JPH0233389Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は圧電振動子の電極を蒸着によつて形成
する際に用いる周波数調整用の蒸着マスクに関す
る。

従来、たとえば水晶振動子の製造工程では、水
晶の結晶軸に対して所定角度に切断した板状の水
晶素片を得る。としてこの水晶素片の板面に一定
形状に、一般的には中央部に、主電極を蒸着し、
この主電極を外部へ導出して圧電振動を励振する
ようにしている。そしてこの種の圧電振動子で共
振周波数を正確に目的とする周波数に合せ込む場
合、上記主電極の上に重ねて周波数の調整用電極
を蒸着してその質量付加効果により周波数の調整
を行なうようにしている。

第１図はモノリシツク水晶フイルタの周波数調
整工程を示す斜視図で水晶結晶から所定の角度で
切断して丸板状に成形した水晶素片１の一側板面
に２組の電極１ａ，１ｂを設けた他側板面に上記
２組の電極１ａ，１ｂに相対面して一組の電極を
形成している。そして金属ベース２に３個の穴を
穿設し、ここに３本のリード端子３ａ，３ｂ，３
ｃを貫装し、溶融ガラスを充填して相互に絶縁し
て保持するようにしている。そして各リード端子
３ａ，３ｂ，３ｃの先端にそれぞれ保持板４ａ，
４ｂ，４ｃをスポツト溶接等で取着し、上記水晶
素片１の周縁を保持板４ａ，４ｃに形成した長穴
に嵌装し、ハンダ、導電性接着剤等を併用して機
械的な着と同時に電気的な接続を行なうようにし
ている。

このようなモノリシツク水晶フイルタの周波数
調整を行なう場合は、たとえば金属ベース２に嵌
装する非金属系の絶縁材からなるカバー５の所定
位置に各電極に対応して透孔５ａ，５ｂ，５ｃを
穿設する。そしてこの透孔５ａ，５ｂ，５ｃを蒸
着雰囲気中で蒸着源に対面させることにより電極
１ａ，１ｂの上、または二叉に形成した電極１ｃ
の間に蒸着金属を付着させかつ同時にリード端子
３ａ，３ｂ，３ｃを図示しない電子回路に接続し
てその共振周波数の測定を行ないつつ蒸着を行な
うようにしている。

しかしながらこのようなものでは、カバー５
は、金属ベース２によつて保持することになり、
この金属ベース２に対して水晶素片１を常に正確
な一定位置に保持しなければならない。しかしな
がら保持板４ａ，４ｂ，４ｃとリード端子３ａ，
３ｂ，３ｃの取着位置、および水晶素片１に対す
る保持位置を正確に一定位置に揃えることは不可
能である。このためにカバー５の透孔５ａ，５
ｂ，５ｃを介して電極１ａ，１ｂ，１ｃの上へ蒸
着を行なう際に位置ずれを生じ易く、たとえば上
記電極１ａ，１ｂ，１ｃからはみ出すことになり
著るしく性能を低下させる原因となつていた。ま
た第１図に示すように金属ベース２でカバー５を
保持するものでは水晶素片１の板面とカバー５の
透孔５ａ，５ｂ，５ｃとの間の間隙が大きくな
り、周波数調整を行なう際に蒸着物質の付着位置
が広範囲に広がる欠点もあつた。

本考案は上記の事情に鑑みてなされたもので水
晶素片に対して周波数調整用の蒸着マスクを位置
決めするようにし、周波数調整を行なう際の蒸着
を正確な位置に行なえ、かつ蒸着物質の付着位置
の広がりを狭い範囲とすることができる周波数調
整用の蒸着マスクを提供することを目的とするも
のである。

以下本考案の一実施例を第１図と同一部分に同
一符号を付与して第２図に示す斜視図を参照して
詳細に説明する。すなわち第２図において、６は
周波数調整用の蒸着マスクで６ａは中央部材、６
ｂ，６ｃは中央部材６ａの両側板面に取着した外
側部材である。上記各部材６ａ，６ｂ，６ｃは、
たとえばステンレスからなり、中央部材６ａは保
持板４ａ，４ｂ，４ｃの水晶素片１の厚み方向の
寸法に若干の余裕を加えた厚みを有する。そして
この中央部材６ａの下辺から中央部へ向かつて水
晶素片１を挿入する切欠を設け、この切欠の上辺
両側部を水晶素片１の外周縁に当接させて位置決
めを行なうようにしている。そして外側部材６
ｂ，６ｃは厚みの薄いステンレス板で一方の外側
部材６ｂは電極１ａ，１ｂに対応する位置に蒸着
用窓７ａ，７ｂを形成し、他方の外側部材６ｃは
二叉に形成した電極１ｃの間隙に対応する位置に
蒸着用窓７ｃを形成している。そして中央部材６
ａの両側板面に外側部材６ｂ，６ｃを取着し、か
つ中央部材６ａの切欠および外側部材６ｂ，６ｃ
で囲まれる空所の内壁に、たとえばテフロン等の
絶縁材料を化学的処理等により塗布して絶縁膜を
形成している。

