JPH0732274B2 - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
- Publication number
- JPH0732274B2 JPH0732274B2 JP61178044A JP17804486A JPH0732274B2 JP H0732274 B2 JPH0732274 B2 JP H0732274B2 JP 61178044 A JP61178044 A JP 61178044A JP 17804486 A JP17804486 A JP 17804486A JP H0732274 B2 JPH0732274 B2 JP H0732274B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic sensor
- base
- magnetic
- terminal
- glass film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はニッケル合金等の強磁性薄膜からなる磁気検知
部を有する磁気センサに関するものである。
部を有する磁気センサに関するものである。
従来の技術 従来、この種の磁気センサは、第９図，第10図に示すよ
うな構成であった。第10図は第９図の断面構造を示すも
のであり、13は基台、14は磁気検知部、15は保護膜、16
は端子塗料、17はハンダ、18は端子であり、基台13の片
面に磁気検知部14を設けてこの面と同じ面から端子18を
引出した構造であり、基台13の裏面には何も設けていな
い構造である。
うな構成であった。第10図は第９図の断面構造を示すも
のであり、13は基台、14は磁気検知部、15は保護膜、16
は端子塗料、17はハンダ、18は端子であり、基台13の片
面に磁気検知部14を設けてこの面と同じ面から端子18を
引出した構造であり、基台13の裏面には何も設けていな
い構造である。
発明が解決しようとする問題点 このような従来の構成では、磁気検知部と端子が同じ基
台面上にあり、端子部分が磁気検知部よりも突出してい
る。このため第６図に示すような磁気ドラム等を検出す
るにあたり、端子部分の突出を磁気ドラムからずらした
位置に設けなくてはならず、この結果基台を小さくでき
ないという問題があった。更に検出ギャップを調整する
際に端子の突出部がじゃまになったり、端子突出部が磁
気ドラムにあたらないように磁気ドラムに段差を設けて
端子突出部を設ける手間がかかったり、磁気ドラムのシ
ャフト方向の位置ズレを防止する処理をほどこさなくて
はならない等の問題があった。
台面上にあり、端子部分が磁気検知部よりも突出してい
る。このため第６図に示すような磁気ドラム等を検出す
るにあたり、端子部分の突出を磁気ドラムからずらした
位置に設けなくてはならず、この結果基台を小さくでき
ないという問題があった。更に検出ギャップを調整する
際に端子の突出部がじゃまになったり、端子突出部が磁
気ドラムにあたらないように磁気ドラムに段差を設けて
端子突出部を設ける手間がかかったり、磁気ドラムのシ
ャフト方向の位置ズレを防止する処理をほどこさなくて
はならない等の問題があった。
本発明はこのような問題点を解決するもので、端子の突
出がなくなり、磁気ドラムの検出が極めて容易になると
ともに、基台を小型化できるようにすることを目的とす
るものである。
出がなくなり、磁気ドラムの検出が極めて容易になると
ともに、基台を小型化できるようにすることを目的とす
るものである。
問題点を解決するための手段 この問題点を解決するために本発明は、セラミック基台
と、このセラミック基台の表面に設けたガラス膜とこの
ガラス膜上に設けた強磁性薄膜からなる磁気検知部と、
前記基台の裏面に設けた端子部とを有する磁気センサに
おいて、前記セラミック基台の少なくとも四つの角に切
欠きを形成するとともに、前記切欠き部に設けた導電部
を介して前記磁気検知部と端子部とを導通させることを
特徴とする。
と、このセラミック基台の表面に設けたガラス膜とこの
ガラス膜上に設けた強磁性薄膜からなる磁気検知部と、
前記基台の裏面に設けた端子部とを有する磁気センサに
おいて、前記セラミック基台の少なくとも四つの角に切
欠きを形成するとともに、前記切欠き部に設けた導電部
を介して前記磁気検知部と端子部とを導通させることを
特徴とする。
作用 この構成により、磁気センサの端子部分が突出しなくな
るため、磁気ドラムと磁気センサの位置関係に制約を受
けなくなり、磁気センサの基台寸法を小さくすることが
できる。
るため、磁気ドラムと磁気センサの位置関係に制約を受
