JP2009171080A - 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水晶デバイス100は、電極パターンを有する水晶振動片30とこの水晶振動片を支える外枠51とを有する水晶フレーム50と、第1面に形成された接続電極42,44と、第1面の反対側の第2面に形成され接続電極に導通する外部電極45,46とを有し、水晶フレームに第1面が結合する水晶ベース40と、水晶ベースとは反対面で水晶フレームと結合する水晶リッド20と、を備え、接続電極と外部電極とを導通する貫通電極41,43が非円形断面を有している。
【選択図】図1
Description
また、パッケージの一部と水晶振動片とを水晶で一体的に形成するとともに、リッド及びベースもすべて水晶から形成してそれぞれをシロキサン結合(Si−O−Si)により接合した水晶デバイスを製造する製造方法を提供することである。
この構成により、貫通電極が非円形断面を有しているため、溶融した封止金属が毛細管現象によって貫通電極の隅々まで行きわたり、パッケージ内部の気密を保った水晶デバイスを製造することができる。
多角形であることによって溶融した封止金属が毛細管現象によって貫通電極の隅々まで行きわたる。
内向きに突出する突起部が設けられた形状、いわゆる星型形状によって溶融した封止金属が毛細管現象によって貫通電極の隅々まで行きわたる。
貫通電極内で形状が複雑に変化しており、封止金属が貫通電極にしっかりと結びつく。
すべてが水晶材料であるので熱膨張が同じであり経時的変化によって故障することが少ない。
複雑な形状の水晶振動片を薄くする代わりに、水晶リッド及び水晶ベースに第1凹部及び第1凹部を有することで、水晶振動片が振動する空間を設ける。
貫通電極に金属層が形成された状態であり、封止金属が毛細管現象によって貫通電極の隅々まで行きわたる。
この構成の製造方法によれば、水晶ウエハ単位で重ね合わせて水晶デバイスを製造し封止金属で一度に封止することができるため、生産性が高い。また第1水晶ウエハ、第2水晶ウエハ及び第3水晶ウエハはすべて熱膨張が同じであるため3枚を位置合わせして結合することも容易に行える。
また、本発明の水晶デバイスは、リッド及びベースが全て水晶から成り、簡易な方法で製造することができるため、また同時に電極などを結合することができるため、大量に製造することができるとともにコストダウンを図ることができる。
以下、本発明の各実施形態にかかる水晶振動子100について、図面を参照して説明する。図1は、本発明の実施形態にかかる水晶振動子100の概略図を示している。
図1(a)は水晶振動子100の構成を示す(b)のa−a全体断面図であり、この全体断面図は、理解を助けるため接合を行う前の各部材の断面図を示している。図1(b)は水晶フレーム50の上面図であり、(c)はベース40の上面図である。
極は接合するが、水晶フレーム50の底面とベース40の上面とが結合しないことが多い。
その一方で、基部電極と接続電極との合計厚さ(例えば3000Åから4000Å)と同等深さの段差部49を設けると、水晶フレーム50と水晶ベース40とはシロキサン結合することができるが、第1基部電極33及び第2基部電極34と第1接続電極42及び第2接続電極44とが結合せず、両者が導通していない場合が多い。
図2Aは、ベース40を上下逆に配置した第1実施例及び第2実施例或いは、第3実施例の第1スルーホール41及び第2スルーホール43の非円形断面の状態を示す拡大断面図である。図2A(a)は、第1実施例の多角形状の六角形と三角形とから成るスルーホールの形状を示す断面図であり、(b)は、第2実施例の星形多角形の星型五角形と星形三角形とから成るスルーホールの形状を示す断面図であり、(c)は、第3実施例の星型五角形から成るスルーホールの形状を示す断面図である。
図3Aは、音叉型の水晶振動片30を形成した水晶ウエハ10を示した概略斜視図である。図3に示す状態は、円形の水晶ウエハ10から音叉型の水晶振動片30及び水晶フレーム50をエッチングで同時に形成した状態を示した図である。円形の水晶ウエハ10から斜線部で示した開口領域12及び空間部52がエッチングされることにより音叉型の水晶振動片30及び水晶フレーム50が所定の大きさに形成されている。音叉型の水晶振動片30及び水晶フレーム50を3個1ブロックとして、10ブロック配置した状況を示している。円形の水晶ウエハ10は、軸方向が特定できるように、水晶ウエハ10の周辺部10eの一部には、水晶の結晶方向を特定するオリエンテーションフラットと10cが形成されている。なお、説明の都合上水晶ウエハ10には33個の音叉型の水晶振動片30が描かれているが、実際には水晶ウエハ10に数百数千もの音叉型の水晶振動片30が形成される。
図4は、リッド20が形成された水晶ウエハ10と、音叉型の水晶振動片30及び水晶フレーム50が形成された水晶ウエハ10と、ベース40が形成された水晶ウエハ10とを重ね合わせる前の図である。リッド20もベース40も連結部11で水晶ウエハ10に接続された状態である。
11 …… 連結部
12 …… 開口部
15 …… 金属膜
20 …… リッド
27 …… リッド用凹部
30 …… 音叉型の水晶振動片
31 …… 振動腕
32 …… 基部
33、34 …… 基部電極
35,36 …… 励振電極
37、38 …… 錘部
40 …… ベース
41,43 …… スルーホール
42,44 …… 接続電極
45,46 …… 外部電極
47 …… ベース用凹部
49 …… 段差部
50 …… 水晶フレーム
51 …… 水晶外枠
52 …… 空間部
Claims (8)
- 電極パターンを有する水晶振動片とこの水晶振動片を支える外枠とを有する水晶フレームと、
第1面に形成された接続電極と、前記第1面の反対側の第2面に形成され前記接続電極に導通する外部電極とを有し、前記水晶フレームに前記第1面が結合する水晶ベースと、
前記水晶ベースとは反対面で、前記水晶フレームと結合する水晶リッドと、を備え、
