JPS6288410A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPS6288410A JPS6288410A JP22936285A JP22936285A JPS6288410A JP S6288410 A JPS6288410 A JP S6288410A JP 22936285 A JP22936285 A JP 22936285A JP 22936285 A JP22936285 A JP 22936285A JP S6288410 A JPS6288410 A JP S6288410A
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- JP
- Japan
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- thin film
- piezoelectric thin
- piezoelectric
- substrate
- vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
＋１１）技術分野
この発明は、エリンバ等からなる振動基板上にＺｎＯ等
の圧電薄膜を形成することにより構成され、たとえば屈
曲振動や拡がり振動等、周波数に応じて適当な振動モー
ドを利用する圧電振動子に関する。
の圧電薄膜を形成することにより構成され、たとえば屈
曲振動や拡がり振動等、周波数に応じて適当な振動モー
ドを利用する圧電振動子に関する。
（ｂｌ従来技術とその欠点
エリンバ等の恒弾性金属材料からなる振動基板」−にＺ
ｎＯ等の圧電薄膜を形成した圧電振動子が、ＴＶのカラ
ー同期用の発振子等としてよく利用されている。これは
、このような圧電振動子が圧電セラミックスを用いるよ
りも精度が良く、しかも水晶を用いるよりも安価に製造
できるからである。この圧電振動子の一例を第２図に示
す。この圧電振動子は、振動基板１と圧電薄膜２と電極
膜３とで構成される。振動基板１は、エリンバ等の恒弾
性金属材料からなる方形の薄板である。この振動基板１
は、周囲を額縁状の保持枠４で取り囲まれ、両短辺の中
央部にそれぞれ架設された結合子５，５によってこの保
持枠４に支持されている。圧電薄膜２は、酸化亜鉛Ｚｎ
Ｏ等の圧電素材を、振動基板１上にスパッタリング等の
方法によって薄膜状に形成したものである。電極膜３は
、さらにこの圧電薄膜２上に端部を開けて蒸着等の方法
により形成したアルミニウム等の金属薄膜である。
ｎＯ等の圧電薄膜を形成した圧電振動子が、ＴＶのカラ
ー同期用の発振子等としてよく利用されている。これは
、このような圧電振動子が圧電セラミックスを用いるよ
りも精度が良く、しかも水晶を用いるよりも安価に製造
できるからである。この圧電振動子の一例を第２図に示
す。この圧電振動子は、振動基板１と圧電薄膜２と電極
膜３とで構成される。振動基板１は、エリンバ等の恒弾
性金属材料からなる方形の薄板である。この振動基板１
は、周囲を額縁状の保持枠４で取り囲まれ、両短辺の中
央部にそれぞれ架設された結合子５，５によってこの保
持枠４に支持されている。圧電薄膜２は、酸化亜鉛Ｚｎ
Ｏ等の圧電素材を、振動基板１上にスパッタリング等の
方法によって薄膜状に形成したものである。電極膜３は
、さらにこの圧電薄膜２上に端部を開けて蒸着等の方法
により形成したアルミニウム等の金属薄膜である。
ところが、このような従来の圧電振動子は、第３図に示
すよ）に、圧電薄膜２を振動基板１の端部にまで形成＋
、でいたので、このＩＦ電；ｌν１）９２にクランクや
欠けが生し易くなり、そのためζ、二同周波数ずれやス
プリアスの発生、リニアリゾイネ良等の振動特性への１
ｕテ影響が生じ製品の品質が低下するという欠点を有し
ていた。これは、スパッタリング等による圧電薄膜２の
形成過程で内部応力が端部に年中し易く、この応力の集
中する圧電前１漠２の端部と物が接触し易い振動ノ１（
板１の端部とが一致するので、この部分が特に不安定と
なるからである。このため、電極膜３形成のためのマス
ク合わせ時や基板を分割してゲースに取り付ける組立作
業時等にマスクや工具がこの端部に接触すると、クラン
クや欠けが生しることが多くなる。
すよ）に、圧電薄膜２を振動基板１の端部にまで形成＋
、でいたので、このＩＦ電；ｌν１）９２にクランクや
欠けが生し易くなり、そのためζ、二同周波数ずれやス
プリアスの発生、リニアリゾイネ良等の振動特性への１
ｕテ影響が生じ製品の品質が低下するという欠点を有し
ていた。これは、スパッタリング等による圧電薄膜２の
形成過程で内部応力が端部に年中し易く、この応力の集
中する圧電前１漠２の端部と物が接触し易い振動ノ１（
板１の端部とが一致するので、この部分が特に不安定と
なるからである。このため、電極膜３形成のためのマス
ク合わせ時や基板を分割してゲースに取り付ける組立作
業時等にマスクや工具がこの端部に接触すると、クラン
クや欠けが生しることが多くなる。
（Ｃ１発明の［１的
この発明は、このような事情に鑑みなされたものであっ
て、振動基板子の端部に圧電３Ｖ股を形成しないように
することにより、振動特性に悪影響を与えるクランクや
