JPH07106905A - 発振子 - Google Patents

発振子

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JPH07106905A
JPH07106905A JP5250457A JP25045793A JPH07106905A JP H07106905 A JPH07106905 A JP H07106905A JP 5250457 A JP5250457 A JP 5250457A JP 25045793 A JP25045793 A JP 25045793A JP H07106905 A JPH07106905 A JP H07106905A
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JP
Japan
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electrode
case
hole
vibrating
lead
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JP5250457A
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English (en)
Inventor
Zenichi Tsuru
善一 鶴
Shinji Itamochi
眞次 板持
Junji Oishi
純司 大石
Tetsuo Shimamura
徹郎 島村
Hiroshi Tawara
博 田原
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders; Supports
    • H03H9/10—Mounting in enclosures
    • H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
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    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders; Supports
    • H03H9/0595—Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は発振子に関するもので、振動板の振
動を安定させること、および電極引出構成を簡略化する
ことを目的とする。 【構成】 板状の上ケース９および下ケース６と、これ
らの上・下ケース９，６の間に挟持した振動板１０とを
備え、上記振動板１０はその外周の上・下ケース９，６
の挟持部の内方において切溝１３を形成することにより
舌片状の振動部１２を形成し、この振動部１２の表裏面
に振動用電極１４，１５を設けるとともに、この振動用
電極１４，１５からの引出電極１６，１７に対応する上
記上ケース９、または下ケース６に貫通孔１９Ａ，１８
を形成し、この貫通孔１９Ａ，１８の内面と引出電極１
６，１７上にはケース外面からの蒸着、またはスパッタ
リングにより導出電極１９を形成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は各種電気製品に使用され
る発振子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】通信機器等の局部発振器として発振子が
広く使用されており、図４はその従来例を示している。
【０００３】図４において１は下ケースで、この下ケー
ス１の内部には、振動板２が設けられている。この振動
板２は図５に示すごとく板体状で、その表裏面に電極３
が設けられている。次に、４は上ケースで、下ケース１
の上面開口部にかぶせられ密封する形状となっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記構成において、振
動板２の下ケース１内への固定は導電性接着剤５の接着
力により得ている。
【０００５】このような従来例で問題となるのは、振動
板２の振動を安定させることが極めて、難しいという点
である。すなわち、この種の発振子は極めて小さなもの
であるので、当然のこととして下ケース１と振動板２も
小さなものとなり、振動板２を下ケース１内の定位置に
正しく設置することが極めて難しい。その結果、振動板
２の外周の一部が下ケース１の内面に接触し、振動が安
定しなくなってしまうのである。
【０００６】そこで本発明は、振動板の振動を安定させ
ることおよび電極引出構成を簡略化することを目的とす
るものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そしてこの目的を達成す
るために本発明は板状の上ケースおよび下ケースと、こ
れらの上・下ケースの間に挟持した振動板とを備え、上
記振動板はその外周の上・下ケースの挟持部の内方にお
いて切溝を形成することにより舌片状の振動部を形成
し、この振動部の表裏面に振動用電極を設けるととも
に、この振動用電極からの引出電極に対応する上記上ケ
ース、または下ケースに貫通孔を形成し、この貫通孔の
内面と引出電極上にはケース外面からの蒸着、またはス
パッタリングにより導出電極を形成したものである。
【０００８】
【作用】以上の構成とすれば、振動板の舌片状の振動部
の外周には、切溝による確実なすきまが確保されるの
で、従来のように上・下ケースに接触して振動が阻害さ
れることはなく、振動板の振動が安定することとなるの
である。
【０００９】また、本発明においては、振動用電極の引