前記接続電極と前記外部電極とを導通する貫通電極が非円形断面を有していることを特徴とする水晶デバイス。 - 前記非円形断面を有する貫通電極の断面形状は、多角形状であることを特徴とする請求項1に記載の水晶デバイス。
- 前記非円形断面を有する貫通電極の断面形状は、内向きに突出する突起部が設けられた形状であることを特徴とする請求項1に記載の水晶デバイス。
- 前記非円形断面は、前記第1面と前記第2面とで形状もしくは大きさが異なることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の水晶デバイス。
- 前記水晶リッド、前記水晶フレーム及び前記水晶ベースはシロキサン結合により結合することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の水晶デバイス。
- 前記水晶リッドは第1凹部を有し、前記水晶ベースは第2凹部を有し、前記水晶振動片は前記第1凹部と第2凹部との間に配置されることを特徴とする請求項5に記載の水晶デバイス。
- 前記貫通電極及び前記接続電極は下地の第1金属層とその第1金属層上に形成された第2金属層とから構成され、
前記貫通電極内に封止金属が充填されて貫通電極が封止されることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の水晶デバイス。 - 第1水晶ウエハに複数の水晶リッドを形成する工程と、
第2水晶ウエハに電極パターンを有する水晶振動片とこの水晶振動片を支える外枠とを有する複数の水晶フレームを形成する工程と、
第3水晶ウエハの第1面に形成された接続電極と、前記第1面の反対側の第2面に形成された外部電極と、前記接続電極と外部電極とを導通する貫通電極とを有する複数の水晶ベースを形成する工程と、
前記第1水晶ウエハ、第2水晶ウエハ及び第3水晶ウエハを重ねて結合する結合工程と、
この結合工程の後に、貫通電極を封止金属で封止する封止工程と、
結合した水晶リッド、水晶フレーム及び水晶ベースを水晶デバイスとして切り取る工程と、
を備えることを特徴とする水晶デバイスの製造方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011061416A (ja) * | 2009-09-09 | 2011-03-24 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
JP2013251673A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶デバイス |
WO2022065047A1 (ja) * | 2020-09-24 | 2022-03-31 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5085240B2 (ja) * | 2007-09-03 | 2012-11-28 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 |
CN102171925B (zh) * | 2008-08-05 | 2014-09-17 | 株式会社大真空 | 压电振动装置的密封构件及其制造方法 |
WO2010097898A1 (ja) * | 2009-02-25 | 2010-09-02 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動子、圧電振動子の実装体、及び圧電振動子の製造方法 |
JP4988799B2 (ja) * | 2009-09-16 | 2012-08-01 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動デバイス及び圧電振動デバイスの製造方法 |
JP5073772B2 (ja) * | 2009-09-16 | 2012-11-14 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
JP5155352B2 (ja) * | 2010-03-25 | 2013-03-06 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
JP2012156978A (ja) * | 2011-01-05 | 2012-08-16 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Atカットの水晶振動片、水晶デバイス及び水晶振動片の製造方法 |
JP2013081022A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子及びその製造方法 |
CN112994644B (zh) * | 2021-03-01 | 2022-09-16 | 泰晶科技股份有限公司 | 一种恒温晶体振荡器 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06164152A (ja) * | 1992-11-17 | 1994-06-10 | Kyocera Corp | 多層配線基板 |
JPH06343017A (ja) * | 1993-04-09 | 1994-12-13 | Citizen Watch Co Ltd | 圧電振動子およびその製造方法 |
JP2001160661A (ja) * | 1999-12-01 | 2001-06-12 | Seiko Instruments Inc | ファインピッチ両面フィルム基板の製造方法と表示装置 |
JP2003087078A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-20 | Citizen Watch Co Ltd | 水晶振動子構造体 |
