JPH06132774A - 発振子およびその製造方法 - Google Patents

発振子およびその製造方法

Info

Publication number
JPH06132774A
JPH06132774A JP4276931A JP27693192A JPH06132774A JP H06132774 A JPH06132774 A JP H06132774A JP 4276931 A JP4276931 A JP 4276931A JP 27693192 A JP27693192 A JP 27693192A JP H06132774 A JPH06132774 A JP H06132774A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
oscillation
lower case
diaphragm
lower cases
oscillator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4276931A
Other languages
English (en)
Inventor
Zenichi Tsuru
善一 鶴
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP4276931A priority Critical patent/JPH06132774A/ja
Priority to KR1019930020979A priority patent/KR0158469B1/ko
Priority to US08/135,531 priority patent/US5449965A/en
Priority to CN 93118948 priority patent/CN1031739C/zh
Priority to DE69316307T priority patent/DE69316307T2/de
Priority to EP93116706A priority patent/EP0593070B1/en
Publication of JPH06132774A publication Critical patent/JPH06132774A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 各種電気製品に利用される発振子において、
内部振動板がケース内面に接触して振動が不安定になる
ことを防止し、安定して発振させることを目的とする。 【構成】 板状の上ケース14および下ケース6と、こ
れら上・下ケース14および6の間に挟持した振動板1
3とを備え、上記振動板13は、その外周の上・下ケー
ス14および6の挟持部の内方において、切溝18を形
成することにより、舌片状の振動部17を形成し、この
振動部17の表裏面に電極19を形成したものである。
上記のようにすれば、振動板13の舌片状の振動部17
の外周には、切溝18による確実なすきまが確保される
ので、従来のように上・下ケースに異常接近あるいは、
接触して振動が阻害されることはない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は例えば各種電気製品に活
用される発振子およびその製造方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】図5において1は、下ケースで、この下
ケースの内部には、振動板2が設けられている。この振
動板には図6に示すごとく、板体状でその表裏面に電極
3が設けられている。次に、4は上ケースで、下ケース
1の上面開口部にかぶせられ密封する形状となってい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記構成において振動
板2の下ケース1内への固定は、表裏の電極3と、図示
していないが下ケース1の内面に設けられた、導電パタ
ーンとを接続する導電性接着剤5の接着力により得てい
る。
【0004】このような従来例で問題となるのは、振動
板2の振動を安定させることが極めて、難しいという点
である。すなわち、この種の発振子は極めて小さなもの
であるので、当然のこととして下ケース1と振動板2も
小さなものとなり、振動板2を下ケース1内の定位置に
正しく設置することが極めて難しい。その結果、振動板
2の一部が下ケース1の内面に異常に接近したりあるい
は、接触してしまったりすると振動が安定しなくなって
しまうのである。
【0005】そこで本発明は、振動板の振動を安定させ
ることを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】そして、この目的を達成
するために本発明は、板状の上ケースおよび下ケース
と、これらの上・下ケースの間に挟持した振動板とを備
え、上記振動板はその外周の上・下ケースの挟持部の内
方において切溝を形成することにより、舌片状の振動部
を形成し、この振動部の表裏面に電極を形成したもので
ある。
【0007】
【作用】以上の構成とすれば、振動板の舌片状の振動部
の外周には、切溝による確実なすきまが確保されるの
で、従来のように上・下ケースに異常接近あるいは接触
して振動が阻害されることはない。
【0008】
【実施例】図1に図2において6は下ケースで、長方形
をしており、上面内方には凹部7を形成している。この
凹部7内には、導電パターン8が形成され、その一端に
は導電性接着剤9が設けられ、他端にはスルーホール1
0が設けられている。このスルーホール10の内面には
図1に示すごとく無電解メッキによる導電層11が形成
され、この導電層11を介して下ケース6の外底面の電
極12と、導電パターン8と接続されている。
【0009】次に、13は水晶よりなる振動板で、この
振動板の外周は、図1に示すごとく、上・下ケース1
4,6の外周部にて挟持される枠体部15となってい
る。
【0010】またこの振動板13の内方には、枠体部1
5の一端部側から幅のせまい保持部16を介して片持ち
状態となった振動部17が設けられている。すなわち、
振動部17と枠体部15の間には、エッチングあるいは
サンドブラストによる切溝18が形成されているのであ
る。
【0011】振動部17は上記切溝18の形成に際し、
矩形部のコーナー部を湾曲させた形状としており、その
表裏面には電極19,20が設けられている。この内電
極19は、保持部16上の導電パターン21及びスルー
ホール22内の導電層を介して、上記導電性接着剤9に
接続されている。また電極20は、導電性接着剤23、
及び下ケース6のスルーホール24内の導電層25を介
して、外底面の電極26に接続されている。
【0012】なお上記上ケース14はシリコンで作られ
ており、図1に示すごとくその内面に凹部27が設けら
れ、これにより振動部17の上下方向に充分な振動スペ
ースが確保されている。上記構成において、その製造方
法は次のようになっている。まず、下ケース6上に振動
板13の枠体部15をのせ、この状態で加熱しながら圧
力を加えると、両者間は鏡面状態となっているので、原
子間結合が行なわれることになる。また、この時、加熱
により発生するガス状物質は、溝18などを介して上方
に抜けることになる。尚、下ケース6のスルーホール1
0,24内には、ガラス性の栓が圧入されているので、
ガスをこのように切溝18から上方に抜くことが重要と
なる。
【0013】次に、電極12,26間に信号を加えて、
振動部17の発振周波数を測定し、それに基づく周波数
調整(たとえばトリミング)を行なった後に、上ケース
14を、枠体部15上にのせて、同じく加熱しながら圧
力を加え、鏡面同士の原子間結合を行なわせ、封止一体
化する。
【0014】尚、以上の説明においては、一つの振動子
の製造について説明したが、実際には上ケース14、振
動板13、下ケース6はそれぞれ大板に複数個整列して
設けているものを、上記説明のごとく重ねて一体化し、
その後、枠体部15の外周形状で個片に切断することに
より、図1に示す振動子を得るようにしているのであ
る。そして、この切断後に電極12,26を形成してい
るのである。
【0015】図3,図4は本発明の他の実施例を示し、
この実施例においては、下ケース28をアルミナで作っ
ている。この下ケース28の上面には、図2の導電パタ
ーン8の役割をはたす導電パターン29が左側から設け
られている。また、右側からは導電パターン30が設け
られそれぞれの端部に、導電性接着剤31,32が設け
られている。そして、これらの導電性接着剤31,32
だけを表出させるごとく、下ケース28の上面には図示
していないがガラスによる絶縁層が設けられ、その絶縁
層上で下ケース28の外周に対応する部分に厚膜のろう
剤32が塗られている。
【0016】つまり、このろう剤32により、振動板1
3の接続と振動板13の振動部17の下方への振動スペ
ースが確保されているのである。尚この実施例において
は上ケース14、振動板13、下ケース28のコーナの
エッジを切断しており、この内特に、振動板13と下ケ
ース28のエッジ切断は、ろう剤32から出るガスを抜
くためのものである。すなわち、上述したように、大板
から複数個の振動子を形成するために、このエッジ部
を、形成していないとガスが抜けなくなってしまうから
である。
【0017】
【発明の効果】以上のように本発明は、板状の上ケース
および下ケースとこれらの上・下ケースの間に挟持した
振動板とを備え、上記振動板はその外周の上・下ケース
の挟持部の内方において切溝を形成することにより舌片
状の振動部を形成し、この振動部の表裏面に電極を形成
したものである。そして以上の構成とすれば、振動板の
舌片状の振動部の外周には、切溝による確実なすきまが
確保されるので、従来のように上・下ケースに異常接近
あるいは接触して振動が阻害されることはない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の発振子の一実施例の断面図
【図2】同分解斜視図
【図3】本発明の他の実施例の断面図
【図4】同分解斜視図
【図5】従来例の断面図
【図6】その分解斜視図
【符号の説明】
6 下ケース 13 振動板 14 上ケース 17 振動部 18 切溝