けなくなり、磁気センサの基台寸法を小さくすることが
できる。
実施例 第１図は本発明の一実施例による磁気センサを示す図で
ある。第２図は第１図の断面構造を示す図であり、１は
アルミナよりなる基台、２は基台１上に設けた焼成ガラ
スからなるガラス膜、３は保護膜、４は強磁性薄膜から
なる磁気検知部、５は基台１の四つの角の円弧状切欠き
に導電材料を焼成して形成した導電部、６はハンダ、７
は端子である。ここで、ガラス膜２は基台１表面の凹凸
を吸収し、基台１を平滑にするもので、磁気検知部はガ
ラス膜２により、表面平滑な基台１上に精密に成形され
る。この磁気センサの基台１は、第３図に示すような多
数のスルーホール用穴8aを有する基板８を分割して得た
ものであり、第３図のＡ〜Ｄのように分割形状を変える
ことにより第４図ａ〜ｄのように種々のサイズと形状を
得ることができる。この磁気センサの特徴である基台１
の切欠きは、第３図からもわかるように１個の穴8aを４
チップで共有し分割することにより形成され、基台１の
小型化に対し大変有効な手法である。
ある。第２図は第１図の断面構造を示す図であり、１は
アルミナよりなる基台、２は基台１上に設けた焼成ガラ
スからなるガラス膜、３は保護膜、４は強磁性薄膜から
なる磁気検知部、５は基台１の四つの角の円弧状切欠き
に導電材料を焼成して形成した導電部、６はハンダ、７
は端子である。ここで、ガラス膜２は基台１表面の凹凸
を吸収し、基台１を平滑にするもので、磁気検知部はガ
ラス膜２により、表面平滑な基台１上に精密に成形され
る。この磁気センサの基台１は、第３図に示すような多
数のスルーホール用穴8aを有する基板８を分割して得た
ものであり、第３図のＡ〜Ｄのように分割形状を変える
ことにより第４図ａ〜ｄのように種々のサイズと形状を
得ることができる。この磁気センサの特徴である基台１
の切欠きは、第３図からもわかるように１個の穴8aを４
チップで共有し分割することにより形成され、基台１の
小型化に対し大変有効な手法である。
第５図は、第４図ｃで示す分割形状によるところの磁気
センサであり、この磁気センサでは四つの角に切欠きを
有するブロックを２個並べた構造を有し、２ブロックで
１個の磁気センサになっている。このとき２ブロックの
間の切欠きに形成した導電部は１つの端子に導通をとっ
ている。
センサであり、この磁気センサでは四つの角に切欠きを
有するブロックを２個並べた構造を有し、２ブロックで
１個の磁気センサになっている。このとき２ブロックの
間の切欠きに形成した導電部は１つの端子に導通をとっ
ている。
１ブロックの磁気センサ（第１図）では４端子をもち、
２つの端子に電源とアースを配置し、残りの２端子から
２相の出力を得ることができる。２ブロックの磁気セン
サ（第５図）では６端子をもち、２つの端子に電源とア
ースを配置し、残りの４端子から４相の出力を得ること
ができる。更にブロック数を増した磁気センサでは更に
多相の出力を得ることができるため、アブソリュートエ
ンコーダ用磁気センサに適している。
２つの端子に電源とアースを配置し、残りの２端子から
２相の出力を得ることができる。２ブロックの磁気セン
サ（第５図）では６端子をもち、２つの端子に電源とア
ースを配置し、残りの４端子から４相の出力を得ること
ができる。更にブロック数を増した磁気センサでは更に
多相の出力を得ることができるため、アブソリュートエ
ンコーダ用磁気センサに適している。
ここで、第６図に示すように、本発明の実施例によると
ころの磁気センサ21のチップサイズl2は、従来の磁気セ
ンサ22のチップサイズl1と比較して大変小さくなる。な
お、19はシャフト、20は磁気ドラムである。また第７図
や第８図に示すように、ただ単に基台23にスルーホール
24を設けただけでは、スルーホールの直径を小さくでき
なかったり、基板外周とスルーホールとの間を小さくす
ると割れやすくなるために基台サイズを十分小さくでき
なく、このため次表に示すように従来構造に対して小型
化の度合が小さいことがわかる。ところが本発明の実施
例によれば、従来構造の３〜５倍のチップ取数を同一サ
イズの基板から得られ、また非分割スルーホールを設け
た状態の取数に比較しても２倍以上のチップが同一サイ
ズの基板から得られることがわかる。
ころの磁気センサ21のチップサイズl2は、従来の磁気セ
ンサ22のチップサイズl1と比較して大変小さくなる。な
お、19はシャフト、20は磁気ドラムである。また第７図
や第８図に示すように、ただ単に基台23にスルーホール
24を設けただけでは、スルーホールの直径を小さくでき
なかったり、基板外周とスルーホールとの間を小さくす
