JP4005302B2 - 圧電振動板および圧電振動子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、携帯電話および携帯情報端末に用いられる圧電振動子に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の圧電振動子は、たとえば図1に示すように圧電振動片10と枠20とが一体的に形成された圧電振動板30と、圧電振動板30の上部に圧電振動片10の振動を妨げない空間の凹部35を有するリッド40と、圧電振動板30の下部に同じく圧電振動片10の振動を妨げない空間の凹部を有するベース50を配置した構造が知られている。
【0003】
ここで、圧電振動片10の上面には、圧電振動片10を振動させるための励振電極60、61が形成され、同様に圧電振動片10の下面には、励振電極62、63が形成されている。さらに、枠20は、上面にリッド40を接合するための接合膜70と下面にベース50を接合するための接合膜71を有する。
【0004】
そして、圧電振動片10とリッド40とベースとを接合した後、圧電振動片10の側面の下方からベース50の側面と下面に渡って引出電極80と81を形成する。最後に線Aと線Bで切断し、圧電振動子5を形成する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、圧電振動板30とリッド40とベース50を陽極接合する際に、引出電極80が形成されていない状態で、圧電振動板30の左端にある接合膜70と71の角部がベース50の端部より突出しているので、接合膜70と71の間で放電を起こすという課題があった。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明の圧電振動子は、圧電振動板の内部で導通をおこなうためのコンタクトホールを設けた。そして、圧電振動板側面の電極を除去したことにより、角部の露出をなくし、接合時の放電の発生を防止することができる。
【0007】
【発明の実施の形態】
この発明では、圧電振動片を有する圧電振動板の、上面の外周に第1の接合膜を有し、前記圧電振動板の下面の、前記圧電振動片の基部側端部に、第2の接合膜を有し、前記圧電振動板の下面に、前記第2の接合膜に離間し前記圧電振動片の外側に形成された第3の接合膜を有し、前記第2の接合膜と、前記第2の接合膜に向かい合う前記第1の接合膜を電気的に接続するコンタクトホールを有する圧電振動板を設けた。
【0008】
さらに、枠と一体に形成された圧電振動片からなる圧電振動板と、前記圧電振動板の上面と下面に配置されたリッドとベースからなる圧電振動子において、前記圧電振動板の外周の内側に前記圧電振動片の上面の励振電極に導通し、前記圧電振動板の下面に導通するコンタクトホールを有する圧電振動子を形成した。
【0009】
また、圧電振動片と前記圧電振動片の基端部に一体的に接続され前記圧電振動片の周囲を囲む枠からなる圧電振動板と、前記枠の上面の外周の第1の接合膜と、前記枠の下面の前記圧電振動片の基部側端部に配置された第2の接合膜と、前記枠の下面に前記第2の接合膜に離間し前記圧電振動片の外側に配置された第3の接合膜と、前記第2の接合膜と、前記第2の接合膜に向かい合う前記第1の接合膜を電気的に接続するコンタクトホールを有し、前記圧電振動板の上に前記第1の接合膜を介して配置されたリッドと、前記圧電振動板の下に前記第2の接合膜と前記第3の接合膜を介して配置されたベースと、前記ベースの一端に形成され前記第2の接合膜と接続された第1の引出電極と、前記ベースの他端に形成され前記第3の接合膜と接続された第2の引出電極とを有する圧電振動子を形成した。
【0010】
また、圧電振動片の基部にコンタクトホールを形成し、前記圧電振動片の表面に一対の励振電極を形成し、前記圧電振動片の外周の枠の一方の面に第1の接合膜を形成し、前記一方の面に対向する他方の面に前記励振電極の一方と接続された第2の接合膜と、前記第2の接合膜に離間し前記スルーホールを介して他方の励振電極に接続された第3の接合膜を形成し、前記第1の接合膜の表面にリッド、前記第2、第3の接合膜の表面にコンタクトホールを有するベースを陽極接合し、前記コンタクトホールの内面に前記第2の接合膜と第3の接合膜に接続された引出し電極を形成し、前記引出し電極の軸方向から前記リッドを切断することにより圧電振動子を製造した。
【0011】
【実施例】
図2から図4は、この発明の圧電振動子板30を示す図である。
【0012】
図2はこの発明の圧電振動板30を形成するための、水晶ウエハー上の電極パターン配置を示す上面図である。圧電振動片10の外側の枠上にAlからなる接合膜70を形成し、接合膜70の右端近傍にそれぞれ圧電振動片の下面と導通をとるためのコンタクトホール100、101を形成する。
【0013】