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】板状の上ケースおよび下ケースと、これら
    の上・下ケースの間に挟持した振動板とを備え、上記振
    動板はその外周の上・下ケースの挟持部の内方において
    切溝を形成することにより舌片状の振動部を形成し、こ
    の振動部の表裏面に電極を形成した発振子。
  2. 【請求項2】振動板の舌片状の振動部とその外周の上・
    下ケースによる挟持部との間の保持部は、上記振動部よ
    りも幅を狭くしたことを特徴とする請求項1記載の発振
    子。
  3. 【請求項3】振動部は矩形状とし、そのコーナ部は湾曲
    形状としたことを特徴とする請求項1または請求項2記
    載の発振子。
  4. 【請求項4】複数個の上・下ケースを形成するための大
    板の上・下ケース体の間に、複数個の振動板を有する振
    動板体を介在させて挟持し、その後一体となった上・下
    ケース体、振動板体を切断して複数個の振動子を形成す
    る発振子の製造方法。
  5. 【請求項5】上・下ケースには、外周部内方に凹状加工
    を施したことを特徴とする請求項4記載の発振子の製造
    方法。
  6. 【請求項6】振動板体の個々の振動子は、その外周の上
    ・下ケースによる挟持部内方において切溝を形成するこ
    とにより舌片状の振動部を形成することを特徴とする請
    求項4または請求項5記載の発振子の製造方法。
  7. 【請求項7】切溝加工はエッチングあるいはサンドブラ
    ストにより行なうことを特徴とする請求項6記載の発振
    子の製造方法。
JP4276931A 1992-10-15 1992-10-15 発振子およびその製造方法 Pending JPH06132774A (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4276931A JPH06132774A (ja) 1992-10-15 1992-10-15 発振子およびその製造方法
KR1019930020979A KR0158469B1 (ko) 1992-10-15 1993-10-11 발진자
US08/135,531 US5449965A (en) 1992-10-15 1993-10-13 Oscillator
CN 93118948 CN1031739C (zh) 1992-10-15 1993-10-15 振荡器
DE69316307T DE69316307T2 (de) 1992-10-15 1993-10-15 Vibrator
EP93116706A EP0593070B1 (en) 1992-10-15 1993-10-15 Oscillator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4276931A JPH06132774A (ja) 1992-10-15 1992-10-15 発振子およびその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06132774A true JPH06132774A (ja) 1994-05-13

