JP2001308675A - 表面波フィルタ及び共用器、通信機装置 - Google Patents

表面波フィルタ及び共用器、通信機装置

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JP2001308675A
JP2001308675A JP2000125892A JP2000125892A JP2001308675A JP 2001308675 A JP2001308675 A JP 2001308675A JP 2000125892 A JP2000125892 A JP 2000125892A JP 2000125892 A JP2000125892 A JP 2000125892A JP 2001308675 A JP2001308675 A JP 2001308675A
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idt
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reflection end
face
surface wave
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JP2000125892A
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Michio Kadota
道雄 門田
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 群遅延時間特性の偏差を低減し、小型化が容
易な表面波装置を提供する。 【解決手段】 圧電基板2表面に、第1のIDT3と第
1のIDT3に対して表面波伝搬方向に垂直な方向に配
置された第2のIDT4を形成し、第1のIDT3から
励振される表面波が反射端面3a,3bへの入射方向か
ら約90°反射方向を変化させて表面波が伝播されるよ
うな角度に圧電基板2の平面視上傾斜した反射端面3
a,3bを形成し、反射端面3a,3bにより約90°
方向を変化させて反射された表面波が反射端面4a,4
bへの入射方向から約90°反射方向を変化させて第2
のIDT4に受波されるような角度に圧電基板2の平面
視上傾斜した反射端面4a,4bを形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、反射端面を用いて
表面波の伝搬方向を変化させた表面波フィルタに関し、
特に反射効率が良くチップサイズの小さい表面波フィル
タに関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、移動体通信機器のIFフィル
タとして表面波フィルタが用いられている。このような
表面波フィルタには縦結合や横結合などの二重モード表
面波フィルタが良く知られているが、このような表面波
フィルタの場合、フィルタの通過帯域幅は表面波フィル
タを構成する圧電基板の材料の電気機械結合係数に大き
く影響されているため、IDTや反射器等の電極の配置
や構成ではフィルタの通過帯域幅を大きく変えることが
できなかった。
【0003】そこで、近年、圧電基板の材料の電気機械
結合係数だけでなく、IDTや反射器等の電極の配置や
構成でフィルタの通過帯域幅を変化させうるリングパス
フィルタやZパスフィルタ等の表面波フィルタが注目さ
れている。
【0004】図5はリングパスフィルタ101を示す平
面図である。
【0005】図5に示すように、圧電基板102上に、
第1及び第2のIDT103,104、第1の反射器1
03a,103b、第2の反射器104a,104bが
形成されている。
【0006】第1のIDT103の一方の櫛歯電極は入
力端子106に接続され、他方の櫛歯電極は接地されて
いる。第2のIDT104の一方の櫛歯電極は出力端子
107に接続され、他方の櫛歯電極は接地されている。
【0007】第1の反射器103a,103bは第1の
IDT103を挟むように表面波伝搬方向に一直線とな
るように配置されている。また、反射器103a,10
3bは第1のIDTが励振した表面波をその入力方向に
対して垂直な方向に反射するように傾斜した形状に形成
されている。
【0008】第2の反射器104a,104bは第1の
IDT104を挟むように表面波伝搬方向に一直線とな
るように配置されている。また、反射器104a,10
4bは第1の反射器が反射した表面波をその入力方向に
対して垂直な方向、すなわち第2のIDT104に表面
波を反射するように傾斜した形状に形成されている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】このような形状の従来
のリングパスフィルタ、あるいは従来のZパスフィルタ
では、伝搬させる表面波としてレイリー波が用いられて
いた。
【0010】しかしながら、レイリー波では、反射器を
構成する電極指の本数を多数本必要とするが、この反射