欠けが生じ難くなる圧電振動子を提供することを目的と
する。
て、振動基板子の端部に圧電３Ｖ股を形成しないように
することにより、振動特性に悪影響を与えるクランクや
欠けが生じ難くなる圧電振動子を提供することを目的と
する。
（ｄｉ発明の構成および効果
この発明の圧電振動子は、２本以上の結合子で支ｔ）さ
れた板状の恒弾性材料からなる振動基板と、この振動基
板−にに形成された圧電薄膜と、さらにこの圧電薄膜−
ヒに形成された電極膜とで構成される圧電振動子におい
て、振動基板上の少なくとも結合子を形成していない辺
の端部に圧電７ｒ薄膜を形成しないことを特徴とする。
れた板状の恒弾性材料からなる振動基板と、この振動基
板−にに形成された圧電薄膜と、さらにこの圧電薄膜−
ヒに形成された電極膜とで構成される圧電振動子におい
て、振動基板上の少なくとも結合子を形成していない辺
の端部に圧電７ｒ薄膜を形成しないことを特徴とする。
この発明の圧電振動子を−１−記のように構成すると、
内部応力が集中し易い圧電薄膜の端部が振動基板の酩１
部よりも内側となるので、マスクや工具等が振動基板の
端部に接触したとしても容易に圧電薄膜にクラックや欠
けが生ずるようなおそれがなくなる。このため、この発
明の圧電振動子（よ、圧電薄膜のクラックや欠けによる
振動特性の変化が少なくなるので、製品の品質を安定さ
−１歩留まり向上を図るこ吉ができる。
内部応力が集中し易い圧電薄膜の端部が振動基板の酩１
部よりも内側となるので、マスクや工具等が振動基板の
端部に接触したとしても容易に圧電薄膜にクラックや欠
けが生ずるようなおそれがなくなる。このため、この発
明の圧電振動子（よ、圧電薄膜のクラックや欠けによる
振動特性の変化が少なくなるので、製品の品質を安定さ
−１歩留まり向上を図るこ吉ができる。
（ｅｌ実施例
以下、振動基板１として方形のエリンバを用い、圧電薄
膜２として酸化亜鉛ＺｎＯを用いた圧電振動子にこの発
明を実施した場合について説明する。
膜２として酸化亜鉛ＺｎＯを用いた圧電振動子にこの発
明を実施した場合について説明する。
第１図はこの発明の実施例で用いる圧電振動子の第２図
Ａ−Ａ方向における横断面図、第２図は圧電振動子の斜
視図である。
Ａ−Ａ方向における横断面図、第２図は圧電振動子の斜
視図である。
この実施例の圧電振動子は、振動基板１と圧電薄膜２と
電極１１’ｊ’ ３とで構成される。振動基板１は、エ
リンバの薄板に精密ケミカルエソヂング加工を施すこと
により、保持枠４および結合子５．５と一体形成されて
いる。圧電薄膜２は、振動基板ｌにおける両長辺に沿っ
た端部６．６を除いた部分に形成される。振動基板１」
二への圧電薄膜２の形成は、スパッタリングにより行う
ので、成膜過程で不要な部分をマスクで覆っておけば振
動基板１上の任意の場所に圧電薄膜２を形成しないよう
にすることができる。実施例では、結合子５の一方と保
持枠４の一部を除く他の部分に圧電薄膜２を形成しない
よ・うにするために従来から使用していたマスクの開「
１部の幅を狭めることにより、振動基板１の両り辺の端
部６，６を覆うようにしている。端部６，６は、例えば
振動基板ｌの幅を７００μｍとした場合にそれぞれ縁か
ら５０μｍ程度ずつ形成される。電極膜３は、従来と同
様にこの圧電薄膜２」二に端部を開けて形成される。尚
、この圧電薄膜２および電極膜３は、振動基板ｌ上のみ
ならず一方の結合子５を介して保持枠４上の一部にまで
引き出して形成され、この引き出した電極膜３′部分か
ら素子の端子を取り出せるようにしている。また、この
電極膜３に対応する圧電振動子の他方の電極は振動基板
１が兼用している実施例で圧電薄膜２を形成しない部分
を振動基板１の両長辺に沿った端部６，６としたのは、
圧電振動子の屈曲振動や短辺方向の拡がり振動の方向が
結合子５，５を結ぶ線に対して直角方向となるために、
変位量の多くなるこの端部６，６で圧電薄膜２のクラン
クや欠けが生じた場合の影響が最も大きくなるからであ
る。したがって、結合子５．５を形成した振動基板１の
短辺側に沿った端部にも、圧電薄膜２を形成しないよう
にしてもよい。
電極１１’ｊ’ ３とで構成される。振動基板１は、エ
リンバの薄板に精密ケミカルエソヂング加工を施すこと
により、保持枠４および結合子５．５と一体形成されて
いる。圧電薄膜２は、振動基板ｌにおける両長辺に沿っ
た端部６．６を除いた部分に形成される。振動基板１」
二への圧電薄膜２の形成は、スパッタリングにより行う
ので、成膜過程で不要な部分をマスクで覆っておけば振
動基板１上の任意の場所に圧電薄膜２を形成しないよう
にすることができる。実施例では、結合子５の一方と保
持枠４の一部を除く他の部分に圧電薄膜２を形成しない
よ・うにするために従来から使用していたマスクの開「
１部の幅を狭めることにより、振動基板１の両り辺の端
部６，６を覆うようにしている。端部６，６は、例えば
振動基板ｌの幅を７００μｍとした場合にそれぞれ縁か
ら５０μｍ程度ずつ形成される。電極膜３は、従来と同
様にこの圧電薄膜２」二に端部を開けて形成される。尚
、この圧電薄膜２および電極膜３は、振動基板ｌ上のみ
ならず一方の結合子５を介して保持枠４上の一部にまで
引き出して形成され、この引き出した電極膜３′部分か
ら素子の端子を取り出せるようにしている。また、この
