JP2000068781A

JP2000068781A - 弾性表面波装置

Info

Publication number: JP2000068781A
Application number: JP10239021A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Ichikawa; 聡市川; Seiichi Mitobe; 整一水戸部
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1998-08-25
Filing date: 1998-08-25
Publication date: 2000-03-03

Abstract

(57)【要約】【課題】リップルやスプリアスの発生を抑えるととも
に小型化を図った弾性表面波装置を提供する。【解決手段】圧電性基板１の表面に弾性表面波素子２
を有し、入力インターデジタルトランスデューサ３と出
力インターデジタルトランスデューサ４との２段を有す
る。圧電性基板１の長手方向に沿うとともに弾性表面波
に対して非平行な表面に溝状の凹部５を有する。多段の
入力インターデジタルトランスデューサ３および出力イ
ンターデジタルトランスデューサ４の段間部の電気的に
接続する部分以外に凹部５を有することにより、弾性表
面波の漏れ成分や横モードなどの干渉を受けることがな
いため、良好な帯域外減衰量を確保できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、帯域外減衰特性を
向上した弾性表面波装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、弾性表面波装置は、弾性表面波
フィルタなどに用いられ、小型、軽量、高信頼性、優れ
た帯域外減衰特性などを有しているため、近年、映像機
器や移動通信分野で用いられている。

【０００３】特に、インターフェイス段で使用される弾
性表面波フィルタは、隣接するチャンネルが帯域の中心
周波数に近く、急峻で良好な減衰特性が求められる。こ
のように急峻で良好な減衰特性を実現するために、共振
型のフィルタを多段に接続したり、一方向性電極を使用
したトランスバーサル型のフィルタで実現している。ま
た、一方向性電極を使用したトランスバーサル型のフィ
ルタではチップ端面での弾性表面波の反射がリップルの
原因となるため、吸音材を塗布してリップルを抑制して
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、同一基
板上に多段に接続する方法では、各々の弾性表面波フィ
ルタからの弾性表面波の漏れ成分や、横モード成分の影
響などにより、スプリアスが発生するため、段間部に吸
音材を塗布しなければならない。

【０００５】また、このように吸音材を塗布する方法で
は、充分な減衰特性を確保するために吸音材の量も多く
する必要があり、吸音材のだれから各々の弾性表面波フ
ィルタを保護するために各々の弾性表面波フィルタの段
間距離を充分に離さなければならず、小型化を図りにく
い。

【０００６】さらに、吸音材の塗布に伴う大型化を回避
するために各々の弾性表面波フィルタを別々に形成し、
ワイヤボンディングで接続する方法や溝を形成した後に
金属薄膜を形成して弾性表面波フィルタに加工する方法
が考えられるが、工程が煩雑であるとともに、ボンディ
ングや、金属薄膜の段切れなどの信頼性に欠けるほか、
ワイヤや溝上に凹型となった段間部の寄生インダクタン
ス成分がフィルタ特性を劣化させてしまう。

【０００７】また、一方向性トランスバーサル型のフィ
ルタでは、弾性表面波の進行方向のチップ端面での弾性
表面波の反射がリップルの原因となり、従来は吸音材を
塗布していたが、吸音材の塗布にともないチップが大き
くなる問題を有している。

【０００８】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、リップルやスプリアスの発生を抑えるとともに小型
化を図った弾性表面波装置を提供することを目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、圧電性基板
と、この圧電性基板上に設けられた複数段の弾性表面波
素子と、この弾性表面波素子の段間に形成された凹部
と、前記弾性表面波素子の各段間を接続するために少な
くとも一部が前記凹部内に形成された接続部とを具備し
たものである。

【００１０】そして、多段の弾性表面波フィルタの段間
に接続される部分以外が凹部であるため、弾性表面波の
漏れ成分や横モードなどによる干渉を受けることがない
ため、帯域外減衰量を確保でき、リップルやスプリアス
が発生しない。

【００１１】また、凹部は、内面に弾性表面波に対して
非平行な面を有するものである。

【００１２】さらに、凹部は、λを弾性表面波の波長と
したとき、最深部が弾性表面波の波長λよりも浅いもの
である。

【００１３】またさらに、凹部は、λを弾性表面波の波
長、ｎを整数としたとき、最深部の底面距離が｛ｎ＋
（１／８）｝λであるもので、底面距離が｛ｎ＋（１／
８）｝λの関係であれば、音響インピーダンスの不連続
性により、位相は９０°回転し反射をキャンセルする。