ると割れやすくなるために基台サイズを十分小さくでき
なく、このため次表に示すように従来構造に対して小型
化の度合が小さいことがわかる。ところが本発明の実施
例によれば、従来構造の３〜５倍のチップ取数を同一サ
イズの基板から得られ、また非分割スルーホールを設け
た状態の取数に比較しても２倍以上のチップが同一サイ
ズの基板から得られることがわかる。
発明の効果 以上のように本発明によれば、従来の磁気センサのよう
に基台表面に設けた端子の突起が原因で小型化不可能と
なることなく、端子部が基台裏面にあるため極めて小型
化できて、取り付け位置精度が上がるため、磁気ドラム
等の被検出体と磁気検知部との距離（ギャップ長）を極
めて小さくし、極めてセンサ精度の優れた磁気センサを
提供することができる。
に基台表面に設けた端子の突起が原因で小型化不可能と
なることなく、端子部が基台裏面にあるため極めて小型
化できて、取り付け位置精度が上がるため、磁気ドラム
等の被検出体と磁気検知部との距離（ギャップ長）を極
めて小さくし、極めてセンサ精度の優れた磁気センサを
提供することができる。
第１図は本発明の一実施例による磁気センサの斜視図、
第２図は第１図に示す磁気センサの断面図、第３図は分
割前のセンサ基台を示す斜視図、第４図ａ〜ｄは第３図
のＡ〜Ｄ部で分割した時の形状の種類を示す平面図、第
５図は本発明の他の実施例による磁気センサの斜視図、
第６図は磁気ドラムに従来例と本発明の実施例の磁気セ
ンサを配置し形状を比較した説明図、第７図，第８図は
非分割スルーホールをもつ磁気センサの基台を示す斜視
図、第９図は従来例による磁気センサの斜視図、第10図
は第９図に示す磁気センサの断面図である。 １……基台、２……ガラス膜、３……保護膜、４……磁
気検知部、５……導電部。
第２図は第１図に示す磁気センサの断面図、第３図は分
割前のセンサ基台を示す斜視図、第４図ａ〜ｄは第３図
のＡ〜Ｄ部で分割した時の形状の種類を示す平面図、第
５図は本発明の他の実施例による磁気センサの斜視図、
第６図は磁気ドラムに従来例と本発明の実施例の磁気セ
ンサを配置し形状を比較した説明図、第７図，第８図は
非分割スルーホールをもつ磁気センサの基台を示す斜視
図、第９図は従来例による磁気センサの斜視図、第10図
は第９図に示す磁気センサの断面図である。 １……基台、２……ガラス膜、３……保護膜、４……磁
気検知部、５……導電部。
Claims (1)
- 【請求項１】セラミック基台と、このセラミック基台の
表面に設けたガラス膜とこのガラス膜上に設けた強磁性
薄膜からなる磁気検知部と、前記基台の裏面に設けた端
子部とを有する磁気センサにおいて、前記セラミック基
台の少なくとも四つの角に切欠きを形成するとともに、
前記切欠き部に設けた導電部を介して前記磁気検知部と
端子部とを導通させることを特徴とする磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61178044A JPH0732274B2 (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61178044A JPH0732274B2 (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 磁気センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6334986A JPS6334986A (ja) | 1988-02-15 |
| JPH0732274B2 true JPH0732274B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=16041611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61178044A Expired - Lifetime JPH0732274B2 (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 磁気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0732274B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63281075A (ja) * | 1987-05-13 | 1988-11-17 | Shikoku Electric Power Co Inc | 絶縁劣化関係量測定装置 |
| JPH07122662B2 (ja) * | 1988-04-13 | 1995-12-25 | 松下電器産業株式会社 | 磁気センサ |