このような構成であれば、周波数調整のために
蒸着を行なう場合、先ず蒸着マスクを水晶素片１
の上からかぶせて中央部材６ａの上辺両側部を水
晶素片１の外周縁に当接させて位置決めを行な
う。そして水晶素片１の任意の板面を蒸着源に相
対面させて調整用電極を蒸着し、同時にリード端
子３ａ，３ｂ，３ｃを図示しない電子回路に接続
して共振周波数を監視する。そして、共振周波数
が所望値に達した時点で蒸着を停止し、蒸着マス
クを取り外して、たとえば第１図に示すような金
属製カバーをかぶせて金属ベース２に気密に封止
する。

このようにすれば周波数調整のための蒸着時に
蒸着マスク６は常に水晶素片１の外周縁に当接し
て位置決めを行なうので金属ベース２と水晶素片
１との相対位置の影響を受けることなく、すなわ
ちリード端子３ａ，３ｂ，３ｃ、保持板４ａ，４
ｂ，４ｃ等による保持構造の寸法のバラツキの影
響を受けることなく、正確に一定位置へ調整用電
極を蒸着することができる。したがつて水晶素片
１の一定位置に形成した主電極の上に正確に周波
数調整のための蒸着を行なえそれによつて良好な
特性を得ることができる。また蒸着マスク６の空
所の内壁には絶縁膜を形成しているので、この蒸
着マスク６をかぶせた状態で蒸着を行ないつつ共
振周波数の測定を行なうことができ正確に周波数
の調整を行なうことができる。

さらに蒸着マスク６の外側部材６ｂ，６ｃはス
テンレスの薄板を用いることができここに蒸着用
窓７ａ，７ｂ，７ｃを形成しているので蒸着時の
ボケが少なくかつ水晶素片１の板面に近接して配
置できることと相埃つて蒸着される電極の位置精
度を著るしく向上することができる。

なお本考案は上記実施例に限定されるものでは
なく、上記実施例ではモノリシツク水晶フイルタ
を例として説明したが、種々の切断角度の水晶振
動子およびタンタル酸リチウム等を用いた圧電体
の振動子の周波数調整のための蒸着を行なう際に
用い得ることは勿論である。また圧電体の形状も
丸板だけでなく、正方形、矩形等、適宜な形状の
ものに適用することができる。さらに空所に形成
する絶縁膜として適宜な材料を用い得、たとえば
合成樹脂等を塗布して絶縁膜を形成するようにし
てもよい。さらに蒸着マスクの材質もステンレス
に限定されることなくコストが安価で良好な工作
精度を得られる適宜な材料を用いることができ
る。

以上詳述したように本考案は、調整用電極の蒸
着時に圧電体の外周縁に当接して位置決めでき蒸
着位置の高精度な蒸着マスクを提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の周波数調整工程を示す斜視図、
第２図は本考案の一実施例を示す斜視図である。 １……水晶素片、１ａ，１ｂ，１ｃ……電極、
２……金属ベース、３ａ，３ｂ，３ｃ……リード
端子、４ａ，４ｂ，４ｃ……保持板、６……蒸着
マスク、６ａ……中央部材、６ｂ，６ｃ……外側
部材、７ａ，７ｂ，７ｃ……蒸着用窓。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 所定角度に切断した圧電結晶の板面に形成した
   主電極の上に調整用電極を蒸着して共振周波数の
   調整を行なうものにおいて、主電極を形成した水
   晶素板を挿入時にこの水晶素板の外周縁を内壁に
   当接させて位置決めする切欠を形成した中央部材
   の両側に調整用電極を蒸着すべき位置に対応して
   蒸着用窓を形成した外側部材を設けるとともに上
   記中央部材の切欠および上記外側部材で囲まれる
   空所の内壁に絶縁膜を形成したことを特徴とする
   蒸着マスク。