【００１４】そしてまた、凹部は、吸音材が塗布された
もので、吸音材が凹部内に位置することにより、吸音材
が凹部からだれにくく、弾性表面波素子の段の間の距離
を短くできる。

【００１５】また、凹部は、フォトエッチングで形成さ
れたもので、凹部を簡単に形成可能である。

【００１６】さらに、圧電性基板は、四硼酸リチウムお
よび水晶のいずれかであるものである。

【００１７】また、本発明は、圧電性基板と、この圧電
性基板上に設けられた弾性表面波素子と、前記圧電性基
板上の弾性表面波の伝搬方向側に、λを弾性表面波の波
長、ｎを整数としたとき、前記圧電性基板の端面方向に
のみ反射を有する寸法で構成されたグレーティング状の
反射器とを具備したものである。

【００１８】そして、圧電性基板の端面方向にのみ反射
を有する寸法でグレーティング状の反射器を形成したの
でλに相当する周波数の成分をキャンセルでき、リップ
ルやスプリアスの発生を抑制する。

【００１９】また、本発明は、圧電性基板と、この圧電
性基板上に設けられた弾性表面波素子と、任意の形状の
反射体を複数個ランダムに配設した反射器とを具備した
ものである。

【００２０】そして、反射体で弾性表面波を乱反射させ
てエネルギを消費し、リップルやスプリアスの発生を抑
制する。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の弾性表面波装置の
第１の実施の形態を図１ないし図８を参照して説明す
る。

【００２２】図１ないし図８に示すように、四硼酸リチ
ウム（ＬＢＯ）の圧電性基板１の表面に、電気信号を弾
性表面波に変換し、この弾性表面波を再び電気信号に変
換するアルミニウム（Ａｌ）合金薄膜などの金属薄膜の
弾性表面波素子２が形成され、この弾性表面波素子２
は、弾性表面波フィルタである入力インターデジタルト
ランスデューサ（ＩＤＴ）３と出力インターデジタルト
ランスデューサ４との２段を有しており、これら入力イ
ンターデジタルトランスデューサ３と出力インターデジ
タルトランスデューサ４との間には、圧電性基板１の長
手方向に沿うとともに弾性表面波に対して非平行な表面
に溝錠の凹部５が形成されている。

【００２３】また、入力インターデジタルトランスデュ
ーサ３および出力インターデジタルトランスデューサ４
は、櫛歯状の電極指のそれぞれグランド電極６，７を有
し、これらグランド電極６，７には、それぞれ互いに交
差させて対向して同様に櫛歯状の電極指であるフィルタ
電極８，９が形成されている。

【００２４】さらに、凹部５には圧電性基板１と表面が
面一の橋部11が形成され、この橋部11上にフィルタ電極
８，９間を接続する接続部としての段間接続線12が設け
られている。この段間接続線12は、それぞれフィルタ電
極８，９から凹部５のほぼ中央まで突出する突出部13，
14を有し、これら突出部13，14の先端間は凹部５の中央
に凹部５の長手方向に沿った平行部15が形成され、段間
接続線12としてはほぼＺ字状に形成されている。

【００２５】また、非平行動作時の櫛歯状の電極指が互
いに対向したグランド電極16，17およびグランド電極1
8，19がそれぞれ入力インターデジタルトランスデュー
サ３および出力インターデジタルトランスデューサ４に
隣り合って設けられている。

【００２６】そして、多段の入力インターデジタルトラ
ンスデューサ３および出力インターデジタルトランスデ
ューサ４の段間部の電気的に接続される部分以外に凹部
５を有することにより、多段の入力インターデジタルト
ランスデューサ３および出力インターデジタルトランス
デューサ４からの弾性表面波の漏れ成分や横モードなど
の干渉を受けることがないため、良好な帯域外減衰量を
確保できる。

【００２７】また、多段の入力インターデジタルトラン
スデューサ３および出力インターデジタルトランスデュ
ーサ４の段間部の電気的に接続される段間接続線12は、
圧電性基板１の表面と表面が面一の橋部11上に形成され
ているため、弾性表面波素子２が形成される圧電性基板
１の表面と同一平面上にあるため、段間接続線12の金属
薄膜の段切れや寄生インダクタンス成分が発生せず、小
型で高信頼性となる。

