JPH06303079A - 発振子 - Google Patents
発振子Info
- Publication number
- JPH06303079A JPH06303079A JP5091113A JP9111393A JPH06303079A JP H06303079 A JPH06303079 A JP H06303079A JP 5091113 A JP5091113 A JP 5091113A JP 9111393 A JP9111393 A JP 9111393A JP H06303079 A JPH06303079 A JP H06303079A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating
- plate
- shaped
- lower cases
- case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 各種電気製品に利用される発振子において、
内部振動板がケース内面に接触して振動が不安定になる
ことを防止し、安定して発振させることを目的とする。 【構成】 水晶よりなる板状の上ケース１４および水晶
よりなる下ケース６と、これら上・下ケース１４および
６の間に挟持した水晶よりなる振動板１３とを備え、上
記振動板１３は、その外周の上・下ケース１４および６
の挟持部の内方において、切溝１８を形成することによ
り、舌片状の振動部１７を形成し、この振動部１７の表
裏面に電極１９を形成したものである。上記のようにす
れば、振動板１３の舌片状の振動部１７の外周には、切
溝１８による確実なすきまが確保されるので、従来のよ
うに上・下ケースに異常接近あるいは、接触して振動が
阻害されることはない。
内部振動板がケース内面に接触して振動が不安定になる
ことを防止し、安定して発振させることを目的とする。 【構成】 水晶よりなる板状の上ケース１４および水晶
よりなる下ケース６と、これら上・下ケース１４および
６の間に挟持した水晶よりなる振動板１３とを備え、上
記振動板１３は、その外周の上・下ケース１４および６
の挟持部の内方において、切溝１８を形成することによ
り、舌片状の振動部１７を形成し、この振動部１７の表
裏面に電極１９を形成したものである。上記のようにす
れば、振動板１３の舌片状の振動部１７の外周には、切
溝１８による確実なすきまが確保されるので、従来のよ
うに上・下ケースに異常接近あるいは、接触して振動が
阻害されることはない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えば各種電気製品に活
用される発振子に関するものである。
用される発振子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３において１は下ケースで、この下ケ
ース１の内部には、振動板２が設けられている。この振
動板２は図４に示すごとく、板体状でその表裏面に電極
３が設けられている。次に、４は上ケースで、下ケース
１の上面開口部にかぶせられ密封する形状となってい
る。
ース１の内部には、振動板２が設けられている。この振
動板２は図４に示すごとく、板体状でその表裏面に電極
３が設けられている。次に、４は上ケースで、下ケース
１の上面開口部にかぶせられ密封する形状となってい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記構成において振動
板２の下ケース１内への固定は、表裏の電極３と、図示
していないが下ケース１の内面に設けられた、導電パタ
ーンとを接続する導電性接着剤５の接着力により得てい
る。
板２の下ケース１内への固定は、表裏の電極３と、図示
していないが下ケース１の内面に設けられた、導電パタ
ーンとを接続する導電性接着剤５の接着力により得てい
る。
【０００４】このような従来例で問題となるのは、振動
板２の振動を安定させることが極めて難しいという点で
ある。すなわち、この種の発振子は極めて小さなもので
あるので、当然のこととして下ケース１と振動板２も小
さなものとなり、振動板２を下ケース１内の定位置に正
しく設置することが極めて難しい。その結果、振動板２
の一部が下ケース１の内面に異常に接近したりあるい
は、接触してしまったりすると、振動が安定しなくなっ
てしまうのである。
板２の振動を安定させることが極めて難しいという点で
ある。すなわち、この種の発振子は極めて小さなもので
あるので、当然のこととして下ケース１と振動板２も小
さなものとなり、振動板２を下ケース１内の定位置に正
しく設置することが極めて難しい。その結果、振動板２
の一部が下ケース１の内面に異常に接近したりあるい
は、接触してしまったりすると、振動が安定しなくなっ
てしまうのである。
【０００５】そこで本発明は、振動板の振動を安定させ
ることを目的とするものである。
ることを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そして、この目的を達成
するために本発明は、水晶よりなる板状の上ケースおよ
び水晶よりなる板状の下ケースと、これらの上・下ケー
スの間に挟持した水晶よりなる振動板とを備え、上記振
動板はその外周の上・下ケースの挟持部の内方において
切溝を形成することにより、舌片状の振動部を形成し、
この振動部の表裏面に電極を形成したものである。
するために本発明は、水晶よりなる板状の上ケースおよ
び水晶よりなる板状の下ケースと、これらの上・下ケー
スの間に挟持した水晶よりなる振動板とを備え、上記振
動板はその外周の上・下ケースの挟持部の内方において
切溝を形成することにより、舌片状の振動部を形成し、
この振動部の表裏面に電極を形成したものである。
【０００７】
【作用】以上の構成とすれば、水晶よりなる振動板の舌
片状の振動部の外周には、切溝による確実なすきまが確
保されるので、従来のように上・下ケースに異常接近あ
るいは接触して振動が阻害されることはない。
片状の振動部の外周には、切溝による確実なすきまが確
