JP2587749Y2 - 周波数調整用マスク - Google Patents
周波数調整用マスクInfo
- Publication number
- JP2587749Y2 JP2587749Y2 JP1991031427U JP3142791U JP2587749Y2 JP 2587749 Y2 JP2587749 Y2 JP 2587749Y2 JP 1991031427 U JP1991031427 U JP 1991031427U JP 3142791 U JP3142791 U JP 3142791U JP 2587749 Y2 JP2587749 Y2 JP 2587749Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency
- hole
- plug
- oscillation piece
- piezoelectric oscillation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は圧電振動子の周波数調整
時に用いるマスクに関する。
時に用いるマスクに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の周波数調整用マスク５９の平面図
を図４、断面図を図５に示す。
を図４、断面図を図５に示す。
【０００３】圧電発振片５１の表裏に電極５４を蒸着等
の手段を用いて形成する。
の手段を用いて形成する。
【０００４】これをプラグ５２に半田５３等を用いて固
定し、ハーメチックシール形の圧電振動子６２としてい
た。
定し、ハーメチックシール形の圧電振動子６２としてい
た。
【０００５】次に治具５５にプラグ５２のリード５６を
差し、この治具５５をＦ調用治具（周波数調整用リン
グ）５７に固定する。
差し、この治具５５をＦ調用治具（周波数調整用リン
グ）５７に固定する。
【０００６】このようにプラグ５２が多数個セットされ
たＦ調用治具５７を周波数調整用機械にセットし、真空
中でボート５８を加熱してやることによりＡｇ６０等の
金属を圧電発振片５１の電極５４に蒸着させ、圧電振動
子６２の周波数を調整していた。
たＦ調用治具５７を周波数調整用機械にセットし、真空
中でボート５８を加熱してやることによりＡｇ６０等の
金属を圧電発振片５１の電極５４に蒸着させ、圧電振動
子６２の周波数を調整していた。
【０００７】この時、圧電発振片５１の電極５４の形状
に沿ってＡｇ６０等を蒸着させる為に圧電発振片５１と
ボート５８の間に周波数調整用マスク５９を取付けてお
く。
に沿ってＡｇ６０等を蒸着させる為に圧電発振片５１と
ボート５８の間に周波数調整用マスク５９を取付けてお
く。
【０００８】この周波数調整用マスク５９には電極５４
の形状に相似で小さめな周波数調整用の穴６１（図４の
場合は長方形）があけてある。
の形状に相似で小さめな周波数調整用の穴６１（図４の
場合は長方形）があけてある。
【０００９】ボート５８により蒸発したＡｇ６０等は周
波数調整用マスク５９の周波数調整用の穴６１で一定量
に絞られて、圧電発振片５１の電極５４に蒸着する。
波数調整用マスク５９の周波数調整用の穴６１で一定量
に絞られて、圧電発振片５１の電極５４に蒸着する。
【００１０】
【考案が解決しようとする課題】しかし、従来の技術で
は圧電発振片と周波数調整用マスクとの距離が離れてい
る為、圧電発振片の電極内に蒸着されずにズレたり、ぼ
けたりして特性に影響を与えたり、圧電発振片の側面に
まで回り込んでショートの原因になっていた。
は圧電発振片と周波数調整用マスクとの距離が離れてい
る為、圧電発振片の電極内に蒸着されずにズレたり、ぼ
けたりして特性に影響を与えたり、圧電発振片の側面に
まで回り込んでショートの原因になっていた。
【００１１】また、圧電発振片が小型化するにしたが
い、これらの傾向は一層顕著になり、不良の原因になっ
ていた。
い、これらの傾向は一層顕著になり、不良の原因になっ
ていた。
【００１２】更に、圧電発振片と周波数調整用マスクの
位置を毎回調整する必要があり、位置出しが難しく、か
つ、わずらわしかった。
位置を毎回調整する必要があり、位置出しが難しく、か
つ、わずらわしかった。
【００１３】
【課題を解決するための手段】そこで、本考案は上記の
課題を解決するもので、請求項１に記載の考案は、圧電
発振片の周波数調整用マスクであって、前記圧電発振片
を支持するプラグを上下左右から嵌入させて前記圧電発
振片と平行な面内の直交二方向におけるプラグの位置決