図3は同じく、水晶ウエハーの下面図であり、右端に接合膜70Cと、接合膜70と導通をとるためにコンタクとホール101、100を形成する。そして、接合膜70Cの左に接合膜を有しない部分90を介して、接合膜71を形成する。
【0014】
図4は、図3のC−D断面を示す図であり、圧電振動板30の上面の左右に、接合膜70があり、下面に接合膜71と70Cがある、そして、接合膜70Cの中央から上部に向かってコンタクトホール100を有し、上面の接合膜70と接続されている。
【0015】
図5は、この発明の圧電振動子の実施例を示す断面図である。この発明の圧電振動子は、たとえば水晶、SiO2からなる音叉型の圧電振動子片10を有する水晶振動子であり、圧電振動子片10を有する圧電振動板30と、圧電振動板30の両面に接合されて圧電振動片10を振動可能な状態で気密封止する一対の蓋体であるリッド40とベース50とを具備する。この発明の圧電振動子5は、図5に示すように音叉型の圧電振動片10と、その基端部と一体に接続された圧電振動片10の周囲を囲む枠20とを有する。
【0016】
一体の蓋体であるリッド40とベース50は、ソーダライムガラスで形成され、それぞれ圧電振動片10に対応する領域に、圧電振動片10の振動を妨げない程度の空間を有する凹部35からなるキャビティーを有する。
【0017】
また、このようなリッド40とベース50が接合される圧電振動板30には、表裏両面および側面に圧電振動片10を振動させるための励振電極60、61、62、63が形成されると共に、枠20の表面に励振電極と同一材料からなり、リッド40およびベース30との接合部となる接合膜70、71が設けられている。ここで励振電極や接合膜を形成する金属膜としてAlを使用した。そして、接合膜70、71によりリッド40とベース50とが陽極接合により圧電振動板30の上下面に接合される。
【0018】
圧電振動板30の圧電振動片10の表裏面には各励振電極60、61、62、63が形成され、励振電極60、62は接合膜70に、励振電極61、63は接合膜71に延設され電気的に接続されている。さらに、接合膜71はコンタクトホール100を介して圧電振動板30の反対側の表面に延設されている。
【0019】
すなわちこの実施例では、励振電極60、62は、圧電振動板の上面すなわち、圧電振動片10の端部まで延設され、同じく上面の接合膜70と接続され、さらに端部の側面上の連結部を介して反対側の同位電極の接合膜70まで連続して設けられている。
【0020】
一方、他方の極となる励振電極61、63は圧電振動片10の基端部側に位置する枠20の端部まで延設され、接合膜71と接続され、さらにコンタクトホール101を介して反対面の同位電極となる接合膜71に接続される。
【0021】
このような構造により、スルーホール120、121内に電極の角が露出しないため、陽極接合時に放電が生じない。さらに、接合膜70に接触し、引出電極80と、接合膜71に接触して引出電極81をスルーホール120と121上に形成する。引出電極はウエハー上に形成された圧電振動子5をスルーホール120、121を境として分割することにより、引出電極80、81として分割して使用することができる。
【0022】
【発明の効果】
本願発明では、圧電振動子の外周に形成した引き出し電極より内側にコンタクトホールを設け、一方の励振電極と引き出し電極の接続を行ったため、圧電振動子の製造時の放電による不良の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の圧電振動子を示す断面図である。
【図2】本発明の圧電振動板を示す上面図である。
【図3】本発明の圧電振動板を示す下面図である。
【図4】本発明の圧電振動板を示す断面図である。
【図5】本発明の圧電振動子を示す断面図である。
【符号の説明】
5 圧電振動子
10 圧電振動片
20 枠
30 圧電振動板
35 凹部
40 リッド
50 ベース
60、61、62、63 励振電極
70、71 接合膜
80、81 引出電極
100、101 コンタクトホール
120、121 スルーホール
Claims (2)
- 圧電振動片と、前記圧電振動片の基端部と一体に接続され、前記圧電振動片の周囲を囲む枠とからなる圧電振動板を有する圧電振動子の製造方法において、
前記枠または前記基端部にコンタクトホールを設ける工程と、
前記圧電振動片の上面及び下面並びに側面に励振電極と、前記枠の上面及び下面並びに前記コンタクトホールの内壁に前記励振電極と同一材料で接合膜と、を設ける工程と、
前記接合膜を介して、前記枠の上下面にベース及びリッドを陽極接合する工程と、
ベースに形成されたスルーホールの内壁に引き出し電極を形成する工程と、
前記スルーホールを境として前記圧電振動板及びリッドを切断する行程と、
を有する圧電振動子の製造方法。 - 前記接合膜を前記コンタクトホールの内壁全面に渡って形成する請求項1に記載の圧電振動子の製造方法。
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