【００２８】次に、第２の実施の形態を図９ないし図１
６を参照して説明する。

【００２９】この第２の実施の形態は、第１の実施の形
態において、凹部５内に圧電性基板１よりやや膨出して
吸音材21を塗布したものである。

【００３０】このように、凹部５内に吸音材21を塗布す
ることにより、凹部５がダムになり、吸音材21がだれる
ことがなくなり、入力インターデジタルトランスデュー
サ３および出力インターデジタルトランスデューサ４の
距離を短くして小型化できるとともに、吸音材21の量を
少なくできる。

【００３１】また、第３の実施の形態を図１７を参照し
て説明する。

【００３２】この第３の実施の形態は、第１の実施の形
態において、凹部５を圧電性基板１の長手方向に平行に
せずに、やや角度を持って形成させるとともに、凹部５
に対して平行部15も角度を持たせ、弾性表面波素子２に
対して平行に対向する部分をなくし、反射波を散乱ある
いは弾性表面波素子２に完全に戻らないようにし、反射
波が弾性表面波素子２に悪影響を及ぼさないように形成
したものである。

【００３３】このように凹部５を圧電性基板１の弾性表
面波素子２，２間に対して斜めに形成することにより、
反射波が弾性表面波素子２に戻りにくくなり、また、橋
部11は細ければ細いほど、弾性表面波の漏れ成分や横モ
ードなどの干渉を受ける影響をより小さくでき、さら
に、橋部11は凹部５と平行でない方が凹部５内での反射
を減少できる。

【００３４】さらに、第４の実施の形態を図１８を参照
して説明する。

【００３５】この第４の実施の形態は、第１の実施の形
態において、溝状の凹部５に代えて平面菱形状の凹部22
を形成したもので、この凹部22はいずれの角の角度も９
０°以外の角度で入力インターデジタルトランスデュー
サ３および出力インターデジタルトランスデューサ４に
対向する部分の角度を鈍角にし、これら鈍角に隣り合う
部分を鋭角にし、弾性表面波素子２に対して平行に対向
する部分をなくし、反射波が弾性表面波素子２に悪影響
を及ぼさないように形成したものである。

【００３６】さらに、第５の実施の形態を図１９を参照
して説明する。

【００３７】この第５の実施の形態は、第１の実施の形
態において、溝状の凹部５に代えて平面長円形状の凹部
23を形成したもので、弾性表面波素子２に対して平行に
対向する部分をなくし、反射波が弾性表面波素子２に悪
影響を及ぼさないように形成したものである。

【００３８】さらに、第６の実施の形態を図２０を参照
して説明する。

【００３９】この第６の実施の形態は、第１ないし第３
の実施の形態において、凹部５の形状を上方に向けて拡
開するテーパ状に形成したもので、凹部５の断面形状が
弾性表面波素子２に対して垂直面を持たないようにし、
反射波が弾性表面波素子２に悪影響を及ぼさないように
形成したものである。

【００４０】またさらに、第７の実施の形態を図２１を
参照して説明する。

【００４１】この第７の実施の形態は、第１ないし第３
の実施の形態において、凹部５の形状を半円柱状に形成
したもので、凹部５の断面形状を円弧状として弾性表面
波素子２に対して垂直面を持たないようにし、反射波が
弾性表面波素子２に悪影響を及ぼさないように形成した
ものである。

【００４２】またさらに、第８の実施の形態を図２２を
参照して説明する。

【００４３】この第８の実施の形態は、第１ないし第３
の実施の形態において、λを弾性表面波の波長、ｎを整
数としたとき、凹部５の最深部が表面から波長λより浅
く、最深部である底面の距離となる幅を｛ｎ＋（１／
８）｝λとしたものである。すなわち、凹部５の深さが
波長λより深い場合は、他の弾性表面波素子２から漏洩
された弾性表面波の漏れ成分は凹部５により完全に遮断
することができるが、波長λより浅い場合は、弾性表面
波の漏洩波の一部は他の弾性表面波素子２に伝搬してし
まうため、凹部５の深さが波長λより浅い場合には、底
面の距離を｛ｎ＋（１／８）｝λとすることにより、音
響インピーダンスの不連続性により、底面の両側の反射
面での位相は９０°回転する効果により、反射をキャン
セルでき、反射波の影響を低減する。なお、弾性表面波
は圧電性基板１の波長λより浅い部分に９０％以上が含
まれている。

