JPS59210A - 圧電板の加工方法 - Google Patents
圧電板の加工方法Info
- Publication number
- JPS59210A JPS59210A JP10838982A JP10838982A JPS59210A JP S59210 A JPS59210 A JP S59210A JP 10838982 A JP10838982 A JP 10838982A JP 10838982 A JP10838982 A JP 10838982A JP S59210 A JPS59210 A JP S59210A
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- piezoelectric plate
- crystal
- piezoelectric
- plate
- cutting
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、多量生産に適した圧電板の加工方法に関する
。圧電板は、その代表例として水晶板が広く知られ、そ
の水晶板に所定の励振電極を配置して水晶振動子として
利用されている。この水晶振動子は、近年小型化の要求
に応えるため、発振周波数がＩ ＭＨｚ以上のものにつ
いては矩形状の水晶板、数＋ｋＨｚ〜数百ｋＨｚのもの
については音叉状の水晶板が使用されている。第１図（
ａ）は矩形状の水晶板１を使用した水晶振動子を示し、
こめ水晶板１は主表面の長辺方向がＸ軸、その短辺方向
が２°軸に平行にし、更に長辺方向の両側面をＹ。
。圧電板は、その代表例として水晶板が広く知られ、そ
の水晶板に所定の励振電極を配置して水晶振動子として
利用されている。この水晶振動子は、近年小型化の要求
に応えるため、発振周波数がＩ ＭＨｚ以上のものにつ
いては矩形状の水晶板、数＋ｋＨｚ〜数百ｋＨｚのもの
については音叉状の水晶板が使用されている。第１図（
ａ）は矩形状の水晶板１を使用した水晶振動子を示し、
こめ水晶板１は主表面の長辺方向がＸ軸、その短辺方向
が２°軸に平行にし、更に長辺方向の両側面をＹ。
軸に対して角度α＝１”１６°傾剰させて加工されてい
る。なお、この水晶振動子は、水晶板１の両生面に対向
して励振電極２．３を配置して、水晶板１の厚みに反比
例した発振周波数に一致した高周波電圧を励振電極２．
３に印加することにより、厚みすべり振動をする。とこ
ろでζ２°軸はＹ゛軸と同様、第１図（ｂ）に示すよう
にＸ軸のまわりに２軸（Ｘ軸も同様）を角度θ＝ ３４
’〜３６″回転した後の結晶軸であり、とのｘ−ｚ’軸
平面に平行な水晶板をＡＴカット水晶板ど称している。
る。なお、この水晶振動子は、水晶板１の両生面に対向
して励振電極２．３を配置して、水晶板１の厚みに反比
例した発振周波数に一致した高周波電圧を励振電極２．
３に印加することにより、厚みすべり振動をする。とこ
ろでζ２°軸はＹ゛軸と同様、第１図（ｂ）に示すよう
にＸ軸のまわりに２軸（Ｘ軸も同様）を角度θ＝ ３４
’〜３６″回転した後の結晶軸であり、とのｘ−ｚ’軸
平面に平行な水晶板をＡＴカット水晶板ど称している。
そして、この水晶板１の画側面の傾斜角αは、所望な厚
みすべり振動以外に発生する非所望な輪郭ずぺり振動を
抑止して、周波数温度特性を良好にする作用がある。
みすべり振動以外に発生する非所望な輪郭ずぺり振動を
抑止して、周波数温度特性を良好にする作用がある。
しかしながら、このような傾斜側面の加工手段としては
、第２図（ａ）及び（ｂ）に示すようにＸ−□Ｚ゛軸平
面に平行に切断して矩形状に加工した１枚の水晶素板４
を用意して、長辺方向となるＸ軸方向の両側面を、水晶
素板４の法線方向となるＹ°軸から傾斜角αで切断する
ことになるが、一般に、水晶板等の圧電板を切断する際
には、その圧電板の平面の法線方向に行うことになり、
傾斜角αのもとで行うことは困難であり、それ故、傾斜
側面付き水晶板等の圧電板を多量生産することができな
かった。
、第２図（ａ）及び（ｂ）に示すようにＸ−□Ｚ゛軸平
面に平行に切断して矩形状に加工した１枚の水晶素板４
を用意して、長辺方向となるＸ軸方向の両側面を、水晶
素板４の法線方向となるＹ°軸から傾斜角αで切断する
ことになるが、一般に、水晶板等の圧電板を切断する際
には、その圧電板の平面の法線方向に行うことになり、
傾斜角αのもとで行うことは困難であり、それ故、傾斜
側面付き水晶板等の圧電板を多量生産することができな
かった。
本発明は、以上の問題点を解決するためになされたもの
であり、その要旨とするところは、少なくとも２枚以上
の圧電素板の主表面を互に仮接着した後に、該圧電素板
の該仮接着した面に垂直な一方の端面に向かって、該圧
電素板を切断することである。
であり、その要旨とするところは、少なくとも２枚以上
の圧電素板の主表面を互に仮接着した後に、該圧電素板
の該仮接着した面に垂直な一方の端面に向かって、該圧
電素板を切断することである。
第３図は本発明の一実施例である水晶板の加工方法を示
す。本例の水晶素板４１ 、４２ 、４３ 、・・・は
約１００枚（図面では７枚して示していない。）用意さ
れ、いずれも、４辺のうち互に対向する各２辺をＸ軸方
向及びＺ”軸方向に平行にし、Ｘ軸方向及び２゛軸方向
の各２辺の長さを所定値（本例：。
す。本例の水晶素板４１ 、４２ 、４３ 、・・・は
約１００枚（図面では７枚して示していない。）用意さ
れ、いずれも、４辺のうち互に対向する各２辺をＸ軸方
向及びＺ”軸方向に平行にし、Ｘ軸方向及び２゛軸方向
の各２辺の長さを所定値（本例：。
８ ｍｍ及び５０ ｍｍ ）にし、厚み（Ｙ’軸方向の
寸法）を所望発振周波数に応じた所定値（本例： ４
ＭＨｚ加工される。そして、これらの水晶素板４１ 、
４２ 。
寸法）を所望発振周波数に応じた所定値（本例： ４
ＭＨｚ加工される。そして、これらの水晶素板４１ 、
４２ 。
４３、・・・は、加工層除去のエツチング、洗浄等の表