| JPH02111085A (ja) * | 1988-10-20 | 1990-04-24 | Aichi Tokei Denki Co Ltd | 強磁性磁気抵抗素子 |
| JPH02264880A (ja) * | 1989-04-04 | 1990-10-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップ磁気センサーとその製造方法 |
| JPH0327060U (ja) * | 1989-07-25 | 1991-03-19 | ||
| JPH0372383U (ja) * | 1989-11-20 | 1991-07-22 | ||
| JP2572139B2 (ja) * | 1990-01-25 | 1997-01-16 | 旭化成工業株式会社 | 磁気抵抗センサー |
| JPH0452768U (ja) * | 1990-09-07 | 1992-05-06 | ||
| JPH0453573U (ja) * | 1990-09-10 | 1992-05-07 | ||
| JPH04118979A (ja) * | 1990-09-10 | 1992-04-20 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 磁気センサー及びその製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5332541U (ja) * | 1976-08-26 | 1978-03-22 | ||
| JPS5625781A (en) * | 1979-08-08 | 1981-03-12 | Fujitsu Ltd | Display processing method |
-
1986
- 1986-07-29 JP JP61178044A patent/JPH0732274B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6334986A (ja) | 1988-02-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0057766A2 (en) | Magnetoelectrical transducer | |
| JPH0732274B2 (ja) | 磁気センサ | |
| JP2002245606A (ja) | 磁気抵抗効果素子を備えた磁気ヘッドの研磨センサ及び該センサを用いた研磨制御方法 | |
| US4753820A (en) | Variable pitch IC bond pad arrangement | |
| US4875138A (en) | Variable pitch IC bond pad arrangement | |
| KR960004440B1 (ko) | 자기저항센서 | |
| JPS5918458A (ja) | 回転検出装置 | |
| US5331305A (en) | Chip network resistor | |
| JP3684658B2 (ja) | 磁気抵抗素子およびその製造方法 | |
| US5324977A (en) | Hybrid ferromagnetic integrated circuit device | |
| JPH02297085A (ja) | 磁気センサ及びその製造方法 | |
| JPH027536A (ja) | 半導体装置 | |
| JPS63215086A (ja) | 磁電変換素子 | |
| JP3543984B2 (ja) | 被測定小型電子部品の部品収納テーブルへの収納方法。 | |
| JPH02242180A (ja) | ホール効果形センサ装置 | |
| JP2993194B2 (ja) | 磁気式位置検出装置 | |
| JP2586915B2 (ja) | 磁気検出器 | |
| JPH04370970A (ja) | 半導体装置 | |
| JP2005024282A (ja) | 磁気式エンコーダ | |
| JPH0241870Y2 (ja) | ||
| JPH01187951A (ja) | 半導体装置 | |
| JPS63215060A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH01262488A (ja) | 磁気センサ | |
| JPH0357964A (ja) | 電子部品の抵抗値計測法 | |
| JPS62291157A (ja) | 混成集積回路 |