支持される
ようになり、このままでは端子金具6bの枝部6−2お
よび水晶片5の支持点に大きな応力が加わる。よって、
あらかじめ一方の容器を端子金具6a、6bに接着、固
定することにより、これ舎防止する。なお、端子6bの
みで水晶片を支持しても差し支えなければ、もちろんこ
の操作は不要であり、最後の封止時に表、裏の容器?a
、7bを取イ・1ければよい。
次いで第11図に示すように水平に置かれたフレーム9
上に、ロボットのアーム先端に設けたエヤーチャック(
いずれも図示せず)に吸付けられた水晶片5を、各区画
ごとに前記第6図(aXb)に示したように載置し、水
晶片が端子金具6a、6bの支持部6−3に支持される
ようにする。その後、定量吐出装置等により導電性塗料
を端子金具の各支持部に滴下したのち、加熱し硬化させ
る。
ここで、水晶片をフレームの各区画に載置する場合、前
記第6図(a)において説明したように、電極引出し部
5−13が電極金具の支持部6−3の少なくとも一方に
接するように水晶片の方向を定める必要がある。しかし
、水晶片に電極5−1を蒸着する場合、その電極引出し
部5−13の方向を定めて処理する故、このとき定めら
れた水晶片の方向を用いることシニより、水晶片のフレ
ーム上への載置時に方向判定の労力を省くことができる
。次いで、第11図における各区画の一方の端子金具6
aを破線で示したA部分で切断すれば、各区画の水晶振
動子は、他方の端子金具6bで共通接続され赳、それぞ
れ独立の水晶振動子となる。
続いてパーシャル蒸着による周波数の微細調整を行なう
第12図はその工程を説明するための模式平面図で、1
1は真空槽、12は銀(Ag)などの蒸着材料を加熱し
その蒸気を発生するための蒸気発生器、13はシャッタ
、14はマスクである。まず、前記第11図の各区画ご
とに水晶片を取付けたフレーム9を、蒸気発生器12の
小孔12aを中心に送り得るよう仁架台(図示せず)に
円弧状に取付ける。
蒸気発生器12は小孔12aより蒸着材料の銀の蒸気を
噴出するが、常時はこの蒸気はシャッタ13により遮断
され゛ている。周波数調整を行なう場合、所定位置の水
晶片5は接触子15を介して外部の発振回路16に接続
され、水晶発振器な構成する。一方、その発振周波数f
は監視装置17により所定周波数からの偏差を監視され
る。
水晶片5は、あらかじめ上記組立工程に入る前に周波数
が所定周波数よりわずか高くなるように厚さを粗調整さ
れており、微細調整に際してはシャ、ツタ13を開き、
蒸気発生器の小孔12aより噴出した銀の蒸気なマダツ
14を通じて、第13図に示すように水晶片5の電極5
−1上に5−2のように蒸着する。この5−2部分へ蒸
着された銀の量は時間と共に増加し、これに伴なって発
振周波数は低下する。監視装置17+二より発振周波数
が所定値になったことを検知ゝしたときシャッタ13を
閉じると共にフレーム9を矢印18の方向に1区画送り
、次の水晶片が所定蒸着位置にくるようにする。かくし
て、フレームの各区画の水晶振動子は所定の周波数に調
整される。
その後、適当な雰囲気たとえば乾燥した窒素(N2)ガ
ス中において、各区画ごとに水晶片と端子金具に、縁端
部7−1の内側にコーティングを施した表面側の絶縁容
器7aで覆い、加熱、硬化させれば、それぞ・れ窒素ガ
スを封入、密封された水晶振動子が構成され、最後に端
子金具6bを前記第11図における破線Bの部分で切断
すれば、独立した水晶振動子が得られる。
このよりrf本発明による水晶振動子は、帯状の金属板
に端子金具をそれぞれ振動子を形成するように配置した
多数の区画を連続して設け、これに順次裏面側容器の取
付、水晶片装填、一方の端子金具の切断、パーシャル蒸
着による周波数の微調整、および始走雰囲気中における
表面側容器の取付を行ない、最後に共通側端子金具を切
断して各独立した水晶振動子とするもので、上記の各工
程はいずれも容易に自動化され、従来のように作業員の
熟練に頼ることなく、すべて自動化して特性の均一化さ
れた水晶振動子を得ることができる。
さらに・本発明の他の実施例について説明する。
ここで−上記実施例では、各端子金具に2個ずつ設けた
支持部により水晶片を周辺の4個所で支持する構造であ
ったが、支持部は3個所としても差し支えない。、すな
わち、第8図における2個の端子金具6を同一形状とせ
ず、一方を変形して1個所で支持するようにし、合計3
個所で水晶片を支持させることもできる。なお、水晶片
は円形に限らず、矩形、短冊状その他任意の形状とする
ことができる。