面処理を必要に応じて行い、各主表面に加工用ワックス
５等を薄く塗布して仮接着する。その仮接着する際、後
述する切断時に同一形状のものを生産するうえで、特に
Ｘ軸方向の両端面はそれぞれ同一のｙ７−ｚ’軸平面上
に位置合せしておくことが好ましい。
面処理を必要に応じて行い、各主表面に加工用ワックス
５等を薄く塗布して仮接着する。その仮接着する際、後
述する切断時に同一形状のものを生産するうえで、特に
Ｘ軸方向の両端面はそれぞれ同一のｙ７−ｚ’軸平面上
に位置合せしておくことが好ましい。
次に、仮接着した面に垂直な一方の端面、ナなわち図面
上、上方のＹｏ−２°軸平面に向がって、矢印で示すよ
うに同面に対して垂直であってζＹ。
上、上方のＹｏ−２°軸平面に向がって、矢印で示すよ
うに同面に対して垂直であってζＹ。
軸から所定の角度α（本例α−５°）で、これ゛ら水晶
素板４１ 、４２ 、４３ 、・・Ｃをワイヤ・ソー、
バシ「・ソー等の切断機により切断する。そして、所定
の間隔（本例２ｍｍ）を置いて順次２゛軸方向へ に平行移動して切断する。
素板４１ 、４２ 、４３ 、・・Ｃをワイヤ・ソー、
バシ「・ソー等の切断機により切断する。そして、所定
の間隔（本例２ｍｍ）を置いて順次２゛軸方向へ に平行移動して切断する。
次に、切断された水晶板６１ 、６２ 、６３・・・は
第３図（ｂ）で示され、仮接着したつニス５をメチル・
エチル・ケトシ等の剥離剤により剥離して、同時に多数
（本例約１００枚）の水晶板６１ 、６２ 。
第３図（ｂ）で示され、仮接着したつニス５をメチル・
エチル・ケトシ等の剥離剤により剥離して、同時に多数
（本例約１００枚）の水晶板６１ 、６２ 。
６３、＠・・を得る。
以上の加工方法によれば、水晶素板及びそれから加工さ
れた水晶板の各寸法を任意に選定して、特に角度αも任
意に選定して、一方の端面かも直交して切断加工するこ
とができ、その利用範囲については広大である。
れた水晶板の各寸法を任意に選定して、特に角度αも任
意に選定して、一方の端面かも直交して切断加工するこ
とができ、その利用範囲については広大である。
次に、切断の最初と最後で有効に利用できない切欠部分
を少なくする加工方法としては、第４図に示すように、
水晶素板４１ 、４２ 、４３ 、・・・の主表面（ｘ
ｚ’軸平面）と、前述した一方の端面（図面上、上方の
ｙｌ、Ｚ＋軸平面）とに垂直なもう一方の端面（ＸＹ’
軸平面）を予め所定の角度αと同一角度で配列して仮接
着すればよい、以上の実施例において、圧電板の材料と
してＡＴカット水晶を使用したが、ＢＴ、ＤＴｌＣＴ。
を少なくする加工方法としては、第４図に示すように、
水晶素板４１ 、４２ 、４３ 、・・・の主表面（ｘ
ｚ’軸平面）と、前述した一方の端面（図面上、上方の
ｙｌ、Ｚ＋軸平面）とに垂直なもう一方の端面（ＸＹ’
軸平面）を予め所定の角度αと同一角度で配列して仮接
着すればよい、以上の実施例において、圧電板の材料と
してＡＴカット水晶を使用したが、ＢＴ、ＤＴｌＣＴ。
Ｇｌｏ、ＮＴ及び＋５ｒ Ｘ等の他のカット水晶はもと
より、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電
体を使用してもよいし、また形状についても実施例の矩
形状のみならず、正方形、音叉形等のように両側面を有
する形状であれば実施可能である。
より、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電
体を使用してもよいし、また形状についても実施例の矩
形状のみならず、正方形、音叉形等のように両側面を有
する形状であれば実施可能である。
以上のとおり本発明によれば、両側面に傾斜面を形成す
る圧電板の加工方法につき、多量生産に適した方法を提
供することから、その利用価値は多大である。
る圧電板の加工方法につき、多量生産に適した方法を提
供することから、その利用価値は多大である。
第１図は両側面に傾斜面を有する水晶振動子を示し、同
図（ａ）は斜視図及び同図（ｂ）は結晶座標軸を示す図
である。第２図は従来手法による切断加工を示し、同図
（ａ）は斜視図及び同図（ｂ）は側面図である・第３図
は本発明による一実施例の水晶板の加工方法を示し、同
図（ａ）は多数の水晶素板を仮接着した後、所定の角度
αで切断加工する際の状態を示す斜視図及び同図（ｂ）
は切断後の水晶板を示す斜視図である。第４図は本発明
による他の一実施例を示し、仮接着後に所定の角度αで
切断加工する際の状態を示す斜視図である。 ４１ 、４２ 、４３、〜．４７・・、水晶素板５・・
・ワニス ６１ 、６２ 、６３、〜．６７・・、水晶板α・・・
角度 Ｗ・・・間隔 （ｂ）
図（ａ）は斜視図及び同図（ｂ）は結晶座標軸を示す図
である。第２図は従来手法による切断加工を示し、同図
（ａ）は斜視図及び同図（ｂ）は側面図である・第３図
は本発明による一実施例の水晶板の加工方法を示し、同
図（ａ）は多数の水晶素板を仮接着した後、所定の角度
αで切断加工する際の状態を示す斜視図及び同図（ｂ）
は切断後の水晶板を示す斜視図である。第４図は本発明
による他の一実施例を示し、仮接着後に所定の角度αで
切断加工する際の状態を示す斜視図である。 ４１ 、４２ 、４３、〜．４７・・、水晶素板５・・
・ワニス ６１ 、６２ 、６３、〜．６７・・、水晶板α・・・
角度 Ｗ・・・間隔 （ｂ）
Claims (3)
- （１） 所定の厚み寸法をもって、主表面を実質的に
同一の四辺形状に加工した少なくとも２枚以上の圧電素
板の主表面を互に仮接着した後、該圧電素板の該仮接着
した面に垂直な一方の端面に向かって、該一方の端面上
に衾いて所定の角度と間隔で該圧電素板を切断し、次に
該仮接着を剥離して同時に多数の圧電板を得ることを特
徴とする圧電板の加工方法。 - （２） 特許請求の範囲第１項において、該仮接着す
る際に、該圧電素板の該一方の端面を実質的に同一平面
上にそろえていることを特徴とする圧電板の加工方法。 - （３） 特許請求の範囲第１項又は第２項において、
該圧電素板の主表面と該一方の端面とに垂直なもう一方
の端面を、切断する際の所定の角度と同一の角度で配列
していることを特徴とする圧電板の加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10838982A JPS59210A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 圧電板の加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10838982A JPS59210A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 圧電板の加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59210A true JPS59210A (ja) | 1984-01-05 |
| JPH0325966B2 JPH0325966B2 (ja) | 1991-04-09 |
Family
ID=14483521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10838982A Granted JPS59210A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 圧電板の加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59210A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61261911A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-20 | Kinseki Kk | 短冊水晶振動板の製造方法 |
| US4820080A (en) * | 1986-03-21 | 1989-04-11 | Comporgan System House | Process for the construction of a drain system |
| JPH0199320U (ja) * | 1987-12-21 | 1989-07-04 | ||
| US6243933B1 (en) * | 1996-04-16 | 2001-06-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric resonator and method for fabricating the same |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5431292A (en) * | 1977-08-12 | 1979-03-08 | Kinsekisha Lab Ltd | Method of producing short vibrator |
| JPS5518142A (en) * | 1978-07-25 | 1980-02-08 | Citizen Watch Co Ltd | Processing method of crystal tuning fork |
| JPS55141811A (en) * | 1979-04-23 | 1980-11-06 | Nec Corp | Manufacture for piezoelectric porcelain disc oscillator |
-
1982
- 1982-06-25 JP JP10838982A patent/JPS59210A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5431292A (en) * | 1977-08-12 | 1979-03-08 | Kinsekisha Lab Ltd | Method of producing short vibrator |
| JPS5518142A (en) * | 1978-07-25 | 1980-02-08 | Citizen Watch Co Ltd | Processing method of crystal tuning fork |
| JPS55141811A (en) * | 1979-04-23 | 1980-11-06 | Nec Corp | Manufacture for piezoelectric porcelain disc oscillator |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61261911A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-20 | Kinseki Kk | 短冊水晶振動板の製造方法 |
| US4820080A (en) * | 1986-03-21 | 1989-04-11 | Comporgan System House | Process for the construction of a drain system |
| JPH0199320U (ja) * | 1987-12-21 | 1989-07-04 | ||
| US6243933B1 (en) * | 1996-04-16 | 2001-06-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric resonator and method for fabricating the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0325966B2 (ja) | 1991-04-09 |
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