器の反射係数は、基板の材料・カット角・伝搬方向・電
極材料・電極厚み・電極指の波長・電極指の幅等のそれ
ぞれの要素で大きく変動するため、リングパスフィルタ
やZパスフィルタ等の表面波フィルタでは最適の設計が
非常に困難であり、時間のかかる作業であった。
【0011】しかも、レイリー波で、このような構造の
反射器を用いた場合、反射効率が悪いため、エネルギー
効率の悪い表面波デバイスしか作製できないという問題
があった。
【0012】また、従来の構成のフィルタの場合、反射
器は所定の周波数特性を有するため、この周波数特性を
IDTの周波数特性に合せようとすると、反射器の本数
が一定以上必要であり、例えば、100〜300MHz
であれば少なくとも80本の本数が必要であった。その
ため、従来の構成のフィルタでは反射器の本数が多くな
り、それにともなって反射器自体の長さが長くなると、
反射器を構成する各電極指で反射する表面波に時間的遅
延があるため、群遅延時間特性の偏差が大きくなるとい
う問題を有していた。
【0013】すなわち、図6に示すように、フィルタの
周波数特性(C)の通過帯域における群遅延時間特性
(D)は両端が上がるような傾向を示しており、中心周
波数±3MHzでの偏差は約100nS程度生じてい
た。
【0014】さらに、このような群遅延時間特性の偏差
が大きければ大きいほど信号の位相が変化するため、入
力した信号に対して適正な応答が得られないという問題
を有していた。したがって、このような表面波フィルタ
を用いた通信機装置、例えば、特にデジタル方式の携帯
電話等の通信機装置では、電波を受信したにもかかわら
ず通話中、音声が途切れたり、音声が出力されないとい
う恐れがあった。
【0015】そして、反射器自体の長さが長くなるた
め、全体として表面波フィルタ全体の大きさが大きくな
るという問題を有しており、表面波フィルタの小型化を
図る場合の障害となっていた。
【0016】本発明は、以上の問題点に鑑みて、群遅延
時間特性の偏差を低減し、小型化が容易な表面波フィル
タを提供することを目的としている。
【0017】
【課題を解決するための手段】そこで、請求項1に係る
表面波フィルタは、圧電基板と、前記圧電基板表面に形
成される第1のIDTと前記第1のIDTと、表面波伝
搬方向に一直線とならない位置に配置され前記圧電基板
表面に形成される第2のIDTと、前記第1のIDTと
表面波伝搬方向に一直線となる位置に配置され前記第1
のIDTから励振されたSH型の表面波が入力され、そ
の入力方向に対して角度をつけて反射するように前記圧
電基板に形成される第1の反射端面と、前記第2のID
Tと表面波伝搬方向に一直線となる位置に配置され前記
第1の反射手段から反射されたSH型の表面波が入力さ
れ、その入力方向に対して角度をつけて前記第2のID
T方向に反射するように前記圧電基板に形成される第2
の反射端面とを有している。
【0018】請求項2に係る表面波フィルタは、前期圧
電基板を伝搬する表面波の波長をλとした時、前記圧電
基板の第1の反射端面中心部−第2の反射端面中心部間
の長さをλ/2×n(nは整数)±λ/8としている。
【0019】請求項3に係る表面波フィルタは、前期圧
電基板を伝搬する表面波の波長をλとした時、前記第1
のIDTの最も外側の電極指中心−第1の反射端面中心
部間または前記第2のIDTの最も外側の電極指中心−
第2の反射端面中心部間の長さをλ/2×m(mは整
数)±λ/8としている。
【0020】請求項4に係る共用器は、上記表面波フィ
ルタを用いている。
【0021】請求項5に係る通信機装置は、上記表面波
フィルタまたは共用器を用いている。
【0022】以上のような構成により、反射器の設計に
多くのパラメータを必要としないため設計に時間を要す
ることがなく、群遅延時間特性の偏差が小さく挿入損失
の良好な表面波フィルタ及び良好な送受信特性を有する
通信機装置を得ることができる。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
用いて説明する。図1は本発明の第1の実施形態を示す
表面波フィルタの平面図である。表面波フィルタ1は、
例えば、横方向に分極された圧電セラミック等の圧電基
板2上に、アルミニウム等の電極材料により、第1及び
第2のIDT3,4が形成されて構成されている。
【0024】第1のIDT3と第2のIDT4は表面波
伝搬方向に垂直な方向に並べられており、第1のIDT
3の一方の櫛歯電極は入力端子5に接続され、他方の櫛
歯電極は接地されている。第2のIDT4の一方の櫛歯
電極は出力端子6に接続され、他方の櫛歯電極は接地さ
れている。
【0025】第1のIDT3の両側は、圧電基板2の平
面視上傾斜した反射端面3a,3bとなっており、第1
のIDT3から励振される表面波が反射端面3a,3b
への入射方向から約90°反射方向を変化させて表面波
が伝搬されるような角度に形成されている。また、第2
のIDT4の両側は、圧電基板2の平面視上傾斜した反
射端面4a,4bとなっており、第1のIDT3から励
振され反射端面3a,3bにより約90°方向を変化さ
せて反射された表面波が反射端面4a,4bへの入射方
向から約90°反射方向を変化させて第2のIDT4に
受波されるような角度に形成されている。
【0026】また、圧電基板2の第1の反射端面3a,
3b中心部−第2の反射端面4a,4b中心部間の長さ
をλ/2×n(nは整数)±λ/8に設定している。な
お、λは圧電基板2を伝搬する表面波の波長を表してい
る。また、反射端面の中心部とは、図1のように圧電基
板2を平面視した場合、線で表される反射端面の中心部
分を表している。このように圧電基板2の第1の反射端
面3a,3b中心部−第2の反射端面4a,4b中心部
間の長さを規定することにより、伝搬する表面波の位相
を合わせ、不要スプリアスを低減している。
【0027】さらに、第1のIDT3の最も外側の電極
指中心−第1の反射端面3a,3b中心部間および第2
のIDT4の最も外側の電極指中心−第2の反射端面4
a,4b中心部間の長さがλ/2×m(mは整数)±λ
/8に設定している。なお、λは圧電基板2を伝搬する
表面波の波長を表している。また、IDTの最も外側の
電極指とは、IDTを構成する電極指のうち反射端面に
最も近い電極指を示している。さらに、反射端面の中心
部とは、図1のように圧電基板2を平面視した場合、線
で表される反射端面の中心部分を表している。
【0028】このように圧電基板2の第1の反射端面3
a,3b中心部−第2の反射端面4a,4b中心部間の
長さを規定することにより、伝搬する表面波の位相を合
わせ、不要スプリアスを低減している。
【0029】このような表面波フィルタ1では、図1の
矢印に示すように表面波が伝搬する。すなわち、入力端
子5から信号が入力され、第1のIDT3が励振して第
1のIDT3の両側に伝搬し、反射端面3a,3bで約
90°方向を変化して反射されている。さらに、反射端
面3a,3bで反射された表面波が、反射端面4a,4
bで約90°方向を変化して反射され、第2のIDT4
で受波されて出力端子6から出力される。
【0030】次に、上記のような表面波フィルタ1の周
波数特性について説明する。図2は、図1に示した表面
波フィルタ1を図5に示した従来の反射器付の表面波フ
ィルタ101を測定した図6とを同じ条件で測定した周
波数特性図である。
【0031】図2に示すように、図6に示した反射器付
の表面波フィルタ101の周波数特性Cの通過帯域にお
ける群遅延特性Dに比べて、本発明の表面波フィルタ1
の周波数特性Aの通過帯域における群遅延時間特性Bは
平坦になっており、中心周波数±3MHzでの偏差は約
60nSと従来の約60%程度に小さくなっている。ま
た、反射端面は、電極指により構成された反射器に比べ
て反射効率が良く、反射部分で生じる損失が押さえられ
る上にSH波の伝搬距離が短いことによる伝搬損失が少
ないため、周波数特性Aの通過帯域において挿入損失が
2.5dB程度改善されている。
【0032】なお、このような群遅延時間特性の平坦さ
の差異は以下の理由による。図5の入力電極103から
励振された表面波のうち、反射器103bへ伝搬する波
について考察する。この表面波のうち反射器103bの
左端の電極指を反射し出力側IDT104に達する表面
波の伝搬時間と反射器103bの右端の電極指を反射し
出力側IDT104に達する表面波の伝搬時間との時間
差が大きくなるのに対して、図1の構造では反射時にお
ける時間差が無い。その結果として、通過帯域における
群遅延時間が平坦になる。
【0033】次に、本発明の第2の実施形態について図
を用いて説明する。図3は第2の実施形態に係る表面波
フィルタ11を示す平面図である。図2は本発明の第2
の実施形態を示す表面波フィルタの平面図である。
【0034】表面波フィルタ11は、例えば、横方向に
分極された圧電セラミック等の圧電基板12上に、アル
ミニウム等の電極材料により、第1及び第2のIDT1
3,14が形成されて構成されている。
【0035】第1のIDT13と第2のIDT14は表
面波伝搬方向に垂直な方向に並べられており、第1のI
DT13の一方の櫛歯電極は入力端子15に接続され、
他方の櫛歯電極は接地されている。第2のIDT14の
一方の櫛歯電極は出力端子16に接続され、他方の櫛歯
電極は接地されている。
【0036】第1のIDT13の一方側は第1のIDT
13と平行な反射端面13aとなっており、第1のID
T13から励振される表面波が第1のIDT13にその
まま反射されるように構成されている。また、第1のI
DT13の他方側は圧電基板12の平面視上傾斜した反
射端面13bとなっており、第1のIDT13から励振
される表面波が反射端面13bへの入射方向から約90
°反射方向を変化させて表面波が伝搬されるような角度
に形成されている。
【0037】第2のIDT14の一方側は第2のIDT
14と平行な反射端面14aとなっており、第2のID
T14に表面波がそのまま反射されるように構成されて
いる。また、第2のIDT14の他方側は圧電基板12
の平面視上傾斜した反射端面14bとなっており、反射
端面13bから反射される表面波の反射端面14bへの
入射方向から約90°反射方向を変化させて表面波が伝
搬されるような角度に形成されている。
【0038】また、圧電基板12の第1の反射端面13
b中心部−第2の反射端面14b中心部間の長さをλ/
2×n(nは整数)±λ/8に設定している。なお、λ
は圧電基板12を伝搬する表面波の波長を表している。
また、反射端面の中心部とは、図3のように圧電基板1
2を平面視した場合、線で表される反射端面の中心部分
を表している。このように圧電基板12の第1の反射端
面13b中心部−第2の反射端面14b中心部間の長さ
を規定することにより、伝搬する表面波の位相を合わ
せ、不要スプリアスを低減しているさらに、第1のID
T13の最も外側の電極指中心−第1の反射端面13a
中心部間および第2のIDT14の最も外側の電極指中
心−第2の反射端面14a中心部間の長さがλ/2×m
(mは整数)±λ/8に設定している。なお、λは圧電
基板12を伝搬する表面波の波長を表している。また、
IDTの最も外側の電極指とは、IDTを構成する電極
指のうち反射端面に最も近い電極指を示している。さら
に、反射端面の中心部とは、図3のように圧電基板2を
平面視した場合、線で表される反射端面の中心部分を表
している。
【0039】このような表面波フィルタ11では、図3
の矢印に示すように表面波が伝搬する。すなわち、入力
端子15から信号が入力され、第1のIDT13が励振
して第1のIDT13の他方側に伝搬し、反射端面13
bで約90°方向を変化して反射されている。さらに、
反射端面13bで反射された表面波が、反射端面14b
で約90°方向を変化して反射され、第2のIDT14
で受波されて出力端子16から出力される。
【0040】なお、本実施例では、反射端面13b,1
4bは、それぞれ第1,第2のIDT13,14にその
まま表面波を反射するような位置に配置されている。損
失等の点から考慮するとこの位置がもっとも好ましいが
これに限るものではない。
【0041】次に、本発明の第3の実施形態について図
を用いて説明する。図4は第2の実施形態に係る表面波
フィルタ21を示す平面図である。
【0042】表面波フィルタ21は、例えば、横方向に
分極された圧電セラミック等の圧電基板22上に、アル
ミニウム等の電極材料により、第1及び第2のIDT2
3,24が形成されて構成されている。
【0043】第1のIDT23の一方の櫛歯電極は入力
端子25に接続され、他方の櫛歯電極は接地されてい
る。第2のIDT24の一方の櫛歯電極は出力端子26
に接続され、他方の櫛歯電極は接地されている。
【0044】第1のIDT23の一方側は第1のIDT
23と平行な反射端面23aとなっており、第1のID
T23から励振される表面波が第1のIDT23にその
まま反射されるように構成されている。また、第1のI
DT23の他方側は圧電基板22の平面視上傾斜した反
射端面23bとなっており、図4の例では、第1のID
T23から励振される表面波が反射端面23bへの入射
方向から約30°反射方向を変化させて表面波が伝搬さ
れるような角度に形成されている。なお、この反射端面
の傾き角度は基板寸法やIDTと反射端面との距離によ
り異なるため、30°に限られるものではない。
【0045】第2のIDT24の一方側は圧電基板22
の平面視上傾斜した反射端面24aとなっており、反射
端面23bから反射される表面波の反射端面24aへの
入射方向から約30°反射方向を変化させて表面波が伝
搬されるような角度に形成されている。第2のIDT2
4の他方側は第2のIDT24と平行な反射端面24b
となっており、第2のIDT24に表面波がそのまま反
射されるように構成されている。
【0046】また、圧電基板22の第1の反射端面23
b中心部−第2の反射端面24a中心部間の長さをλ/
2×n(nは整数)±λ/8に設定している。なお、λ
は圧電基板22を伝搬する表面波の波長を表している。
また、反射端面の中心部とは、図4のように圧電基板2
2を平面視した場合、線で表される反射端面の中心部分
を表している。このように圧電基板22の第1の反射端
面23b中心部−第2の反射端面24a中心部間の長さ
を規定することにより、伝搬する表面波の位相を合わ
せ、不要スプリアスを低減している。
【0047】さらに、第1のIDT23の最も外側の電
極指中心−第1の反射端面23a中心部間および第2の
IDT24の最も外側の電極指中心−第2の反射端面2
4b中心部間の長さがλ/2×m(mは整数)±λ/8
に設定している。なお、λは圧電基板22を伝搬する表
面波の波長を表している。また、IDTの最も外側の電
極指とは、IDTを構成する電極指のうち反射端面に最
も近い電極指を示している。さらに、反射端面の中心部
とは、図1のように圧電基板2を平面視した場合、線で
表される反射端面の中心部分を表している。
【0048】このような表面波フィルタ21では、図4
の矢印に示すように表面波が伝搬する。すなわち、入力
端子25から信号が入力され、第1のIDT23が励振
して第1のIDT23の他方側に伝搬し、反射端面23
bで約30°方向を変化して反射されている。さらに、
反射端面23bで反射された表面波が、反射端面24a
で約30°方向を変化して反射され、第2のIDT24
で受波されて出力端子26から出力される。
【0049】なお、本実施例では、反射端面23a,2
4bは、それぞれ第1,第2のIDT23,24にその
まま表面波を反射するような位置に配置されている。損
失等の点から考慮するとこの位置がもっとも好ましいが
これに限るものではない。
【0050】なお、上記第1〜第3の実施形態では圧電
セラミックを圧電基板として用いたがこれに限るもので
はなく、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム、四硼
酸リチウム、ランガサイト、水晶等の圧電基板を用いる
ことができ、また、ガラスやサファイヤ等の基板上に酸
化亜鉛や窒化アルミニウム、五酸化タンタルなどの圧電
膜を形成したものでも良い。
【0051】また、上記第1〜第3の実施形態では第1
〜第2のIDTをアルミニウムで形成したがこれに限る
ものではなく、金、銀、銅、タングステン、タンタル等
導電性の材料であればどのようなものでもよい。
【0052】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、リング
パスフィルタやZパスフィルタ等の表面波フィルタにお
いて反射端面で表面波を反射するようにしたので、反射
端面から出力側IDTまでの表面波の遅延時間のズレが
少ないため、群遅延時間特性が平坦になり、その偏差を
小さくすることができる。
【0053】また、反射端面は、電極指により構成され
た反射器に比べて反射効率が良く、反射部分で生じる損
失が押さえられる上にSH波の伝搬距離が短いことによ
る伝搬損失が少ないため、挿入損失を改善することがで
きる。さらに、反射部分が反射器から反射端面になった
ことにより小型化が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態に係る表面波フィルタの平面図
である。
【図2】第1の実施形態に係る表面波フィルタの周波数
特性及び群遅延時間特性を示す特性図である。
【図3】第2の実施形態に係る表面波フィルタの平面図
である。
【図4】第3の実施形態に係る表面波フィルタの平面図
である。
【図5】従来の表面波フィルタの平面図である。
【図6】従来の表面波フィルタの周波数特性及び群遅延
時間特性を示す特性図である。
【符号の説明】
1 表面波フィルタ 2 圧電基板 3 第1のIDT 3a,3b 反射端面 4 第2のIDT 4a,4b 反射端面 5 入力端子 6 出力端子

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電基板と、 前記圧電基板表面に形成される第1のIDTと、 前記第1のIDTと表面波伝搬方向に一直線とならない
    位置に配置され、前記圧電基板表面に形成される第2の
    IDTと、 前記第1のIDTと表面波伝搬方向に一直線となる位置
    に配置され、前記第1のIDTから励振されたSH型の
    表面波が入力され、その入力方向に対して角度をつけて
    反射するように前記圧電基板に形成される第1の反射端
    面と、 前記第2のIDTと表面波伝搬方向に一直線となる位置
    に配置され、前記第1の反射手段から反射されたSH型
    の表面波が入力され、その入力方向に対して角度をつけ
    て前記第2のIDT方向に反射するように前記圧電基板
    に形成される第2の反射端面と、を備えることを特徴と
    する表面波フィルタ。
  2. 【請求項2】 前期圧電基板を伝搬する表面波の波長を
    λとした時、前記圧電基板の第1の反射端面中心部−第
    2の反射端面中心部間の長さがλ/2×n(nは整数)
    ±λ/8であることを特徴とする請求項1記載の表面波
    フィルタ。
  3. 【請求項3】 前期圧電基板を伝搬する表面波の波長を
    λとした時、前記第1のIDTの最も外側の電極指中心
    −第1の反射端面中心部間または前記第2のIDTの最
    も外側の電極指中心−第2の反射端面中心部間の長さが
    λ/2×m(mは整数)±λ/8であることを特徴とす
    る請求項1または請求項2記載の表面波フィルタ。
  4. 【請求項4】 請求項1〜3記載の表面波フィルタを用
    いたことを特徴とする共用器。
  5. 【請求項5】 請求項1〜3記載の表面波フィルタまた
    は請求項4記載の共用器を用いたことを特徴とする通信
    機装置。
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