JPS58120312A - フラツトパツケ−ジ型水晶振動子 - Google Patents
フラツトパツケ−ジ型水晶振動子Info
- Publication number
- JPS58120312A JPS58120312A JP320282A JP320282A JPS58120312A JP S58120312 A JPS58120312 A JP S58120312A JP 320282 A JP320282 A JP 320282A JP 320282 A JP320282 A JP 320282A JP S58120312 A JPS58120312 A JP S58120312A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- containers
- container
- type crystal
- flat package
- crystal oscillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0595—Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はフォトエツチング技術を応用して作られるフラ
ットパッケージ型水晶振動子の容器の構造に関する。
ットパッケージ型水晶振動子の容器の構造に関する。
腕時計の時間基準源として用いられる音叉型水晶振動子
は腕時計が小型薄型化するＫつれ超小型化超薄型化の要
求が強く、又製造コストが安価であることが重要である
。この２つの目的を同時に達成するために最近の時計用
水晶振動子の振動片はフォトエツチング技術を用いて作
られるものが主流をなしてきた。それと同時にこのよう
な小さな薄板振動片を保持収容する容器についても同様
なフォトエツチング技術を応用して作られるいわゆるフ
ラットパッケージと称する容器も注目されている。従来
この種のフラットパッケージの水晶振動子の容器は、ガ
ラス、水晶、セラミック等を使って作られていたがいず
れも割れやすいためにあまり薄く出来なかった。又電極
リードのとり出しが円筒型圧入容器に比べてとり出しに
くいこと、又回路への実装工程での作業がやりずらいこ
とがありた。
は腕時計が小型薄型化するＫつれ超小型化超薄型化の要
求が強く、又製造コストが安価であることが重要である
。この２つの目的を同時に達成するために最近の時計用
水晶振動子の振動片はフォトエツチング技術を用いて作
られるものが主流をなしてきた。それと同時にこのよう
な小さな薄板振動片を保持収容する容器についても同様
なフォトエツチング技術を応用して作られるいわゆるフ
ラットパッケージと称する容器も注目されている。従来
この種のフラットパッケージの水晶振動子の容器は、ガ
ラス、水晶、セラミック等を使って作られていたがいず
れも割れやすいためにあまり薄く出来なかった。又電極
リードのとり出しが円筒型圧入容器に比べてとり出しに
くいこと、又回路への実装工程での作業がやりずらいこ
とがありた。
以下図面に従って説明する。
第１図は従来のフラットパッケージ型水晶振動子の１例
を示す平面透視図、第２図は同じ水晶振動子の側面断面
図である。振動片１は音叉核部分２と基部と基部より一
体で延長されたように形成された枠部分６からなり、そ
の上下にはガラス製の第１の容器４及び第２の容ａ５が
軟質金属６及び７をもちいて接合されている。第１の容
器４及び第２の容器５によって密閉された音叉核部分２
の周囲は当然ながら真空に保たれている。
を示す平面透視図、第２図は同じ水晶振動子の側面断面
図である。振動片１は音叉核部分２と基部と基部より一
体で延長されたように形成された枠部分６からなり、そ
の上下にはガラス製の第１の容器４及び第２の容ａ５が
軟質金属６及び７をもちいて接合されている。第１の容
器４及び第２の容器５によって密閉された音叉核部分２
の周囲は当然ながら真空に保たれている。
しかしながらこのフラットパッケージのガラス製の第１
の容器４及び第２の容器５はガラスなので非常に割れ易
いため２００μ７７Ｌ〜３００μｍの厚さが必要であり
、振動子全体の厚さとしては５００μｍより薄くするこ
とは割れヒビなどの発生からきわめて難しかった。又第
２の欠点としてこのフラットパッケージは回路へ実装す
ることが困難であることがあげられる。すなわち振動片
の励振電極８、他方の励振電極９は枠の金属板部分を介
して取出しＡ電極１０及び取出しＢ電極１１に引きださ
れるが取出しＡ電極１０及び取出しＢ電極１１は接合し
た第１の軟質金属６及び第２の軟質金属７に近、いため
回路との実装工程では注意深（行わないと第１の軟質金
属６及び第２の軟質金属７を再溶融してしまい密閉され
た容器内の真空度が劣化してしまう。この結果水晶振動
子のクリスタルインピーダンスが増加し不良の原因とな
りてしまう欠点を有している。
の容器４及び第２の容器５はガラスなので非常に割れ易
いため２００μ７７Ｌ〜３００μｍの厚さが必要であり
、振動子全体の厚さとしては５００μｍより薄くするこ
とは割れヒビなどの発生からきわめて難しかった。又第
２の欠点としてこのフラットパッケージは回路へ実装す
ることが困難であることがあげられる。すなわち振動片
の励振電極８、他方の励振電極９は枠の金属板部分を介
して取出しＡ電極１０及び取出しＢ電極１１に引きださ
れるが取出しＡ電極１０及び取出しＢ電極１１は接合し
た第１の軟質金属６及び第２の軟質金属７に近、いため
回路との実装工程では注意深（行わないと第１の軟質金
属６及び第２の軟質金属７を再溶融してしまい密閉され
た容器内の真空度が劣化してしまう。この結果水晶振動
子のクリスタルインピーダンスが増加し不良の原因とな
りてしまう欠点を有している。
本発明は上記欠点を考慮し超薄型のフラットパッケージ
型水晶振動子を安価に供給すると共に回路への実装工程
での作業性を向上させようとするものである。
型水晶振動子を安価に供給すると共に回路への実装工程
での作業性を向上させようとするものである。
本発明は枠付の音叉型水晶振動片とその上下に金属薄板
をエツチング加工して作られる容器を接合することによ
り割れにく（薄い水晶振動子を作ること及び容器より一
体で電極リードを延長した腕を形成することによって回
路への実装工程での作業性を向上させることが出来る。
をエツチング加工して作られる容器を接合することによ
り割れにく（薄い水晶振動子を作ること及び容器より一
体で電極リードを延長した腕を形成することによって回
路への実装工程での作業性を向上させることが出来る。
第３図は本発明の一実施例の構成を示す組立展開状態を
示す斜視図であり、第４図は枠付水晶片の平面図、第５
図は完成水晶振動子の側面断面図である。音叉型水晶片
２１と一体で作られた枠部分２２には励振電極から延長
された、例えばＣｒＡｕのような金属蒸着膜２３がある
。真空封止する容器は第１の容器２４と第２の容器２５
共に金属の薄板から作られ、その一端から成極リードと
なる第１の腕２６または第２の腕２７が一体に作られて
いる。
示す斜視図であり、第４図は枠付水晶片の平面図、第５
図は完成水晶振動子の側面断面図である。音叉型水晶片
２１と一体で作られた枠部分２２には励振電極から延長
された、例えばＣｒＡｕのような金属蒸着膜２３がある
。真空封止する容器は第１の容器２４と第２の容器２５
共に金属の薄板から作られ、その一端から成極リードと
なる第１の腕２６または第２の腕２７が一体に作られて
いる。
第１の容器２４と第２の容器２５の振動片枠部分２２と
接合する部分には〕・ンダメッキ２８及び２９がほどこ
され、それ以外の部分にはハンダにはぬれない物質たと
えばＣｒ、ＳｉＯ，などがパターニングされている。こ
の音叉型振動片２１と第１の容器２４、第２の容器２５
を真空装置内で重ね合せたあと前記ハンダ２８及び２９
を赤外線加熱等を用いて溶融固着し一体に固着すること
によって水晶振動子が完成する。
接合する部分には〕・ンダメッキ２８及び２９がほどこ
され、それ以外の部分にはハンダにはぬれない物質たと
えばＣｒ、ＳｉＯ，などがパターニングされている。こ
の音叉型振動片２１と第１の容器２４、第２の容器２５
を真空装置内で重ね合せたあと前記ハンダ２８及び２９
を赤外線加熱等を用いて溶融固着し一体に固着すること
によって水晶振動子が完成する。
本実施例によれば第１の容器２４及び第２の容器２５が
共に金属であるため、割れることがなく薄板５０μｍ〜
１００μｍで作ることが出来る。
共に金属であるため、割れることがなく薄板５０μｍ〜
１００μｍで作ることが出来る。
すなわち振動子全体の厚さを３００μｍ〜４００μｍと
薄く押えることが出来る。第２の効果として容器が割れ
、ヒビな起さないため工程内での不良発生が少なく歩留
りが向上し、それによって安価な振動子を提供できる。
薄く押えることが出来る。第２の効果として容器が割れ
、ヒビな起さないため工程内での不良発生が少なく歩留
りが向上し、それによって安価な振動子を提供できる。
又第３の効果として外部への取り出し電極用の腕が出て
いるため、回路へ実装する際に真空封止しであるノ・ン
ダを溶かすことなく安定した実装が可能である。
いるため、回路へ実装する際に真空封止しであるノ・ン
ダを溶かすことなく安定した実装が可能である。
第６図は本発明の容器が薄板から他数個取りされる状態
を示す平面図であり、第７図は本発明の水晶片が水晶ウ
エノ・−から多数個取りされる状態を示す平面図である
。第６図は連結して作られる第１の容器を示す。第２の
容器もパターンが異なるだけで全（同様に製作が可能で
ある。
を示す平面図であり、第７図は本発明の水晶片が水晶ウ
エノ・−から多数個取りされる状態を示す平面図である
。第６図は連結して作られる第１の容器を示す。第２の
容器もパターンが異なるだけで全（同様に製作が可能で
ある。
第７図は同じく連結された音叉型水晶片であり、共にフ
ォトエツチング技術を用いて作るので、寸法精度はきわ
めて良く、このように連結して作られた３体を同時に固
着することは容易である。
ォトエツチング技術を用いて作るので、寸法精度はきわ
めて良く、このように連結して作られた３体を同時に固
着することは容易である。
したがって組立工程も大巾な削減が出来る。
以上のべた通り従来のフラットパッケージに比べて本発
明のフラットパッケージは厚みの減少、容器の不良発生
の減少、安定した実装の実現、作業性の向上等多くの利
点を有しており、特に腕時計のような小型薄型の要求が
強い水晶振動子においてはその組立工程、回路への実装
工程をも含めて多大の効果を得ることができた。
明のフラットパッケージは厚みの減少、容器の不良発生
の減少、安定した実装の実現、作業性の向上等多くの利
点を有しており、特に腕時計のような小型薄型の要求が
強い水晶振動子においてはその組立工程、回路への実装
工程をも含めて多大の効果を得ることができた。
第１図は従来のフラットパッケージ型水晶振動子の１例
を示す平面透視図、第２図はその側面断面図であり、第
３図より第７図は本発明によるフラットパッケージ型水
晶振動子の一実施例を示し、第３図はその構成を示す組
立展開状態を示す斜視図、第４図は枠付水晶振動片の平
面図、第５図は完成水晶振動子の側面断面図、第６図は
容器が薄板から多数個取りされる状態を示す平面図、第
７図は水晶片が水晶ウェハーから多数個取りされる状態
を示す平面図である。 １．２１・・・・・・水晶振動片 ２・・・・・・音叉
枝３．２２・・・・・・枠部分 ８．９・・・・・・励
振電極１０．１１・・・・・・取り出し電極 ２３・・・・・・金属蒸着膜 ２４・・・・・・第１の
金属容器２５・・・・・・第２の金属容器 ２６．２７
・・・・・・腕２８．２９−・・・・・ハンダ 第３ｒＩ！Ｊ ２を 第４図 第５図
