JP2007181072A - 圧電デバイスの製造方法および圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電振動片と枠体とが接続部を介して一体に形成された圧電振動体を、基板部材に形成された配線電極と圧電振動片に形成された接続電極とを対応させて接合し、基板部材と圧電振動体とを電気的および機械的に接続し、圧電振動体の接続部を切断することで圧電振動片と枠体とを分離した後、枠体上面に蓋体を接合して圧電振動片を封止する圧電デバイスの製造方法とする。
【選択図】 図1
Description
11 基板部材
12 蓋体
20 圧電振動体
21 圧電振動片
22 枠体
23 接続部
24 接着部材
Claims (6)
- 励振電極と接続電極が形成された圧電振動片と、前記圧電振動片の周囲を囲む枠体とが基板部材に搭載され、前記基板部材と前記枠体および前記枠体上に搭載した蓋体とにより前記圧電振動片を封止してなる圧電デバイスの製造方法であって、
少なくとも、
前記圧電振動片と前記枠体とが接続部を介して一体に形成された圧電振動体を、前記基板部材に形成された配線電極と前記圧電振動片に形成された接続電極とを対応させて接合し、前記基板部材と前記圧電振動体とを電気的および機械的に接続する工程と、
前記基板部材に接合された前記圧電振動体の接続部を切断して前記圧電振動片と前記枠体とを分離する工程と、
前記枠体上面に前記蓋体を接合して前記圧電振動片を封止する工程と、
を有することを特徴とする圧電デバイスの製造方法。 - 前記圧電振動片と前記枠体とを分離する工程において、
前記圧電振動体の接続部をブラスト加工を用いて切断することを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイスの製造方法。 - 前記圧電振動片と前記枠体とを分離する工程において、
前記圧電振動体の接続部をドライエッチングにより切断することを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイスの製造方法。 - 前記圧電振動片と前記枠体とを分離する工程において、
前記圧電振動体の接続部をレーザーにより切断することを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイスの製造方法。 - 励振電極と接続電極が形成された圧電振動片と、前記圧電振動片の周囲を囲む枠体とが基板部材に搭載され、前記基板部材と前記枠体および前記枠体上に搭載した蓋体とにより前記圧電振動片を封止してなる圧電デバイスであって、
少なくとも、
前記圧電振動片と前記枠体とが接続部を介して一体に形成された圧電振動体を、前記基板部材に形成された配線電極と前記圧電振動片に形成された接続電極とを対応させて接合し、前記基板部材と前記圧電振動体とを電気的および機械的に接続する工程と、
前記基板部材に接合された前記圧電振動体の接続部を切断して前記圧電振動片と前記枠体とを分離する工程と、
前記枠体上面に前記蓋体を接合して前記圧電振動片を封止する工程と、
により製造されたことを特徴とする圧電デバイス。 - 前記枠体が前記圧電振動片より厚く形成されていることを特徴とする請求項5に記載の圧電デバイス。
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