次(二、第14図は前記第8図における端子金具の他の
実施例を示し、端子金具の幹部の根本6−13と6−1
b、および枝部から両側の支持部に続く部分6−3aと
6−3bにそれぞれ図示のように切り欠けを設けること
により、前記第3図ないし第5図における端子金具の屈
曲を容易に行なうことができる。
また第15図に示すように、端子金具6の幹部6−1の
幅を、枝部6−2より所定距離aの間はDとし、これよ
りフレームに至る距離すの間はdとし、dをDよりはる
かに狭くして5部分なリー。
ド線状とすること(二より完盛した水晶振動子8の形状
をfi16図(a)のようにし、プリント配線盤に取付
ける場合、同図(b) (=示すように端子金具の細い
リード線状の部分を屈曲して取付孔に挿入することによ
り、・極めて容易に取付けることができる。
さらに容器7a、7bは、前記第7図において端子金具
6a、6bを適宜屈曲する等の手段により水晶片をニガ
に例えば容器7b側に突出させ、容器7aは単に板状の
蓋とすることもできる。
以上説明したように、本発明(=よるときは組立。
周波数微調整等をすべて自動化し、特性の均一化した多
数の水晶振動子を容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)および(b)はワイヤクリップ方式による
従来の水晶振動子を示す正面図および拡大図、第2図(
a)および(b)は本発明(二よる水晶振動子の実施例
を示す平面図およ□、ぴ正面図、°第3図(a)および
(b)は端子金具となる金属片の原形を示す平面図お、
よび側面図、第4図(a)および(b)は該金属片の屈
曲途中を示す平面図および側面図、第5図はさらに枝部
な7字状(二屈曲して得られた端子金具を示す平面図お
よび側面図、第6図(a)および(b)は相対して配置
した端子金具上に水晶片を載せた状態を示す平面図およ
び側面図、第7図はさらに表、裏より容器fliい密封
し完成した水晶振動子を示す側断面図、第8図は端子金
具の原形を打抜いた帯状金属片よりなるフレームを示す
平面図、第9図はフレームの原形を屈伸して端子金具を
形成した状態を示す平面図、第10図は裏面より容器で
覆った状態を示す平面図、第11図はさらに水晶片を載
置した状態を示す平面図、第12図はパーシャル蒸着工
程を示す模式平面図、第13図は銀をパーシャル蒸着さ
れた水晶片を示す平面図、第14図、第15図はそれぞ
れ端子金具の他の実施例を示す平面図、第16図(a)
および(b)はさらに他の実施例による端子金具を設け
た水晶振動子を示す平面図および鳴子金具を屈曲した状
態を示す水晶振動子の部分斜視図である。 5−1・・・電極、5−1 a’・・・電極引出し部、
6−a。 6b・・・端子金具、6−1・・・幹部、6−2,6−
2a、6−2b−・・枝部、6−3a 、6−3b 、
6−3・・・支持部、7a、7b・・・容器、8・・・
水晶振動子、9・・・フレーム。 沖 l 団 (0L)       ・ (8) −s ンヒ   乙   ルろ           才′ 
 7  図’k  72  図 才l〕図     矛lケ目

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)幹部と、そのl端より両側に突出した枝部と、該
    枝部の各先端より上記幹部と反舛方向に突出した支持部
    とよりなる端子金具を互いに上記支持部を相対して配置
    すると共に上記技部を上記幹部に対しY字状に屈曲し、
    上記支持部は一平面を形成して水晶片を支持し、かつ該
    水晶片の電極を上記支持部を介して上記端子金具に接続
    し、さらに上記端子金具をはさんで表、裏より容器を接
    着して一体に気密に封止したことを特徴とする水晶振動
    子。
  2. (2)前記幹部と枝部およ゛び支持部を金属板より打抜
    き一体に形成したことを特徴とする特許請求の範囲第1
    項記載の水晶振動子。
JP56150036A 1981-09-21 1981-09-21 水晶振動子 Granted JPS5850816A (ja)

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US06/417,451 US4486681A (en) 1981-09-21 1982-09-13 Y-Shaped support for piezoelectric resonator
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