保されるので、従来のように上・下ケースに異常接近あ
るいは接触して振動が阻害されることはない。
【０００８】
【実施例】図１，図２において６は水晶よりなる板状の
下ケースで、長方形をしており、上面内方には凹部７を
形成している。この凹部７内には、導電パターン８が形
成され、その一端には導電性接着剤９が設けられ、他端
にはスルーホール１０が設けられている。このスルーホ
ール１０の内面には図１に示すごとく無電解メッキによ
る導電層１１が形成され、この導電層１１を介して下ケ
ース６の外底面の電極１２と、導電パターン８が接続さ
れている。
下ケースで、長方形をしており、上面内方には凹部７を
形成している。この凹部７内には、導電パターン８が形
成され、その一端には導電性接着剤９が設けられ、他端
にはスルーホール１０が設けられている。このスルーホ
ール１０の内面には図１に示すごとく無電解メッキによ
る導電層１１が形成され、この導電層１１を介して下ケ
ース６の外底面の電極１２と、導電パターン８が接続さ
れている。
【０００９】次に、１３は水晶よりなる振動板で、この
振動板の外周は、図１に示すごとく、両者とも水晶より
なる板状の上・下ケース１４，６の外周部にて挟持され
る枠体部１５となっている。
振動板の外周は、図１に示すごとく、両者とも水晶より
なる板状の上・下ケース１４，６の外周部にて挟持され
る枠体部１５となっている。
【００１０】またこの振動板１３の内方には、枠体部１
５の一端部側から幅のせまい保持部１６を介して片持ち
状態となった振動部１７が設けられている。すなわち、
振動部１７と枠体部１５の間には、エッチングあるいは
サンドブラストによる切溝１８が形成されているのであ
る。
５の一端部側から幅のせまい保持部１６を介して片持ち
状態となった振動部１７が設けられている。すなわち、
振動部１７と枠体部１５の間には、エッチングあるいは
サンドブラストによる切溝１８が形成されているのであ
る。
【００１１】振動部１７は上記切溝１８の形成に際し、
矩形部のコーナー部を湾曲させた形状としており、その
表、裏面には電極１９，２０が設けられている。この内
電極１９は、保持部１６上の導電パターン２１及びスル
ーホール２２内の導電層を介して、上記導電性接着剤９
に接続されている。また電極２０は、導電性接着剤２
３、及び下ケース６のスルーホール２４内の導電層２５
を介して、外底面の電極２６に接続されている。
矩形部のコーナー部を湾曲させた形状としており、その
表、裏面には電極１９，２０が設けられている。この内
電極１９は、保持部１６上の導電パターン２１及びスル
ーホール２２内の導電層を介して、上記導電性接着剤９
に接続されている。また電極２０は、導電性接着剤２
３、及び下ケース６のスルーホール２４内の導電層２５
を介して、外底面の電極２６に接続されている。
【００１２】なお上記水晶よりなる板状の上ケース１４
はシリコンで作られており、図１に示すごとくその内面
に凹部２７が設けられ、これにより振動部１７の上下方
向に充分な振動スペースが確保されている。上記構成に
おいて、その製造方法は次のようになっている。まず、
下ケース６上に振動板１３の枠体部１５をのせ、この状
態で加熱しながら圧力を加えると、両者間は鏡面状態と
なっているので、原子間結合が行われることになる。ま
た、この時、加熱により発生するガス状物質は、切溝１
８などを介して上方に抜けることになる。尚、下ケース
６のスルーホール１０，２４内には、ガラス製の栓が圧
入されているので、ガスをこのように切溝１８から上方
に抜くことが重要となる。
はシリコンで作られており、図１に示すごとくその内面
に凹部２７が設けられ、これにより振動部１７の上下方
向に充分な振動スペースが確保されている。上記構成に
おいて、その製造方法は次のようになっている。まず、
下ケース６上に振動板１３の枠体部１５をのせ、この状
態で加熱しながら圧力を加えると、両者間は鏡面状態と
なっているので、原子間結合が行われることになる。ま
た、この時、加熱により発生するガス状物質は、切溝１
８などを介して上方に抜けることになる。尚、下ケース
６のスルーホール１０，２４内には、ガラス製の栓が圧
入されているので、ガスをこのように切溝１８から上方
に抜くことが重要となる。
【００１３】次に、電極１２，２６間に信号を加えて、
振動部１７の発振周波数を測定し、それに基づく周波数
調整（たとえばトリミング）を行った後に、上ケース１
４を、枠体部１５上にのせて、同じく加熱しながら圧力
を加え、鏡面同士の原子間結合を行わせ、封止一体化す
る。
振動部１７の発振周波数を測定し、それに基づく周波数
調整（たとえばトリミング）を行った後に、上ケース１
４を、枠体部１５上にのせて、同じく加熱しながら圧力
を加え、鏡面同士の原子間結合を行わせ、封止一体化す
る。
【００１４】尚、以上の説明においては、一つの振動子
の製造について説明したが、実際には上ケース１４、振
動板１３、下ケース６はそれぞれ大板に複数個整列して
設けているものを、上記説明のごとく重ねて一体化し、
その後、枠体部１５の外周形状で個片に切断することに
より、図１に示す振動子を得るようにしているのであ
る。そして、この切断後に電極１２，２６を形成してい
るのである。
の製造について説明したが、実際には上ケース１４、振
動板１３、下ケース６はそれぞれ大板に複数個整列して
設けているものを、上記説明のごとく重ねて一体化し、
その後、枠体部１５の外周形状で個片に切断することに
より、図１に示す振動子を得るようにしているのであ
る。そして、この切断後に電極１２，２６を形成してい
るのである。
【００１５】なお本実施例において、上ケース１４と下
ケース６と振動板１３をいずれも板状の水晶で形成した
理由は、線膨張係数の違いによる反りや変形による残留
応力の発生を少なくし、振動部１７の振動を安定させる
ためである。
ケース６と振動板１３をいずれも板状の水晶で形成した
理由は、線膨張係数の違いによる反りや変形による残留
応力の発生を少なくし、振動部１７の振動を安定させる
ためである。
【００１６】また本実施例においては、上・下ケース１
