JPH06303080A - 発振子 - Google Patents

発振子

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Publication number
JPH06303080A
JPH06303080A JP5091114A JP9111493A JPH06303080A JP H06303080 A JPH06303080 A JP H06303080A JP 5091114 A JP5091114 A JP 5091114A JP 9111493 A JP9111493 A JP 9111493A JP H06303080 A JPH06303080 A JP H06303080A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibrating plate
vibrating
plate
shaped
diaphragm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5091114A
Other languages
English (en)
Inventor
Zenichi Tsuru
善一 鶴
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP5091114A priority Critical patent/JPH06303080A/ja
Priority to KR1019930020979A priority patent/KR0158469B1/ko
Priority to US08/135,531 priority patent/US5449965A/en
Priority to DE69316307T priority patent/DE69316307T2/de
Priority to EP93116706A priority patent/EP0593070B1/en
Publication of JPH06303080A publication Critical patent/JPH06303080A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 各種電気製品に利用される発振子において、
内部振動板がケース内面に接触して振動が不安定になる
ことを防止し、安定して発振させることを目的とする。 【構成】 板状の上ケース14および下ケース6と、こ
れら上・下ケース14および6の間に挟持した振動板1
3とを備え、上記振動板13は、その外周の上・下ケー
ス14および6の挟持部の内方において、切溝18を形
成することにより、舌片状の振動部17を形成し、この
振動部17の表裏面に電極19を形成したものである。
上記のようにすれば、振動板13の舌片状の振動部17
の外周には、切溝18による確実なすきまが確保される
ので、従来のように上・下ケース14,6に異常接近あ
るいは、接触して振動が阻害されることはない。また下
ケース6の振動板13側の面は粗面化し、そこに外部引
出用の導電パターン8を設けたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は例えば各種電気製品に活
用される発振子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図3において1は、下ケースで、この下
ケース1の内部には、振動板2が設けられている。この
振動板2は図4に示すごとく、板体状でその表裏面に電
極3が設けられている。次に、4は上ケースで、下ケー
ス1の上面開口部にかぶせられ密封する形状となってい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記構成において振動
板2の下ケース1内への固定は、表裏の電極3と、図示
していないが下ケース1の内面に設けられた、導電パタ
ーンとを接続する導電性接着剤5の接着力により得てい
る。
【0004】このような従来例で問題となるのは、振動
板2の振動を安定させることが極めて、難しいという点
である。すなわち、この種の発振子は極めて小さなもの
であるので、当然のこととして下ケース1と振動板2も
小さなものとなり、振動板2を下ケース1内の定位置に
正しく設置することが極めて難しい。その結果、振動板
2の一部が下ケース1の内面に異常に接近したりあるい
は、接触してしまったりすると振動が安定しなくなって
しまうのである。
【0005】そこで本発明は、振動板の振動を安定させ
ることを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】そして、この目的を達成
するために本発明は、板状の上ケースおよび下ケース
と、これらの上・下ケースの間に挟持した振動板とを備
え、上記振動板はその外周の上・下ケースの挟持部の内
方において切溝を形成することにより、舌片状の振動部
を形成し、この振動部の表裏面に電極を形成するととも
に、前記上・下ケースの少なくとも一方の振動板側面を
粗面化し、この粗面上には、前記電極と電気的に接続さ
れる外部引出用電極を形成したものである。
【0007】
【作用】以上の構成とすれば、振動板の舌片状の振動部
の外周には、切溝による確実なすきまが確保されるの
で、従来のように上・下ケースに異常接近あるいは接触
して振動が阻害されることはない。また水晶よりなる上
・下ケースの少なくとも一方の振動板側面を粗面化して
いるので、そのQ値が低下し、それによりこれら上ケー
ス、または下ケースが不要な発振をするのを抑制できる
だけでなく、その粗面上に外部引出用電極を形成するの
で、剥離等が生ずることのないものとなる。
【0008】
【実施例】図1、図2において6は水晶よりなる板状の
下ケースで、長方形をしており、上面(振動板13側の
面)内方には凹部7を形成している。この凹部7内はサ
ンドブラストにより粗面としており、その粗面上に導電
パターン8が形成され、その一端には導電性接着剤9が
設けられ、他端にはスルーホール10が設けられてい
る。このスルーホール10の内面には図1に示すごとく
無電解メッキによる導電層11が形成され、この導電層
11を介して下ケース6の外底面の電極12と、導電パ
ターン8と接続されている。
【0009】次に、13は水晶よりなる振動板で、この
振動板13の外周は、図1に示すごとく、上・下ケース
14,6の外周部にて挟持される枠体部15となってい
る。
【0010】またこの振動板13の内方には、枠体部1
5の一端部側から幅のせまい保持部16を介して片持ち
状態となった振動部17が設けられている。すなわち、
振動部17と枠体部15の間には、エッチングあるいは
サンドブラストによる切溝18が形成されているのであ
る。
【0011】振動部17は上記切溝18の形成に際し、
矩形部のコーナー部を湾曲させた形状としており、その
表裏面には電極19,20が設けられている。この内電
極19は、保持部16上の導電パターン21及びスルー
ホール22内の導電層を介して、上記導電性接着剤9に
接続されている。また電極20は、導電性接着剤23、
及び下ケース6のスルーホール24内の導電層25を介
して、外底面の電極26に接続されている。
【0012】なお上記上ケース14も水晶の板状体で作
られており、図1に示すごとくその内面(振動板13側
の面)に凹部27が設けられ、これにより振動部17の
上下方向に充分な振動スペースが確保されている。上記
構成において、その製造方法は次のようになっている。
まず、下ケース6上に振動板13の枠体部15をのせ、
この状態で加熱しながら圧力を加えると、両者間は鏡面
状態となっているので、原子間結合が行われることにな
る。また、この時、加熱により発生するガス状物質は、
溝18などを介して上方に抜けることになる。尚、下ケ
ース6のスルーホール10,24内には、ガラス製の栓
が圧入されているので、ガスをこのように切溝18から
上方に抜くことが重要となる。
【0013】次に、電極12,26間に信号を加えて、
振動部17の発振周波数を測定し、それに基づく周波数
調整(たとえばトリミング)を行った後に、上ケース1
4を、枠体部15上にのせて、同じく加熱しながら圧力
を加え、鏡面同士の原子間結合を行わせ、封止一体化す
る。
【0014】尚、以上の説明においては、一つの振動子
の製造について説明したが、実際には上ケース14、振
動板13、下ケース6はそれぞれ大板に複数個整列して
設けているものを、上記説明のごとく重ねて一体化し、
その後、枠体部15の外周形状で個片に切断することに
より、図1に示す振動子を得るようにしているのであ
る。そして、この切断後に電極12,26を形成してい
るのである。
【0015】
【発明の効果】以上のように本発明は、水晶よりなる板
状の上ケースおよび水晶よりなる下ケースと、これらの
上・下ケースの間に挟持した振動板とを備え、上記振動
板はその外周の上・下ケースの挟持部の内方において切
溝を形成することにより舌片状の振動部を形成し、この
振動部の表裏面に電極を形成したものである。そして以
上の構成とすれば、振動板の舌片状の振動部の外周に
は、切溝による確実なすきまが確保されるので、従来の
ように上・下ケースに異常接近あるいは接触して振動が
阻害されることはない。また本発明においては水晶より
なる上・下ケースの少なくとも一方の振動板側の面を粗
面化しているので、そのQ値が低下し、それによりこれ
ら上ケース、または下ケースが不要な発振をして振動板
の本来の振動を阻害するのを防止できるだけでなく、そ
の振動板側の面に設ける外部引出用電極の密着性が高ま
り剥離等もおきなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の発振子の一実施例の断面図
【図2】同分解斜視図
【図3】従来例の断面図
【図4】その分解斜視図
【符号の説明】
6 下ケース 13 振動板 14 上ケース 17 振動部 18 切溝