めをする第１の穴部と、前記第１の穴部に対し所定の位
置に設けられた前記圧電発振片の周波数を調整するため
の前記圧電発振片の電極より小さい穴の第２の穴部とを
有し、前記第１の穴部と前記第２の穴部との対が一定間
隔で薄板材に複数設けられてなることを特徴とするもの
である。また、請求項２に記載の考案は、請求項１に記
載の周波数調整用マスクにおいて、前記圧電発振片に対
向する前記周波数調整用マスクの表面が絶縁されてなる
ことを特徴とするものである。
課題を解決するもので、請求項１に記載の考案は、圧電
発振片の周波数調整用マスクであって、前記圧電発振片
を支持するプラグを上下左右から嵌入させて前記圧電発
振片と平行な面内の直交二方向におけるプラグの位置決
めをする第１の穴部と、前記第１の穴部に対し所定の位
置に設けられた前記圧電発振片の周波数を調整するため
の前記圧電発振片の電極より小さい穴の第２の穴部とを
有し、前記第１の穴部と前記第２の穴部との対が一定間
隔で薄板材に複数設けられてなることを特徴とするもの
である。また、請求項２に記載の考案は、請求項１に記
載の周波数調整用マスクにおいて、前記圧電発振片に対
向する前記周波数調整用マスクの表面が絶縁されてなる
ことを特徴とするものである。
【００１４】
【実施例】本考案の実施例を図１の平面図、図２の断面
図で説明する。
図で説明する。
【００１５】本考案の周波数調整用マスク１は図１に示
すように一枚の板材に周波数調整用の穴２とハーメチッ
クシールのプラグの入るプラグ用穴３が一体にあけてあ
る。
すように一枚の板材に周波数調整用の穴２とハーメチッ
クシールのプラグの入るプラグ用穴３が一体にあけてあ
る。
【００１６】Ｆ調用治具４に周波数調整用マスク１をセ
ットしておく。
ットしておく。
【００１７】周波数調整用マスク１は図１に示すように
周波数調整用の穴２とプラグの入るプラグ用穴３が１組
となって一定間隙で連続してあけてある。
周波数調整用の穴２とプラグの入るプラグ用穴３が１組
となって一定間隙で連続してあけてある。
【００１８】圧電発振片５の表裏には電極６を蒸着等の
手段を用いて形成する。
手段を用いて形成する。
【００１９】これをプラグ７に半田８等を用いて固定
し、圧電振動子１３としていた。
し、圧電振動子１３としていた。
【００２０】次に治具９にプラグ７のリード１０を差
し、この治具９をＦ調用治具４に固定する。
し、この治具９をＦ調用治具４に固定する。
【００２１】この時、プラグ７は周波数調整用マスク１
のプラグの入るプラグ用穴３に位置決めされて固定され
る。
のプラグの入るプラグ用穴３に位置決めされて固定され
る。
【００２２】プラグ７と圧電発振片５は半田８により位
置決めされ固定されているので周波数調整用の穴２と電
極６は必然的に位置出しされる。
置決めされ固定されているので周波数調整用の穴２と電
極６は必然的に位置出しされる。
【００２３】周波数調整用の穴２は電極６と相似の形状
で少し小さめの形状に穴をあけておく方がよい。
で少し小さめの形状に穴をあけておく方がよい。
【００２４】このようにセットされたＦ調用治具４を周
波数調整用機械（図示せず）に取付け、真空中でボート
１１を加熱することにより、Ａｇ１２等の金属を圧電発
振片５の電極６に蒸着させ、圧電振動子１３の周波数を
調整する。
波数調整用機械（図示せず）に取付け、真空中でボート
１１を加熱することにより、Ａｇ１２等の金属を圧電発
振片５の電極６に蒸着させ、圧電振動子１３の周波数を
調整する。
【００２５】プラグ７と圧電発振片５は位置決めされ
て、半田８等で固定されているのでプラグ７と圧電発振
片５は一定の寸法範囲に入っている。
て、半田８等で固定されているのでプラグ７と圧電発振
片５は一定の寸法範囲に入っている。
【００２６】周波数調整用マスク１の周波数調整用の穴
２とプラグの入るプラグ用穴３は一体であけてあるので
プラグ７をセットすれば必然的に周波数調整用の穴２と
電極６は位置決されるので電極６に蒸着するＡｇ１２等
のパターンは電極６の形状からズレる事もなく周波数調
整用の穴２の形状に沿ったパターンが形成される事にな
る。
２とプラグの入るプラグ用穴３は一体であけてあるので
プラグ７をセットすれば必然的に周波数調整用の穴２と
電極６は位置決されるので電極６に蒸着するＡｇ１２等
のパターンは電極６の形状からズレる事もなく周波数調
整用の穴２の形状に沿ったパターンが形成される事にな
る。
【００２７】周波数調整用マスク１は薄い金属板で作成
すれば穴アケもしやすく、耐久性もある。
すれば穴アケもしやすく、耐久性もある。
【００２８】本考案の他の実施例として図３の断面図に
示すように金属板１４の片面に絶縁剤１５（有機接着剤
等）を薄く塗布しておけば、プラグ７がプラグ用穴３に
入る時に傷つく事がなくなり、かつ、圧電発振片５が周
波数調整用マスク１に接触しても絶縁されているために
発振が停止する事なく周波数調整が可能となる。
示すように金属板１４の片面に絶縁剤１５（有機接着剤
等）を薄く塗布しておけば、プラグ７がプラグ用穴３に
入る時に傷つく事がなくなり、かつ、圧電発振片５が周
波数調整用マスク１に接触しても絶縁されているために
発振が停止する事なく周波数調整が可能となる。
【００２９】本考案の周波数調整用マスク１は本実施例
では金属板で説明したが薄い絶縁物、例えばセラミック
や塩化ビニール樹脂、ポリイミド樹脂等でも可能な事は
いうまでもない。
では金属板で説明したが薄い絶縁物、例えばセラミック
や塩化ビニール樹脂、ポリイミド樹脂等でも可能な事は
いうまでもない。
【００３０】
【考案の効果】以上のように、本考案の周波数調整用マ
スクはプラグを位置決めする穴部を備えており、この穴
部によりプラグを上下方向及び左右方向（すなわち直交
二方向）に容易かつ確実に位置決めできるので、周波数
調整用の穴部が圧電発振片の所定の位置に配置されるこ
とになる。その結果、周波数調整時にＡｇ等を蒸着して
も蒸着パターンがずれたりぼけたりすることがなく、側
面に回りこんでショートすることもなくなる。これによ
り、特性の良好な圧電発振片の周波数調整が可能とな
る。
スクはプラグを位置決めする穴部を備えており、この穴
部によりプラグを上下方向及び左右方向（すなわち直交
二方向）に容易かつ確実に位置決めできるので、周波数
調整用の穴部が圧電発振片の所定の位置に配置されるこ
とになる。その結果、周波数調整時にＡｇ等を蒸着して
も蒸着パターンがずれたりぼけたりすることがなく、側
面に回りこんでショートすることもなくなる。これによ
り、特性の良好な圧電発振片の周波数調整が可能とな
る。
【００３１】更に、圧電発振片が小型化しても充分対応
が可能な周波数調整用マスクが提供できる。
が可能な周波数調整用マスクが提供できる。
【００３２】又、圧電発振片と周波数調整用マスクの位
置出しがセットすればできているので毎回調整の必要が
なく、作業効率が向上する。
置出しがセットすればできているので毎回調整の必要が
なく、作業効率が向上する。
【００３３】このように周波数調整時の蒸着パターンの
寸法精度が格段に向上する。
寸法精度が格段に向上する。
【００３４】又、周波数調整用マスクに絶縁処理した
り、絶縁材で作成することによりプラグにつく傷もな
く、圧電発振片の発振停止もなく周波数調整作業が可能
となる。又、一定間隙に連続して穴アケする事で圧電振
動子のセットもしやすくなる。
り、絶縁材で作成することによりプラグにつく傷もな
く、圧電発振片の発振停止もなく周波数調整作業が可能
となる。又、一定間隙に連続して穴アケする事で圧電振
動子のセットもしやすくなる。
【図１】本考案の周波数調整用マスクの平面図。
【図２】本考案の周波数調整用マスクの断面図。
【図３】本考案の他の実施例を示す断面図。
【図４】従来の周波数調整用マスクの平面図。
【図５】従来の周波数調整用マスクの断面図。
１ 周波数調整用マスク ２ 周波数調整用の穴 ３ プラグ用穴 ４ Ｆ調用治具 ５ 圧電発振片 ６ 電極 ７ プラグ ８ 半田 ９ 治具 １０ リード １１ ボート １２ Ａｇ １３ 圧電振動子 １４ 金属板 １５ 絶縁剤 ５１ 圧電発振片 ５２ プラグ ５３ 半田 ５４ 電極 ５５ 治具 ５６ リード ５７ Ｆ調用治具 ５８ ボート ５９ 周波数調整用マスク ６０ Ａｇ ６１ 周波数調整用の穴 ６２ 圧電振動子
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電発振片の周波数調整用マスクであっ
て、前記圧電発振片を支持するプラグを上下左右から嵌
入させて前記圧電発振片と平行な面内の直交二方向にお
けるプラグの位置決めをする第１の穴部と、前記第１の
穴部に対し所定の位置に設けられた前記圧電発振片の周
波数を調整するための前記圧電発振片の電極より小さい
穴の第２の穴部とを有し、前記第１の穴部と前記第２の
穴部との対が一定間隔で薄板材に複数設けられてなるこ
とを特徴とする周波数調整用マスク。 - 【請求項２】 前記圧電発振片に対向する前記周波数調
整用マスクの表面が絶縁されてなることを特徴とする請