【００４４】そしてまた、第９の実施の形態を図２３を
参照して説明する。

【００４５】この第９の実施の形態は、第１ないし第３
の実施の形態において、λを弾性表面波の波長、ｎを整
数としたとき、凹部５の最深部が表面から波長λより浅
く、凹部５の側部から最深部である底面までの距離を
｛ｎ＋（１／４）｝λとしたものである。すなわち、凹
部５の深さが波長λより深い場合は、他の弾性表面波素
子２から漏洩された弾性表面波の漏れ成分は凹部５によ
り完全に遮断することができるが、波長λより浅い場合
は、弾性表面波の漏洩波の一部は他の弾性表面波素子２
に伝搬してしまうため、凹部５の深さが波長λより浅い
場合には、凹部５内での反射面となる側面の部分の距離
が｛ｎ＋（１／４）｝λとすることにより、凹部５の底
面を伝搬する不要波は凹部５のそれぞれの側面で反射さ
れ、凹部５の一方の側面で反射された不要波に対し、他
方の側面で反射された不要波の位相差で凹部５の反射波
をキャンセルでき、反射波の影響を低減する。

【００４６】また、第１０の実施の形態を図２４を参照
して説明する。

【００４７】この第１０の実施の形態は、第９の実施の
形態において、凹部24の側面を傾斜状とせずに幅｛ｎ＋
（１／４）｝λの段部25の段状としたもので、この場合
にも第９の実施の形態と同様の作用、効果を奏する。

【００４８】さらに、第１１の実施の形態を図２５を参
照して説明する。

【００４９】この第１１の実施の形態は、第１０の実施
の形態において、凹部26の表面から波長λ以下の部分で
凹部26の側面の幅をそれぞれ｛ｎ＋（１／４）｝λの複
数の段部27で階段状としたもので、この場合にも第１０
の実施の形態と同様の作用、効果を奏する。

【００５０】また、第１２の実施の形態の７１ＭＨｚの
ＧＳＭ用のＩＦフィルタを図２６ないし図３１に示す量
産工程の製造工程に従って説明する。

【００５１】まず、図２６に示すように、四硼酸リチウ
ムの圧電性基板１に、酸化シリコン（ＳｉＯ₂）の絶縁
膜を形成し、この絶縁膜31上に弾性表面波素子２の入力
インターデジタルトランスデューサ３および出力インタ
ーデジタルトランスデューサ４の２段を有するアルミニ
ウム薄膜の弾性表面波素子２を形成する。

【００５２】次に、図２７に示すように、フォトレジス
ト32を全面に塗布して形成する。

【００５３】また、図２８に示すように、フォトレジス
ト32をフォトリソグラフィ工程でパターン形成し、弾性
表面波素子２および図示しないワイヤボンディングなど
のボンディング部を保護する。

【００５４】さらに、図２９に示すように、ふっ素イオ
ン（Ｆ^-）を主成分とするプラズマ雰囲気で絶縁膜31を
除去する。

【００５５】そして、図３０に示すように、ＰＨ７以下
の酸の水溶液にて圧電性基板１をエッチングして凹部５
を形成する。

【００５６】その後、図３１に示すように、フォトレジ
スト32を除去する。

【００５７】そして、この図３１に示す弾性表面波装置
ａと、この図３１に示す弾性表面波装置の段間に何も施
さなかったものｂとの実験結果の波形図を図３２を参照
して説明する。ただし、製造工程については予備実験と
して弾性表面波素子２の段間の圧電性基板１をレーザ光
線にて絶縁膜31を除去した後、硝酸を塗布して圧電性基
板１上に凹部５を形成させたときの波形変化の様子を示
している。そして、図３１に示すように凹部５を有する
もでは、凹部５を有しないものに比べ、帯域外減衰量、
特に７１ＭＨｚの中心周波数よりも高周波数領域の減衰
量の改善に大きな効果がある。

【００５８】また、図２６ないし図３１に示す工程の弾
性表面波装置で、幅１５０μｍ、深さ約０．３μｍの凹
部５を形成したものａも図３２に示す場合と同様に、高
周波領域の減衰量に大きな改善があり、さらに、凹部５
内に吸音材を塗布したものｂでは、さらに減衰量が改善
される。

【００５９】そして、凹部５を形成せずに吸音材を塗布
した場合には、吸音材を厚さ３０μｍで幅約１５０μｍ
で幅約１５０μｍのものａ、幅約３００μｍのものｂ、
幅約６００μｍのものｃを示しているが、いずれの場合
にも凹部５を有するものに比べて減衰量が改善されてい
ない。

【００６０】上述のように、吸音材を使用しなくても凹
部を形成することにより、帯域外減衰量を改善できる。
また、凹部の深さは深ければ深い程、形状は直線でなく
ランダムな形状である方が効果が大きく、補助的に吸音
材を用いてもよい。

【００６１】また、圧電性基板１は、四硼酸リチウムに
限らず、水晶基板でもよい。このように、水晶基板で形
成すれば、ふっ素イオンを主成分とするプラズマ雰囲気
で容易に圧電性基板１をエッチングでき、これら四硼酸
リチウムあるいは水晶であれば容易にエッチングでき
る。

【００６２】また、第１３の実施の形態を図３５を参照
して説明する。

【００６３】この第１３の実施の形態は、四硼酸リチウ
ムの圧電性基板１の表面に、電気信号を弾性表面波に変
換し、この弾性表面波を再び電気信号に変換するアルミ
ニウム合金薄膜などの金属薄膜の弾性表面波素子２が並
列に２つ形成され、これら弾性表面波素子２は、弾性表
面波フィルタである櫛歯状の電極指の入力インターデジ
タルトランスデューサ３とこの入力インターデジタルト
ランスデューサ３とそれぞれ互いに交差させて対向して
同様に櫛歯状の出力インターデジタルトランスデューサ
４とを有している。

【００６４】また、これら弾性波表面素子２の両側に
は、たとえばグレーティング状の反射器41がそれぞれ形
成されている。これらグレーティング状の反射器41は、
図３６に示すように、弾性表面波の波長λの１／８−１
／８−３／８の寸法で並んだ矩形状の金属薄膜の反射体
42が波長λ／４のピッチで複数個弾性表面波に対して非
直角かつ非平行に配置され、圧電性基板１の端面方向に
のみ反射する。なお、弾性波表面素子２には、図示しな
い外囲器とワイヤボンディングするためのそれぞれボン
ディングパッド43が一体に形成されている。

【００６５】また、波長λ以外の波長の弾性表面波につ
いては、進入してくる弾性表面波に対してグレーティン
グ状の反射器41の反射体42が非直角に配置されているの
で、弾性表面波素子２には戻らず、他の方向に進みスプ
リアス成分とはならない。

【００６６】さらに、第１４の実施の形態を図３６を参
照して説明する。

【００６７】この第１４の実施の形態は、第１３の実施
の形態において、グレーティング状の反射器41は、金属
薄膜で形成され弾性表面波素子２に反射方向が向いてい
ない任意の形状の反射体44を複数個ランダムに配置した
ものである。

【００６８】そして、弾性表面波素子２から漏洩した弾
性表面波は、反射体44で乱反射することによりエネルギ
を消費して、弾性表面波素子２には戻らない。

【００６９】なお、いずれのグレーティング状の反射器
41にも、吸音材を塗布してもよく、よりリップルおよび
スプリアスの発生を抑制できる。なお、吸音材の塗布に
は、たとえばスクリーン印刷を用いることができる。ま
た、反射体42および反射体44がダムのような役割をする
ため、吸音材のだれを防止し、吸音材の使用量も低減で
きる。

【００７０】

【発明の効果】本発明によれば、装置を大型化すること
なく、帯域外減衰量を確保でき、リップルやスプリアス
を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の弾性表面波装置の第１の実施の形態を
示す斜視図である。

【図２】同上弾性表面波装置の図１に示すII−II端面図
である。

【図３】同上弾性表面波装置の図１に示すIII −III 端
面図である。

【図４】同上弾性表面波装置の図１に示すIV−IV端面図
である。

【図５】同上弾性表面波装置の図１に示すＶ−Ｖ端面図
である。

【図６】同上弾性表面波装置の図１に示すVI−VI端面図
である。

【図７】同上弾性表面波装置の図１に示すVII −VII 端
面図である。

【図８】同上弾性表面波装置の図１に示すVIII−VIII端
面図である。

【図９】同上弾性表面波装置の第２の実施の形態を示す
斜視図である。

【図１０】同上弾性表面波装置の図９に示すＸ−Ｘ端面
図である。

【図１１】同上弾性表面波装置の図９に示すXI−XI端面
図である。

【図１２】同上弾性表面波装置の図９に示すXII −XII
端面図である。

【図１３】同上弾性表面波装置の図９に示すXIII−XIII
端面図である。

【図１４】同上弾性表面波装置の図９に示すXIV −XIV
端面図である。

【図１５】同上弾性表面波装置の図９に示すXV−XV端面
図である。

【図１６】同上弾性表面波装置の図９に示すXVI −XVI
端面図である。

【図１７】同上弾性表面波装置の第３の実施の形態を示
す斜視図である。

【図１８】同上弾性表面波装置の第４の実施の形態を示
す斜視図である。

【図１９】同上弾性表面波装置の第５の実施の形態を示
す斜視図である。

【図２０】同上弾性表面波装置の第６の実施の形態を示
す断面図である。

【図２１】同上弾性表面波装置の第７の実施の形態を示
す断面図である。

【図２２】同上弾性表面波装置の第８の実施の形態を示
す断面図である。

【図２３】同上弾性表面波装置の第９の実施の形態を示
す断面図である。

【図２４】同上弾性表面波装置の第１０の実施の形態を
示す断面図である。

【図２５】同上弾性表面波装置の第１１の実施の形態を
示す断面図である。

【図２６】同上弾性表面波装置の第１２の実施の形態の
一製造工程を示す断面図である。

【図２７】同上図２６の次の製造工程を示す断面図であ
る。

【図２８】同上図２７の次の製造工程を示す断面図であ
る。

【図２９】同上図２８の次の製造工程を示す断面図であ
る。

【図３０】同上図２９の次の製造工程を示す断面図であ
る。

【図３１】同上図３０の次の製造工程を示す断面図であ
る。

【図３２】同上周波数と出力信号との関係を示すグラフ
である。

【図３３】同上周波数と出力信号との関係を示すグラフ
である。

【図３４】同上周波数と出力信号との関係を示すグラフ
である。

【図３５】同上弾性表面波装置の第１３の実施の形態を
示す斜視図である。

【図３６】同上弾性表面波装置の第１４の実施の形態を
示す斜視図である。

【符号の説明】

１圧電性基板２弾性表面波素子５凹部 12 接続部としての段間接続線 21 吸音材 41 反射器 42，44 反射体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電性基板と、この圧電性基板上に設けられた複数段の弾性表面波素子
と、この弾性表面波素子の段間に形成された凹部と、前記弾性表面波素子の各段間を接続するために少なくと
も一部が前記凹部内に形成された接続部とを具備したこ
とを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項２】凹部は、内面に弾性表面波に対して非平
行な面を有することを特徴とする請求項１記載の弾性表
面波装置。
【請求項３】凹部は、λを弾性表面波の波長としたと
き、最深部が弾性表面波の波長λよりも浅いことを特徴
とする請求項１または２記載の弾性表面波装置。
【請求項４】凹部は、λを弾性表面波の波長、ｎを整
数としたとき、最深部の底面距離が｛ｎ＋（１／８）｝
λであることを特徴とする請求項１ないし３いずれか記
載の弾性表面波装置。
【請求項５】凹部は、吸音材が塗布されたことを特徴
とする請求項１ないし４いずれか記載の弾性表面波装
置。
【請求項６】凹部は、フォトエッチングで形成された
ことを特徴とする請求項１ないし５いずれか記載の弾性
表面波装置。
【請求項７】圧電性基板は、四硼酸リチウムおよび水
晶のいずれかであることを特徴とする請求項１ないし６
いずれか記載の弾性表面波装置。
【請求項８】圧電性基板と、この圧電性基板上に設けられた弾性表面波素子と、前記圧電性基板上の弾性表面波の伝搬方向側に、λを弾
性表面波の波長、ｎを整数としたとき、前記圧電性基板
の端面方向にのみ反射を有する寸法で構成されたグレー
ティング状の反射器とを具備したことを特徴とする弾性
表面波装置。
【請求項９】圧電性基板と、この圧電性基板上に設けられた弾性表面波素子と、任意の形状の反射体を複数個ランダムに配設した反射器
とを具備したことを特徴とする弾性表面波装置。