を示す平面透視図、第２図はその側面断面図であり、第
３図より第７図は本発明によるフラットパッケージ型水
晶振動子の一実施例を示し、第３図はその構成を示す組
立展開状態を示す斜視図、第４図は枠付水晶振動片の平
面図、第５図は完成水晶振動子の側面断面図、第６図は
容器が薄板から多数個取りされる状態を示す平面図、第
７図は水晶片が水晶ウェハーから多数個取りされる状態
を示す平面図である。 １．２１・・・・・・水晶振動片 ２・・・・・・音叉
枝３．２２・・・・・・枠部分 ８．９・・・・・・励
振電極１０．１１・・・・・・取り出し電極 ２３・・・・・・金属蒸着膜 ２４・・・・・・第１の
金属容器２５・・・・・・第２の金属容器 ２６．２７
・・・・・・腕２８．２９−・・・・・ハンダ 第３ｒＩ！Ｊ ２を 第４図 第５図
Claims (1)
- 枠付の音叉型水晶振動片と、該振動片の上下に配設した
第１の容器及び第２の容器よりなる容器を有する水晶振
動子において、前記容器は第１の容器及び第２の容器が
いずれも金属薄板から形成されており、前記容器はその
一部より一体に形成され、かつ前記振動子の励振成極よ
り延長した腕を有することを特徴とするフラットパッケ
ージ型水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP320282A JPS58120312A (ja) | 1982-01-12 | 1982-01-12 | フラツトパツケ−ジ型水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP320282A JPS58120312A (ja) | 1982-01-12 | 1982-01-12 | フラツトパツケ−ジ型水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58120312A true JPS58120312A (ja) | 1983-07-18 |
Family
ID=11550842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP320282A Pending JPS58120312A (ja) | 1982-01-12 | 1982-01-12 | フラツトパツケ−ジ型水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58120312A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5159301A (en) * | 1989-06-14 | 1992-10-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonator device of the tuning fork type |
| JP2001223553A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-08-17 | Eta Sa Fab Ebauches | 超薄型の圧電共振器 |
| JP2006149555A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Hosaka Glass Kk | 両面鏡とその製造方法 |
| JP4707021B2 (ja) * | 2005-08-22 | 2011-06-22 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス |
-
1982
- 1982-01-12 JP JP320282A patent/JPS58120312A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5159301A (en) * | 1989-06-14 | 1992-10-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonator device of the tuning fork type |
| US5373269A (en) * | 1989-06-14 | 1994-12-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonator device of tuning fork type including a spacer member |
| US5373267A (en) * | 1989-06-14 | 1994-12-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonator device of tuning fork type |
| JP2001223553A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-08-17 | Eta Sa Fab Ebauches | 超薄型の圧電共振器 |
| JP4671498B2 (ja) * | 1999-12-21 | 2011-04-20 | ウーテーアー・エス・アー・マニファクチュール・オロロジェール・スイス | 超薄型の圧電共振器 |
| JP2006149555A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Hosaka Glass Kk | 両面鏡とその製造方法 |
| JP4707021B2 (ja) * | 2005-08-22 | 2011-06-22 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス |
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