求項１に記載の周波数調整用マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991031427U JP2587749Y2 (ja) | 1991-05-08 | 1991-05-08 | 周波数調整用マスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991031427U JP2587749Y2 (ja) | 1991-05-08 | 1991-05-08 | 周波数調整用マスク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04126416U JPH04126416U (ja) | 1992-11-18 |
| JP2587749Y2 true JP2587749Y2 (ja) | 1998-12-24 |
Family
ID=31914685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991031427U Expired - Lifetime JP2587749Y2 (ja) | 1991-05-08 | 1991-05-08 | 周波数調整用マスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2587749Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005006545A1 (ja) * | 2003-07-10 | 2005-01-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 電子部品の周波数調整装置及びそれを用いた電子部品の周波数調整方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5145430A (en) * | 1974-10-16 | 1976-04-17 | Nittetsu Kinzoku Kogyo Kk | Entosairo niokeru hotsupaakumitatesetsuchiho |
| JPS5432288A (en) * | 1977-08-17 | 1979-03-09 | Seiko Epson Corp | Manufacture for piezoelectric oscillator |
| JPS58108815A (ja) * | 1981-08-05 | 1983-06-29 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 音叉型水晶振動子 |
| JPS59154918U (ja) * | 1983-04-01 | 1984-10-17 | 日本電波工業株式会社 | 蒸着マスク |
| JPS6012808A (ja) * | 1983-07-01 | 1985-01-23 | Hitachi Ltd | 演算増幅回路 |
| JPS59188212A (ja) * | 1983-11-07 | 1984-10-25 | Seiko Epson Corp | 圧電振動子の周波数調整方法 |
| JPS61146016U (ja) * | 1985-02-28 | 1986-09-09 | ||
| JPS62109415A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子の周波数調整方法 |
| JPH07120912B2 (ja) * | 1987-03-30 | 1995-12-20 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子の製造方法 |
-
1991
- 1991-05-08 JP JP1991031427U patent/JP2587749Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005006545A1 (ja) * | 2003-07-10 | 2005-01-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 電子部品の周波数調整装置及びそれを用いた電子部品の周波数調整方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04126416U (ja) | 1992-11-18 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |