JPS5941915A - 音響表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は表面に音響表面波を伝搬させる圧電基板と、音
響表面波エネルギーを放出し前記表面に伝搬させ、また
この表面を通じて伝搬される音響表面波エネルギーを電
気信号に変換する変換器と、第１伝搬トラツクに沿って
伝搬される音響表面波エネルギーを受信し、このエネル
ギーの少なくとも一部をこの第１伝搬トラツクに沿って
伝送するよう再放出し、かつ第２伝搬トラツクに沿う音
響表面波エネルギーとしてもその一部を再放出する電気
結合手段を具え、この電気結合手段は前記第１伝搬トラ
ツクを横切る電気導電条片の第１７レイと前記第２伝搬
トラツクを横切る電気導電条片の第２アレイとを有し、
これら各アレイは個別の平行導電条片を有し、これら各
導電条片は当該ア□レイの他の個別の導電条片より電気
的に絶縁され、また他のアレイの対応する個別導電条片
に対し各アレイの連続する個別導電条片が他のアレイの
連続する個別導電条片にそれぞれ電気的に接続されるよ
うにし、各アレイの各連続する個別導電条片の中心対中
心間隔を交互に比較的に大きくまた比較的に小さくし、
２つのアレイの個別導電条片間の電気接続は各アレイに
おいて前述の如く比較的に大なる中心対中心間隔を有す
る６対の個別導電条片が他のアレイの比較的小なる中心
対中心間隔を有する導電条片対に対し電気的に接続され
るようにした音響表面波装置に関するものである。

以下本明細書においていう音響表面波装置とは、上述の
種類の青春波装置を意味するものとする。

この種装置の１例は、英国特許第１，４９２，７６６号
に記載されている。この既知の装置は、音響表面波遅延
装置の種々の点で異なる周波数成分を有する信号を反射
させ、供給信号とは異なる通路を反射信号が通過するよ
うにし、信号に散乱を加えたり或いはこれを除失する音
響表面波カブラに関するものである。

トラック変換の技術は他の音響表面波装置、例えば帯域
通過ｐ波器にも使用されており、放出変換器より受信変
換器に至る各種バルク音響波モードを通ずるエネルギー
伝搬の損失を減少させる。′□これは普通使用される衝
合（インターディジタルーーー組合せた櫛歯形状ン変換
器によって行われており、またこれら装置は通常は多条
片カプラとして使用されている。この１例は英国特許第
１，３７２゜２３５号に開示されている。この形態のカ
プラは適当に股Ｈ１゛すれば第１トラツクに沿って放出
される入射波の方向と同じ方向の第２トラツクに対し比
較的に効率よく音響表面波エネルギーを伝達することが
できる。しかしながらこのような構成のｐ波器は圧電結
晶ウェハの表面上ζこ比較的大なる面積を必要とし、こ
のため装置の製造コストが大となる欠点がある。これは
′ｌｉｌ接話分野に使用するような周波数多重の用途に
おける如く比較的狭い較的に長いアレイを用い、所望の
選択性を満足させる必要があるからである。

充分低い挿入損失を有し、良好なｐ波特性を有する多条
片反射カプラが得られるならば、より小型でより安価な
音響表面波ｒ波器を製造することができる。

変換器に供給される電気信号のｐ減益として使用される
多条片反射カプラの１例を含む装置は、ＩＥＥＥ　Ｕｌ
ｔｒａｓｏｎｊ、ｃ　Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ　１９７４ｔ
　Ｐ。１５７−１６０にＭ、　Ｆｅｌｄｍａｎ　オよび
σ、　Ｈｅｎａｆｆが［新しい多条片音響表面波器」と
して発表している。

この装置の簡略化した図面を第１図に示す。第１図の装
置は表面に音響表面波を伝搬させる圧電基板１と一矢印
８で示ずこの表面上の第１伝搬トラツクに音響表面波エ
ネルギーを放出する入力変換器２と、矢印５で示す第２
伝、搬トラックに沿って伝搬される音響表面波エネルギ
ーを電気信号に変換する出力変換器４とを有し、ざらに
第１伝搬トラツク８に沿って伝搬される音響表面波エネ
ルギーを受信し、このエネルギーの少なくとも一部を第
２伝搬トラツク内に音響表面波エネルギーとして再放出
する電気結合手段６とを有している。

入力および出方変換器は両方とも指金形とし、電気入力
信号を変換器２の２組の電極間に供給し、変換器４の２
組の電極間より出力電気信号を取出す。電気結合手段６
は第１伝搬トラツク８を横切る導！、　ｓ片の第１７レ
イと、第２伝搬トラツク５を横切る第２導電条片アレイ
とを有する。この第１アレイはＮ個の個別平行導電条片
７を２ｗし、これらは互いに電気的に絶縁されており、
第２アレイは同じく互いに電気的に絶縁されているＮ個
の平行な個別導電条片８を有する。各導電条片７をアレ
イ中の連続順序で他のアレイの連続順序の導電条片８に
電気的に接続する。導電条片７は互いに等しい中心対中
心間隔ｄ０を有し、導電条片８は互いに等しい中心対中
心１８Ｊｆ１Ｍｄ２を有する。ここにおいてｄ□とｄ２
は互いに相異なる大きさで、条件 ｄ□＋ｄ２−　ｎλ を満足するものとし、 ここにおいて、 ｎは整数（ｆｆ１ｌも１〕、 λは入力変換器２によって第１伝搬トラツク３に放出さ
れる音響表面波の波長であり、即ち入力変換器２によっ
てこのトラック８内に放出される音響表面波の帯域内の
波長である。（人出方変換器を構成する導電条片の中心
対中心間隔は、例えばλ／２とする。２上述のＩＥＥＥ
シンポジウム発表で既知の如く、ｄ□十ｄ２−　ｎλで
あるため、多条片カプラ６は波長λの音響表面波を反射
する。即ち入力変換器２により条片７のアレイの一端に
向って放出された波長λの音響表面波は条片８の対応す
る端部より再放出される（実際上は減衰された形態で）
。ｄ□はｄ２とは違った値に選択する。これはもし両者
がλ／２に等しいと、条件ｄ□−ａｇ−ｍλ（ただしｍ
は整数または０）が同時に満足され、’　　Ｐｒｏｃｅ
ｅｃｌｉｎｇｓ　　ｏｆ　　ｔｈｅ　　ＩＥＥＥ　　Ｕ
ｌｔｒａｓｏｎ土ｃ　　Ｓｙｍｐｏ−ｓｉｕｍ　１９７
７”Ｐ、　６８６−６９０　Ｇ、：記載された「多条片
アレイの設計」と題するｍ、　ｌｉ’ｅｌｄｍａｎおよ
びＪ、　Ｈｅｔ−ｎａｆｆの発表の如く、これは多条片
カプラ６が波長λの音響表面波を送出する条件となり、
得べがすし音響波エネルギーの内極めて大なる部分が条
片８の右側に放出され、出方変換器４に向わなくなるた
めである。

図示のような装置に普通適しているカプラ６の動作特性
、とくにその応答帯域幅および挿入損失は２つのアレイ
内の条片７および８の数Ｎによって定まり、この数Ｎの
増加に応じてこれらの量は減少する。図示のカブラ６の
欠点は、比較的狭い帯域幅のｐ波器の場合のようにＨの
数に対し大なる値を必要とすることであり、この場合に
は条片７と対応の条片８間の電気接続が極めて長いもの
となることである。これらの接続は容量および抵抗負荷
を形成するので、この長さが長くなると挿入損失が増加
することとなる。さらに、このような場合には条片７の
アレイと条片８のアレイ間の空間でこれらの接続が占め
る間隔が大となり、これにより次の結果が生ずる。

（御　内側条片７および８間の電気接続は、このように
数が多くない場合に比し、はるかに長くなり挿入損失を
より一層増加させる。

（ｂ）　　圧電基板の有効表面積の利用可能部分をより
一層多く消費すること。

これらの問題を解決するため上述の英国特許第１．４９
２，７６６号に示したようなカップリング配置が考えら
れた。しかし、この英国特許の第２図および第４図に示
す如くの配置は、製造上極めて高価となる。これは絶縁
クロスオーツく接続を必要とするからであり、またその
第８図および第５図に示すような他の配置は挿入損失の
極めて大なることおよび周波数レスポンスが貧弱なこと
によって実際上満足なものではない。

本発明の目的は、上述の如き音響表面波装置をより改良
することにある。本発明音響表面波装置は、各アレイに
は当該アレイの個別導電条片に平行な複数個の他の導電
条片を設け、これら他の導電条片の少なくとも１つを前
述の如く比較的に大なる中心対中心間隔を有する順次の
６対を形成する個別導電条片間に配置し、前記両アレイ
内の前記他の導電条件を電気的に接続したことを特徴と
する。

本発明は次の認識に基いて得られたものであるＯＶ昂 イ内の個別導電条片の比較的に広い間隔をもった対の各
々の空隙内に、１個または１個以上の個別のダミー電極
を散在させることにより、各伝搬トラックに沿う音響表
面波の通過は上述の既知のような装置の電極配置におい
てもより一層均−なものとなることは考えられていたが
、両アレイ内に散在させているダミー電極に対し共通の
電気接続を設け、これらを単にダミー電極として動作さ
せるのみでなく、アレイの全長にわたり各アレイの比較
的大なる中心対中心間隔を有する周期長に対し波長が一
致する周波数において信号強化機能を行わせる効果を生
ぜしめることにより、信号弁別件と挿入損失の減少の２
つにおいて極めて重要な予期しなかった改良が得られた
ことに基くものである。

この共通電気相互接続を設けることによる効果は驚くべ
きものであり、上述の種類の多条片反射カプラにおいて
挿入損失を減少し、また周波数弁別性を改良する。これ
は、この共通電気接続を通じアレイ全体にわたって信号
電流をそれぞれ伝達する効果によるものである。

このように付加的に設ける他の導電条片の少なくとも１
つは、比較的に大なる中心対中心間隔を有する対の個別
導電条片間に位置せしめると好都合である。さらに比較
的に大なる中心対中心間隔は互いにはぼ等しくシ、また
比較的に小なる中心対中心間隔も同じく互いにはぼ等し
くするを可とする。両アレイ全体にわたって最適な信号
伝達効果を得るため、およびアレイの与えられた長さに
対し最適の周波数弁別性と低挿入損失を得るため１比較
的に大なる中心対中心間隔は各アレイにおいてλ。の周
期長を与える。ここにおいてλ。は装置の中心帯域周波
数ｆ。の音響表面波の波長である。

本発明の１例においては比較的に大なる中心対中心間隔
を有する個別導電条片の各対間に１個の前記の他の条片
を位置せしめる。

上述の如く反射の条件は、 ｄ□＋ｄｇ−λ。

であり、実施例の１つでは ｄ□−λ／８ ｄ８−２λ／８ ・であること、即ち各アレイにおいて上述の如く比較的
に大なる中心対中心間隔を有する６対の個別導電条片の
中心対中心間隔は、これらの対の条片を接続すべき他の
アレイの条片の中心対中心間隔のほぼ２倍とする。

さらに他の実施例においては、比較的に大なる中心対中
心間隔を有する６対の個別導電条片間に２個の前述の他
の条片を位置せしめる。この実施例では次の関係が成立
する。

ｄｏ−λ／４ ｄ、−８λ／４ 特別な場合においては互いに接続された導電条片の２つ
の対の間隔の和が同じ場合には同じ値であること、即ち
同じ値のλに対応することは必ずしも好ましいとは言え
ない。例えばこれらの和を各アレイの一端より他端に向
って一定に増加させ、λの増加値に対し増加させ、これ
により装置に所望の周波数レスポンスを与えることもで
きる。

音響表面波は圧電基板の表゛輻を伝搬するため、この表
面に導電条片を設けることは圧電基板の表面特性に悪影
響を及ぼす。従って各アレイにおいて個別導電条片およ
び上述の他の導電条片は、アレイの全長にわたって均一
間隔とし、一定のマークスペース比を生じ、また被着し
た導電材料に対し一定の表面負荷を与えるようにするこ
とが好ましい。

上述の共通接続は大地の如く固定電位点に接続してもよ
く、これはとくに一部の用途では好ましいが、またこれ
を接続しないままとし、他のアレイ電極と同じように電
気的にフロート状態としてもよい。これら２つの間には
ごく僅かな周波数レスポンスの差が見られる。しかし両
者とも挿入損失を減少させ、また従来装置に比し小型な
多条片反射カブラを実現することができる。

発明の実施例 図面につき本発明を説明する。

第２図に示す本発明音響表面波装置は、第１図に示す装
置と同様に、表面で音響表面波を伝搬する圧電基板１と
、音響表面波エネルギーを表面で第１伝搬トラツク（矢
印８で示ず）に放出する入力変換器２及び第２伝搬トラ
ンク（矢印５で示す）に沿って伝搬される音響表面波エ
ネルギーを電気信号に変換する出力変換器４を有する変
換手段と、第１伝搬トランク８に沿って伝搬される音響
表面波エネルギーを受は少くともその一部分を第２伝搬
トラツク５に前管表面波エネルギーとして放出する電気
結合手段６とを其える。この電気結合手段６は第１伝搬
トランク８を横切る導電条片の第□１７レイ及び第２伝
搬トラツク５を横切る導電条片の第２アレイとを具える
。第１導電条片アレイはＮ個の互に電気的に絶縁された
個別の導電条片７を具え、第２導電条片アレイはＮ個の
互に電気的に絶縁された個別の導電条片８を具える。各
導電条片フを各導電条片８に夫々電気的に接続して一方
のアレイの順次の条片が他方のアレイの順次の条片に夫
々接続されるようにする。しかし順次の条片７の中心間
の離間間隔は交互にｄｏ及びｄ。

とし、順次の条片８の中心間の離間間隔も交互にｄ□及
びｄｆＡとし、間隔ｄ０及びｄ２を互に相違させるよう
にする。実際上第２図に示す装置ではｄ、　＝２（ｉ、
とし、ｄ□及ヒｄ２は条件ｄ□＋ｄ２＝ｎλを満足し、
ここにｎは整数（例えばｌ）とし、かつλ＝λ　とし、
ここにλ。は装置の通過帯域の中間周波数ｆ。における
波長、又はλは作動時入力変。

換器２により第１伝搬トラツク８に放出される音響表面
波の波長帯域内の波長とする。条片７および８間の電気
接続を適宜行って一方のアレイの中心間距離ｄ、ｉｌの
条片の６対が、他方のアレイの中心間距１１１ｄ□の条
片の６対に夫々接続されるようにする。第２図に示す本
発明音響表面波装置は第１図に示す装置と同様に作動し
第１伝搬トラツク８上の導電条片７の了レイに入射する
波長がほぼλの音響表面波エネルギーの一部分が導電条
片８のアレイを経て第２伝搬トラツク５に放出されるよ
うになる。しかし第２図の装置では第１伝搬トラツク３
の方向における電気結合手段６の全長は第１図の電気結
合手段６の関連する長さのほぼ％以下とする。これがた
め条片の数を同一とした場合、帯域幅を広くすることが
でき、これは種々の用途に有利であり、しかも殆んどの
場合圧電基板１の有効表面積を狭くすることができる利
点分有する。更に第１図の電気結合手段６に比較し、第
２図に示す電気結合手段６では条片７及び８間の全部の
電気接続を同一長さとするが、それにもかかわらず多数
の条片７および８を設けることができ、この長さは第１
図の結合手段の最小関連長さよりも左程短かくはないが
、条片の数が多い場合には著しく短かくなり、これは製
造を簡単化すると共に結合手段６の挿入損に対し有利で
ある。上述した装置は英国特許第１，４９２，７６６号
明細書の第５図に示す反射結合器と同様のものである。

本発明によれば比較的広い中心間距離ｄ２を有し、はぼ
１対置きに形成される個別の条片７または８間に少くと
も１個の他の導電条片を配置し得るようにする。これら
他の導電条片は電気的に相互接続すると共に所望に応じ
定電位点、例えば接地点に接続する。離間間隔ｄ２を有
する条片７または８の各対間にかかる単一の他の条片を
設けることにより第２図の例に示すようにｄ２＝２ｄ工
の際所望の結果が得られ、しかもかかる他の導電１条片
９を中心間距離ｄ２を有する条片７および８の各対問お
よび６対に平行に設けて他の条片の各々とこれに隣接す
る条片７，８の各々との間の中心間距離がｄ２１／２に
等しくなるようにする。かように構成することによって
圧′亀基板１の条片アレイの下側に設けられている伝搬
トラック８，５を伝搬する音響表面波ができるだけ均質
となるようにする。

これら他の条片９の幅を条片７および８の幅に等しくシ
、この幅をｄ１／２として各アレイに沿う”マーク−ス
ペース”比が１となるようにする。かくして形成した２
組の条片９の各々の条片をこれに直角に図面に示すよう
に延在する補助導電条片１０により電気的に相互接続す
ると共にこれら補助条片１０を更に適宜相互接続して例
えばこれら補助条片が定電位点（図示せず）、例えば接
地点に接続されるようにする。

第８図に示す本発明音響表面波装置の他の例では個別の
導電条片７または８間に２個の池の導電条片９をそれぞ
れ配置し、これら導電条片の６対の中心間距離ｄ２を比
較的広くし、Ｃｌ２＝　ａａ、の際に所望の結果が得ら
れるようにする。第２図に示す場合と同様に本例でも関
連するアレイに沿う音響表面波伝搬方向に対し平行な関
連のアレイの外縁に沿ってそれぞれ配置された条片導体
１０によって他の条片９を相互接続する。

第４図は第２図の例の変形例を示し、本例では両アレイ
の他の導電条片９の電気的な相互接続を、関連するアレ
イの外縁に沿って配置されかっこのアレイに沿う音響表
面波伝搬方向に対して平行に配列された個別の条片状部
分１０′の形状の共通導体２０と、電気結合手段６の端
部を横切って配置された条片状導電連結部２１とによっ
て達吸する。

条片状導電連結部２１は、これが連結されている他の条
片９の電位と、アレイの各々で伝搬される表面波との間
の変換特性を妨害しないように構成する必要があり、第
４図の例では導電連結部２１が、その存在時個別のアレ
イ端部で次の他の条片９の占めるべき位置を占めると共
にこの連結部２１に表面波伝搬トランク間の中央連結部
２１′を設けるようにして上述した条件を満足させるこ
とができる。

第５図は第８図の例の変形例を示す。

第６図は導電連結ｓ２１の変形例を示し、本例では導電
連結部２１を条片７，８および９に対しである角度傾斜
させて各アレイを伝搬する所望の表面波の波面がコヒー
レントとならず、従ってこれによる不所望な表面波成分
の変換または反射が個別のアレイを経る表面波伝搬トラ
ンクの方向においてほぼ防止されるようにする。

第２．８および４図の装置は本発明装置の多数の例のう
ちの数例を示すものである。例えば入力および／または
出力変換器２および４の摺合状電極の数は図面に示すも
のどは異なる数とすることができ、結合手段６を構成す
る各アレイに設ける条片７および８の数も同様に図示の
数とは相違させることができる。他の例として入力およ
び出力変換器２および４の１？１成を図面に示すものと
は相違させることができると共に慣例の手段を用いて所
望の通過帯域応答が得られるように構成することができ
る。また、離間間隔ｄ　およびｄ□の比を、第２および
４図に示す２以外の値とし、かつ第８および５図に示す
３以外の値とすることができ、この場合には比較的広く
離間された電−７または８の各対間に設ける池の’［ｉ
［λ／９の数もこれに応じて変化させるようにする。あ
るいはまた、上記距離ｄ　およびｄ□の比を、一方のア
レイの比較的広く離間した条片７または８と他方のアレ
イの比較的狭く離間した条片８または９の種々の相互接
続対に対し相違させることができる。これがため、例え
ば順次の条片７の中心間距離をλ／４，１９λ／２０゜
λ／２０およびａλ／４の繰返しとし、この場合条片８
の関連する中心間距離を８λ／４．λ／２０　、１９λ
／２０およびλ／４の繰返しとすることができる。しか
し通常一方のアレイの条片７または８の各隣接対の中心
間距離とこれら条片を接続する他方のアレイの条片７ま
たは８の対の中心間距離との和を、特定の用途において
結合手段６の長さ方向に沿い平滑に変化させ得るも、全
ての相互接続対に対しほぼ同一（好適にはλに等しく）
とする。また、距１ｉｊｌｋｄ２およびｄ□の比を、第
２および４図では２としたが、この比を正確に２とする
必要はない。例えばこの比を１．５０〜２．７０の範囲
内または１．７０〜２．３４の範囲内とすることができ
るがこれらの範囲が好適値からずれるに従って特性が徐
々に悪化するようになる。同様に距離ｄ２およびｄｏの
比を、通常８とする場合に対し、例えば２．８４〜４．
００の範囲内または２．７０〜８．８６の範囲内とする
ことができ、この場合でも上述した効果は同様となる。

条片７および８は、関連する変換器２，４を採用しない
場合にも、一般に実施し得るが所望に応じ慣例の手段を
用いることができる。

条片７およびこれに関連する散在条片９を条片８および
これに関連する散在条片９に対し平行としこれにより伝
搬トラック３および５を互に平行としたが、本発明はこ
れに限定されるものではない。即ち所望に応じ相互平行
条片８およびこれに関連する散在条片９を相互平行条片
７およびこれに関連する散在条片９に対しある角度で配
置することができ、この場合には伝搬トランク３および
５は最早や相互に平行とはならない。また、第２および
４図に示す例では導体７および９または８および９の中
心間離間距離が通過帯域の中心周波数で１波長の％であ
るため、反射多重条片結合手段６によって上記中心周波
数の第３高調波を除去し得るようにする。この点は第８
および５図に示す例では特に著しくなる。

所望に応じ入力変換器２から出力変換器４に到る音響表
面波伝搬通路には２個以上の結合手段６を設けることが
でき従って例えばこの伝搬通路に８個以上の平行伝搬ト
ランクを設けるようにする。

他の例としては圧電基板１に２個の結合手段６を適宜設
けて一方の入力伝搬トランク８を他方の出力伝搬トラン
ク部分６により構成し、この場合単一の組合せ人力／出
力変換器を最終的に形成される閉通路の同一点に位置さ
せ、これにより共振器を形成し得るようにする。

第２．８．４および５図は、中心間距離が比較的広い条
片７または８の各対間に少くとも１個の他の条片９を位
置させるようにした本発明の数例を示すが、各アレイの
比較的広い中心間距離の幾つか、即ち多くとも２．０％
に池の条片を設けない場合でも本発明による利点を得る
ことができ、これは反射結合手段の伝達応答を修正する
場合にしばしば必要となる。

第８図に示す装置と同様の装置の実際の変形例では圧電
基板１を４１°Ｙ回転されたＸ伝搬ニオブ酸リチウムで
造り、その上にアルミニウムを約０．２μの厚さに亘り
真空蒸着すると共にこれに写真食刻処理を施して入力お
よび出力変換器２および４ならびに反射多重条片結合手
段６を構成する導電体を形成した。各アレイの条片７の
数、条片８の数および（接地）条片９の数をそれぞれ８
個□゛とした。また、これら条片７，８および９の幅を
それぞれ１５．２μとし、これら条片の隣接する条片間
の間隙の幅も１５．２μとした。条片７，８および９の
長さは２．４８１ａＮとし、条片７，９のアレイおよび
条片８，９のアレイ間の離間距離を０．５２闘とした。

変換器２および４の各々を２重フィンガ構体とし、その
８個の桁合条片の各々の幅を１５．２μ、長さを２．４
８２朋、各々が１個のフィンガを構成する隣接条片間の
中心間距離を３０．４μとした。人力変換器２に供給さ
れた入力信号はその周波数を８７　ＭＨｚを中心とする
周波数帯域内に位置させ、この同波Ｖはほぼ１２１．６
μの基板１に伝搬される音響表面波の波長に対応させる
ようにする。ｆｉ１図に示す結合手段６を有する同様の
装置と比較し、本発明装置によれば挿入損を約１ｄＢ減
少させると共にヌル間に帯域幅を約１６％増大させるこ
とができた。

上述した例では反射多重条片結合手段を帯域幅が比較的
狭い装置とし、従って周波数多重通信チャンネルのフィ
ルタとして特に好適なものとじたが、帯域幅を結合手段
のアレイの長さに依存させ・ると共にニオブ酸リチウム
のような高結合圧電基板を用いることによって受信機の
中間周波数フィルタを含むテレビジョンのフィルタに用
いるに特に好適なアレイを製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の前接表面波装置の構成を示す平面図、 第２図は本発明音響表面波装置の一例の構成を示す平面
図、 第８図は本発明音響表面波装置の他の例の構成を示す平
面図、 第４図は第２図に示す装置の変形例を示す平面図、 第５図は第８図に示す装置の変形例を示す平面図１ 第６図は第８図に示す装置の他の変形例を示す平面図で
ある。 １・・・圧電基板　　　　　２・・・入力変換器８・・
・第１伝搬トラツク　４・・・出力変換器６・・・第２
伝搬トラツク　６・・・電気結合手段７．８・・・導電
条片　　　　９・・・他の導電条片１０・・・補助条片
導体　　　１０’・・・条片状部分２０・・・共通導電
体　　　　２１＝・条片状部分２１’・・・中央連結部
分。 特許出願人　　　エヌ・ベー・フィリップス・フルーイ
ランペンファプリケン

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｌ　表面に音響表面波を伝搬させる圧電基板と１音響表
   面波エネルギーを放出し前記表面に伝搬させ、またこの
   表面を通じて伝搬される音響表面波エネルギーを電気信
   号に変換する変換器と、第１伝搬トラツクに沿って伝搬
   される音響表面波エネルギーを受信し、このエネルギー
   の少なくとも一部をこの第１伝搬トラツクに沿って伝送
   するよう再放出し、かつ第２伝搬トラツクに沿う音響表
   面波エネルギーとしてもその一部を再放出する電気結合
   手段を具え、この′＠電気結合手段前記第１伝搬トラツ
   クを横切る電気導電条片の第１アレイと。 前記第２伝搬トラツクを横切る電気導電条片の第２７レ
   イとを有し、これら各アレイは個別の平行導電条片を有
   し、これら各導電条片は当該アレイの他の個別の導電条
   片より電気的に絶縁され、また他のアレイの対応する個
   別導電条片に対し各アレイの連続する個別導電条片が他
   のアレイの連続する個別導電条片にそれぞれ電気的に接
   続されるようにし、各アレイの各連続する個別導電条片
   の中心対中心間隔を交互に比較的に大さくまた比較的に
   小さくし、２つのアレイの個別導電条片間の電気接続は
   各アレイにおいて前述の如く比較的に大なる中心対中心
   間隔を有する６対の個別導電条片が他のアレイの比較的
   小なる中心対中心間隔を有する導電条片対に対し電気的
   に接続されるようにした音響表面波装置において、 各アレイには当該アレイの個別導電条片に平行な複数個
   の他の導電条片を設け、これら他の導電条片の少なくと
   も１つを前述の如く□比較的に大なる中心対中心間隔を
   有する順次の６対を形成する個別導電条片間に配置し、
   前記両アレイ内の前記他の導電条件を電気的に接続した
   ことを特徴とする音響表面波装置。 区　前記他の導電条片の少なくとも１つを比較的に大な
   る中心対中心間隔を有する個別導電条片対間に配置した
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の装置。 ＆　相互接続された前記他の導電条片を定電位点に接続
   したことを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２
   項記載の装置〇 森　前記比較的に大なる中心対中心間隔を互いに等しく
   シ、また前記比較的（こ小なる中心対中心間隔を互いＧ
   こ等しくしたことを特徴とする特許請求の範囲第１，２
   または３項記載の装置。 ＆　前記比較的に大なる中心対中心間隔は、各アレイに
   沿って周期性λ。を府し、ここＯこおいてλ　は装置の
   帯域中心周波数ｆ。の音響表面波の波長であることを特
   徴とする特許請求の範囲第１〜４項のいずれかに記載の
   装置。 ＆　各アレイにおいて前記個別導電条片と他の導電条片
   とをアレイに沿ってほぼ均一間隔で配置したことを特徴
   とする特許請求の範囲第１〜５項の何れかに記載の装置
   。 ｉ　前記他の導電条片の１つを比較的に大なる中心対中
   心間隔を有する６対の個別導電条片間に位置させたこと
   を特徴とする特許請求の範囲第６項記載の装置。 ＆　前記他の導電条片のうちの２つを比較的に大なる中
   心対中心間隔を有する６対の個別導電条片間に位置させ
   たことを特徴とする特許請求の範囲第６項記載の装置。 ９、　前記他の導電条片の電気的相互接続はそれぞれ当
   該アレイにおける音響表面波伝搬方向に平行Ｇこアレイ
   の外側縁部に沿って配置した条片状部分と、前記電気結
   合手段の端部を横切って配置し、各アレイの伝搬方向に
   沿って不所望の音響波信号が殆んど変換されないように
   配置した導電条片形のリンク電気導体部分とを有してな
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１〜８項の何れか
   に記載の装置。