出電極に対応する上ケースまたは下ケースに貫通孔を形
成し、この貫通孔の内面と引出電極上にはケース外面か
らの蒸着またはスパッタリングにより導出電極を形成し
たものであるので、電極引出しと貫通孔の密封が同時に
行われることとなり、その構成が大きく簡略化される。
【００１０】
【実施例】図１〜図３において、６は下ケースで、長方
形をしており、上面内方には凹部７を形成している。ま
た、８は水晶よりなる振動板で、この振動板８の外周は
図２に示す如く、上・下ケース９，６の外周部にて挟持
される枠体部１０になっている。この振動板８の内方に
は枠体部１０の一端側から巾の狭い保持部１１を介して
片持ち状態となった振動部１２が設けられている。すな
わち、振動部１２と枠体部１０との間には保持部１１を
除いてエッチングあるいはサンドブラストによるＵ字状
をした切溝１３が形成されているのである。なお、保持
部１１の巾を振動部１２の巾よりも小さくしたのは、振
動部１２の振動が保持部１１に伝達されにくくするため
である。振動部１２と保持部１１の表裏面は、いずれも
エッチングあるいはサンドブラストによりその一部を除
去することでその肉厚を枠体部１０よりも薄くしてい
る。そしてその状態で振動部１２の表裏面に振動用電極
１４，１５が設けられ、さらにこれらの電極１４，１５
からは保持部１１に向けて引出電極１６，１７が引出さ
れている。これらの電極１４〜１７は金の蒸着によりそ
れぞれ表裏面で一体に形成されている。
【００１１】なお、表裏面の電極１４，１５及び１６，
１７間の厚みは枠体部１０よりも薄くなっている。した
がって、振動部１２が振動してもその外周は切溝１３に
より枠体部１０の内面に決して当接せず、また上・下ケ
ース９，６にもその肉厚が枠体部１０の肉厚よりも薄い
ことに起因して当接することはないのであるが、上・下
ケース９，６の内面には凹部７（上ケース９の凹部は図
示せず）を設けている。上記構成においてその製造方法
は次のようになっている。まず下ケース６上に、振動板
８の枠体部１０をのせ、この状態を加熱しながら圧力を
加えると、両者間は鏡面状態となっているので水晶同士
の原子間結合が行われることになる。
【００１２】次に、電極１４，１５間に信号を加えて振
動部１２の発振周波数を測定し、それに基づく周波数調
整（例えばトリミング）を行う。この場合、振動部１２
の裏面の電極１５の引出電極１７に対応する下ケース６
には貫通孔１８が設けられているので、裏面の電極１５
にはこの貫通孔１８を介して通電し、表面の電極には引
出電極１６を介して直接通電する。なお、この表面の引
出電極１６に対応する上ケース９にも図２のごとく貫通
孔１９Ａが形成されている。周波数調整後は、振動板８
上に上ケース９をのせ、同じく加熱しながら圧力を加え
ると、両者間は鏡面状態となっているので、水晶同士の
原子間結合が行われる。このようにして、上・下ケース
９，６及び、振動板８を一体化したのちに、図３に示す
如く貫通孔１８の下方から蒸着またはスパッタリングに
より金粒子を貫通孔１８及びその上方に移動させる。こ
の結果、貫通孔１８内及び、その上方の引出電極１７に
は、金の導出電極１９が付着されることになる。この場
合、金粒子は垂直方向に上昇することになるので、貫通
孔１８の内面よりはその上方の引出電極１７上に多く付
着することとなり、これは下ケース６と引出電極１７間
に形成される間隙２０をうめることとなり、結論として
貫通孔１８はこの導出電極１９により密封されることに
なる。なお、間隙２０は約２０００Åで、その部分の導
出電極１９ａは約６０００Åとなっている。また、貫通
孔１８は、図３に示す如く振動板１３側が径小となるテ
ーパーを形成したものであるので、その斜面には、上記
垂直に上昇する金粒子は付着しにくいが、それでも２０
００Å程度は付着している。従って貫通孔１８の密封
は、この導出電極１９により十分に行われることとなる
が、さらにその信頼性を高めるためには、図３に示す如
く、貫通孔１８の導出電極１９上に封止ガラス２１を設
ければよい。次に２２は銀電極で、その一部は図３に示
す如く封止ガラス２１上を覆う如く、貫通孔１８内に浸
入している。
【００１３】この銀電極２２上には、ニッケルメッキ層
２３、半田メッキ層２４が設けられ、これにより外部端
子２５が構成されている。上ケース９の貫通孔１９Ａ部
分も図３と同様の構成により外部端子２６が構成されて
いる。ただし、上ケース９の外部端子２６は図２、図３
に示す如く、導電パターン２７により上ケース９の上面
左方に延長され、ここに新たに外部端子２６ａを設けて
いるのである。この外部端子２６ａは図１に示す如く、
上・下ケース９，６の左端を介して下ケース６の下面左
端まで延長されている。また、下ケース６の下面右端の
外部端子２５は、上・下ケース９，６の右端を介して上
ケース９の上面右端まで延長されて外部端子２５ａとな
っている。この外部端子２５ａと、図２に示す上ケース
９の上面右端の外部端子２６との間には、絶縁膜として
ガラス層２８が設けられ、このガラス層２８は図１、図
２に示す如く導電パターン２７を覆っている。すなわち
図１に示す如く上ケース９の上面左、右及び下ケース６
の下面左、右にそれぞれ外部端子２６ａ，２５ａと２６
ａ，２５を設けることにより、上下どちらでも面実装が
できる様にしているのである。なお、上記実施例におい
て、振動部１２の振動を阻害させないために、また、引
出電極１６，１７がそれぞれ上ケース９、下ケース６の
内面に当接し、それが支えとなってその外周で振動板８
と上・下ケース９，６が密着しなくなるのを防止すべ
く、振動部１２及び引出電極１６，１７部分の厚みを薄
くしたが、それらに対応する上・下ケース９，６の内面
側に凹部を形成して当接を防止するようにしてもよい。
また、図３に示す如く、貫通孔１８の導出電極１９上に
封止ガラス２１を設けて密封性を高めたが、この密封ガ
ラス２１を廃止し、銀電極２２の一部を図３に示す封止
ガラス２１部分にまで浸入させることにより密封性を高
めてもよい。そして、このように銀電極２２を封止ガラ
ス２１部分にまで浸入させれば、導出電極１９部分の断
線などに対する信頼性を高めることができる。すなわ
ち、貫通孔１８，１９Ａは図３に示す如く振動板８に向
けて径小としたものであり、この傾斜が急な部分には、
垂直方向に上昇する金粒子は付着しにくく、それによっ
て部分断線が生ずるおそれがあり、それをこの銀電極２
２で補うことにより断線などに対する信頼性を高めてい
るのである。図６、図７は、本発明の他の実施例を示
し、この実施例では、振動板８の長手方向の中央部分に
保持部１１を形成し、振動部１２の長手方向の一側面の
中央部分を保持したものである。そして、電極１４から
の引出電極１６は図６に示す如く、図６の右方に延長
し、また図示していないが、裏面の電極の引出電極は左
方に延長し、それぞれに対応する上・下ケース９，６の
右端、左端に貫通孔１９Ａ，１８を設け、そこに図３と
同様な構造により導出端子及び外部端子を設けたもので
ある。この実施例の場合、図７に示す如く、外部端子２
５，２６ａはそのまま左右に設けられ、図１に示した導
電パターン２７は不要となる。
【００１４】
【発明の効果】以上のように本発明は板状の上ケースお
よび下ケースと、これらの上・下ケースの間に挟持した
振動板とを備え、上記振動板はその外周の上・下ケース
の挟持部の内方において切溝を形成することにより舌片
状の振動部を形成し、この振動部の表裏面に振動用電極
を設けるとともに、この振動用電極からの引出電極に対
応する上記上ケース、または下ケースに貫通孔を形成
し、この貫通孔の内面と引出電極上にはケース外面から
の蒸着、またはスパッタリングにより導出電極を形成し
たものである。
【００１５】そして以上の構成とすれば、振動板の舌片
状の振動部の外周には、切溝による確実なすきまが確保
されるので、従来のように上・下ケースに接触して振動
が阻害されることはなく、振動板の振動が安定すること
となるのである。
【００１６】また、本発明においては、振動用電極の引
出電極に対応する上ケースまたは下ケースに貫通孔を形
成し、この貫通孔の内面と引出電極上にはケース外面か
らの蒸着またはスパッタリングにより導出電極を形成し
たものであるので、電極引出しと貫通孔の密封が同時に
行われることとなり、その構成が大きく簡略化される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図
【図２】同分解斜視図
【図３】同要部拡大断面図
【図４】従来例の断面図
【図５】同分解斜視図
【図６】本発明の他の実施例の分解斜視図
【図７】同斜視図
【符号の説明】
６ 下ケース ７ 下ケース凹部 ８ 振動板 ９ 上ケース １０ 枠体部 １１ 保持部 １２ 振動部 １３ 切溝 １４ 振動用電極 １５ 振動用電極 １６ 引出電極 １７ 引出電極 １８ 貫通孔 １９ 導出電極 １９Ａ 貫通孔 ２１ 封止ガラス ２２ 銀電極 ２５ 外部端子 ２５ａ 外部端子 ２６ 外部端子 ２６ａ 外部端子
フロントページの続き (72)発明者 島村 徹郎 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 田原 博 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 板状の上ケースおよび下ケースと、これ
    らの上・下ケースの間に挟持した振動板とを備え、上記
    振動板はその外周の上・下ケースの挟持部の内方におい
    て切溝を形成することにより舌片状の振動部を形成し、
    この振動部の表裏面に振動用電極を設けるとともに、こ
    の振動用電極からの引出電極に対応する上記上ケース、
    または下ケースに貫通孔を形成し、この貫通孔の内面と
    引出電極上にはケース外面からの蒸着、またはスパッタ
    リングにより導出電極を形成した発振子。
  2. 【請求項２】 貫通孔内の導出電極上に封止ガラスを設
    けた請求項１に記載の発振子。
  3. 【請求項３】 貫通孔内の導出電極上にケース外面から
    外部電極の一部を流入させた請求項１に記載の発振子。
  4. 【請求項４】 振動板の振動部及び、引出電極形成部
    は、その外周の上・下ケースによる挟持部よりもその肉
    厚を薄くした請求項１に記載の発振子。
  5. 【請求項５】 板状の上ケースおよび下ケースと、これ
    らの上・下ケースの間に挟持した振動板とを備え、上記
    振動板はその外周の上・下ケースの挟持部の内方におい
    て切溝を形成することによりその長手方向の中央部分が
    保持された舌片状の振動部を形成し、この振動部の表裏
    面に振動用電極を設けるとともに、この振動用電極から
    の引出電極に対応する上記上ケース、または下ケースに
    貫通孔を形成し、この貫通孔の内面と引出電極上にはケ
    ース外面からの蒸着、またはスパッタリングにより導出
    電極を形成した発振子。
JP5250457A 1993-10-06 1993-10-06 発振子 Pending JPH07106905A (ja)

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