４，６を水晶の転移点である５７３度より高い温度に加
熱することによりそのＱ値を、振動板１３よりも低くし
ている。その理由はこれら上・下ケース１４，６とも水
晶で形成しているので、例えばその外方に金属板が接近
して配置された場合に、振動部１７の電極１９、または
２０との間でこれら上・下ケース１４，６が不要な共振
をおこし、それが振動部１７の本来の振動を阻害しない
様にするためである。
４，６を水晶の転移点である５７３度より高い温度に加
熱することによりそのＱ値を、振動板１３よりも低くし
ている。その理由はこれら上・下ケース１４，６とも水
晶で形成しているので、例えばその外方に金属板が接近
して配置された場合に、振動部１７の電極１９、または
２０との間でこれら上・下ケース１４，６が不要な共振
をおこし、それが振動部１７の本来の振動を阻害しない
様にするためである。
【００１７】
【発明の効果】以上のように本発明は、水晶よりなる板
状の上ケースおよび水晶よりなる板状の下ケースと、こ
れら上・下ケースの間に挟持した水晶よりなる振動板と
を備え、上記振動板はその外周の上・下ケースの挟持部
の内方において切溝を形成することにより舌片状の振動
部を形成し、この振動部の表裏面に電極を形成したもの
である。そして以上の構成とすれば、振動板の舌片状の
振動部の外周には、切溝による確実なすきまが確保され
るので、従来のように上・下ケースに異常接近あるいは
接触して振動が阻害されることはない。
状の上ケースおよび水晶よりなる板状の下ケースと、こ
れら上・下ケースの間に挟持した水晶よりなる振動板と
を備え、上記振動板はその外周の上・下ケースの挟持部
の内方において切溝を形成することにより舌片状の振動
部を形成し、この振動部の表裏面に電極を形成したもの
である。そして以上の構成とすれば、振動板の舌片状の
振動部の外周には、切溝による確実なすきまが確保され
るので、従来のように上・下ケースに異常接近あるいは
接触して振動が阻害されることはない。
【００１８】また上・下ケースと振動板を全て水晶で形
成したので、反りや変形による残留応力の発生が少な
く、この結果として振動の安定したものとなる。
成したので、反りや変形による残留応力の発生が少な
く、この結果として振動の安定したものとなる。
【図１】本発明の発振子の一実施例の断面図
【図２】同分解斜視図
【図３】従来例の断面図
【図４】その分解斜視図
６ 下ケース １３ 振動板 １４ 上ケース １７ 振動部 １８ 切溝
Claims (2)
- 【請求項１】 水晶よりなる板状の上ケースおよび水晶
よりなる板状の下ケースと、これらの上・下ケースの間
に挟持した水晶よりなる振動板とを備え、上記振動板は
その外周の上・下ケースの挟持部の内方において切溝を
形成することにより舌片状の振動部を形成し、この振動
部の表裏面に電極を形成した発振子。 - 【請求項２】 上・下ケースの少なくとも一方は、振動
板よりもＱ値を低くした請求項１記載の発振子。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5091113A JPH06303079A (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | 発振子 |
| KR1019930020979A KR0158469B1 (ko) | 1992-10-15 | 1993-10-11 | 발진자 |
| US08/135,531 US5449965A (en) | 1992-10-15 | 1993-10-13 | Oscillator |
| EP93116706A EP0593070B1 (en) | 1992-10-15 | 1993-10-15 | Oscillator |
| DE69316307T DE69316307T2 (de) | 1992-10-15 | 1993-10-15 | Vibrator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5091113A JPH06303079A (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | 発振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06303079A true JPH06303079A (ja) | 1994-10-28 |
Family
ID=14017469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5091113A Pending JPH06303079A (ja) | 1992-10-15 | 1993-04-19 | 発振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06303079A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006180247A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子、電子機器、及び弾性表面波素子の励振空間形成方法 |
-
1993
- 1993-04-19 JP JP5091113A patent/JPH06303079A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006180247A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子、電子機器、及び弾性表面波素子の励振空間形成方法 |
| JP4518255B2 (ja) * | 2004-12-22 | 2010-08-04 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波素子および電子機器 |
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