Family

ID=17576404

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4276931A Pending JPH06132774A (ja) 1992-10-15 1992-10-15 発振子およびその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06132774A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007181072A (ja) * 2005-12-28 2007-07-12 Citizen Miyota Co Ltd 圧電デバイスの製造方法および圧電デバイス
JP2009065437A (ja) * 2007-09-06 2009-03-26 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶デバイス
JP2013081022A (ja) * 2011-10-03 2013-05-02 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶振動子及びその製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007181072A (ja) * 2005-12-28 2007-07-12 Citizen Miyota Co Ltd 圧電デバイスの製造方法および圧電デバイス
JP2009065437A (ja) * 2007-09-06 2009-03-26 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶デバイス
JP2013081022A (ja) * 2011-10-03 2013-05-02 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶振動子及びその製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH07106905A (ja) 発振子
JP3989663B2 (ja) 圧電振動子と圧電振動子の製造方法
JP2004200777A (ja) メサ構造の圧電基板、圧電振動素子、圧電振動子、及び圧電発振器
JP2009159000A (ja) 逆メサ型圧電振動片、逆メサ型圧電デバイスおよび逆メサ型圧電デバイスの製造方法
KR0158469B1 (ko) 발진자
JPH06132774A (ja) 発振子およびその製造方法
JPH0766674A (ja) 発振子
JPH06303080A (ja) 発振子
JP3102869B2 (ja) 超薄板圧電共振子の構造
JPH06310971A (ja) 発振子
JPH06303079A (ja) 発振子
JPH06303078A (ja) 発振子
JPH06350385A (ja) 発振子
JPH06303081A (ja) 発振子
JP7196726B2 (ja) 水晶ウエハ
JP2000332571A (ja) 圧電デバイス
JP2006186566A (ja) 水晶振動子パッケージの製造方法
JPH06132773A (ja) 圧電共振子
JPH0758578A (ja) 発振子とその製造方法
JPH11214947A (ja) 圧電デバイスのパッケージ構造
JP7227571B2 (ja) 振動素子、振動子及び振動素子の製造方法
JPH08139339A (ja) 半導体部品およびその製造方法
JPS60194816A (ja) 水晶振動子
JPH10341131A (ja) 圧電デバイスの構造
JPH09181547A (ja) 水晶振動子の周波数調整方法および調整治具