JP2004254160A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-09 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JP2007209022A (ja) * | 2007-03-19 | 2007-08-16 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Pll制御発振器 |
JP2007243378A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子及びその製造方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4405875A (en) * | 1980-07-24 | 1983-09-20 | Kiyoshi Nagai | Hermetically sealed flat-type piezo-electric oscillator assembly |
US4639631A (en) * | 1985-07-01 | 1987-01-27 | Motorola, Inc. | Electrostatically sealed piezoelectric device |
JPH07106905A (ja) | 1993-10-06 | 1995-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 発振子 |
JPH08335839A (ja) | 1995-06-07 | 1996-12-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動子の製造方法 |
JPH1022773A (ja) | 1996-07-03 | 1998-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動子とその製造方法 |
JP3336913B2 (ja) * | 1997-06-30 | 2002-10-21 | 株式会社村田製作所 | 電子部品のパッケージ構造 |
JP3887137B2 (ja) * | 1999-01-29 | 2007-02-28 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動子の製造方法 |
JP2003133897A (ja) | 2001-08-14 | 2003-05-09 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスと圧電デバイスを利用した携帯電話装置及び圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP4522182B2 (ja) | 2004-07-29 | 2010-08-11 | 京セラ株式会社 | 圧電素子収納用パッケージ、圧電装置および圧電装置の製造方法 |
US8069549B2 (en) * | 2007-03-22 | 2011-12-06 | Seiko Epson Corporation | Method for sealing a quartz crystal device |
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2008
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06164152A (ja) * | 1992-11-17 | 1994-06-10 | Kyocera Corp | 多層配線基板 |
JPH06343017A (ja) * | 1993-04-09 | 1994-12-13 | Citizen Watch Co Ltd | 圧電振動子およびその製造方法 |
JP2001160661A (ja) * | 1999-12-01 | 2001-06-12 | Seiko Instruments Inc | ファインピッチ両面フィルム基板の製造方法と表示装置 |
JP2003087078A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-20 | Citizen Watch Co Ltd | 水晶振動子構造体 |
JP2004254160A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-09 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JP2007243378A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子及びその製造方法 |
JP2007209022A (ja) * | 2007-03-19 | 2007-08-16 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Pll制御発振器 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011061416A (ja) * | 2009-09-09 | 2011-03-24 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
JP2013251673A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶デバイス |
WO2022065047A1 (ja) * | 2020-09-24 | 2022-03-31 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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