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 水晶よりなる板状の上ケースおよび水晶
    よりなる板状の下ケースと、これらの上・下ケースの間
    に挟持した水晶よりなる振動板とを備え、上記振動板は
    その外周の上・下ケースの挟持部の内方において切溝を
    形成することにより舌片状の振動部を形成し、この振動
    部の表裏面に電極を形成するとともに、前記上・下ケー
    スの少なくとも一方の振動板側面を粗面化し、この粗面
    上には、前記振動部の電極と電気的に接続される外部引
    出用電極を形成した発振子。
JP5091114A 1992-10-15 1993-04-19 発振子 Pending JPH06303080A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5091114A JPH06303080A (ja) 1993-04-19 1993-04-19 発振子
KR1019930020979A KR0158469B1 (ko) 1992-10-15 1993-10-11 발진자
US08/135,531 US5449965A (en) 1992-10-15 1993-10-13 Oscillator
DE69316307T DE69316307T2 (de) 1992-10-15 1993-10-15 Vibrator
EP93116706A EP0593070B1 (en) 1992-10-15 1993-10-15 Oscillator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5091114A JPH06303080A (ja) 1993-04-19 1993-04-19 発振子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06303080A true JPH06303080A (ja) 1994-10-28

Family

ID=14017497

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5091114A Pending JPH06303080A (ja) 1992-10-15 1993-04-19 発振子

Country Status (1)

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JP (1) JPH06303080A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007300460A (ja) * 2006-05-01 2007-11-15 Epson Toyocom Corp 圧電振動子およびその製造方法
WO2010074127A1 (ja) 2008-12-24 2010-07-01 株式会社大真空 圧電振動デバイス、圧電振動デバイスの製造方法、および圧電振動デバイスを構成する構成部材のエッチング方法
JP2012085253A (ja) * 2010-03-25 2012-04-26 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装型の水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法

Cited By (3)

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