電極膜３に対応する圧電振動子の他方の電極は振動基板
１が兼用している実施例で圧電薄膜２を形成しない部分
を振動基板１の両長辺に沿った端部６，６としたのは、
圧電振動子の屈曲振動や短辺方向の拡がり振動の方向が
結合子５，５を結ぶ線に対して直角方向となるために、
変位量の多くなるこの端部６，６で圧電薄膜２のクラン
クや欠けが生じた場合の影響が最も大きくなるからであ
る。したがって、結合子５．５を形成した振動基板１の
短辺側に沿った端部にも、圧電薄膜２を形成しないよう
にしてもよい。
」−記のよ・うに構成されたこの実施例の圧電振動子は
、振動基板１の端部（ｉ、ｆｉに電極膜３形成用のマス
クや工其が接触したたしても、圧電薄膜２にクランクや
欠りが生じることがないので、振動特性に悪影響を１）
、えるおそれがな（なる。また、電極膜３を圧電薄膜２
１−に端部を開けて形成しているのは電極膜３が他方の
電極として使用される振動基板１と短絡しないようにす
るためであり、圧電素子として番：［電極膜３の下側に
位置する圧電薄膜２のみが有効となるので、このように
振動基板ｌの端部６，６に圧電薄膜２を形成しない部分
を設ＬＪでも振動’ｌ！ｊｕ１１に悪影響をりえるよう
なことはない。したがって、この実施例の圧電振動子は
、製品の品質を安定させ歩留まりの向−１−を図ること
ができる。更に、この実Ｍ＋ｉ例では圧電薄膜２を形成
する際のマスク形状を変更するだけでこの発明を実施す
ることができるので、この発明の効果を得るために生産
二ｌストがＩ−、Ｗするということもなくなる。
、振動基板１の端部（ｉ、ｆｉに電極膜３形成用のマス
クや工其が接触したたしても、圧電薄膜２にクランクや
欠りが生じることがないので、振動特性に悪影響を１）
、えるおそれがな（なる。また、電極膜３を圧電薄膜２
１−に端部を開けて形成しているのは電極膜３が他方の
電極として使用される振動基板１と短絡しないようにす
るためであり、圧電素子として番：［電極膜３の下側に
位置する圧電薄膜２のみが有効となるので、このように
振動基板ｌの端部６，６に圧電薄膜２を形成しない部分
を設ＬＪでも振動’ｌ！ｊｕ１１に悪影響をりえるよう
なことはない。したがって、この実施例の圧電振動子は
、製品の品質を安定させ歩留まりの向−１−を図ること
ができる。更に、この実Ｍ＋ｉ例では圧電薄膜２を形成
する際のマスク形状を変更するだけでこの発明を実施す
ることができるので、この発明の効果を得るために生産
二ｌストがＩ−、Ｗするということもなくなる。
第１図はこの発明の実施例で用いる圧電振動子の第２図
Ａ−へにおける横断面図、第２図は圧電振動子の斜視図
、第３図は従来の圧電振動子の第２図Ａ−Ａ方向におけ
る横断面図である。 １−振動基板、２−圧電薄膜、 ３−電極膜、 ５−結合子、６一端部。
Ａ−へにおける横断面図、第２図は圧電振動子の斜視図
、第３図は従来の圧電振動子の第２図Ａ−Ａ方向におけ
る横断面図である。 １−振動基板、２−圧電薄膜、 ３−電極膜、 ５−結合子、６一端部。
Claims (1)
- （１）２本以上の結合子で支持された板状の恒弾性材料
からなる振動基板と、この振動基板上に形成された圧電
薄膜と、さらにこの圧電薄膜上に形成された電極膜とで
構成される圧電振動子において振動基板上の少なくとも
結合子を形成していない辺の端部に圧電薄膜を形成しな
いことを特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22936285A JPS6288410A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22936285A JPS6288410A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6288410A true JPS6288410A (ja) | 1987-04-22 |
| JPH0458725B2 JPH0458725B2 (ja) | 1992-09-18 |
Family
ID=16890978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22936285A Granted JPS6288410A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6288410A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009111623A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動装置 |
-
1985
- 1985-10-14 JP JP22936285A patent/JPS6288410A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009111623A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0458725B2 (ja) | 1992-09-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |